JPH0535286B2 - - Google Patents
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- JPH0535286B2 JPH0535286B2 JP58108728A JP10872883A JPH0535286B2 JP H0535286 B2 JPH0535286 B2 JP H0535286B2 JP 58108728 A JP58108728 A JP 58108728A JP 10872883 A JP10872883 A JP 10872883A JP H0535286 B2 JPH0535286 B2 JP H0535286B2
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- bearing
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Links
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Moving Of Heads (AREA)
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はビデオデイスクあるいは、デイジタル
オーデイオデイスク等のレコード盤を作成するた
めの原盤を作成する原盤記録装置に関する。
オーデイオデイスク等のレコード盤を作成するた
めの原盤を作成する原盤記録装置に関する。
従来例の構成とその問題点
従来の原盤記録装置の概略の構成の例を第1図
に示す。1は表面にフオトレジストを塗布したガ
ラスよりなる記録原盤であり、軸受2によつて回
転支持された回転軸3に固定されており、DDモ
ータ等の回転駆動手段(図示せず)により回転運
動を与えられる。軸受2を搭載した送り台4は、
送り台4に固定されたナツト5を介し、該ナツト
5と組合された送りネジ6の回転により直線運動
を与えられる。送りネジ9は、駆動モータ7によ
り、減速機8、軸継手9を経て駆動される。10は
送りネジを回転可能に支持する支持台である。11
は送り台4の直線運動を案内するスライド軸受で
あり、工作機会の刃物台等に使用されるすべり軸
受が用いられている。
に示す。1は表面にフオトレジストを塗布したガ
ラスよりなる記録原盤であり、軸受2によつて回
転支持された回転軸3に固定されており、DDモ
ータ等の回転駆動手段(図示せず)により回転運
動を与えられる。軸受2を搭載した送り台4は、
送り台4に固定されたナツト5を介し、該ナツト
5と組合された送りネジ6の回転により直線運動
を与えられる。送りネジ9は、駆動モータ7によ
り、減速機8、軸継手9を経て駆動される。10は
送りネジを回転可能に支持する支持台である。11
は送り台4の直線運動を案内するスライド軸受で
あり、工作機会の刃物台等に使用されるすべり軸
受が用いられている。
原盤への画像や音声情報の記録(以下カツテイ
ングとも呼ぶ)は、レーザー光線12により行な
われる。レーザー光線12は、レーザー発振器1
3によつて発生され、信号源17よりの記録すべ
き映像信号及び音声信号は変調器14によつて、
該レーザー光線に搬送せしめる。15は光学台1
6に固定されたミラーであり、レーザー光線12
を原盤上に垂直に入射させるものである。又、上
述の装置を搭載した定盤18は、空気ダンパ19
によつて支持されており、床面の振動がデイスク
原盤記録装置に伝わらない構成となつている。
ングとも呼ぶ)は、レーザー光線12により行な
われる。レーザー光線12は、レーザー発振器1
3によつて発生され、信号源17よりの記録すべ
き映像信号及び音声信号は変調器14によつて、
該レーザー光線に搬送せしめる。15は光学台1
6に固定されたミラーであり、レーザー光線12
を原盤上に垂直に入射させるものである。又、上
述の装置を搭載した定盤18は、空気ダンパ19
によつて支持されており、床面の振動がデイスク
原盤記録装置に伝わらない構成となつている。
以上の構成により、固定されたレーザー光線1
2に対して、原盤1が相対的に、直線及び回転の
運動を同時に行ない、原盤上に螺旋 状に信号が
カツテイングされていく。カツテイングされた原
盤をもとに、エツチング、電鋳等の工程を経て、
最終のレコード盤を樹脂成形するためのスタンパ
ーと呼ばれる成形金型が作成される。したがつ
