JPS60143548A - ガス放電パネル - Google Patents
ガス放電パネルInfo
- Publication number
- JPS60143548A JPS60143548A JP58249550A JP24955083A JPS60143548A JP S60143548 A JPS60143548 A JP S60143548A JP 58249550 A JP58249550 A JP 58249550A JP 24955083 A JP24955083 A JP 24955083A JP S60143548 A JPS60143548 A JP S60143548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- electrode
- float
- float electrode
- discharge panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/10—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma
- H01J11/12—AC-PDPs with at least one main electrode being out of contact with the plasma with main electrodes provided on both sides of the discharge space
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J11/00—Gas-filled discharge tubes with alternating current induction of the discharge, e.g. alternating current plasma display panels [AC-PDP]; Gas-filled discharge tubes without any main electrode inside the vessel; Gas-filled discharge tubes with at least one main electrode outside the vessel
- H01J11/20—Constructional details
- H01J11/22—Electrodes, e.g. special shape, material or configuration
- H01J11/30—Floating electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の技術分野
本発明は駆動回路数を大幅に削減できるフロート電極方
式ガス放電パネルの改良に関するものである。
式ガス放電パネルの改良に関するものである。
技術の背景
複数のＸ軸方向電極とそれに対し直交するＹ軸方向電極
とをマトリックス状に選択して多重駆動し、電極間に存
在する電気光学効果性物質例えばネオンガスを主体とす
る混合ガスを励起させその発光等によシ表示を行うＡＣ
形ガス放電表示装置の表示容量を増大させるためには、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の電極数を増加する必要があシ、
これに伴なって駆動回路数が増加する。この問題を解決
するものとして、フロート電極構造が採用されている。
とをマトリックス状に選択して多重駆動し、電極間に存
在する電気光学効果性物質例えばネオンガスを主体とす
る混合ガスを励起させその発光等によシ表示を行うＡＣ
形ガス放電表示装置の表示容量を増大させるためには、
Ｘ軸方向及びＹ軸方向の電極数を増加する必要があシ、
これに伴なって駆動回路数が増加する。この問題を解決
するものとして、フロート電極構造が採用されている。
従来技術と問題点
フロート電極構造の従来のＡＣ形ガス放電パネルを第１
図及び第２図に示す。このガス放電パネルは、本出願人
によシ昭和５８年１０月５付けで出願された特願昭５８
−１８６５２８号の明細書に第１の実施例として記載さ
れたもので、第１図はガス放電パネルの断面図、第２図
は同電極配置図である。
図及び第２図に示す。このガス放電パネルは、本出願人
によシ昭和５８年１０月５付けで出願された特願昭５８
−１８６５２８号の明細書に第１の実施例として記載さ
れたもので、第１図はガス放電パネルの断面図、第２図
は同電極配置図である。
図中、２１．２２はガラス基板である。ガラス基板２１
の周辺部には、Ｙ軸方向（図の紙面と垂直方向）に伸び
るクロスオーバ側駆動電極２３とショート側駆動電極２
４とが形成され、該ガラス基板２１上にＸ軸方向（図の
