JPS601400Y2 - 静電容量型圧力伝送器 - Google Patents
静電容量型圧力伝送器Info
- Publication number
- JPS601400Y2 JPS601400Y2 JP11311679U JP11311679U JPS601400Y2 JP S601400 Y2 JPS601400 Y2 JP S601400Y2 JP 11311679 U JP11311679 U JP 11311679U JP 11311679 U JP11311679 U JP 11311679U JP S601400 Y2 JPS601400 Y2 JP S601400Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- fixed
- movable electrode
- pressure transmitter
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、圧力を測定ダイヤフラムで受けて、流体の圧
力又は差圧を移動電極及び固定電極間の電気容量の差動
的変化とし取り出す差圧伝送器を含む静電容量型圧力伝
送器に関するものである。
力又は差圧を移動電極及び固定電極間の電気容量の差動
的変化とし取り出す差圧伝送器を含む静電容量型圧力伝
送器に関するものである。
この種静電容量型圧力伝送器の移動電極を、伝送器の本
体から電気的に絶縁された状態で、外部電気回路に接続
するには、従来移動電極の両側にスプリングを設けて、
このスプリングを介して接続するか（実公昭５０−３３
１．８吋差圧伝送器参照）或は移動電極を支えるリング
に、外部電気回路用外部端子からの導線を直接取り付け
るかしている。
体から電気的に絶縁された状態で、外部電気回路に接続
するには、従来移動電極の両側にスプリングを設けて、
このスプリングを介して接続するか（実公昭５０−３３
１．８吋差圧伝送器参照）或は移動電極を支えるリング
に、外部電気回路用外部端子からの導線を直接取り付け
るかしている。
ところが、スプリングを介して接続したのでは、接続が
不安定になる恐れがあり、特に圧力伝送器を振動の多い
場所等で使用したときは、この恐れが一層大きなものと
なる。
不安定になる恐れがあり、特に圧力伝送器を振動の多い
場所等で使用したときは、この恐れが一層大きなものと
なる。
又、移動電極を支えるリングに直接導線を取り付けるに
は、リングの加工を必要と腰リングの変形による特性変
化を招いたりする恐れがある。
は、リングの加工を必要と腰リングの変形による特性変
化を招いたりする恐れがある。
本考案は、これらの問題を解決するため、移動電極に対
向して固定電極が形成された絶縁性固定電極支持体に移
動電極接続用電極を設け、この接続用電極を介して移動
電極を外部電気回路に接続するようにしたものである。
向して固定電極が形成された絶縁性固定電極支持体に移
動電極接続用電極を設け、この接続用電極を介して移動
電極を外部電気回路に接続するようにしたものである。
以下図により本考案実施例を説明する。
第１図は低圧側及び高圧側測定ダイヤフラム及びこれら
を連結する連結棒を有する差圧伝送器に関する本考案実
施例を示す縦断面図、第２図はその固定電極と移動電極
接続用電極とを備えた絶縁性固定電極支持体の正面図、
第３図は第２図の■−■断面図である。
を連結する連結棒を有する差圧伝送器に関する本考案実
施例を示す縦断面図、第２図はその固定電極と移動電極
接続用電極とを備えた絶縁性固定電極支持体の正面図、
第３図は第２図の■−■断面図である。
第１図において、１は静電容量型差圧伝送器の本体で、
両側に夫々低圧側測定ダイヤフラム２及び高圧側測定ダ
イヤフラム３が取り付けられ、これらダイヤフラム２，
３の中央部が、本体１の貫通孔４を貫通する連結棒５に
より連結されている。
両側に夫々低圧側測定ダイヤフラム２及び高圧側測定ダ
イヤフラム３が取り付けられ、これらダイヤフラム２，
３の中央部が、本体１の貫通孔４を貫通する連結棒５に
より連結されている。
６は連結棒５の中央部に取り付けられた移動電極で、連
結棒５に嵌め込まれた絶縁性カラー７゜７′及び移動電
極６に嵌め込まれた絶縁性カラー８により、連結棒５と
移動電極６との間が完全に絶縁されている。
