JPS601422A - 原盤記録装置 - Google Patents
原盤記録装置Info
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- JPS601422A JPS601422A JP10872883A JP10872883A JPS601422A JP S601422 A JPS601422 A JP S601422A JP 10872883 A JP10872883 A JP 10872883A JP 10872883 A JP10872883 A JP 10872883A JP S601422 A JPS601422 A JP S601422A
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- bearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
従来例の構成とその問題点
従来の原盤記録装置の概略の構成の例を第１図に示す。
１は表面にフォトレジストを塗布したガラスよりなる記
録原盤であり、軸受２によって回１支持された回転軸３
に固定されており、ＤＤモータ等の回転駆動手段（図示
せず）により回転運動を与えられる。軸受２を搭載した
送り台４は、送り台４に固定されたナツト５を介し、該
ナツト６と組合された送りネジ６の回転により直線運動
を与えられる。送りネジ９は、駆動モータ７によシ、減
速機８．軸継手９を経て駆動される。１０は送りネジを
回転可能に支持する支持台である。
録原盤であり、軸受２によって回１支持された回転軸３
に固定されており、ＤＤモータ等の回転駆動手段（図示
せず）により回転運動を与えられる。軸受２を搭載した
送り台４は、送り台４に固定されたナツト５を介し、該
ナツト６と組合された送りネジ６の回転により直線運動
を与えられる。送りネジ９は、駆動モータ７によシ、減
速機８．軸継手９を経て駆動される。１０は送りネジを
回転可能に支持する支持台である。
１１は送り台４の直線運動を案内するスライド軸受であ
り、工作機械の刃物台等に使用されるずベシ軸受が用い
られている。
り、工作機械の刃物台等に使用されるずベシ軸受が用い
られている。
原盤への画像や音声情報の記録（以下カッティングとも
呼ぶ）は、レーザー光線１２により行なわれる。レーザ
ー光線１２は、レーザー発振器１３によって発生され、
信号源１７よりの記録すべき映像信号及び音声信号は変
調器１４によって、該レーザー光線に搬送せしめる。１
５は光学台１６に固定されたミラーであり、レーザー光
線１２を原盤上に垂直に入射させるものである。又、上
述の装置を搭載した定盤１８は、空気ダンパ１９によっ
て支持されており、床面の振動がディスク原盤記録装置
に伝わらない構成となっている。
呼ぶ）は、レーザー光線１２により行なわれる。レーザ
ー光線１２は、レーザー発振器１３によって発生され、
信号源１７よりの記録すべき映像信号及び音声信号は変
調器１４によって、該レーザー光線に搬送せしめる。１
５は光学台１６に固定されたミラーであり、レーザー光
線１２を原盤上に垂直に入射させるものである。又、上
述の装置を搭載した定盤１８は、空気ダンパ１９によっ
て支持されており、床面の振動がディスク原盤記録装置
に伝わらない構成となっている。
以上の構成により、固定されたレーザー光線１２に対し
て、原盤１が相対的に、直線及び回転の運動を同時に行
ない、原盤上に螺旋状に信号がカッティングされてぃ（
。カッティングされた原盤をもとに、エツチング、電鋳
等の工程を経て、最終のレコード盤を樹脂成形するだめ
のスタンバ−と呼ばれる成形金型が作成される。したが
って、ディスク記録原盤作成装置でカッティングされた
信号は、その脣まレコード盤に転写されることになるが
、この記録信号のトラックピッチ精度は、再生画像及び
音声の品質に重大な影響を及ぼす。
て、原盤１が相対的に、直線及び回転の運動を同時に行
ない、原盤上に螺旋状に信号がカッティングされてぃ（
。カッティングされた原盤をもとに、エツチング、電鋳
等の工程を経て、最終のレコード盤を樹脂成形するだめ
のスタンバ−と呼ばれる成形金型が作成される。したが
って、ディスク記録原盤作成装置でカッティングされた
信号は、その脣まレコード盤に転写されることになるが
、この記録信号のトラックピッチ精度は、再生画像及び
