JPS60144640A - 流体抵抗測定装置 - Google Patents
流体抵抗測定装置Info
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- JPS60144640A JPS60144640A JP56584A JP56584A JPS60144640A JP S60144640 A JPS60144640 A JP S60144640A JP 56584 A JP56584 A JP 56584A JP 56584 A JP56584 A JP 56584A JP S60144640 A JPS60144640 A JP S60144640A
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- tank
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- vacuum tank
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- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 5
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/08—Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は１例えば、フィルタに設けられた微小孔の流
体抵抗を測定する流体抵抗測定装置に関する。
体抵抗を測定する流体抵抗測定装置に関する。
防塵用フィルタ等に用いられる多孔質セラミック板や１
ミクロンオーダーの微小孔が設けられる微小孔カプセル
などの流体抵抗（流体の通りにくさ）を測定する場合、
従来は以下のようにしていた。すなわち、被測定物サン
プル中の微小孔の外観上（見かけ上）の径を顕微鏡等に
よって測定し。
ミクロンオーダーの微小孔が設けられる微小孔カプセル
などの流体抵抗（流体の通りにくさ）を測定する場合、
従来は以下のようにしていた。すなわち、被測定物サン
プル中の微小孔の外観上（見かけ上）の径を顕微鏡等に
よって測定し。
また、サンプルに設けられている孔の数を測定して、孔
全部での面積を測定する。そして、この面積から上記サ
ンプルの流体抵抗を推定する。
全部での面積を測定する。そして、この面積から上記サ
ンプルの流体抵抗を推定する。
しかしながら、外観上の径と流体抵抗との相関関係はほ
とんどないのが実情であり、この結果。
とんどないのが実情であり、この結果。
上述した従来の流体抵抗の測定方法においては。
測定結果の信頼度が極めて低いという欠点があった。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたもので、その
目的とするところは、測定結果の信頼度が極めて高い流
体抵抗測定装置を提供するところにある。
目的とするところは、測定結果の信頼度が極めて高い流
体抵抗測定装置を提供するところにある。
そして、この発明は、微小孔が形成された被測定部材に
よって閉塞される開口部および真空ポンプに連通する連
通路を有する真空タンクと、この真空タンク内の圧力を
検出して電気信号に変換するタンク内圧検出部と、前記
真空タンクが前記真空ポンプによつ１一旦真空あるいは
略真空になってから所定時間経過後の前記タンク内圧検
出部の出力信号に基づいて前記被測定部材の流体抵抗を
測定する演算部と、前記演算部の測定結果を表示する表
示部とを具備する構成をとっている。
よって閉塞される開口部および真空ポンプに連通する連
通路を有する真空タンクと、この真空タンク内の圧力を
検出して電気信号に変換するタンク内圧検出部と、前記
真空タンクが前記真空ポンプによつ１一旦真空あるいは
略真空になってから所定時間経過後の前記タンク内圧検
出部の出力信号に基づいて前記被測定部材の流体抵抗を
測定する演算部と、前記演算部の測定結果を表示する表
示部とを具備する構成をとっている。
以下図面を参照してこの発明の実施例について説明する
。
。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示すブＪツク図で
ある。この図において、１は上面に開口部が設けられ、
また、底面に真空タンク２に連通する連通路３が設けら
れているＪＩｃ空タンクである。
ある。この図において、１は上面に開口部が設けられ、
また、底面に真空タンク２に連通する連通路３が設けら
れているＪＩｃ空タンクである。
真空タンク１の上面開口部の囲シには、ゴムパツキン４
が設けられ、このゴムパツキン上に、微少孔が多数開け
られているサンプル（被測定部材）５が載置されている
。すなわち、真空タンク１の上面開口部は、サンプル５
によって閉塞されている。次に、７はタンク内圧検出部
であ夛、真空タンク１内の圧力を圧力センサ（図示略）
によって検出し、この検出結果である出力信号を演算部
８に供給する。演算部８はタンク内圧検出部Ｓの出力信
号に基づいてサンプル５の流体抵抗を演算、測定するも
のであり、その測定動作については後述する。、９は演
算部８の測定結果である流体抵抗値を表示する表示部で
