JPS60121750A - Lead frame - Google Patents

Lead frame

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JPS60121750A
JPS60121750A JP15289584A JP15289584A JPS60121750A JP S60121750 A JPS60121750 A JP S60121750A JP 15289584 A JP15289584 A JP 15289584A JP 15289584 A JP15289584 A JP 15289584A JP S60121750 A JPS60121750 A JP S60121750A
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JP
Japan
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tab
lead
leads
dam
frame
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Application number
JP15289584A
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Japanese (ja)
Inventor
Keizo Otsuki
大槻 桂三
Hidetoshi Mochizuki
秀俊 望月
Akira Suzuki
明 鈴木
Yoshio Adachi
足達 嘉雄
Hideki Kosaka
小坂 秀樹
Hajime Murakami
元 村上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49541Geometry of the lead-frame
    • H01L23/49548Cross section geometry
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE:To facilitate the separation of dam leads by a method wherein a tab lead extending from the vicinity of a tab corner toward a dam piece is branched, and the tab lead is provided with grooves in the neighborhood of the dam pieces. CONSTITUTION:The square tab 12 where a semiconductor element is mounted is supported by tab leads 13 supported by the dam pieces arranged so as to surround the tab 12. The lead 13 extending to this dam piece is branched into separated leads 19. This lead 19 is provided with a V-groove 20 at the cutting point in the neighborhood of the dam piece. This manner enables the leads 19 to be easily cut after molding.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はリードフレームに関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to lead frames.

レジンモールド型半導体装置の組立には金属製のリード
フレームが用いられている。このリードフレームは薄い
金属板をプレスで打ち抜いたり、エツチングによって形
成し、その形状は、第1図で示すように、半導体素子1
を取り付ける矩形のタブ2をその内端で支持するタブリ
ード3と、タブ2の周縁に内端を臨ませる複数のり一ド
4と、これらリード4およびタブリード3の外端を支持
する矩形枠からなる枠部5と、枠部5.各リード4、タ
ブリード3を繋ぎレジンモールド時に溶けたレジンの流
出を防止するダム片6とからなっている。また、枠部5
の両側縁に泊って定間隔にガイド孔7が設けらね、リー
ドフレームを用いての組立、搬送にはこのガイド孔7が
位置決め孔や引掛移送孔として用いられる。
Metal lead frames are used to assemble resin molded semiconductor devices. This lead frame is formed by punching out a thin metal plate with a press or by etching, and its shape is as shown in FIG.
It consists of a tab lead 3 that supports a rectangular tab 2 to which it is attached at its inner end, a plurality of glued leads 4 whose inner ends face the periphery of the tab 2, and a rectangular frame that supports these leads 4 and the outer ends of the tab lead 3. a frame portion 5 and a frame portion 5. It consists of a dam piece 6 that connects each lead 4 and tab lead 3 and prevents melted resin from flowing out during resin molding. In addition, the frame portion 5
Guide holes 7 are provided at regular intervals on both sides of the lead frame, and the guide holes 7 are used as positioning holes and hooking and transport holes during assembly and transportation using the lead frame.

このようなリードフレームを用いて半導体装置を組み立
てるには、まずタブ2上に半導体素子lを取り付けた後
、半導体素子1の各電極とこれに対応するリード4の内
端をワイヤ8で接続し、その後、矩形枠随に配列された
ダム片6の内側領域をレジンでモードルし、モールド部
9で半導体素子1等を被う。ついで、ダム片6および枠
部5を切断除去しフラットリードの半導体装置を得る。
To assemble a semiconductor device using such a lead frame, first attach the semiconductor element l onto the tab 2, and then connect each electrode of the semiconductor element 1 to the inner end of the corresponding lead 4 using the wire 8. Thereafter, the inner regions of the dam pieces 6 arranged along the rectangular frame are molded with resin, and the semiconductor elements 1 and the like are covered with the mold part 9. Then, the dam piece 6 and the frame portion 5 are cut and removed to obtain a flat lead semiconductor device.

また、インライン形の半導体装置を得るには、モールド
部9から突出するり一部4を途中で折り曲げる。
Further, in order to obtain an in-line type semiconductor device, the part 4 protruding from the mold part 9 is bent in the middle.

ところで、タブはその両側を細いタブリードで支持され
る構造であることから、強度的には弱〜・。
By the way, since the tab is supported by thin tab leads on both sides, its strength is weak.