て、デイスク記録原盤作成装置でカツテイングさ
れた信号は、そのままレコード盤に転写されるこ
とになるが、この記録信号のトラツクピツチ精度
は、再生画像及び音声の品質に重大な影響を及ぼ
す。つまり、デイスク記録原盤作成装置におい
て、原盤と、レーザー光線とが所定の相対運動を
行なわない場合には、記録される螺旋状のトラツ
クが、ゆらぎ、トラツクピツチが変動する。この
トラツクピツチの変動は、レコード盤の信号再生
時、再生用ピツクアツプが正しく記録トラツク上
を走行することを困難にするものであり、又、極
端な場合には、隣接する記録トラツクがオーバー
ラツプし、信号の記録再生自体が不可能になる。
したがつて、デイスク記録原盤作成装置の機構
部、特に送り台の直線運動は極めて高い精度が要
求される。ちなみに、ある種のビデオデイスクの
デイスク記録原盤作成装置においては、隣接する
トラツクピツチは1.35μm±0.1μmの精度を確保
する必要があり、原盤の回転数が900rpmである
ので送り台の送り速度は1.215mm/minという極
低速である。
2に対して、原盤1が相対的に、直線及び回転の
運動を同時に行ない、原盤上に螺旋 状に信号が
カツテイングされていく。カツテイングされた原
盤をもとに、エツチング、電鋳等の工程を経て、
最終のレコード盤を樹脂成形するためのスタンパ
ーと呼ばれる成形金型が作成される。したがつ
て、デイスク記録原盤作成装置でカツテイングさ
れた信号は、そのままレコード盤に転写されるこ
とになるが、この記録信号のトラツクピツチ精度
は、再生画像及び音声の品質に重大な影響を及ぼ
す。つまり、デイスク記録原盤作成装置におい
て、原盤と、レーザー光線とが所定の相対運動を
行なわない場合には、記録される螺旋状のトラツ
クが、ゆらぎ、トラツクピツチが変動する。この
トラツクピツチの変動は、レコード盤の信号再生
時、再生用ピツクアツプが正しく記録トラツク上
を走行することを困難にするものであり、又、極
端な場合には、隣接する記録トラツクがオーバー
ラツプし、信号の記録再生自体が不可能になる。
したがつて、デイスク記録原盤作成装置の機構
部、特に送り台の直線運動は極めて高い精度が要
求される。ちなみに、ある種のビデオデイスクの
デイスク記録原盤作成装置においては、隣接する
トラツクピツチは1.35μm±0.1μmの精度を確保
する必要があり、原盤の回転数が900rpmである
ので送り台の送り速度は1.215mm/minという極
低速である。
この様な極低速下で、かつ、回転体を搭載した
相当重量の送り台を、1.35μm当り0.1μm以下の
送りムラという極めてスムーズに送る上で、前記
従来のデイスク記録原盤作成装置は以下の問題点
を有している。つまり、重量物を極低速で摺動さ
せる場合、送り台のスライド軸受がすべり軸受で
構成されていると、不安定な振動であるステイツ
クスリツプが起こり、送り台の送り速度にムラが
生じ、所定のトラツクピツチ精度が確保されない
という点である。このステイツクスリツプ現象
は、例えば、静圧気体軸受、或はころがり軸受を
スライド軸受部に採用することにより、解消、も
しくは、大巾に低減されることが知られている
が、反面、送り台に搭載された原盤及び回転軸か
らなる回転体の不釣合回転による遠心力により、
送り台に、原盤の回転に同期した振動力が加えら
れるため、送り台が振動するという課題があり、
実用上、使用不可能である。一方、すべり軸受を
用いたスライド軸受の場合には、この不釣合回転
による振動力は、摺動部分での摩擦による振動エ
ネルギの吸収により、送り台の振動は起こらない
が、前述の如く、ステイツクスリツプ振動発生の
問題がある。いずれにせよ、従来知られている軸
受の形成では、ステイツスリツプ、或は、原盤の
回転不釣合による振動を、0.1μm以下の振巾に抑
えるのは極めて困難であつた。
相当重量の送り台を、1.35μm当り0.1μm以下の
送りムラという極めてスムーズに送る上で、前記
従来のデイスク記録原盤作成装置は以下の問題点
を有している。つまり、重量物を極低速で摺動さ
せる場合、送り台のスライド軸受がすべり軸受で
構成されていると、不安定な振動であるステイツ
クスリツプが起こり、送り台の送り速度にムラが
生じ、所定のトラツクピツチ精度が確保されない
という点である。このステイツクスリツプ現象
は、例えば、静圧気体軸受、或はころがり軸受を
スライド軸受部に採用することにより、解消、も
