JPS60125090U - 半導体ウエハ−の搬送装置 - Google Patents

半導体ウエハ−の搬送装置

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Publication number
JPS60125090U
JPS60125090U JP1123084U JP1123084U JPS60125090U JP S60125090 U JPS60125090 U JP S60125090U JP 1123084 U JP1123084 U JP 1123084U JP 1123084 U JP1123084 U JP 1123084U JP S60125090 U JPS60125090 U JP S60125090U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer arm
semiconductor wafer
rotating shaft
wafer transport
wheel fixed
Prior art date
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Pending
Application number
JP1123084U
Other languages
English (en)
Inventor
健一 小島
Original Assignee
株式会社　プラズマシステム
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Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社　プラズマシステム filed Critical 株式会社　プラズマシステム
Priority to JP1123084U priority Critical patent/JPS60125090U/ja
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面は本考案の一実施例を示し、第１図は全体の平面図
、第２図は同上縦断面図、第３図は回転軸部分を示す拡
大縦断面図、第４図は搬送アーム同志の枢着部分を示す
拡大縦断面図、第５図は搬送アームとホルダ一部材との
枢着部分を示す拡大縦断面図、第６図はホルダ一部材の
拡大平面図、第７図は同上■−■線に沿った断面図、第
８図は動作状態を示す概略平面図である。 １・・・チャンバー、１１・・・回転軸、１６・・・軸
受板、１７・・・天板、２０・・・駆動源、２１．２４
・・・搬送アーム、２７・・・枢着軸、３４，３７，４
１，５２・・・ホイール、３８．６２・・・チェーン、
４２・・・ホルダー、４３・・・アーム、４４・・・円
弧状切欠部、４５・・・段部、ａ・・・半導体ウェハー
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　チャンバー内の軸受部材に支承された駆動源の回転
    力を受ける回転軸の軸部に搬送アームが固着されると共
    に、この搬送アームの自由端には枢着された他の搬送ア
    ームを介して半導体ウェハーを載置保持するホルダ一部
    材が枢着され、前記軸受部材に回転軸と同心状に固着さ
    れたホイールと前記搬送アームの自由端の枢着軸の下部
    に固着されたホイールとの間およびこの搬送アーム枢着
    軸の上部に固着されたホイールと前記能の搬送アームと
    ホルダ一部材との枢着軸に固着されたホイールとの間に
    はチェーンが懸架され、前記回転軸の正逆回転に伴うチ
    ェーンの回動を介して各搬送アームが伸縮すると共に、
    ホルダ一部材が中心線上を水平に往復動して半導体つ、
    エバーを搬送する構成を特徴とする半導体ウェハーの搬
    送装置。 ２　前記半導体ウェハーのホルダ一部材が各種口径のウ
    ェハーに対して共用できる構成である実用新案登録請求
    の範囲第１項記載の半導体ウェハーの搬送装置。
JP1123084U 1984-01-30 1984-01-30 半導体ウエハ−の搬送装置 Pending JPS60125090U (ja)

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JPS60125090U true JPS60125090U (ja) 1985-08-23

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4940502A (ja) * 1972-08-18 1974-04-16
JPS54118059A (en) * 1978-03-06 1979-09-13 Nec Corp Auto-hand for industry

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4940502A (ja) * 1972-08-18 1974-04-16
JPS54118059A (en) * 1978-03-06 1979-09-13 Nec Corp Auto-hand for industry

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