左右方向）に形成されたフロート電極２５はパネル周辺
部まで延長されて該延長部２５α、２５ｈが各駆動電極
と絶縁層２６．２７を介し対向している。そして、フロ
ート電極２５上の表示部には絶縁層２８．保護層２９が
順次形成されている。
の周辺部には、Ｙ軸方向（図の紙面と垂直方向）に伸び
るクロスオーバ側駆動電極２３とショート側駆動電極２
４とが形成され、該ガラス基板２１上にＸ軸方向（図の
左右方向）に形成されたフロート電極２５はパネル周辺
部まで延長されて該延長部２５α、２５ｈが各駆動電極
と絶縁層２６．２７を介し対向している。そして、フロ
ート電極２５上の表示部には絶縁層２８．保護層２９が
順次形成されている。
一方、ガラス基板２２上にはＹ軸方向電極３０が形成さ
れ、その上には絶縁層３１．保護層３２が順次形成され
ている。これらの２枚のガラス基板２１゜２２は、それ
ぞれの基板上の電極が直交しかつそれぞれの基板上の保
護層同士が間隙６３（放電空間に相当）を介し対向する
ように配置され、シール３４によシ封止されている。各
駆動電極２５・２４．これらに対向するフロート電極延
長部２５ａ・２５ｂ、及び絶縁層２６・２７は、シール
３４の外側（パネル周辺部）に形成されている。間隙３
５にはネオンを主体とする混合ガスが封入されている。
れ、その上には絶縁層３１．保護層３２が順次形成され
ている。これらの２枚のガラス基板２１゜２２は、それ
ぞれの基板上の電極が直交しかつそれぞれの基板上の保
護層同士が間隙６３（放電空間に相当）を介し対向する
ように配置され、シール３４によシ封止されている。各
駆動電極２５・２４．これらに対向するフロート電極延
長部２５ａ・２５ｂ、及び絶縁層２６・２７は、シール
３４の外側（パネル周辺部）に形成されている。間隙３
５にはネオンを主体とする混合ガスが封入されている。
このように、フロート電極２５は、パネル周辺部まで延
長された延長部２５ａ、２５ｂが各駆動電極２３゜２４
と絶縁層２６．２７を介し対向して結合の静電容量を得
る（容量結合が行われる）ようになっている。第２図は
、１６ラインの７四−計電極２５に対し、ショート側で
は端から４本ずつの４グループを構成して該各グループ
の延長部２５６をそれぞれ独立した共通のショート側電
極２４に対向させるとともに、クロスオーバ側では４本
おきに４本ずつの４グループを構成して該各グループの
延長部２５αをそれぞれ独立して並設された共通のクロ
スオーバ側電極２３に対向させた例を示している。
長された延長部２５ａ、２５ｂが各駆動電極２３゜２４
と絶縁層２６．２７を介し対向して結合の静電容量を得
る（容量結合が行われる）ようになっている。第２図は
、１６ラインの７四−計電極２５に対し、ショート側で
は端から４本ずつの４グループを構成して該各グループ
の延長部２５６をそれぞれ独立した共通のショート側電
極２４に対向させるとともに、クロスオーバ側では４本
おきに４本ずつの４グループを構成して該各グループの
延長部２５αをそれぞれ独立して並設された共通のクロ
スオーバ側電極２３に対向させた例を示している。
このようなフロート電極構造の採用により駆動回路の規
模を縮小することが可能である。
模を縮小することが可能である。
この場合、駆動電極とフロート電極延長部（容量結合部
）とを容量結合させる構成を実現する工程としては、ま
ずガラス基板上に駆動電極を形成した後、その上に絶縁
層を形成し、さらにその上にフロート電極を形成（絶縁
層上に導体膜を形成し、これをエツチングによシバター
ニングする）することになるため、フロート電極形成時
に絶縁層が電極パターニング用エツチング液に侵され易
い。また絶縁層のカバレージが悪いと駆動電極。
）とを容量結合させる構成を実現する工程としては、ま
ずガラス基板上に駆動電極を形成した後、その上に絶縁
層を形成し、さらにその上にフロート電極を形成（絶縁
層上に導体膜を形成し、これをエツチングによシバター
ニングする）することになるため、フロート電極形成時
に絶縁層が電極パターニング用エツチング液に侵され易
い。また絶縁層のカバレージが悪いと駆動電極。
フロート電極間がクヨートし易くなシ、さらにこれらの
問題を解決するために絶縁層を厚くすると、容量結合部
の結合容量が小さくな如プラズマ放電に必要な電流を充
分に供給できなくなる。
問題を解決するために絶縁層を厚くすると、容量結合部
の結合容量が小さくな如プラズマ放電に必要な電流を充
分に供給できなくなる。
発明の目的
本発明は上述の問題点を解決するためのもので、エツチ
ング液に対する耐蝕性及びカバレージ特性が良好な絶縁
層を備えたガス放電パネルを提供することを目的として
いる。
ング液に対する耐蝕性及びカバレージ特性が良好な絶縁
層を備えたガス放電パネルを提供することを目的として
いる。