しくは、大巾に低減されることが知られている
が、反面、送り台に搭載された原盤及び回転軸か
らなる回転体の不釣合回転による遠心力により、
送り台に、原盤の回転に同期した振動力が加えら
れるため、送り台が振動するという課題があり、
実用上、使用不可能である。一方、すべり軸受を
用いたスライド軸受の場合には、この不釣合回転
による振動力は、摺動部分での摩擦による振動エ
ネルギの吸収により、送り台の振動は起こらない
が、前述の如く、ステイツクスリツプ振動発生の
問題がある。いずれにせよ、従来知られている軸
受の形成では、ステイツスリツプ、或は、原盤の
回転不釣合による振動を、0.1μm以下の振巾に抑
えるのは極めて困難であつた。
発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するものであ
り、高精度のカツテイングを実現した、デイスク
記録原盤記録装置を提供するものである。
り、高精度のカツテイングを実現した、デイスク
記録原盤記録装置を提供するものである。
発明の構成
記録原盤を載置して回転する回転部を搭載した
送り台と前記記録原盤に信号を記録する光ビーム
の記録光学系のいずれか一方を静圧空気軸受けで
構成されたガイドによつて相対的に移動可能に構
成するとともに、前記静圧空気軸受面とその相対
する面のいずれかに樹脂コート層を設け、前記静
圧空気軸受へ供給する空気圧を、その静圧空気軸
受への供給空気圧の増加に対して鉛直方向の浮上
量の増加が緩やかな領域内に設定することによ
り、半浮上状態としたことを特徴とする原盤記録
装置であり、摺動摩擦に起因するステイツクスリ
ツプ振動の発生を抑圧するとともに、原盤の不釣
合回転に伴なう振動を抑圧し、送り台の直線運動
精度を大巾に向上し、高精度の情報信号記録を可
能にするものである。
送り台と前記記録原盤に信号を記録する光ビーム
の記録光学系のいずれか一方を静圧空気軸受けで
構成されたガイドによつて相対的に移動可能に構
成するとともに、前記静圧空気軸受面とその相対
する面のいずれかに樹脂コート層を設け、前記静
圧空気軸受へ供給する空気圧を、その静圧空気軸
受への供給空気圧の増加に対して鉛直方向の浮上
量の増加が緩やかな領域内に設定することによ
り、半浮上状態としたことを特徴とする原盤記録
装置であり、摺動摩擦に起因するステイツクスリ
ツプ振動の発生を抑圧するとともに、原盤の不釣
合回転に伴なう振動を抑圧し、送り台の直線運動
精度を大巾に向上し、高精度の情報信号記録を可
能にするものである。
実施例の説明
以下に、本発明の一実施例について第2〜5図
を参照しながら説明する。
を参照しながら説明する。
第2図は、本発明の原盤記録装置の送り台部の
送り方向から見た構成を示すものである。図にお
いて21は原盤、22はこの原盤を搭載する回転
テーブルであり、DDモータ23により回転駆動
され、静圧気体型の軸受24によつて回転支持さ
れた回転軸25に固定されている。前記軸受24
は送り台26に固定されている。送りネジ27の
回転により、ナツト28を介して、送り台26は
直線駆動される。送り台26の直線運動の案内
は、基台29に固定された鋳鉄よりなるスライド
ガイド30,31と、送り台26に固定されたス
ライドブロツク32,33,34によつて構成さ
れるスライド軸受によつてなされる。ここで、ス
ライドブロツク32,33は送り台26の鉛直荷
重を支持する軸受であり、スライドブロツク34
は、送り台26の水平方向の位置をガイドするも
のであり、静圧空気軸受により構成されている。
鉛直方向の荷重を支持するスライドブロツク3
2,33の下面には潤滑性のよいテフロンよりな
る樹脂コート層35,36が形成されており、ス
ライドガイド30,31の上面と接触摺動する。
第3図はスライドガイド30及びスライドブロツ
ク32の部分を示す斜視図である。
送り方向から見た構成を示すものである。図にお
いて21は原盤、22はこの原盤を搭載する回転
テーブルであり、DDモータ23により回転駆動
され、静圧気体型の軸受24によつて回転支持さ
れた回転軸25に固定されている。前記軸受24
は送り台26に固定されている。送りネジ27の
回転により、ナツト28を介して、送り台26は
直線駆動される。送り台26の直線運動の案内
は、基台29に固定された鋳鉄よりなるスライド
ガイド30,31と、送り台26に固定されたス
