JPS60127437A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPS60127437A JPS60127437A JP23653383A JP23653383A JPS60127437A JP S60127437 A JPS60127437 A JP S60127437A JP 23653383 A JP23653383 A JP 23653383A JP 23653383 A JP23653383 A JP 23653383A JP S60127437 A JPS60127437 A JP S60127437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive case
- pressure
- case
- conductive
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0061—Electrical connection means
- G01L19/0084—Electrical connection means to the outside of the housing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は車載に好適で吸気負圧等の計測に利用できる半
導体式圧力センサに関し、特に電磁障害の影響を軽減す
る構造に関する。
導体式圧力センサに関し、特に電磁障害の影響を軽減す
る構造に関する。
今日、エンジンの電子制御が盛んに取り入れられており
、−手法としてエンジンの吸気負圧を圧力センサにより
検出してエンジンに供給する混合気の空燃比を制御する
ことが行われている。一方、車載無線、ラジオ、テレビ
等の電磁波妨害の増大により会社全体の電磁環境が悪化
しており、これに対処し上記したような電子制御機器の
安定動作の達成は必須の要件であり、電子制御ユニット
やセンサ自体の電磁障害（一般にＥｌｅｃｔｒｏ−ｍａ
ｇｍｅｔｉｃＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｔｓ、つまりＥＭＩ
と略している）の対策が重要な課題となっており、実開
昭５８−３４０２９号公報に示すような圧力を電気信号
に変換する装置がある。
、−手法としてエンジンの吸気負圧を圧力センサにより
検出してエンジンに供給する混合気の空燃比を制御する
ことが行われている。一方、車載無線、ラジオ、テレビ
等の電磁波妨害の増大により会社全体の電磁環境が悪化
しており、これに対処し上記したような電子制御機器の
安定動作の達成は必須の要件であり、電子制御ユニット
やセンサ自体の電磁障害（一般にＥｌｅｃｔｒｏ−ｍａ
ｇｍｅｔｉｃＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｔｓ、つまりＥＭＩ
と略している）の対策が重要な課題となっており、実開
昭５８−３４０２９号公報に示すような圧力を電気信号
に変換する装置がある。
そして、従来は第１図のように、圧力導入管７と金属ケ
ース６ａを半田８ａにて電気的接続をとり、金属ケース
６ａ及び６ｂは金属ケース６ａの爪６ｄを金属ケース６
ｂの上へ折り曲げて半田８ｂ及び８Ｃにて電気的接続を
とる必要があるため、作業に手間どるという問題がある
。
ース６ａを半田８ａにて電気的接続をとり、金属ケース
６ａ及び６ｂは金属ケース６ａの爪６ｄを金属ケース６
ｂの上へ折り曲げて半田８ｂ及び８Ｃにて電気的接続を
とる必要があるため、作業に手間どるという問題がある
。
本発明は上記問題を解決するため、圧力導入管を導電性
ケースに圧着して電気的に接続することにより、半田付
は作業をなくし、量産性の良い半導体圧力センサの提供
を目的とするものである。
ケースに圧着して電気的に接続することにより、半田付
は作業をなくし、量産性の良い半導体圧力センサの提供
を目的とするものである。
以下本発明を図に示す実施例について説明する。
まず第２図において半導体圧力センサ全体の構成を説明
する。センサユニット１とハイブリッド１０基板２はプ
リント基板３により一体化されている。金属製の圧力導
入管７をインサートモールドした樹脂ケース１１′には
、予め貫通コンデンサ４を半田付けした導電性ケース６
ａ′を圧入し、貫通コンデンサ４の電極にプリント基板
３の入出力端子が接続されている。センサユニット１の
パイプは、圧力導入管７と０リング９により気密構造を
とり、又電気的にはＯリング９により絶縁されている。
する。センサユニット１とハイブリッド１０基板２はプ
リント基板３により一体化されている。金属製の圧力導
入管７をインサートモールドした樹脂ケース１１′には
、予め貫通コンデンサ４を半田付けした導電性ケース６
ａ′を圧入し、貫通コンデンサ４の電極にプリント基板
３の入出力端子が接続されている。センサユニット１の
パイプは、圧力導入管７と０リング９により気密構造を
とり、又電気的にはＯリング９により絶縁されている。
又、信号の入出力はリード線５を介して行われる。そし
て、樹脂１０ａ、１０ｂが内部回路保護用に充填されて
いる。
て、樹脂１０ａ、１０ｂが内部回路保護用に充填されて
いる。
なお、導電性ケース６ａ′と圧力導入管７とは圧力によ
り圧着し電気的接続をとるもので、この電気的接続を実
施するために、導電性ケース５ ａ １は第３図に示す
ごとく、圧力導入管７を圧入する部分にプレスにより部
分的な肉薄部１２を設けである。一方、導電性ケース６
ｂ’は、導電性ケース６ ａ ’と樹脂ケース１１′の
隙間に圧入することにより導電性ケース６ａ′との電気
的接続をとっている。
り圧着し電気的接続をとるもので、この電気的接続を実