結棒５に嵌め込まれた絶縁性カラー７゜７′及び移動電
極６に嵌め込まれた絶縁性カラー８により、連結棒５と
移動電極６との間が完全に絶縁されている。
９は移動電極６に溶接等で固定された導電性中央板ばね
で、その外周が導電性リング１０に溶接等により固定さ
れている。
で、その外周が導電性リング１０に溶接等により固定さ
れている。
１１．１２は第１、第２の絶縁性の固定極支持体で、本
体１内に設けられた室１３内に挿入され、夫々の表面に
蒸着、塗装等により形成された第１、第２の固定電極１
４．１５が、僅かな間隙をもって移動電極６の両側に夫
々対向するよう配置されている。
体１内に設けられた室１３内に挿入され、夫々の表面に
蒸着、塗装等により形成された第１、第２の固定電極１
４．１５が、僅かな間隙をもって移動電極６の両側に夫
々対向するよう配置されている。
１６は移動電極接続用電極で、第１、第２の固定電極支
持体１１．１２の少なくとも一方、例えば第１の固定電
極支持体１１に、第２図及び第３図に示すように形成さ
れている。
持体１１．１２の少なくとも一方、例えば第１の固定電
極支持体１１に、第２図及び第３図に示すように形成さ
れている。
即ち、第１の固定電極支持体１１の表面に形成された第
１の固定電極１４の外側に移動電極接続用電極１６が半
円弧状に形成されている。
１の固定電極１４の外側に移動電極接続用電極１６が半
円弧状に形成されている。
又、この移動電極接続用電極１６及び第１の固定電極１
４が、薄い第１の固定電極支持体１１を通して外部に接
続され易いよう、第１の固定電極１４の一部を切り欠い
て、この部分より移動電極接続用電極１６が第１の固定
電極１４と同様に第１の固定電極支持体１１の中を通し
て、第１図に示すように、本体１に設けられた外部電気
回路への接続用ハーメチック・シールの端子１７．１８
に夫々接続されている。
４が、薄い第１の固定電極支持体１１を通して外部に接
続され易いよう、第１の固定電極１４の一部を切り欠い
て、この部分より移動電極接続用電極１６が第１の固定
電極１４と同様に第１の固定電極支持体１１の中を通し
て、第１図に示すように、本体１に設けられた外部電気
回路への接続用ハーメチック・シールの端子１７．１８
に夫々接続されている。
又、第２の固定電極１５は、同様第２の固定電極支持体
１２の中を通して、ハーメチック・シールの端子１９に
接続されている。
１２の中を通して、ハーメチック・シールの端子１９に
接続されている。
そして、導電性リング１０が第１１第２の固定電極支持
体１１．１２に挾まれて、導電性リング１０が移動電極
接続用電極１６に接続され、導電性リング１０が本体１
から絶縁されるよう、導電性リング１０と本体１との間
に間隙が保たれるようになっている。
体１１．１２に挾まれて、導電性リング１０が移動電極
接続用電極１６に接続され、導電性リング１０が本体１
から絶縁されるよう、導電性リング１０と本体１との間
に間隙が保たれるようになっている。
又、２０．２１はフランジで、夫々導入口２２．２３を
有し、フランジ２０が低圧側測定ダイヤフラム２側の本
体１に、フランジ２１が高圧側測定ダイヤプラム３側の
本体１にボルト・ナツト２４により取り付けられ、低圧
側及び高圧側測定ダイヤフラム２，３の間に形成された
室内にシリコン油導非圧縮性の封液２５が密封された構
成になっている。
有し、フランジ２０が低圧側測定ダイヤフラム２側の本
体１に、フランジ２１が高圧側測定ダイヤプラム３側の
本体１にボルト・ナツト２４により取り付けられ、低圧
側及び高圧側測定ダイヤフラム２，３の間に形成された
室内にシリコン油導非圧縮性の封液２５が密封された構
成になっている。
このような構成により、導入口２２．２３より低圧Ｐ、
及び高圧Ｐ２が夫々導入されると、圧力の変化により低
圧側及び高圧側測定ダイヤフラム２゜３が変位して、連
結棒５を介し、て移動電極６が移動するため、移動電極
６と第１、第２の固定電極１４．１５との間の電気容量
が差動的に変位し、端子１７，１８．１９を外部電気回
路に接続して、低圧Ｐ１及び高圧Ｐ２の差圧を、その差
圧に応じた電気信号に変換することができる。
及び高圧Ｐ２が夫々導入されると、圧力の変化により低
圧側及び高圧側測定ダイヤフラム２゜３が変位して、連
結棒５を介し、て移動電極６が移動するため、移動電極