ライドブロツク32,33,34によつて構成さ
れるスライド軸受によつてなされる。ここで、ス
ライドブロツク32,33は送り台26の鉛直荷
重を支持する軸受であり、スライドブロツク34
は、送り台26の水平方向の位置をガイドするも
のであり、静圧空気軸受により構成されている。
鉛直方向の荷重を支持するスライドブロツク3
2,33の下面には潤滑性のよいテフロンよりな
る樹脂コート層35,36が形成されており、ス
ライドガイド30,31の上面と接触摺動する。
第3図はスライドガイド30及びスライドブロツ
ク32の部分を示す斜視図である。
第4図は、スライドブロツク32の構造を示す
もので、スライドブロツク32の下面(第4図で
は図の上側)に設けた樹脂コート層35には、2
ケ所の凹部が設けられている。この凹部37の底
面には、それぞれ気体吐出用の給気孔38が設け
られており、コンプレツサ等の加圧空気源39よ
り供給された加圧空気が、パイプ40を介して凹
部37に供給される。
もので、スライドブロツク32の下面(第4図で
は図の上側)に設けた樹脂コート層35には、2
ケ所の凹部が設けられている。この凹部37の底
面には、それぞれ気体吐出用の給気孔38が設け
られており、コンプレツサ等の加圧空気源39よ
り供給された加圧空気が、パイプ40を介して凹
部37に供給される。
他方のスライドブロツク33の構成も同様であ
る。
る。
上記の構成において、スライドブロツク32,
33の下面の樹脂コート層35,36の表面と、
スライドガイド30,31の上面との接続面圧
は、前記凹部37に供給する加圧空気の圧力を加
減することにより、任意に設定することができ
る、。つまり、加圧空気の供給圧が大気圧の場合
(加圧空気を供給しない場合)には、送り台全体
の重量(数十〜数百Kgω)が、樹脂コート層表面
とスライドガイド上面の接触面に加わるため、比
較的、機械強度、耐摩耗性の低い樹脂面が破損し
たり或は、摩耗が大きくなり、装置の信頼性を確
保することが困難である。
33の下面の樹脂コート層35,36の表面と、
スライドガイド30,31の上面との接続面圧
は、前記凹部37に供給する加圧空気の圧力を加
減することにより、任意に設定することができ
る、。つまり、加圧空気の供給圧が大気圧の場合
(加圧空気を供給しない場合)には、送り台全体
の重量(数十〜数百Kgω)が、樹脂コート層表面
とスライドガイド上面の接触面に加わるため、比
較的、機械強度、耐摩耗性の低い樹脂面が破損し
たり或は、摩耗が大きくなり、装置の信頼性を確
保することが困難である。
加圧空気の圧力を、増加させてゆくと、凹部の
空気圧力により送り台の重量の一部が支持される
ことになり、前記接触面圧は減少してゆき、つい
には、送り台の重量全体が、空気圧力によつて支
持される。つまり、接触面圧が0にまで達する。
したがつてこの供給空気の圧力は、樹脂コート層
の接触面圧が0以上で、かつ、樹脂コート層の機
械強度、耐摩耗性の面で充分信頼できる樹脂コー
ト層が弾性変形を受ける接触面圧以下の所定の値
に設定される。
空気圧力により送り台の重量の一部が支持される
ことになり、前記接触面圧は減少してゆき、つい
には、送り台の重量全体が、空気圧力によつて支
持される。つまり、接触面圧が0にまで達する。
したがつてこの供給空気の圧力は、樹脂コート層
の接触面圧が0以上で、かつ、樹脂コート層の機
械強度、耐摩耗性の面で充分信頼できる樹脂コー
ト層が弾性変形を受ける接触面圧以下の所定の値
に設定される。
この所定の値の半浮上状態に維持させるための
供給圧力は一般に1Kg/cm2以下の微小な値であつ
てその設定はむづかしいものである。
供給圧力は一般に1Kg/cm2以下の微小な値であつ
てその設定はむづかしいものである。
本発明は上記半浮上状態の圧力設定の目安を与
え、設定時のバラツキ又は経年変化による各部の
状態変化によつて供給圧がある程度変化しても半
浮上状態を維持させんとするものである。
え、設定時のバラツキ又は経年変化による各部の
状態変化によつて供給圧がある程度変化しても半
浮上状態を維持させんとするものである。
第5図に第2図に示す装置の鉛直方向の静圧空
気軸受部の浮上特性の測定結果を示す。横軸は送
り台26に固定したスライドブロツク32,33
に設けられたオリフイスに供給する圧力、縦軸は
ガイドブロツク30,31に対するスライドブロ
ツク32,33の浮上量を示している。この第5