音声の品質に重大な影響を及ぼす。
つまり、ディスク記録原盤作成装置において、原盤と、
レーザー光線とが所定の相対運動を行なわない場合には
、記録される螺旋状のトラックが、ゆらぎ、トラックピ
ッチが変動する。このトラックピッチの変動は、レコー
ド盤の信号再生時、再生用ピックアップが正しく記録ト
ランク上を走行することを困難にするものであり、又、
極端な場合には１．隣接する記録トラックがオーバーラ
ツプし、信号の記録再生自体が不可能になる。したがっ
て、ディスク記録原盤作成装置の機構部、特に送り台の
直線運動は極めて高い精度が要求される。ちなみに、あ
る種のビデオディスクのディスク記録原盤作成装置にお
いては、隣接するトラックピッチは１．３５μｍ ｆ：
０．１μｍの精度を確保する必要があり、原盤の回転
数が９００ｒｐｍであるので送り台の送り速度は１−２
１５ ｍｍ／ｍｉ ｎ という極低速である。
レーザー光線とが所定の相対運動を行なわない場合には
、記録される螺旋状のトラックが、ゆらぎ、トラックピ
ッチが変動する。このトラックピッチの変動は、レコー
ド盤の信号再生時、再生用ピックアップが正しく記録ト
ランク上を走行することを困難にするものであり、又、
極端な場合には１．隣接する記録トラックがオーバーラ
ツプし、信号の記録再生自体が不可能になる。したがっ
て、ディスク記録原盤作成装置の機構部、特に送り台の
直線運動は極めて高い精度が要求される。ちなみに、あ
る種のビデオディスクのディスク記録原盤作成装置にお
いては、隣接するトラックピッチは１．３５μｍ ｆ：
０．１μｍの精度を確保する必要があり、原盤の回転
数が９００ｒｐｍであるので送り台の送り速度は１−２
１５ ｍｍ／ｍｉ ｎ という極低速である。
この様な極低速下で、かつ、回転体を搭載した相当重量
の送り台を、１・３５μｍ当９０．１μｍ以下の送りム
ラという極めてスムーズに送る上で、前記従来のディス
ク記録原盤作成装置は以下の問題点を有している。つま
り、重量物を極低速で摺動させる場合、送り台のスライ
ド軸受がすべり軸受で構成されていると、不安定な振動
であるスティックスリップが起こり、送り台の送り速度
にムラが生じ、所定のトラックピッチ精度が確保されな
いという点である。このスティックスリップ現象は、例
えば、静圧気体軸受、或はころがり軸受をスライド軸受
部に採用することにより、解消、もしくは、大巾に低減
されることが知られているが、反面、送り台に搭載され
た原盤及び回転軸からなる回転体の不釣合回転による遠
心力により、送り台に、原盤の回転に同期した振動力が
加えられるため、送９台が振動するという課題があり、
実用上、使用不可能である。一方、すベシ軸受を用いた
スライド軸受の場合には、この不釣合回転による振動力
は、摺動部分での摩擦による振動エネルギの吸収により
、送り台の振動は起こらないが、前述の如く、スティッ
クスリップ振動発生の問題がある。いずれにせよ、従来
知られている軸受の形式では、スティッスリノプ、或は
、原盤の回転不釣合による振動を、ｏ、１μｍ以下の振
巾に抑えるのは極めて困難であった。
の送り台を、１・３５μｍ当９０．１μｍ以下の送りム
ラという極めてスムーズに送る上で、前記従来のディス
ク記録原盤作成装置は以下の問題点を有している。つま
り、重量物を極低速で摺動させる場合、送り台のスライ
ド軸受がすべり軸受で構成されていると、不安定な振動
であるスティックスリップが起こり、送り台の送り速度
にムラが生じ、所定のトラックピッチ精度が確保されな
いという点である。このスティックスリップ現象は、例
えば、静圧気体軸受、或はころがり軸受をスライド軸受
部に採用することにより、解消、もしくは、大巾に低減
されることが知られているが、反面、送り台に搭載され
た原盤及び回転軸からなる回転体の不釣合回転による遠
心力により、送り台に、原盤の回転に同期した振動力が
加えられるため、送９台が振動するという課題があり、
実用上、使用不可能である。一方、すベシ軸受を用いた
スライド軸受の場合には、この不釣合回転による振動力
は、摺動部分での摩擦による振動エネルギの吸収により
、送り台の振動は起こらないが、前述の如く、スティッ
クスリップ振動発生の問題がある。いずれにせよ、従来
知られている軸受の形式では、スティッスリノプ、或は
、原盤の回転不釣合による振動を、ｏ、１μｍ以下の振
