JPS6012813A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents

弾性表面波フイルタ

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JPS6012813A
JPS6012813A JP12067883A JP12067883A JPS6012813A JP S6012813 A JPS6012813 A JP S6012813A JP 12067883 A JP12067883 A JP 12067883A JP 12067883 A JP12067883 A JP 12067883A JP S6012813 A JPS6012813 A JP S6012813A
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Murata Manufacturing Co Ltd
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    • H03H9/14552Transducers of particular shape or position comprising split fingers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、中心周夜数に対し非対称の周波数応答特性を
得るだめの電極パターンの改良に関する。
従来、学−のインターディジタルトランスジューサーで
非対称の周波数応答特性を得る方法の1つとし”〔は、
隣接する電極フィンガーの中心間の距離(以下電極ピッ
チという)および電属の交差幅を弾性表面波伝播方向に
沿つ“C変化さlる手法が知られている。いわゆる可変
ピッチ形インターディジタル電1盈で、次に述べるよう
なものである。
すなわち、周波数応答特性をフーリエ逆変換すると、例
えば、第1図に示すようなインパルス応答が得られる。
このインパルス応答は、周波数応答特性が非対称である
ため、フーリエ逆変換の結果虚数部を含み、虚数部が零
となる各ピーク点間の時間間隔が不均一となる。そし”
C1得られたインパルス応答に対応させ′Cインターデ
ィジタル電極を形成すれば、この電極で所期の周波数応
答特性が実現できる。その対応のさせ方は、隣接する電
極フィンガー間の交さ幅(表面波動受振領域)を、イン
パルス応答における各ピーク点(矢印で示す)の大きさ
に比例させ、かつ電極ピッチを、インパルス応答におけ
るピーク点間の時間に比例させて行えばよい。ところが
、ピーク点間の時間が不均一であるから、インターディ
ジタル電極の成極ピッチも不均一となり、この結果イン
ターディジタル成極は可変ピッチ形となる。
上述した従来の手法は、所期の特性を満足できるが、電
極が不等ピッチであるため、電極パターンの設計が困難
な上に、太い電極と細い電極が出来るため高周波用に設
計すると電極が短絡あるいは断線しやすいという欠点を
有してbる。
上述の問題点を屏決するため等ピッチのインターディジ
タル電極で非対称のN3波数応答特性を得ようとする試
みがなされ、後述する奇−偶関数法ならびにミラー法又
はリフレクション法という手法が提案され°C層る。
前者の舒−西関数法は、所望周波数応答特性をリニア表
示したものをHl ([17)とすると、Hl(ω−ω
。)=H2(ω0−ω)なるH2(ω)を想定する手法
である。Hz(ω)とH,(ω)との関係は第2図のよ
うになる。ここで偶成分をHR(ω)、奇成分をHl(
((1)とし、HR(ω)とHr(ω)を次のように定
義すると、それらの関数は第3図のようになる。
また、H,(ω)は、式IL)、 +2)よシH1((
t+) : HR(ω)−jHz(ω)(3)となる。
そし゛〔、インパルス応答は、式(3)をフーリエ変換
したもので、 h(す=: hR(t) −jhI・(t ) (4)
”JHR、pJ)。j(z7ft+ψ)af−+−J−
jHx(m)e”””af屁江白出睡耐 となる。
式(4)のha(t)と−jhx(リ で示すインパル
ス線と破線のようになる。同図のふたつのインパルス応