特に、最近のようにリード数が増加しかつ小型化を維持
するためにはリード(タブリード)の幅も狭くならざる
を得ない。また、リードの幅を狭くする(たとえば0,
3龍幅)ためには打抜加工上の問題からリードフレーム
を作る素材は従来に較べてより薄くなる(たとえば0.
15mm)。この結果、タブはリードと同様に小さい外
力でも簡単に傾〜・たり、浮き上がったりして組立に支
障を来たしてしまう。たとえば、半導体素子の取付時に
はタブが揺れ動くことから接合が不完全となり、ワイヤ
ポンディング時には接合の不完全性とともにワイヤが切
れたりする。また、レジンモールド時に&ま流れろレジ
ンによってタブが傾いて動き、ワイヤが破断したり、タ
ブが傾くことによる渦の発生によって気泡がモールド内
部や表面に残留して耐湿性が低下したりあるいは窪みが
できて外観が悪くなってしまう。
In particular, as the number of leads increases recently, and in order to maintain miniaturization, the width of the leads (tab leads) must also become narrower. Also, narrow the lead width (for example, 0,
3 width), the material used to make the lead frame has to be thinner than before (for example, 0.3 mm width) due to problems in the punching process.
15mm). As a result, the tabs, like the leads, can easily tilt or lift even with a small external force, causing trouble in assembly. For example, when attaching a semiconductor element, the tab swings, resulting in incomplete bonding, and during wire bonding, incomplete bonding and wire breakage occur. In addition, during resin molding, the tab may tilt and move due to the flowing resin, causing the wire to break, or the vortex generated by the tab tilting may cause air bubbles to remain inside the mold or on the surface, reducing moisture resistance or creating dents. This results in a bad appearance.

したかつて、本発明の目的はタブが組立時に簡単に動か
ない剛性の優れたリードフレームを提供するとともに、
組立の歩留を向上することのできるリードフレームを提
供することにある。
However, the purpose of the present invention is to provide a lead frame with excellent rigidity in which the tabs do not easily move during assembly, and
An object of the present invention is to provide a lead frame that can improve assembly yield.

このような目的を達成するために本発明は、半導体素子
を取り付ける4角形のタブの4隅をタブリードで支持す
るリードフレームを用いて半導体装置を組み立てるもの
であって、以下実施例により本発明の詳細な説明する。
In order to achieve such an object, the present invention assembles a semiconductor device using a lead frame in which the four corners of a rectangular tab on which a semiconductor element is attached are supported by tab leads. Detailed explanation.

第2図は本発明者の考えたリードフレームの一実施例を
示す平面図であり、第3図は第2図で示す本発明による
リードフレームを用いて組立てた半導体装置の平面図、
第4図1al 、 tb)は同じくその組立の一作業工
程時の状態を示す平面図および一部拡大図である。まず
、リードフレームの形状について説明すると、このリー
ドフレームは0.15の厚さの金属板を打抜加工やエツ
チング加工によって作られる。そして、その形状は部分
的には幅の異なる箇所はあるが全体として矩形枠を形作
る枠部10の中央に半導体素子(ベレット)11を取り
付ける矩形のタブ12を有する形状となっている。そし
て、このタブ12はその4隅を外端を枠部10の隅部に
それぞれ連結する細いタブリード13の内端で支持され
ている。また、4方向からこのタブ12に向かって複数
のリード14が延び、その先端(内端)はタブ12の周
縁近傍に臨んでいる。また、4方向に延びるリード14
の後端はそれぞれ枠部10の内側に連結されている。
FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of the lead frame devised by the present inventor, and FIG. 3 is a plan view of a semiconductor device assembled using the lead frame according to the present invention shown in FIG.
FIG. 4 (1al, tb) is a plan view and a partially enlarged view showing the state during one process of assembly. First, the shape of the lead frame will be explained. This lead frame is made from a metal plate with a thickness of 0.15 mm by punching or etching. The shape is such that a rectangular tab 12 for attaching a semiconductor element (bellet) 11 is provided at the center of a frame portion 10 that forms a rectangular frame as a whole, although there are portions with different widths. This tab 12 is supported at its four corners by the inner ends of thin tab leads 13 whose outer ends are connected to the corners of the frame 10, respectively. Further, a plurality of leads 14 extend toward this tab 12 from four directions, and their tips (inner ends) face near the periphery of the tab 12. In addition, leads 14 extending in four directions
The rear ends of each are connected to the inside of the frame portion 10.

また、レジンモールド時圧溶けたレジンの流出を阻止1
゛べく各リード間およびリードと枠部10間に延びるダ
ム片15がタブ12を取り囲むように配設されている。
It also prevents melted resin from flowing out during resin molding.
To this end, a dam piece 15 extending between each lead and between the lead and the frame portion 10 is arranged to surround the tab 12.