巾に抑えるのは極めて困難であった。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するものであり、高精度
のカッティングを実現した、ディスク記録原盤訃輸装置
を提供するものである。
のカッティングを実現した、ディスク記録原盤訃輸装置
を提供するものである。
発明の構成
記録原盤を載置して回転する回転部を搭載した送り台と
前記記録原盤に信号を記録する光ビームの記録光学系の
いずれか一方を静圧空気軸受けで構成されたガイドによ
って相対的に移動可能に構成するとともに、前記静圧空
気軸受へ供給する空気圧を、その静圧空気軸受への供給
空気圧の増加に対して鉛直方向の浮上量の増加が緩やか
な領域のほぼ中心値に設定したことを特徴とする原盤記
録装置であり、摺動摩擦に起因するスティックスリップ
振動の発生を抑圧するとともに、原盤の不釣合回転に伴
なう振動を抑圧し、送り台の直線運動精度を大巾に向上
し、高精度の情報信号記録を可能にするものである。
前記記録原盤に信号を記録する光ビームの記録光学系の
いずれか一方を静圧空気軸受けで構成されたガイドによ
って相対的に移動可能に構成するとともに、前記静圧空
気軸受へ供給する空気圧を、その静圧空気軸受への供給
空気圧の増加に対して鉛直方向の浮上量の増加が緩やか
な領域のほぼ中心値に設定したことを特徴とする原盤記
録装置であり、摺動摩擦に起因するスティックスリップ
振動の発生を抑圧するとともに、原盤の不釣合回転に伴
なう振動を抑圧し、送り台の直線運動精度を大巾に向上
し、高精度の情報信号記録を可能にするものである。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例について第２〜６図を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第２図は、本発明の原盤記録装置の送り台部の送り方向
から見た構成を示すものである。図において２１は原盤
、２２はこの原盤を搭載する回転テーブルであり、ＤＤ
モータ２３にょ多回転駆動され、静圧気体型の軸受２４
によって回転支持された回転軸２５に固定されている。
から見た構成を示すものである。図において２１は原盤
、２２はこの原盤を搭載する回転テーブルであり、ＤＤ
モータ２３にょ多回転駆動され、静圧気体型の軸受２４
によって回転支持された回転軸２５に固定されている。
前記軸受２４は送り台２６に固定されている。送シネジ
２７の回転により、ナツト２８を介して、送り台２６は
直線駆動される。送９台２６の直線運動の案内は、基台
２９に固定された鋳鉄よシなるスライドガイド３０．３
１と、送り台２６［固定されたスライドフロック３２．
３３．３４によって構成されるスライド軸受によってな
される。ここで、スライドブロック３２．３３は送り台
２６の鉛直荷重を支持する軸受であり、スライドブロッ
ク３４は、送９台２６の水平方向の位置をガイドするも
のであシ、静圧空気軸受にょ多構成されている。鉛直方
向の荷重を支持するスライドブロック３２．３３の下面
には潤滑性のよいテフロンよりなる樹脂コート層３５．
３６が形成されておシ、スライドガイド３０．３１の上
面と接触摺動する。第３図はスライドガイド３ｏ及びス
ライドブロック３２の部分を示す斜視図である。
２７の回転により、ナツト２８を介して、送り台２６は
直線駆動される。送９台２６の直線運動の案内は、基台
２９に固定された鋳鉄よシなるスライドガイド３０．３
１と、送り台２６［固定されたスライドフロック３２．
３３．３４によって構成されるスライド軸受によってな
される。ここで、スライドブロック３２．３３は送り台
２６の鉛直荷重を支持する軸受であり、スライドブロッ
ク３４は、送９台２６の水平方向の位置をガイドするも
のであシ、静圧空気軸受にょ多構成されている。鉛直方
向の荷重を支持するスライドブロック３２．３３の下面
には潤滑性のよいテフロンよりなる樹脂コート層３５．
３６が形成されておシ、スライドガイド３０．３１の上
面と接触摺動する。第３図はスライドガイド３ｏ及びス
ライドブロック３２の部分を示す斜視図である。
第４図は、スライドブロック３２の構造を示すもので、
スライドブロック３２の下面（第４図では図の上側）に
設けた樹脂コート層３６には、２ケ所の凹部が設けられ
ている。この凹部３７の底面には、それぞれ気体吐出用
の給気孔３８が設けられており、コンプレッサ等の加圧