答曲線はいずれもピーク点間の時間がi7(波長で表示
するとλO/2)で均一であシ、かつ両曲線のピーク点
が互いに相手側のピーク点間の真中に位置する。実線の
インパルス応答に対応するインターディジタル電極が偶
成分を構成し、破線のインパルス応答が奇成分を構成す
る。
第4図のふたつのインパルス応答に基い゛Cインターデ
ィジタル電電極2段に分け°C構成し、蹴気的に並列接
続したのが第6図の電極パターンで、これは、中村、漬
水による[弾性表面波フィルタの一般計法J (197
2年9月28日発行、東北大学電気通信研究所第172
回fan工学研究会資料)!/C開示されている。第6
図1おい・C1一方のインク−ディジタル電極1が伝播
方向と直角方向に配置された2つのインターディジタル
電極2.5で構成され、電極6が偶成分を、成極2が奇
成分を励受振するように構成され(この逆でもよい)、
2つの電極2.5の伝播路をカバーするように他方のイ
ンターディジタル電極4が形成され°Cいる。
し小し、上記第6図の電極1では、等ピッチで非対称の
周波数応答特性を実現できるが、インク波の励受振強度
の大きい中心部分が両側に分かね、また電極の中央部が
共通電極となるので、回折損の影響などを受けやすく、
電極パターンとして好ましいものではない。
上述の問題点を除去し°C1つの等ピッチのインターデ
ィジタル電極で非対称の周波数応答特性を実現するため
、第4図の2つのインクくルス応答を第5図のように合
成し、この合成したインク(ルス応答に基いて第7図(
a)、(1))のように電極・(ターンを構成すること
ができる。同図に訃い゛〔、一方のインターディジタル
電糧5が丁λ0の−WL画幅をもつ主電極フィンガー6
.7.8.9を−λOの電( 極ピッチで配置し、隣接する2個の主電極フィンガー6
および7.8・および9ずつ異電位の共通部で接続しか
つこれら2個の主電極フィンガーの長さを異ならせ、し
かも、各主電極フィンガー6−17.8.9の遊端と対
峙し、かつ異電位の共通部に接続されるーλ0の幅をも
つ補助電極フィンガー10.11.12.13を一スO
の電極ピッチで配置し°C形成される。このインターデ
ィジタル電極によれば、隣接する異電位の主電極フィン
ガー7゜8が交さする領域(右上シ斜線領域)で偶成分
が励受振され、隣接する主電極フィンガー6.9と補助
電極フィンガー11.12が交さする領域(右下シ斜線
領域)で奇成分が上記偶成分とは杭の距離ずれて励受振
される。このようなインターディジタル電極を用いると
、表面波伝播方向と直角方向の電極幅を狭くでき、表面
波基板を小さくできるが、電極フィンガー6および8.
7および9で交さする領域(クロス斜線)でも表面波が
励受撮されるので、周波数応答特性に誤差が生じ、また
その誤差を予め考慮し”C設計するのは非常に煩わしい
ものである。また、電極フィンガー6.8間や7.9間
の励受撮による影響を無視できる程度に小さくするため
、それらの間に位置する電極フィンガー7および11.
8および12のフィンガー先端を接近させ゛Cクロス斜
線の領域を小さくすると、パターン形成時に両フィンガ
ー7および11.8および12が先端で短絡し”〔しま
う危険性が生ずる。
後者のりフレクシジン法あるいはミラー法は、所定の周
波数特性の中心周波数をf、とすると、2foに対し°
C線対称となる中心周波数が5faの虚像を想定する手
法であり、得られるインパルス応答は上述の奇−偶関数
法の場合と同様となり、電極パターンも第6図および第
7図(’)、(1))のものと同じように決定し、上述
したと同様の問題点を有し°Cいる。
本発明者は、上述した従来技術の欠点を除去した弾性表
面波フィルタを#ai(昭57−104391号とし”
C先に出願し′Cいる。この内容は、偶成分を構成する
インターディジタル電極の包絡線に沿つ”〔共通成極を
設け、この共通電極の片側あるいは両側に奇成分をもつ
インターディジタル電極を構成するようにしたものであ
る。
本発明は、上記先願をさらに改良したもので、先願で得
られる効果にカロえ′C1基板寸法の縮小ならびに回折
損の抑制を達成できるようにしたものである。
以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ詳述する。