６と第１、第２の固定電極１４．１５との間の電気容量
が差動的に変位し、端子１７，１８．１９を外部電気回
路に接続して、低圧Ｐ１及び高圧Ｐ２の差圧を、その差
圧に応じた電気信号に変換することができる。
この場合、移動電極６が、絶縁性カラー７゜；７′及び
８により連結棒５と完全に絶縁され、導電性リング１０
と本体１との間に間隙が保たれているので、移動電極６
が、電気的に絶縁された状態で、移動電極接続用電極１
６を介して端子１７に接続される。
８により連結棒５と完全に絶縁され、導電性リング１０
と本体１との間に間隙が保たれているので、移動電極６
が、電気的に絶縁された状態で、移動電極接続用電極１
６を介して端子１７に接続される。
そして、移動電極６を固定極支持体１１に設けた移動電
極接続用電極１６を介して、外部電気回路に接続するた
めの端子１７に電気的に接続するようにしたので、従来
のように、移動電極が移動するために接触不良を起こし
たり、断線したりする心配がない。
極接続用電極１６を介して、外部電気回路に接続するた
めの端子１７に電気的に接続するようにしたので、従来
のように、移動電極が移動するために接触不良を起こし
たり、断線したりする心配がない。
又、上記実施例においては、移動電極接続用電極１６を
半環状にして、接触面積をできるだけ大きくしであるの
で、接触不良が生じる恐れがない。
半環状にして、接触面積をできるだけ大きくしであるの
で、接触不良が生じる恐れがない。
第４図は、低圧側及び高圧側測定ダイヤプラムを有する
が、これらを連結する連結軸を有せず、中央板ばねが移
動電極を兼ねる３枚膜形の差圧伝送器に関する本考案実
施例を示す縦断面図、第５図は測定ダイヤフラムが１個
しかない圧力伝送器に関する本考案実施例を示す縦断面
図である。
が、これらを連結する連結軸を有せず、中央板ばねが移
動電極を兼ねる３枚膜形の差圧伝送器に関する本考案実
施例を示す縦断面図、第５図は測定ダイヤフラムが１個
しかない圧力伝送器に関する本考案実施例を示す縦断面
図である。
これらの実施例に関しては、第１図に示す実施例の要素
と同一要素には同一符号を付して説明を省略し、異る部
分に付でのみ説明する。
と同一要素には同一符号を付して説明を省略し、異る部
分に付でのみ説明する。
第４図において、９ａは中央板ばねで、移動電極を兼ね
ている。
ている。
そして、第１図に示す実施例のように、低圧側測定ダイ
ヤフラム２と高圧側測定ダイヤフラム３を連結する連結
棒がなく、第１図に示す実施例と同様、中央板ばね９ａ
の周囲が、導電性リング１０に挾まれて第１、第２の絶
縁性固定電極、支持体１１．１２間に固定され、少なく
とも導電性リング１０の一方の面が、移動電極接続用電
極１６に接触し、導電性リング１０の外周が本体１と離
れて本体１と電気的に絶縁された構造になっている。
ヤフラム２と高圧側測定ダイヤフラム３を連結する連結
棒がなく、第１図に示す実施例と同様、中央板ばね９ａ
の周囲が、導電性リング１０に挾まれて第１、第２の絶
縁性固定電極、支持体１１．１２間に固定され、少なく
とも導電性リング１０の一方の面が、移動電極接続用電
極１６に接触し、導電性リング１０の外周が本体１と離
れて本体１と電気的に絶縁された構造になっている。
従って、導入口２２，２３より低圧Ｐ、及び高圧Ｐ２が
夫々導入されると、圧力の変化により低圧側及び高圧側
測定ダイヤフラム２，３が変位して、中央板ばね（移動
電極）９ａが変位するため、第１図に示した実施例と同
様、低圧Ｐ１及び高圧Ｐ２の差圧を、その差圧に応じた
電気信号に変換することができる。
夫々導入されると、圧力の変化により低圧側及び高圧側
測定ダイヤフラム２，３が変位して、中央板ばね（移動
電極）９ａが変位するため、第１図に示した実施例と同
様、低圧Ｐ１及び高圧Ｐ２の差圧を、その差圧に応じた
電気信号に変換することができる。
そして、この場合も、第１図に示した実施例と同様、移
動電極（中央板ばね９ａ）が移動電極接続用電極１６を
介して外部電気回路に接続されるので、同様な効果があ
る。
動電極（中央板ばね９ａ）が移動電極接続用電極１６を
介して外部電気回路に接続されるので、同様な効果があ
る。
第５図において、１ａは静電容量型圧力伝送器の本体、
３ａは測定ダイヤフラムで、測定ダイヤフラムはこの１