また、枠部10には従来と同様にガイド孔16が穿たれ
ている。
Further, a guide hole 16 is bored in the frame portion 10 as in the conventional case.

このようなリードフレームを用いて半導体装置を組み立
てる場合には、第2図で示すように、タブ12上に半導
体素子11を固定し、この半導体素子11の電極とり一
部14の内端とをワイヤ(第3図に示されている′。)
で接続し、その後、第4図1alで示すように、ダム片
15の内側なレジンでモールドし、レジンからなるモー
ルド部17で半導体素子11等を被う。この際、第4図
tl)lで示すように、タブリード13と交差するモー
ルド。
When assembling a semiconductor device using such a lead frame, as shown in FIG. Wire (as shown in Figure 3')
Then, as shown in FIG. 4 la, the inside of the dam piece 15 is molded with resin, and the semiconductor element 11 and the like are covered with the resin mold part 17. At this time, as shown in FIG. 4 tl)l, the mold intersects with the tab lead 13.

部17の角部(隅部)はタブリード13と直交するよう
に切り欠いた面18を有する面取状態にモールドする。
The corner portion (corner portion) of the portion 17 is molded into a chamfered state having a cutout surface 18 perpendicular to the tab lead 13.

これは、その後モールド部の付は根でタブリードを切断
する際、モールド部の角部カー切断時に欠けたりしない
ようにするために配慮された結果である。つぎに、タブ
リード13をモールド部17の付は根部分で切断すると
ともに不要となるダム片15および枠部10を切断除去
し、フラグ) l−ドの半導体装置を得る。また、必要
ならば、モールド部17から長く突出するり一部″14
をその途中から折り曲げてインライン形の半導体装置を
作る。
This is a result of consideration taken to prevent chipping when cutting the corners of the mold part when the tab lead is subsequently cut at the base of the mold part. Next, the tab lead 13 is cut at the base of the mold part 17, and the unnecessary dam piece 15 and frame part 10 are cut and removed to obtain a flagged semiconductor device. In addition, if necessary, a portion "14" may be provided that protrudes from the mold part 17 for a long time.
An in-line type semiconductor device is made by bending it from the middle.

このような実施例においては、タブ12はその4隅をタ
ブリード13で支持されているため動きにくく剛性が優
れている。このため、各組立作業時においても傾いたり
、作業テーブルから浮き上がったりしない。したがって
、ペレットボンディングやワイヤボンディング時には確
実な接続(ボンディング)ができる。また、レジンモー
ルド時においては流入するレジンによってタブが傾くこ
ともないので、流れの陰による渦も発生しないので、気
泡が生じない。また、タブが傾くこともないのでワイヤ
に強い力が働いてワイヤが破断することもない。
In this embodiment, the tab 12 is supported at its four corners by the tab leads 13, so it is difficult to move and has excellent rigidity. Therefore, it does not tilt or lift off the work table during each assembly operation. Therefore, reliable connection (bonding) can be achieved during pellet bonding or wire bonding. Further, during resin molding, the tab is not tilted by the inflowing resin, so no vortices are generated due to the shadow of the flow, and no air bubbles are generated. Furthermore, since the tab does not tilt, strong force is not applied to the wire and the wire does not break.

なお、本発明は前記実施例に限定されない。たとえば、
タブリードにはモールド部との境界となる位置にモール
ド部周縁+c3;5ような7字溝を設け、タブリード切
断時に簡単にタブリードが7字溝から分断するようにし
てもよい。
Note that the present invention is not limited to the above embodiments. for example,
The tab lead may be provided with a 7-shaped groove such as +c3;5 on the periphery of the mold part at a position that is the boundary with the mold part, so that the tab lead can be easily separated from the 7-shaped groove when cutting the tab lead.

また、複数のタブリードの1乃至数本をリードとして用
いてもよい。
Further, one or more of the plurality of tab leads may be used as leads.

また、モールド部の角部を面取りしない構造の場合には
、第5図および第6図で示すように、枠部10の隅部に
延びるタブリード13をふたまた圧して分離リード19
となし、この分離リード19の途中をモールド部の外周
面と交差させ、タブリードの切断時モールド部の隅部が
破損しないようにしてもよい。第6図1alで示す一点
鎖M部分で分離リード19を切断する。また、この切断
箇所にも第6図1alで示すように分断し、易いように
V字溝20を設けてもよい。
In addition, in the case of a structure in which the corners of the mold part are not chamfered, as shown in FIGS.
Alternatively, the middle of the separation lead 19 may intersect with the outer circumferential surface of the mold part so that the corner of the mold part is not damaged when the tab lead is cut. The separation lead 19 is cut at the single-point chain M portion shown in FIG. 6 1al. Further, the cut portion may also be divided as shown in FIG. 6 1al, and a V-shaped groove 20 may be provided for ease of separation.