第8図におい”C1LINbO3,PzT#ガラス基板
上のZnO811などからなる表面波基板20上に、入
出力側インターディジタル電極21.22が所定比離隔
゛Cて形成されCいる。一方のインターディジタル電極
21は、第1および第2のインターディジタル電極23
.24で構成されCいる。第1の電極25は、第4図の
偶成分を規定するインパルス応答(実線)に基づくもの
であるが、その中に含まれCいる零根源23(l電極指
の長さ方向へずらせて分数させ゛〔、包絡線が最大交さ
幅となる根源250 (1)左右(図面上]で傾斜する
ように交さ幌型付けが施され゛〔いる。第1の電極25
の2つの共通電極部23a、25bのうち一方25bは
上記傾斜した包絡線にほぼ沿うように形成され”Cいる
。第2の電極24は、第4図の奇成分を規定するインタ
ーディジタル電極であるが、第1の1・属23の最大交
さ幅となる根源2.5 Q近傍に位置する根源が零とな
るように予め設定し”Cその零根源を構成する電極指を
間引いて省略し、残りの根源の中に含まれCいる零根源
を構成する電極指も間引い゛〔省略(記号24bで示す
部分)したうえで、零以外の]辰源を、″1極指の長さ
方向におい°C励振強度の最大となる位置例えば中央部
へ近付け゛C配置することによシ、第1の電極26の非
交さ領域であつ゛(を極23の伝播路上に形成され”〔
いる。このように構成すれば、第2の電極24の各根源
を、励振強度最大の位置近傍に集中させることができる
。特に、記号24bで示しCいるように、残った根源と
隣接する位置にあるベキ電極指を間引い゛〔省略しCい
るので、根源を励振強度最大の位置に自由に配置でき、
その位置への集中が確実に行える。
したがり゛C%第1の゛成極25の最大交さ幅の根源2
50の外側には他の根源が配置されず、その分だけ基板
寸法を小さくすることができる。しかも、第2の電極2
4が元々励振強度の大きい中央部に確実に集中させられ
るので回折損などの影響がなく、計算誤差が少なくなる
第2の電極24は、第1の電極23の共通電極部23b
と、第1の成@23の最大交さ幅の銀源230に接近し
て形成された別個の共通電極部24aとから電極指を交
互に突出させて構成されている。第2の電極24の共通
電極部24aと第1の電極23の共通電極部23aとは
、シールド電極25により°〔結合され′Cいる。端子
電極26゜27.28.29は基板20の各隅に形成さ
れ、それぞれ所定の共通電極部に接続され・〔いる。
次に、第2電極24における第1鑞極26の最大交さ幅
の銀源250近傍に位置する振源を零にする方法につい
て簡単に述べる。
前述したように、所望の周波数特性を式(3)であられ
すと、そのインパルス応答は、 h(す== hR’t)−j ま1工11)2加に)。
j (2”t+ψ) ar−Jja徊、j Gl!7r
ft−+49,74)とな)、第11図に示すような特
性となる。第11図ニオ・説明の便宜上m1.4.5図
とは必ずしも一致させCいない。す7レクシヨン法など
の手法によれば、第11図におい゛(t== Iの時間
間陥で4f。
デーぞ勿サンプリングしく笑線天印)、偶数番目に相当
するデータに基い′〔偶成分のインターディジタル電極
26を構成し、奇数番目に相当するデータに基い′CC
酸成分インターディジタル電量24を育成し°Cいる。
奇−偶関数法につい・Cも同じ電極構成となる。しかし
7、本実施例では、サンプリングの時間間@金わずかに
変えることによシ、偶成分や奇成分を変え、例えば偶成
分の最大値近傍で9奇数分の銀源を小さくする。すなわ
ち、t’==11図の破線のように奇成分の銀源が小さ
くなり°Cい〈。さらに、励振強度(1)最大値を相対
尺度で1とすると、例えば0.02以下の銀源を強制的
に零に設定する。もらろん、強制的に銀源を零にした場
合には他の銀源で補正し−CD<。このように構成する
ことにより、従来の「「他パターンから第8図の電極構
成となシ、これが上述した一実施例である。
第9図は他の実施例を示し、上記実施例との相違点は、
TTI除去の効果をもたせるために、電極23.24 
kスプリット1極形に構成した仁とにある。この実施例
