JPS60136144A - 電子線分析装置 - Google Patents
電子線分析装置Info
- Publication number
- JPS60136144A JPS60136144A JP58248818A JP24881883A JPS60136144A JP S60136144 A JPS60136144 A JP S60136144A JP 58248818 A JP58248818 A JP 58248818A JP 24881883 A JP24881883 A JP 24881883A JP S60136144 A JPS60136144 A JP S60136144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- voltage
- filament
- power source
- electron beam
- acceleration voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 210000003127 knee Anatomy 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/24—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the tube and not otherwise provided for
- H01J37/242—Filament heating power supply or regulation circuits
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は電子線を励起源として試料分析を行なう電子線
分析装置に関する。
分析装置に関する。
（ロ）従来技術
一般に、エレクトロンプローブマイクロアナライサ（Ｅ
ＰＭＡ ）や定歪型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などの電子
線分析装置は、試料に励起源としての電子線を照射する
ため、第１図に示すような構成が採られている。すなわ
ち、′同図において、１．は電子銃、２はフィラメント
、４はウェーネルト、６はアノード、８は収束し、ンズ
、１０は対物紋り、１２は試料、１４は印加電圧部、１
６はフィラメント加熱電源、１８はバイアス電源、２０
は直流高圧電源である。
ＰＭＡ ）や定歪型電子顕微鏡（ＳＥＭ）などの電子
線分析装置は、試料に励起源としての電子線を照射する
ため、第１図に示すような構成が採られている。すなわ
ち、′同図において、１．は電子銃、２はフィラメント
、４はウェーネルト、６はアノード、８は収束し、ンズ
、１０は対物紋り、１２は試料、１４は印加電圧部、１
６はフィラメント加熱電源、１８はバイアス電源、２０
は直流高圧電源である。
ところで、このような構成を有する電子線分析装置では
、フィラメント加熱電源１６によりフィラメント２に印
加される電圧は電子線を安定化させる関係上、試料電流
が飽和する最小電圧に設定する必要がある。しかしなが
ら、このフィラメント２の印加電圧はバイアス電源１８
や直流高圧電源２０の調整によりそのバイアス電圧や加
速電圧が変化するとそれに伴って変化する。従来の装置
では、バイアス電圧、加速電圧と、フィラメント２の印
加電圧とはそれぞれ別個に独立したＷ１υ整振搗になっ
ているので、たとえは初期にはフィラメント２の作力１
」電圧か適正値に設定していても分析の途中で加速電圧
を変化させる場合には、印加電圧をその都度最適値に設
定し直さねはならす分析操作が極めて煩雑になる。ある
いは、補正を忘れたりして適正な分析かできなくなると
いった不具合がある。
、フィラメント加熱電源１６によりフィラメント２に印
加される電圧は電子線を安定化させる関係上、試料電流
が飽和する最小電圧に設定する必要がある。しかしなが
ら、このフィラメント２の印加電圧はバイアス電源１８
や直流高圧電源２０の調整によりそのバイアス電圧や加
速電圧が変化するとそれに伴って変化する。従来の装置
では、バイアス電圧、加速電圧と、フィラメント２の印
加電圧とはそれぞれ別個に独立したＷ１υ整振搗になっ
ているので、たとえは初期にはフィラメント２の作力１
」電圧か適正値に設定していても分析の途中で加速電圧
を変化させる場合には、印加電圧をその都度最適値に設
定し直さねはならす分析操作が極めて煩雑になる。ある
いは、補正を忘れたりして適正な分析かできなくなると
いった不具合がある。
（ハ） 目 的
本発明は従来の問題点を解消し、フィラメントの印加電
圧が常に自動的に適正値に設定できるようにして電子線
を安定して試料に原剤できるようにすることを目的とす
る。
圧が常に自動的に適正値に設定できるようにして電子線
を安定して試料に原剤できるようにすることを目的とす
る。
に）構 成
本発明は、Ｌ述の目的を達成するため、電子銃に加える
加速電圧、バイアス電圧等の電圧変動に応答して電子銃
のフィラメントへの印加電圧を制御する制御部を設けた
ものである。
加速電圧、バイアス電圧等の電圧変動に応答して電子銃
のフィラメントへの印加電圧を制御する制御部を設けた
ものである。
（ホ）実施例
以下、本発明を実施例について、第２図および第３図に
基づいて詳細に説明する。
基づいて詳細に説明する。
第２図はこの実施例の電子線分析装置の構成図であり、
第１図と対応する部分には同じ参照符か付される。第２
図において３０は電子線分析装置で、この電子線分析装
置３０は電子銃１を備える。電子銃１は電子線を放出さ
せるフィラメント２、フィラメント２から放出５れた電
子を制御゛するウェーネルト４および電子を加速するア
ノード６を有する。８は電子銃１から放出される電子を
紋る収束レンズ、１Ｏは対物紋り、１２は電子線が照射
される試料である。１４は印加電圧部で、この印加電圧
部１４はフィラメント２に加熱用の電圧を印加するフィ
ラメント加熱電源１６１．フィラメント２にエミッショ
ン電流を設定するためのバイアス電圧を加、するバイア
ス電源工８およびウェーネルト４に所定の負の加速電圧
を加える直流電圧電源２０からなる。
第１図と対応する部分には同じ参照符か付される。第２
図において３０は電子線分析装置で、この電子線分析装
置３０は電子銃１を備える。電子銃１は電子線を放出さ
せるフィラメント２、フィラメント２から放出５れた電
子を制御゛するウェーネルト４および電子を加速するア