空気源３９より供給された加圧空気が、パイプ４０を介
して凹部３７に供給される。
スライドブロック３２の下面（第４図では図の上側）に
設けた樹脂コート層３６には、２ケ所の凹部が設けられ
ている。この凹部３７の底面には、それぞれ気体吐出用
の給気孔３８が設けられており、コンプレッサ等の加圧
空気源３９より供給された加圧空気が、パイプ４０を介
して凹部３７に供給される。
他方のスライドブロック３３の構成も同様である。
上記の構成において、スライドブロック３２゜３３０下
面の樹脂コート層３５．３６の表面と、スライドガイド
３０．３１の上面との接続面圧は、前記凹部３７に供給
する加圧空気の圧力を加減することにより、任意に設定
することができる。つまり、加圧空気の供給圧が大気圧
の場合（加圧空気を供給しない場合）には、送り合金体
の重量（数十〜数百１＆Ｏ１）が、樹脂コート層表面と
スライドガイド上面の接触面に加わるため、比較的、機
械強度、耐摩耗性の低い樹脂面が破損したり或は、摩耗
が犬きぐなり、装置の信頼性を確保することが困難であ
る。
面の樹脂コート層３５．３６の表面と、スライドガイド
３０．３１の上面との接続面圧は、前記凹部３７に供給
する加圧空気の圧力を加減することにより、任意に設定
することができる。つまり、加圧空気の供給圧が大気圧
の場合（加圧空気を供給しない場合）には、送り合金体
の重量（数十〜数百１＆Ｏ１）が、樹脂コート層表面と
スライドガイド上面の接触面に加わるため、比較的、機
械強度、耐摩耗性の低い樹脂面が破損したり或は、摩耗
が犬きぐなり、装置の信頼性を確保することが困難であ
る。
加圧空気の圧力を、増加させてゆくと、凹部の空気圧力
によシ送シ台の重量の一部が支持されることになり、前
記接触面圧は減少してゆき、ついには、送り台の重量全
体が、空気圧力によって支持すれる。つ１す、接触面圧
がＯ［まで達する。
によシ送シ台の重量の一部が支持されることになり、前
記接触面圧は減少してゆき、ついには、送り台の重量全
体が、空気圧力によって支持すれる。つ１す、接触面圧
がＯ［まで達する。
したがってこの供給空気の圧力は、樹脂コート層の接触
面圧が０以上で、かつ、樹脂コート層の機械強度、耐摩
耗性の面で充分信頼できる接触面圧以下の所定の値に設
定される。
面圧が０以上で、かつ、樹脂コート層の機械強度、耐摩
耗性の面で充分信頼できる接触面圧以下の所定の値に設
定される。
この所定の値の半浮上状態に維持させるための供給圧力
は一般に１ＫＰ／Ｃｎｌ以下の微小な値であってその設
定はむづかしいものである。
は一般に１ＫＰ／Ｃｎｌ以下の微小な値であってその設
定はむづかしいものである。
本発明は上記半浮上状態の圧力設定の目安を与え、設定
時のバラツキ又は経年変化による各部の状態変化によっ
て供給圧がある程度変化しても半浮上状態を維持させん
とするものである。
時のバラツキ又は経年変化による各部の状態変化によっ
て供給圧がある程度変化しても半浮上状態を維持させん
とするものである。
第６図に第２図に示す装置の鉛直方向の静圧空気軸受部
の浮上特性の測定結果を示す。横軸は送り台２６に固定
したスライドブロック３２．３３に設けられたオリフィ
スに供給する圧力、縦軸はガイドブロック３０．３１に
対するスライドブロック３２．３３の浮上量を示してい
る。この第６図に見られる様に領域Ｉにおいては供給圧
力の増加に対して浮上量は緩やかな増加を示しているが
、領域■では浮上量は急激に増加している。従って半浮
上状態を維持するためには常に領域■の供給圧力でなけ
ればいけない。逆に領域Ｉ内で供給圧力が変動しても、
浮上量はそれほど変化しないことになる。本発明の装置
ではまず供給圧力を領域Ｉのほぼ中心値に設定する。測
定に用いた装置の例ではその値は約０−３５ Ｋｙ／ｃ
ｒｌとなる。それにより、供給圧力許容変動値を最大限
にとることができる。また同時に初期の設定時に厳しい
精度が要求されない。実際の手順としては、スライドブ
ロックの浮上量を変位測定器等でモニターしながら供給
圧力を徐々に上げて行（。そして浮上量が急激に増加す
る点（第５図のＡ点）を見つける。そしてその変曲点で
の圧力の半分の値を設定値として定めればよい。寸だ圧
力センサーを設けてＡ点の圧力を上限レベルに設定して
訃けば、何らかの事故等により供給圧がＡ点を越えた場
合に、その事態を検知することができる。
の浮上特性の測定結果を示す。横軸は送り台２６に固定