によれば、スプリット′)!極の対の電極指を同一長さ
で構成でき、従来のミラー法(又はり7レクシヨy法)
と比較し′C計算誤差が少なくなる。このスゲリット電
極を用いた実施例では、零根源の数が少ない場合、ある
いはfg、4函を大きくずらせたい場合には、対のスプ
リット電極指の長さを反対−から出°Cいる電極指と交
さしないようにしC変えることにより、電極を大幅にず
らせることができ、実際上非常に有効な手段である。
第10図はさらに他の実施例を示し、第8図1の実施例
との相違点は、′4憑源を構成する電極指24Ct−1
間引くことなくそのまま残し、電極共通部25b、24
Lなどから電気的に絶縁しC浮かすようにしたことにあ
る。この電気的に浮かした電IM指240によシ、表面
波の音速の均一化をはかることができる。
上記各実施例における電極は非常にシンプルな包絡線を
もつものを例示し・〔いるが、本発明はいかなる包絡線
をもつ電極であつCも適用可能なものである。また、本
明細書でいうところの偶成分および奇成分は、奇−偶関
数法における偶成分および奇成分、リフレクション法に
おける対称成分および非対称成分などを総称しCいる。
さらに、位相が補正され゛〔設計される場合には、交差
幅の最大値が奇関数側にある場合もあり、その場合には
jpJ関数の方で上述の手法をとればよい。
以上説明したように、本発明によれば、ミラー法と同程
度又はそれ以下の基板寸法でもつ・C1所望周波数特性
が誤差なく確実に得られ、また設計時の煩雑な計算も軽
減され、しかもシングル電極でもスゲリット電極でも構
成でき、さらには回折1員の影響も極力小さくすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の可変ピッチat極におけるインパルス応
答特性図、第2〜5図は従来例及び本発明の説明に用い
る図で、第2図はHl(ω)とH,(ω)の周波数特性
図、第3図はHR(りとjHz(ωンの周波数特性図、
第4図はHR(ω)とjHx(ω)のインパルス応答特
性図、第5図はnu(ω)とjHz(ω)とを合成した
インパルス応答特性図、第6図は従来のフィルタを示す
図、第7図(a)は池の従来フィロ、第1千図は本発明
の説明に用いるインパルス応答特性図である。 特許出願人 株式会社村田裏作所 −かu 2冒 今 第4図 第8図 第?図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 中心周波数に対し非対称の周波数応答特性を得るための
    、少なくとも入出力側電極を有する弾性表面波フィルタ
    であつ゛〔、 少なくとも一方の電極は、交さ幅員付けを施し゛C周波
    数応答特性の偶成分(または奇成分)を規定する第1の
    インターディジタル電極と、主とし°C上記第1のイン
    ターディジタル電−〇非交さ領域に配置される、交さ幅
    員付けを施し\て周波数応答特性の奇成分(または偶成
    分)を二;二る第2のインターディジタル電極とで構成 前記第2のインターディジタル成極敲、前記第1のイン
    ターディジタル電極の最大交さ幅となる根源近傍に存す
    る、少なくとも1個の根源が零となるように設定され、
    残りの根源が、その中に含まれる零根源を構成する電楓
    指を電気的に浮かすかもしくは間引いて配置されたこと
    を特徴とする弾性表面波フィルタ。
JP12067883A 1983-07-01 1983-07-01 弾性表面波フイルタ Granted JPS6012813A (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5539933A (en) * 1978-09-13 1980-03-21 Nissan Motor Co Ltd Process control device
JPS56149818A (en) * 1980-04-23 1981-11-19 Hitachi Ltd Elastic surface wave device

Patent Citations (2)

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