発明の構成
本発明では、フロート電極によシミ極長重化されたガス
放電パネルにおいて、前記絶縁層が２層以上に多層化さ
れ、最上層以外の少なくとも１つの層、の該絶縁層がス
テップ・カバレージの良い物質によ多形成され、最上層
の該絶縁層が電極パターニング用エツチング液に侵され
にくい物質よ多形成された構成の採用によシ上記目的の
達成を図りでいる。
放電パネルにおいて、前記絶縁層が２層以上に多層化さ
れ、最上層以外の少なくとも１つの層、の該絶縁層がス
テップ・カバレージの良い物質によ多形成され、最上層
の該絶縁層が電極パターニング用エツチング液に侵され
にくい物質よ多形成された構成の採用によシ上記目的の
達成を図りでいる。
発明の実施例
以下、第３図に関連して本発明の詳細な説明する。
第３図は本発明に係るガス放電パネルの容量結合部にお
ける絶縁層形成要領図で、図中、１はガラス基板である
。該ガラス基板１上には、駆動電極２．絶縁層５．フロ
ート電極４．絶縁層５．及び保護層６が順次形成されて
いる。
ける絶縁層形成要領図で、図中、１はガラス基板である
。該ガラス基板１上には、駆動電極２．絶縁層５．フロ
ート電極４．絶縁層５．及び保護層６が順次形成されて
いる。
絶縁層３は、本発明の特徴となるもので、駆動電極２上
に形成された下層絶縁層７と、その上に形成された上層
絶縁層８とよシなる二層構成になっている。下層絶縁層
７は、ステップ・カバレージが良いＭ（１０、アルンナ
等の物質を蒸着することにより形成され、上層絶縁層８
は耐エツチング性の良好なバイコールガラス等の物質を
蒸着することにより形成される。
に形成された下層絶縁層７と、その上に形成された上層
絶縁層８とよシなる二層構成になっている。下層絶縁層
７は、ステップ・カバレージが良いＭ（１０、アルンナ
等の物質を蒸着することにより形成され、上層絶縁層８
は耐エツチング性の良好なバイコールガラス等の物質を
蒸着することにより形成される。
このように絶縁層３を多層構成とすることによシ、上層
絶縁層８で耐エツチング性を受け持ち、下層絶縁層７で
ステップ・カバレージを受け持ってショートを防止する
ことができ、従来の問題点を解決することが可能である
。
絶縁層８で耐エツチング性を受け持ち、下層絶縁層７で
ステップ・カバレージを受け持ってショートを防止する
ことができ、従来の問題点を解決することが可能である
。
ところで、フロート電極方式によシ放電を起す場合に、
充分な放電電流を供給するためには、コンデンサ結合容
量（Ｃ容量）を大きくしなければならない。このＣ容量
は次式で表わされる。
充分な放電電流を供給するためには、コンデンサ結合容
量（Ｃ容量）を大きくしなければならない。このＣ容量
は次式で表わされる。
Ｓ
Ｑ＝ｇ−εロー 曲・・曲曲曲（１）
但し、ε−絶縁層の比誘電率
ε。−真空の誘電率
Ｓ＝結合部の面積
ｄ＝絶縁層の膜厚
ここで、ε。は定数であシ、Ｓは電極パターンで決って
しまう。従、りて、Ｃ容量を大きくするには、絶縁層を
、１の大きい物質で形成するか膜厚の薄いものとするし
かない。ところが、膜厚を薄くすると上下電極間でショ
ートが発生し易くなシ、ま７？−ｇの大きい物質を使う
と耐エツチング性が問題になる。
しまう。従、りて、Ｃ容量を大きくするには、絶縁層を
、１の大きい物質で形成するか膜厚の薄いものとするし
かない。ところが、膜厚を薄くすると上下電極間でショ
ートが発生し易くなシ、ま７？−ｇの大きい物質を使う
と耐エツチング性が問題になる。
上述の例で説明したＭＱＯ（下層絶縁層７形成用）は、
単にステ、プ・カバレージが良いだけで外く６が大きい
ものであるから、膜厚をかせぐことができ、その上にＣ
は小さくても耐エツチング性の良好なバイコールガラス
等の上層絶縁層８が形成されても、絶縁層全体のＣは余
シ減少せず、充分な効果が得られるものである。
単にステ、プ・カバレージが良いだけで外く６が大きい
ものであるから、膜厚をかせぐことができ、その上にＣ
は小さくても耐エツチング性の良好なバイコールガラス
等の上層絶縁層８が形成されても、絶縁層全体のＣは余
シ減少せず、充分な効果が得られるものである。
上述の説明では、ガラス基板上に駆動電極が形成され、
その上に絶縁層を介してフロート電極が形成された例に
ついて述べたが、本発明は、前述の特願昭５８−１８６
６２８号の明細書に第２の実施例（第５図）として記載
されたような、ガラス基板上にフロート電極が形成され
その上に絶縁層を介して駆動電極が形成された場合にも
適用可能である。
その上に絶縁層を介してフロート電極が形成された例に
ついて述べたが、本発明は、前述の特願昭５８−１８６
６２８号の明細書に第２の実施例（第５図）として記載
されたような、ガラス基板上にフロート電極が形成され
その上に絶縁層を介して駆動電極が形成された場合にも