したスライドブロック３２．３３に設けられたオリフィ
スに供給する圧力、縦軸はガイドブロック３０．３１に
対するスライドブロック３２．３３の浮上量を示してい
る。この第６図に見られる様に領域Ｉにおいては供給圧
力の増加に対して浮上量は緩やかな増加を示しているが
、領域■では浮上量は急激に増加している。従って半浮
上状態を維持するためには常に領域■の供給圧力でなけ
ればいけない。逆に領域Ｉ内で供給圧力が変動しても、
浮上量はそれほど変化しないことになる。本発明の装置
ではまず供給圧力を領域Ｉのほぼ中心値に設定する。測
定に用いた装置の例ではその値は約０−３５ Ｋｙ／ｃ
ｒｌとなる。それにより、供給圧力許容変動値を最大限
にとることができる。また同時に初期の設定時に厳しい
精度が要求されない。実際の手順としては、スライドブ
ロックの浮上量を変位測定器等でモニターしながら供給
圧力を徐々に上げて行（。そして浮上量が急激に増加す
る点（第５図のＡ点）を見つける。そしてその変曲点で
の圧力の半分の値を設定値として定めればよい。寸だ圧
力センサーを設けてＡ点の圧力を上限レベルに設定して
訃けば、何らかの事故等により供給圧がＡ点を越えた場
合に、その事態を検知することができる。
発明の効果
上述した構成の装置においてはガイド部の鉛直方向の静
圧空気軸受を生存上状態に維持することができる。その
ためにスライドブロックの振動に対して適度な抵抗を与
えて、振動変位を抑制することができる。その７ｊめ記
録原盤のダイナミックアンバランスによって生じる振動
を抑え、記録されたトラックピッチの変動をなくすこと
ができる。
圧空気軸受を生存上状態に維持することができる。その
ためにスライドブロックの振動に対して適度な抵抗を与
えて、振動変位を抑制することができる。その７ｊめ記
録原盤のダイナミックアンバランスによって生じる振動
を抑え、記録されたトラックピッチの変動をなくすこと
ができる。
また送り台の重量は空気軸受によって支持されているた
め摺動部の摩擦抵抗はほとんどなく、スティックスリッ
プが発生しないスムーズな送りが実現できる。
め摺動部の摩擦抵抗はほとんどなく、スティックスリッ
プが発生しないスムーズな送りが実現できる。
上記の説明は記録原盤を光学系に対して移動さセル構成
のものについて述べたが、光学系を同様な構成により移
動する方式においても同様のメリットを生じる。つ捷り
、光学系移動方式に丸・いては、記録レンズがフォーカ
スサーボを受けてアクチュエータによって駆動されてお
り、そのために光学台自体に振動が発生している。寸だ
供給空気の脈流などによる振動が発生することもある。
のものについて述べたが、光学系を同様な構成により移
動する方式においても同様のメリットを生じる。つ捷り
、光学系移動方式に丸・いては、記録レンズがフォーカ
スサーボを受けてアクチュエータによって駆動されてお
り、そのために光学台自体に振動が発生している。寸だ
供給空気の脈流などによる振動が発生することもある。
これらの振動も送り速度の変動に大きな影響を与えるが
、本発明の装置のガイドはそれらの振動に対しても抑制
効果があり、速度ムラのないスムーズな送りを実現する
ことができる。
、本発明の装置のガイドはそれらの振動に対しても抑制
効果があり、速度ムラのないスムーズな送りを実現する
ことができる。
第１図は従来の原盤記録装置の概略構成図、第２図は本
発明の一実施例における原盤記録装置の送り機構部の断
面図、第３図は同スライド軸受部の斜視図、第４図は同
スライドブロックの斜視図、第６図は静圧空気軸受けの
浮上特性を示す図である。 ２１ ・・・原盤、２５・・・・・回転軸、２６・・・
・送り台、２７・・・・ナツト、２８・・・送りネジ、
３０゜３１・・・・・スライドガイド、３２，３３・・
・・・・スライドブロック、３５，３６・・・・・樹脂
コート層、３７・・凹部、３８ ・ 気体吐出用開口部
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ２Ａ 第５図
発明の一実施例における原盤記録装置の送り機構部の断
面図、第３図は同スライド軸受部の斜視図、第４図は同
スライドブロックの斜視図、第６図は静圧空気軸受けの
浮上特性を示す図である。 ２１ ・・・原盤、２５・・・・・回転軸、２６・・・
・送り台、２７・・・・ナツト、２８・・・送りネジ、
３０゜３１・・・・・スライドガイド、３２，３３・・
