JPS60128980A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPS60128980A JPS60128980A JP23708283A JP23708283A JPS60128980A JP S60128980 A JPS60128980 A JP S60128980A JP 23708283 A JP23708283 A JP 23708283A JP 23708283 A JP23708283 A JP 23708283A JP S60128980 A JPS60128980 A JP S60128980A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum gauge
- gauge
- hole
- vacuum
- cryopump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はクライオポンプの改良に関し、よシ詳しくはク
ライオポンプ内の圧力を経済的且簡便に測定できる様に
した真空計つきクライオポンプに関するものである。
ライオポンプ内の圧力を経済的且簡便に測定できる様に
した真空計つきクライオポンプに関するものである。
従来のクライオポンプでは、このポンプをスパッター装
置などの真空装置に取り付けてクライオポンプ側の圧力
を測定するためには、第１図に示したようにメインパル
プ２とクライオポンプ３の間に、真空計５を取付けた中
継フランジや中継ニップルなどの中継部材４を設けこの
真空計５にょシフ２イオポンプ３側の圧力を測定するこ
とをしてきた。この方法では中継部材のため余分のスペ
ースを必要とし、装置設計に制約が加わって小型化が難
しく、かつ中継部材製作の分だけコストがよけいにかか
る欠点があった。
置などの真空装置に取り付けてクライオポンプ側の圧力
を測定するためには、第１図に示したようにメインパル
プ２とクライオポンプ３の間に、真空計５を取付けた中
継フランジや中継ニップルなどの中継部材４を設けこの
真空計５にょシフ２イオポンプ３側の圧力を測定するこ
とをしてきた。この方法では中継部材のため余分のスペ
ースを必要とし、装置設計に制約が加わって小型化が難
しく、かつ中継部材製作の分だけコストがよけいにかか
る欠点があった。
本発明は、これらの欠点の除去を目的とするもので、第
１図の真空計５の取付けられた中継フランジ等の使用を
廃して、真空計５を直接クライオポンプの壁面に取付け
、容易且確実にクライオポンプ側の圧力を測定できるよ
うにした新規の装置の提供を目的とする。
１図の真空計５の取付けられた中継フランジ等の使用を
廃して、真空計５を直接クライオポンプの壁面に取付け
、容易且確実にクライオポンプ側の圧力を測定できるよ
うにした新規の装置の提供を目的とする。
以下本発明を実施例によシ図面を用いて詳細に説明する
。
。
第２図は本発明の実施例であって、１は真空装置側チャ
ンバー、２はメインパルプ、３は本発明のクライオポン
プ、５は真空計、６は輻射シールド、７はポンプ容器で
ある。
ンバー、２はメインパルプ、３は本発明のクライオポン
プ、５は真空計、６は輻射シールド、７はポンプ容器で
ある。
真蜘計５はポンプ容器７の壁面に孔７１を貫通して、こ
れに真空計５の気体流入路７２をｔｘ ｙ垂直に立てる
ようにして取付けられである。ポンプ容器７の内部では
真空計５の流入路７２が突当たる正面に位置する輻射シ
ールド６０部分の壁面には穴６１があけられている。こ
のため輻射シールド６の内部空間の気体はこの貫通孔か
ら真空計５内に真直ぐ流入することが可能となり、輻射
シールド内部空間の圧力を効率よく真空計５で測定する
ことができる。実験によって輻射シールド６内空間の圧
力は、従来の第１図の中継フランジに取り付けである真
空計５で測定される圧力に正しく対応することが確認さ
れている。
れに真空計５の気体流入路７２をｔｘ ｙ垂直に立てる
ようにして取付けられである。ポンプ容器７の内部では
真空計５の流入路７２が突当たる正面に位置する輻射シ
ールド６０部分の壁面には穴６１があけられている。こ
のため輻射シールド６の内部空間の気体はこの貫通孔か
ら真空計５内に真直ぐ流入することが可能となり、輻射
シールド内部空間の圧力を効率よく真空計５で測定する
ことができる。実験によって輻射シールド６内空間の圧
力は、従来の第１図の中継フランジに取り付けである真
空計５で測定される圧力に正しく対応することが確認さ
れている。
上記の構成のため本発明のりンイオボンプを真空装置に
使用する限り、第１図の真空計付きの中継フランジ４は
全く不必要となる。
使用する限り、第１図の真空計付きの中継フランジ４は
全く不必要となる。
本発明の真空計つきのクライオポンプは上述の通りであ
ってこの装置を使用するときは、中継部材を省略でき、
全装置はそれだけ小型化され、且安価にもなる。即ち頭
記した従来技術の欠点は解決される。工業上有益な発明
である。
ってこの装置を使用するときは、中継部材を省略でき、
全装置はそれだけ小型化され、且安価にもなる。即ち頭
記した従来技術の欠点は解決される。工業上有益な発明
である。
第１図は従来のり２イオボンプを使用する真空装置の例
。第２図は本発明のクライオポンプの実施例の断面図で
、それを真空装置に取付けたものを示す。 ｌ・・・・・・真空装置側チャンバー ２・・・・・・メインバルブ ３・・・・・・クライオ
ポンプ４・・・・・・真空計付き中継フランジ５・・・
・・・真空計 ６・・・・・・輻射シールド７・・・・
・・ポンプ容器 特許出願人 日電アネルパ株式会社
。第２図は本発明のクライオポンプの実施例の断面図で
、それを真空装置に取付けたものを示す。 ｌ・・・・・・真空装置側チャンバー ２・・・・・・メインバルブ ３・・・・・・クライオ
ポンプ４・・・・・・真空計付き中継フランジ５・・・
・・・真空計 ６・・・・・・輻射シールド７・・・・
・・ポンプ容器 特許出願人 日電アネルパ株式会社
Claims (1)
- クライオポンプのポンプ容器の壁に貫通孔を設け、該貫
通孔を開端とし鉄壁にはソ垂直な気年流入路をもつ真空
計を取シ付ける々ともに、該壁内部の輻射シールドの壁
面の該流入路の開端正面の突当シ部分に、その内部の空
間に達する貫通孔を設けたことを特徴とするクライオポ
ンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23708283A JPS60128980A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23708283A JPS60128980A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | クライオポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60128980A true JPS60128980A (ja) | 1985-07-10 |
Family
ID=17010141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23708283A Pending JPS60128980A (ja) | 1983-12-15 | 1983-12-15 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60128980A (ja) |
-
1983
- 1983-12-15 JP JP23708283A patent/JPS60128980A/ja active Pending
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