施するために、導電性ケース５ ａ １は第３図に示す
ごとく、圧力導入管７を圧入する部分にプレスにより部
分的な肉薄部１２を設けである。一方、導電性ケース６
ｂ’は、導電性ケース６ ａ ’と樹脂ケース１１′の
隙間に圧入することにより導電性ケース６ａ′との電気
的接続をとっている。
次に上記構成によれば、圧力導入管７から圧力変化がセ
ンサユニット１へ伝えられると、半導体素子のピエゾ抵
抗効果により圧力は、電圧変化に変換されて検出される
。この電圧変化はハイブリッドＩＣ基板２で増幅され、
リード線５がら圧力信号として出力される。
ンサユニット１へ伝えられると、半導体素子のピエゾ抵
抗効果により圧力は、電圧変化に変換されて検出される
。この電圧変化はハイブリッドＩＣ基板２で増幅され、
リード線５がら圧力信号として出力される。
もし半導体圧力センサに外部がら強電界が印加されると
、リード線５を介して侵入した電界は貫通コンデンサ４
により除去され、空中から侵入する電界は、圧力導入管
７、導電性ケース６ａ、６ｂにより構成されるシールド
ケースで除去される。
、リード線５を介して侵入した電界は貫通コンデンサ４
により除去され、空中から侵入する電界は、圧力導入管
７、導電性ケース６ａ、６ｂにより構成されるシールド
ケースで除去される。
ここで、樹脂ケース１１′に導電性ケース６ａ’を圧入
する際、圧力導入管７との電気的接続を第３図に示した
肉薄部１２を設けることにより、圧力導入管７の圧入後
、肉薄部１２が第３図山）のようにめくれ上って導通が
とれるので樹脂ケース１１′および導電性ケース６ａ′
の型精度も特に厳しくする必要もなく、その上半田付は
作業をはぶくことも出来る。また、導電性ケース６ｂ’
も圧入により導電性ケース６ａ′と圧着させることによ
り半田付は作業をはふくことができる。
する際、圧力導入管７との電気的接続を第３図に示した
肉薄部１２を設けることにより、圧力導入管７の圧入後
、肉薄部１２が第３図山）のようにめくれ上って導通が
とれるので樹脂ケース１１′および導電性ケース６ａ′
の型精度も特に厳しくする必要もなく、その上半田付は
作業をはぶくことも出来る。また、導電性ケース６ｂ’
も圧入により導電性ケース６ａ′と圧着させることによ
り半田付は作業をはふくことができる。
以上述べたように本発明によれば、圧力導入管と導電性
ケースの電気的接続をとるのに、圧着を用いているから
、半田付は作業が不要となって量産性を向上できるとい
う優れた効果がある。
ケースの電気的接続をとるのに、圧着を用いているから
、半田付は作業が不要となって量産性を向上できるとい
う優れた効果がある。
第１図は従来の半導体圧力センサの断面図、第２図は本
発明の半導体圧力センサの断面図、第３図は肉薄部の構
造図である。 ■・・・センサユニット、４・・・貫通コンデンサ、５
・・・リード線、６ａ′〜６ｂ’・・・導電性ケース、
７・・・圧力導入管、１１′・・・樹脂ケース。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 第３図 （ａ）
発明の半導体圧力センサの断面図、第３図は肉薄部の構
造図である。 ■・・・センサユニット、４・・・貫通コンデンサ、５
・・・リード線、６ａ′〜６ｂ’・・・導電性ケース、
７・・・圧力導入管、１１′・・・樹脂ケース。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 第３図 （ａ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 半導体のピエゾ抵抗効果により圧力を電気信号にｉｍす
るセンサユニットと、このセンサユニットと接続された
回路ユニットとを導電性ケースで囲った半導体圧力セン
サにおいて、 前記センサユニットと外部から圧力変化を与える圧力導
入管と前記導電性ケースとを圧着して、電気的に接続し
ていることを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23653383A JPS60127437A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23653383A JPS60127437A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60127437A true JPS60127437A (ja) | 1985-07-08 |
Family
ID=17002084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23653383A Pending JPS60127437A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60127437A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266330A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体式圧力検出装置 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP23653383A patent/JPS60127437A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266330A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nippon Denso Co Ltd | 半導体式圧力検出装置 |
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