枚しかなく連結棒５ａにより移動電極６に連結され、連
結棒５ａと移動電極６との間にカラー７′、８が挿入さ
れ、第１図に示す実施例と同様、この間が完全に絶縁さ
れた構造になっている。
３ａは測定ダイヤフラムで、測定ダイヤフラムはこの１
枚しかなく連結棒５ａにより移動電極６に連結され、連
結棒５ａと移動電極６との間にカラー７′、８が挿入さ
れ、第１図に示す実施例と同様、この間が完全に絶縁さ
れた構造になっている。
従って、導入口２３より圧力Ｐが導入されると、圧力の
変化により測定ダイヤフラム３ａが変位して、移動電極
６が変位するため、移動電極６と第１、第２の固定電極
１４．１５との間の電気容量を差動的に取り出して、圧
力Ｐを電気信号に変換することができる。
変化により測定ダイヤフラム３ａが変位して、移動電極
６が変位するため、移動電極６と第１、第２の固定電極
１４．１５との間の電気容量を差動的に取り出して、圧
力Ｐを電気信号に変換することができる。
そして、この場合も、第１図に示した実施例と同様、移
動電極６が移動電極接続用電極１６を介して外部電気回
路に接続されるので、同様な効果がある。
動電極６が移動電極接続用電極１６を介して外部電気回
路に接続されるので、同様な効果がある。
なお、図中２６は温度補償用ダイヤフラｌ、であるが、
本考案に関係がないので説明を省略する。
本考案に関係がないので説明を省略する。
第１図は低圧側及び高圧側測定ダイヤプラムを連結する
連結棒を有する差圧伝送器に関する本考案実施例を示す
縦断面図、第２図はその固定電極と移動電極接続用電極
とを備えた絶縁性固定支持体の正面図、第３図は第２図
のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図、第４図は連結棒のない３枚膜
形の差圧伝送器に関する本考案実施例を示す縦断面図、
第５図は測定ダイヤフラムが１枚の圧力伝送器に関する
本考案実施例を示す縦断面図である。 １・・・静電容量型差圧伝送器の本体、１ａ・・・静電
容量型圧力伝送器の本体、２・・・低圧側測定ダイヤフ
ラム、３・・・高圧側測定ダイヤフラム、３ａ・・・測
定ダイヤフラム、５，５ａ・・・連結棒、６・・・移動
電極、９ａ・・・中央板ばね（移動電極）、１１，１２
・・・第１１第２の絶縁性固定電極支持体、１４，１５
・・・第１、第２の固定電極、１６・・・移動電極接続
用電極。
連結棒を有する差圧伝送器に関する本考案実施例を示す
縦断面図、第２図はその固定電極と移動電極接続用電極
とを備えた絶縁性固定支持体の正面図、第３図は第２図
のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図、第４図は連結棒のない３枚膜
形の差圧伝送器に関する本考案実施例を示す縦断面図、
第５図は測定ダイヤフラムが１枚の圧力伝送器に関する
本考案実施例を示す縦断面図である。 １・・・静電容量型差圧伝送器の本体、１ａ・・・静電
容量型圧力伝送器の本体、２・・・低圧側測定ダイヤフ
ラム、３・・・高圧側測定ダイヤフラム、３ａ・・・測
定ダイヤフラム、５，５ａ・・・連結棒、６・・・移動
電極、９ａ・・・中央板ばね（移動電極）、１１，１２
・・・第１１第２の絶縁性固定電極支持体、１４，１５
・・・第１、第２の固定電極、１６・・・移動電極接続
用電極。
Claims (1)
- 測定ダイヤフラムが変位すると変位する移動電極と、こ
の移動電極に対向して固定電極が設けられた絶縁性の固
定電極支持体とを有する静電容量型圧力伝送器において
、前記固定電極支持体の移動電極側の面に、前記固定電
極の外側でこの固定電極と分離して移動電極接続用電極
を設け、この移動電極接続用電極に導電性リングを対接
させその導電性リングに導電性板ばねの周縁部を固定し
、その導電性板ばねに前記移動電極を電気的に接続し、
又は前記移動電極を兼ねる板はねの周縁部を固定し、前
記移動電極接続用電極を外部電気回路接続用端子に接続