適用可能である。
発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、耐工、テング性が
良くしかもステップ・カバレージが良くて膜厚をかせげ
る絶縁層が得られるので、絶縁層がエツチング液に侵さ
れずしかもショートによる不良発生の少ないフロート電
極方式のガス放電パネルを得ることができる。
良くしかもステップ・カバレージが良くて膜厚をかせげ
る絶縁層が得られるので、絶縁層がエツチング液に侵さ
れずしかもショートによる不良発生の少ないフロート電
極方式のガス放電パネルを得ることができる。
第１図は従来のフロート電極方式ガス放電パネルの断面
図、第２図は同電極配置図、第３図は本発明に係るガス
放電パネルの実施例の容量結合部における絶縁層形成要
領図で、図中、１はガラス基板、２は駆動電極、３は絶
縁層、４はフロート電極、７は下層絶縁層、８は上層（
最上層）絶縁層である。 特許出願人富士通株式会社 代理人弁理士玉蟲久五部 （外１名）
図、第２図は同電極配置図、第３図は本発明に係るガス
放電パネルの実施例の容量結合部における絶縁層形成要
領図で、図中、１はガラス基板、２は駆動電極、３は絶
縁層、４はフロート電極、７は下層絶縁層、８は上層（
最上層）絶縁層である。 特許出願人富士通株式会社 代理人弁理士玉蟲久五部 （外１名）
Claims (1)
- 駆動電極と容量によシ結合されたフロート電極によシミ
極長重化されたガス放電パネルにおｉて、前記絶縁層が
２層以上に多層化され、最上層以外の少なくとも１つの
層の該絶縁層がステップ・カバレージの良い物質により
形成され、最上層の該絶縁層が電極パターニング用エツ
チング液に侵されにくい物質によυ形成されたことを特
徴とするガス放電パネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58249550A JPS60143548A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | ガス放電パネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58249550A JPS60143548A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | ガス放電パネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143548A true JPS60143548A (ja) | 1985-07-29 |
Family
ID=17194656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58249550A Pending JPS60143548A (ja) | 1983-12-29 | 1983-12-29 | ガス放電パネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60143548A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0173573A2 (en) * | 1984-08-31 | 1986-03-05 | Fujitsu Limited | A gas discharge display panel |
| US5107176A (en) * | 1989-06-12 | 1992-04-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma display device |
-
1983
- 1983-12-29 JP JP58249550A patent/JPS60143548A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0173573A2 (en) * | 1984-08-31 | 1986-03-05 | Fujitsu Limited | A gas discharge display panel |
| EP0173573A3 (en) * | 1984-08-31 | 1986-11-12 | Fujitsu Limited | A gas discharge display panel |
| US5107176A (en) * | 1989-06-12 | 1992-04-21 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Plasma display device |
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