図に見られる様に領域においては供給圧力の増
加に対して浮上量は緩やかな増加を示している
が、領域では浮上量は急激に増加している。従
つて半浮上状態を安定に維持するためには常に領
域の供給圧力でなければいけない。逆に領域
内で供給圧力が変動しても、浮上量はそれほど変
化しないことになる。本発明の装置の一実施例で
はまず供給圧力を領域のほぼ中心値に設定す
る。測定に用いた装置の例ではその値は約0.35
Kg/cm2となる。それにより、供給圧力許容変動値
を最大限にとることができる。また同時に初期の
設定時に厳しい精度が要求されない。実際の手順
としては、スライドブロツクの浮上量を変位測定
器等でモニターしながら供給圧力を徐々に上げて
行く。そして浮上量が急激に増加する点(第5図
のA点)を見つける。そしてその変曲点での圧力
の半分の値を設定値として定めればよい。また圧
力センサーを設けてA点の圧力を上限レベルに設
定しておけば、何らかの事故等により供給圧がA
点を越えた場合に、その事態を検知することがで
きる。
気軸受部の浮上特性の測定結果を示す。横軸は送
り台26に固定したスライドブロツク32,33
に設けられたオリフイスに供給する圧力、縦軸は
ガイドブロツク30,31に対するスライドブロ
ツク32,33の浮上量を示している。この第5
図に見られる様に領域においては供給圧力の増
加に対して浮上量は緩やかな増加を示している
が、領域では浮上量は急激に増加している。従
つて半浮上状態を安定に維持するためには常に領
域の供給圧力でなければいけない。逆に領域
内で供給圧力が変動しても、浮上量はそれほど変
化しないことになる。本発明の装置の一実施例で
はまず供給圧力を領域のほぼ中心値に設定す
る。測定に用いた装置の例ではその値は約0.35
Kg/cm2となる。それにより、供給圧力許容変動値
を最大限にとることができる。また同時に初期の
設定時に厳しい精度が要求されない。実際の手順
としては、スライドブロツクの浮上量を変位測定
器等でモニターしながら供給圧力を徐々に上げて
行く。そして浮上量が急激に増加する点(第5図
のA点)を見つける。そしてその変曲点での圧力
の半分の値を設定値として定めればよい。また圧
力センサーを設けてA点の圧力を上限レベルに設
定しておけば、何らかの事故等により供給圧がA
点を越えた場合に、その事態を検知することがで
きる。
発明の効果
上述した構成の装置においてはガイド部の鉛直
方向の静圧空気軸受を半浮上状態に維持すること
ができる。そのためにスライドブロツクの振動に
対して適度な抵抗を与えて、振動変位を抑制する
ことができる。そのため記録原盤のダイナミツク
アンバランスによつて生じる振動を抑え、記録さ
れたトラツクピツチの変動をなくすことができ
る。また送り台の重量は空気軸受によつて支持さ
れているため摺動部の摩擦抵抗はほとんどなく、
ステイツクスリツプが発生しないスムーズな送り
が実現できる。
方向の静圧空気軸受を半浮上状態に維持すること
ができる。そのためにスライドブロツクの振動に
対して適度な抵抗を与えて、振動変位を抑制する
ことができる。そのため記録原盤のダイナミツク
アンバランスによつて生じる振動を抑え、記録さ
れたトラツクピツチの変動をなくすことができ
る。また送り台の重量は空気軸受によつて支持さ
れているため摺動部の摩擦抵抗はほとんどなく、
ステイツクスリツプが発生しないスムーズな送り
が実現できる。
上記の説明は記録原盤を光学系に対して移動さ
せる構成のものについて述べたが、光学系を同様
な構成により移動する方式においても同様のメリ
ツトを生じる。つまり、光学系移動方式において
は、記録レンズがフオーカスサーボを受けてアク
チユエータによつて駆動されており、そのために
光学台自体に振動が発生している。また供給空気
の脈流などによる振動が発生することもある。こ
れらの振動も送り速度の変動に大きな影響を与え
るが、本発明の装置のガイドはそれらの振動に対
しても抑制効果があり、速度ムラのないスムーズ
な送りを実現することができる。
せる構成のものについて述べたが、光学系を同様
な構成により移動する方式においても同様のメリ
ツトを生じる。つまり、光学系移動方式において
は、記録レンズがフオーカスサーボを受けてアク
チユエータによつて駆動されており、そのために
光学台自体に振動が発生している。また供給空気
の脈流などによる振動が発生することもある。こ
れらの振動も送り速度の変動に大きな影響を与え