・・・・スライドブロック、３５，３６・・・・・樹脂
コート層、３７・・凹部、３８ ・ 気体吐出用開口部
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第３
図 ２Ａ 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 記録原盤を載置して回転する回転部を搭載した送り台と
前記記録原盤に信号を記録する光ビームの記録光学系の
いずれか一方を静圧空気軸受けで構成されたガイドによ
って相対的に移動可能に構成するとともに、前記静圧空
気軸受けへ供給する空気圧を、その静圧空気軸受けへの
供給空気圧の増加に対して鉛直方向の浮上量の増加が緩
やかな領域のほぼ中心の値に設定したことを特徴とする
原盤記録装置。 オーディオディスク等のレコード盤を作成するだめの原
盤を作成する原盤記録装置に関する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10872883A JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10872883A JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS601422A true JPS601422A (ja) | 1985-01-07 |
| JPH0535286B2 JPH0535286B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=14492029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10872883A Granted JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601422A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02297787A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-12-10 | Nippon Seiko Kk | スライド装置 |
| JP2012122514A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Nsk Ltd | 静圧気体軸受直線案内装置 |
| CN107939835A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-04-20 | 友达光电股份有限公司 | 气浮轴承模块 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5476747A (en) * | 1977-11-30 | 1979-06-19 | Fujitsu Ltd | Gas bearing |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10872883A patent/JPS601422A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5476747A (en) * | 1977-11-30 | 1979-06-19 | Fujitsu Ltd | Gas bearing |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02297787A (ja) * | 1989-02-14 | 1990-12-10 | Nippon Seiko Kk | スライド装置 |
| JP2012122514A (ja) * | 2010-12-07 | 2012-06-28 | Nsk Ltd | 静圧気体軸受直線案内装置 |
| CN107939835A (zh) * | 2017-09-06 | 2018-04-20 | 友达光电股份有限公司 | 气浮轴承模块 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0535286B2 (ja) | 1993-05-26 |
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