したことを特徴とする静電容量型圧力伝送器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311679U JPS601400Y2 (ja) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | 静電容量型圧力伝送器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11311679U JPS601400Y2 (ja) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | 静電容量型圧力伝送器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5631342U JPS5631342U (ja) | 1981-03-26 |
| JPS601400Y2 true JPS601400Y2 (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=29345426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11311679U Expired JPS601400Y2 (ja) | 1979-08-17 | 1979-08-17 | 静電容量型圧力伝送器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS601400Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5920849U (ja) * | 1982-07-23 | 1984-02-08 | 株式会社永田製作所 | 噴射竿の操縦装置 |
-
1979
- 1979-08-17 JP JP11311679U patent/JPS601400Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5631342U (ja) | 1981-03-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4823603A (en) | Capacitance manometer having stress relief for fixed electrode | |
| CA1141185A (en) | Differential pressure transducer | |
| KR940001481B1 (ko) | 정전용량식 압력차 검출기 | |
| TWI835954B (zh) | 電容式壓力感測器設備的微機械組件 | |
| JPS6227636A (ja) | 圧力変換器 | |
| JPH0533732B2 (ja) | ||
| JPS60501177A (ja) | 圧力センサ | |
| JP4007128B2 (ja) | 圧力センサ及びセンサユニット | |
| US5925824A (en) | Capacitive differential pressure detector | |
| JPS601400Y2 (ja) | 静電容量型圧力伝送器 | |
| US20040237658A1 (en) | Capacitive micromechanical pressure sensor | |
| JP2570420B2 (ja) | 静電容量式圧力検出器 | |
| JPS58731A (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
| US5880373A (en) | Differential pressure measuring arrangement | |
| JPS6017332A (ja) | 差圧容量変換装置 | |
| JPH076506Y2 (ja) | 静電容量形差圧測定装置 | |
| JPS5930447Y2 (ja) | 圧力計 | |
| JPS5813728Y2 (ja) | 圧力伝送器 | |
| JPH0411141Y2 (ja) | ||
| JPH086275Y2 (ja) | 静電容量式荷重センサ | |
| JPH0412416Y2 (ja) | ||
| JPH02195223A (ja) | 圧力センサ素子 | |
| JPH03205528A (ja) | 静電容量式差圧検出器 | |
| JPH05142079A (ja) | 静電容量式差圧検出装置 | |
| JPH11258094A (ja) | 静電容量型圧力センサ |