るが、本発明の装置のガイドはそれらの振動に対
しても抑制効果があり、速度ムラのないスムーズ
な送りを実現することができる。
第1図は従来の原盤記録装置の概略構成図、第
2図は本発明の一実施例における原盤記録装置の
送り機構部の断面図、第3図は同スライド軸受部
の斜視図、第4図は同スライドブロツクの斜視
図、第5図は静圧空気軸受けの浮上特性を示す図
である。 21……原盤、25……回転軸、26……送り
台、27……ナツト、28……送りネジ、30,
31……スライドガイド、32,33……スライ
ドブロツク、35,36……樹脂コート層、37
……凹部、38……気体吐出用開口部。
2図は本発明の一実施例における原盤記録装置の
送り機構部の断面図、第3図は同スライド軸受部
の斜視図、第4図は同スライドブロツクの斜視
図、第5図は静圧空気軸受けの浮上特性を示す図
である。 21……原盤、25……回転軸、26……送り
台、27……ナツト、28……送りネジ、30,
31……スライドガイド、32,33……スライ
ドブロツク、35,36……樹脂コート層、37
……凹部、38……気体吐出用開口部。
Claims (1)
- 1 記録原盤を載置して回転する回転部を搭載し
た送り台と前記記録原盤に信号を記録する光ビー
ムを発生する記録光学系のいずれか一方を、静圧
空気軸受で構成されたガイドによつて相対的に移
動可能に構成するとともに、前記静圧空気軸受面
と、その相対する面のいずれかに樹脂コート層を
設け、前記静圧空気軸受へ供給する空気圧を、そ
の静圧空気軸受への供給空気圧の増加に対し鉛直
方向の浮上量の増加が緩やかな領域内に設定する
ことにより、半浮上状態としたことを特徴とする
原盤記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10872883A JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10872883A JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS601422A JPS601422A (ja) | 1985-01-07 |
JPH0535286B2 true JPH0535286B2 (ja) | 1993-05-26 |
Family
ID=14492029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10872883A Granted JPS601422A (ja) | 1983-06-16 | 1983-06-16 | 原盤記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS601422A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2867408B2 (ja) * | 1989-02-14 | 1999-03-08 | 日本精工株式会社 | スライド装置 |
JP5569375B2 (ja) * | 2010-12-07 | 2014-08-13 | 日本精工株式会社 | 静圧気体軸受直線案内装置、工作機械、測定装置及び半導体製造装置 |
TWI642858B (zh) * | 2017-09-06 | 2018-12-01 | 友達光電股份有限公司 | 氣浮軸承模組 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5476747A (en) * | 1977-11-30 | 1979-06-19 | Fujitsu Ltd | Gas bearing |
-
1983
- 1983-06-16 JP JP10872883A patent/JPS601422A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5476747A (en) * | 1977-11-30 | 1979-06-19 | Fujitsu Ltd | Gas bearing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS601422A (ja) | 1985-01-07 |
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