ある。
が設けられ、このゴムパツキン上に、微少孔が多数開け
られているサンプル（被測定部材）５が載置されている
。すなわち、真空タンク１の上面開口部は、サンプル５
によって閉塞されている。次に、７はタンク内圧検出部
であ夛、真空タンク１内の圧力を圧力センサ（図示略）
によって検出し、この検出結果である出力信号を演算部
８に供給する。演算部８はタンク内圧検出部Ｓの出力信
号に基づいてサンプル５の流体抵抗を演算、測定するも
のであり、その測定動作については後述する。、９は演
算部８の測定結果である流体抵抗値を表示する表示部で
ある。
次に、この実施例の動作を説明する。
まず・真空ポンプ２を駆動して真空タンク１内の圧力を
急降下させ、真空状態を作る。この場合。
急降下させ、真空状態を作る。この場合。
サンプル５の微小孔から大気がわずかに流入するが、Ｅ
力降下の方が早ければ、 ＊窒タンク１内は真空状態あ
るいは略真空状態に達する。そして。
力降下の方が早ければ、 ＊窒タンク１内は真空状態あ
るいは略真空状態に達する。そして。
例えば時刻ｔｏ において前記状態に達したとすると、
この時点で真空ポンプｌを停止する。この結果、真空タ
ンク１内の圧力は、サンプル５の微小孔から流入する大
気のために、徐々に上昇し、ついには大気圧に復帰する
。そして、演算部８は時刻ｔｏから所定時間（ただし、
大気圧に復帰する前の時間）経過後のタンク内圧検出部
７の出力信号に基づいて、サンプル５の流体抵抗ｆ測定
する。
この時点で真空ポンプｌを停止する。この結果、真空タ
ンク１内の圧力は、サンプル５の微小孔から流入する大
気のために、徐々に上昇し、ついには大気圧に復帰する
。そして、演算部８は時刻ｔｏから所定時間（ただし、
大気圧に復帰する前の時間）経過後のタンク内圧検出部
７の出力信号に基づいて、サンプル５の流体抵抗ｆ測定
する。
ここで、演算部８の測定動作について説明する。
第２図は、サンプルの微小孔を１個にし、その孔の径ｔ
一種々変更した場合の、真空タンク１内の真空状態から
の圧力変化を示す図であＪｔ：’、縦軸にタンク内圧検
出部７の出力信号（タンク内圧に対応）がとってあり、
横軸に時刻ｔｏからの経過時１１ｊｌ （秒）がとっで
ある。この図において、、８１〜１５ は各々微小孔の
径が、５０μｍφ、４０μｍφ。
一種々変更した場合の、真空タンク１内の真空状態から
の圧力変化を示す図であＪｔ：’、縦軸にタンク内圧検
出部７の出力信号（タンク内圧に対応）がとってあり、
横軸に時刻ｔｏからの経過時１１ｊｌ （秒）がとっで
ある。この図において、、８１〜１５ は各々微小孔の
径が、５０μｍφ、４０μｍφ。
３０μｒｎφ、 ２０μｍφの場合の圧力変化曲線であ
り、Ｌ６ は微小孔を１つた〈反けない場合の圧力変化
曲線である。このように、微少孔をまったく設けない場
合でも、サンプルとパツキンの間から、わずかに成人す
る大気のために、真空タンク１内１のＩＥ力は徐ｋＶｃ
大気圧にり帰する。なお、この図におけるＬは、大気圧
レベルを示している。
り、Ｌ６ は微小孔を１つた〈反けない場合の圧力変化
曲線である。このように、微少孔をまったく設けない場
合でも、サンプルとパツキンの間から、わずかに成人す
る大気のために、真空タンク１内１のＩＥ力は徐ｋＶｃ
大気圧にり帰する。なお、この図におけるＬは、大気圧
レベルを示している。
そして、この図から微小孔の径と圧力変化曲線とは極め
て良く対応することが判？）、’ｔｆｒ−，この対応関
係は％微小孔が多鼓の場合でも同様に存在する。そして
、演算部８においては、第２図に対応するテーブルを予
め記憶しておき５時刻ｔｏから所定時間経過した後のタ
ンク内圧検出部７の出力信号と、テーブル内のデータと
を比較して、サンプル５の流体抵抗１ｒ測定する。そし
て、この測定結果は、表示部９によって表示される。こ
の場合。
て良く対応することが判？）、’ｔｆｒ−，この対応関
係は％微小孔が多鼓の場合でも同様に存在する。そして
、演算部８においては、第２図に対応するテーブルを予
め記憶しておき５時刻ｔｏから所定時間経過した後のタ
ンク内圧検出部７の出力信号と、テーブル内のデータと
を比較して、サンプル５の流体抵抗１ｒ測定する。そし
て、この測定結果は、表示部９によって表示される。こ
の場合。
演算部８はテーブルに代えて、ＦＥ力変化曲・線に対応
する式等を記憶してもよく、また、サンプルの良否判別
を行うのみである々ら、適切なしきい値を記憶しておき
、このしきい値を越えた場合に否と判定すればよい。
する式等を記憶してもよく、また、サンプルの良否判別
を行うのみである々ら、適切なしきい値を記憶しておき
、このしきい値を越えた場合に否と判定すればよい。
なお、上述した実施例にかいて、温度や大気圧の影響が
問題となる場合は、第１図に示すように、大気圧検出部
１０および温度検出部１１を設け、これらの出力信号に
基づいて演算部８内で補正演算を行うようにするうなお
１周知のように、温度が異なると、微小孔自体の径が変
ｆヒしたり、あるいは気孔率（流体が連通し得る実事上
の径と実際の径との比率）が変化してしまう。
問題となる場合は、第１図に示すように、大気圧検出部
１０および温度検出部１１を設け、これらの出力信号に