ノード６を有する。８は電子銃１から放出される電子を
紋る収束レンズ、１Ｏは対物紋り、１２は電子線が照射
される試料である。１４は印加電圧部で、この印加電圧
部１４はフィラメント２に加熱用の電圧を印加するフィ
ラメント加熱電源１６１．フィラメント２にエミッショ
ン電流を設定するためのバイアス電圧を加、するバイア
ス電源工８およびウェーネルト４に所定の負の加速電圧
を加える直流電圧電源２０からなる。
２２は制御部で、この制御部２２はフィラメント２の適
正印加電圧値を記憶する記憶素子を有しており、そのニ
ー輸が直流高圧電源２０に、他端がフィラメント加熱電
源１６にそれぞれ接続されている。従って、分析時に直
流高圧電源２０を調整して加速電圧を変化させた場合に
は、制御部２２はこの加速電圧変化に応答してフィラメ
ント加熱電源１６に制御信号を出力し、フィラメント加
熱電源１６の印加電圧を加速電圧変動に対応した適正値
に再度設定し直す。
正印加電圧値を記憶する記憶素子を有しており、そのニ
ー輸が直流高圧電源２０に、他端がフィラメント加熱電
源１６にそれぞれ接続されている。従って、分析時に直
流高圧電源２０を調整して加速電圧を変化させた場合に
は、制御部２２はこの加速電圧変化に応答してフィラメ
ント加熱電源１６に制御信号を出力し、フィラメント加
熱電源１６の印加電圧を加速電圧変動に対応した適正値
に再度設定し直す。
このため加速電圧を変化させてもフィラメント２の印加
電圧は常ｌく適正値に保たれることになる。
電圧は常ｌく適正値に保たれることになる。
第３図は他の実施例を示す電子線分析装置の構成図であ
り、第１図および第２図を対応する部分には同じ参照符
が付される。この実施例の電子線分析装置４Ｏは制御部
２４の一端が対物紋り１Ｏに、他端がフィラメント加熱
電源１６に接続されている。
り、第１図および第２図を対応する部分には同じ参照符
が付される。この実施例の電子線分析装置４Ｏは制御部
２４の一端が対物紋り１Ｏに、他端がフィラメント加熱
電源１６に接続されている。
従って、この場合には制御部２４は電子線が対物紋り１
０に吸収されて発生するモンタ電流に基づきフィラメン
ト加熱電源１６の印加電圧を制御する。このため、バイ
アス電圧、加速電圧変化のみならず分析中のフィラメン
ト２の経時変化に対しても常にフィラメント２に適正な
電圧を印加できるようになる。（ｌの構成は第２図に示
したものと同様である。
０に吸収されて発生するモンタ電流に基づきフィラメン
ト加熱電源１６の印加電圧を制御する。このため、バイ
アス電圧、加速電圧変化のみならず分析中のフィラメン
ト２の経時変化に対しても常にフィラメント２に適正な
電圧を印加できるようになる。（ｌの構成は第２図に示
したものと同様である。
（へ）効 果
以−ヒのように、本発明によれば制御部を設けたので、
フィラメントの印加電圧が常に適正値蕃こ設定される。
フィラメントの印加電圧が常に適正値蕃こ設定される。
このため、フィラメントの寿命が延び、電子線がよ（紋
れるなど電子線の安定度が向上す否。し、かも印加電圧
設定が自動化できるので従来のような°分析操作時め煩
雑さも解消さ虹るという優れた効果が得られる。
れるなど電子線の安定度が向上す否。し、かも印加電圧
設定が自動化できるので従来のような°分析操作時め煩
雑さも解消さ虹るという優れた効果が得られる。
第１図は従来例を、第２図および第３図は本発明の実施
例をそれぞれ示し、第１図ないし第３図は共に電子線分
析装置の構成図である。 １・・・・・・電子銃、２・・・・・・フィラメント、
２２．２４・・・・・・制御部、３０．４０・・・・・
・電子線分析装置。 出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理土間 １）和 秀
例をそれぞれ示し、第１図ないし第３図は共に電子線分
析装置の構成図である。 １・・・・・・電子銃、２・・・・・・フィラメント、
２２．２４・・・・・・制御部、３０．４０・・・・・
・電子線分析装置。 出願人 株式会社島津製作所 代理人 弁理土間 １）和 秀
Claims (1)
- け）電子銃に加える加速電圧、バイアス電圧等の電圧変
化に応答して前記電子銃のフィラメントへの印加電圧を
制御する制御部を設け、−前記フィラメントの印加電圧
を常に適正値に設定できるようにしたことを特徴とする
電子線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248818A JPS60136144A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 電子線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58248818A JPS60136144A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 電子線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60136144A true JPS60136144A (ja) | 1985-07-19 |
Family
ID=17183863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58248818A Pending JPS60136144A (ja) | 1983-12-26 | 1983-12-26 | 電子線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60136144A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54129968A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-08 | Jeol Ltd | Electron gun |
-
1983
- 1983-12-26 JP JP58248818A patent/JPS60136144A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54129968A (en) * | 1978-03-31 | 1979-10-08 | Jeol Ltd | Electron gun |
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