基づいて演算部８内で補正演算を行うようにするうなお
１周知のように、温度が異なると、微小孔自体の径が変
ｆヒしたり、あるいは気孔率（流体が連通し得る実事上
の径と実際の径との比率）が変化してしまう。
また、サンプルの良否判別を行う場合は１例えば第３図
に示すように、ゴムパツキン４′に複数の貫通孔を設け
、この貫通孔上にサンプル５，５・・・を各々載置し、
これらのサンプル５．５・・・の流体抵抗を同時に判定
するとよい。このような判定を行うと、検査中のサンプ
ルグループ内に不良品が混っているかどうかを判別する
ことができ、良否判別を効率的に行うことができる、〔
発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば、微小孔が形成
された被測定部材によって閉塞される開口部および真空
ポンプに連通ずる連通路を有する真空タンクと、この真
空タンク内の圧力を検出して電気信号に変換するタンク
内圧検出部と、前記真空タンクが前記真空ポンプによっ
て一旦真空あるいは略真空になってから所定時間経過後
の前記タンク内圧検出部の出力信号に基づいて前記被測
定部材の流体抵抗を測定する演算部と、前記演算部の測
定結果を表示する表示部とを具備したので。
に示すように、ゴムパツキン４′に複数の貫通孔を設け
、この貫通孔上にサンプル５，５・・・を各々載置し、
これらのサンプル５．５・・・の流体抵抗を同時に判定
するとよい。このような判定を行うと、検査中のサンプ
ルグループ内に不良品が混っているかどうかを判別する
ことができ、良否判別を効率的に行うことができる、〔
発明の効果〕 以上説明したように、この発明によれば、微小孔が形成
された被測定部材によって閉塞される開口部および真空
ポンプに連通ずる連通路を有する真空タンクと、この真
空タンク内の圧力を検出して電気信号に変換するタンク
内圧検出部と、前記真空タンクが前記真空ポンプによっ
て一旦真空あるいは略真空になってから所定時間経過後
の前記タンク内圧検出部の出力信号に基づいて前記被測
定部材の流体抵抗を測定する演算部と、前記演算部の測
定結果を表示する表示部とを具備したので。
測定結果の信頼度を極めて高くすることができる。
築１図はこの発明の一実施例の４・Ｊ成を示すブロック
図％第２図は微小孔の大ささと真壁ダンク内圧の関係を
示す図、第３図は同実施例の一変形例の槽底を示す斜視
図である。 １・・・・・・真空タンク、２・・・・・・真空ポンプ
、３・・・・・・連通路、５，５・・・・・・サンプル
（被測１定部材）、７・・・・・・タンク内圧検出部、
８・・・中演算部、９・・・・・・表示部。
図％第２図は微小孔の大ささと真壁ダンク内圧の関係を
示す図、第３図は同実施例の一変形例の槽底を示す斜視
図である。 １・・・・・・真空タンク、２・・・・・・真空ポンプ
、３・・・・・・連通路、５，５・・・・・・サンプル
（被測１定部材）、７・・・・・・タンク内圧検出部、
８・・・中演算部、９・・・・・・表示部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 微小孔が形成された被測定部材によって閉塞される開口
部および真空ポンプに連通ずる連通路を有する真空タン
クと、この真壁タンク内の圧力を検出して電気信号に変
換するタンク内圧検出部と。 前記真空タンクが前記真空ポンプによって一旦真空ある
いは略真空になってから所定時間経過後の前記タンク内
圧検出部の出力信号に基づいて前記被測定部材の流体抵
抗をホ１１定する演算部と、前記演算部の測定結果を表
示する表示部とを具備することを特徴とする流体抵抗測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56584A JPS60144640A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 流体抵抗測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56584A JPS60144640A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 流体抵抗測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60144640A true JPS60144640A (ja) | 1985-07-31 |
Family
ID=11477237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56584A Pending JPS60144640A (ja) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | 流体抵抗測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60144640A (ja) |
-
1984
- 1984-01-06 JP JP56584A patent/JPS60144640A/ja active Pending
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