また、第7図1alに示すように、Y字形に延びる2本
の分離リード19と枠部10(ダム片15)とによって
形成される空間部を枠部側に広げて大キくシ、レジンモ
ールド時のレジン注入用ゲート21とすれば、第7図(
b)で示すように、ランナ22に段差が付き、モールド
部とランナとの分離時にこの段差部に応力集中が働いて
、この段差部で分離する(分離は第7図1alで示す鎖
線部分となる。)。このため、モールド品におけるラン
チ分離部の形状が一定し、分離部が不整となる弊害が防
止できる。
In addition, as shown in FIG. 7 1al, the space formed by the two Y-shaped separation leads 19 and the frame 10 (dam piece 15) is widened toward the frame, and a large hole is inserted into the resin. If the gate 21 is used for resin injection during molding, it is shown in Fig. 7 (
As shown in b), there is a step on the runner 22, and when the mold part and runner are separated, stress is concentrated on this step, and the runner separates at this step (separation occurs as shown in the dashed line shown in FIG. 7 1al). Become.). Therefore, the shape of the lunch separation part in the molded product is constant, and the problem of irregular separation parts can be prevented.

さらに、このリードフレームはタブ部分を一段と低くし
た構造にしても、強度(鋼柱)は大きい。
Furthermore, even though this lead frame has a structure in which the tab portion is lowered, the strength (steel column) is high.

以上のように、本発明によれば、タブの強度が大きいこ
とから、組立時には簡単に動いたりしない。このため、
ワイヤボンディング、ペレットボンディング等のボンデ
ィングにあっては確実かつ信頼性の高いボンディングが
できる。また、レジンモールド時にはモールド内部や表
面に気泡が発生しないことから、耐湿性が優れ、外観も
損なわ第1ない。また、レジンモールド時にタブが傾い
たり動いたりしないことから、ワイヤに大きな力が加わ
ることもないので、ワイヤの破断も生じない。
As described above, according to the present invention, since the tab has high strength, it does not easily move during assembly. For this reason,
Bonding such as wire bonding and pellet bonding can be performed reliably and with high reliability. In addition, since no air bubbles are generated inside or on the surface of the mold during resin molding, it has excellent moisture resistance and does not damage its appearance. Furthermore, since the tab does not tilt or move during resin molding, no large force is applied to the wire, so the wire does not break.

こわらのことから、特性的に優れた半導体装置を組立て
ることができるとともに、組立における歩留も向上する
。また、リードフレームの厚さも従来に較べて薄く、か
つレジンモールド時にタブが動かないことからモールド
の厚さも薄くても所望の封止ができるので、製品の小型
化も図れる等多くの効果を奏する。
Because of the stiffness, it is possible to assemble semiconductor devices with excellent characteristics, and the yield in assembly is also improved. In addition, the thickness of the lead frame is thinner than before, and the tab does not move during resin molding, so the desired sealing can be achieved even if the mold is thin, resulting in many effects such as making the product more compact. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のリードフレームを示す平面図、第2図は
本発明者の考えたリードフレームの一実施例を示す平面
図、第3図は本発明の半導体装置の一実施例を示す平面
図、第4図1al 、 tblは本発明の半導体装置を
製造する際の一作業工程における半完成品の平面図およ
び部分拡大図、第5図は本発明のリードフレームの他の
実施例による平面図、第6図181 、 tblは同じ
くモールド状態の説明図およびタブリードの部分拡大斜
視図、第7図(al 、 iblはリードフレームのレ
ジン注入用ゲート部の拡大平面図およびモールド時の状
態を示す説明図である。 1・・・半導体素子、2・・・タブ、3・・・タブリー
ド、4・・・リード、5・・・枠部、6・・・ダム片、
7・・・ガイド孔、8・・ワイヤ、9・・・モールド部
、10・・・枠部、11・・・半導体素子、12・・・
タブ、13・・・タブリード、14・・・リード、15
・・・ダム片、16・・・ガイド孔、17・・・モール
ド部、18・・・切り欠いた面、19・・・分離リード
、20・・・7字溝、21・・・レジン注入用ゲート、
22・・・ランチ。 第 1 図 第 2 図 第 3 図 第 4 図 第 5 図
FIG. 1 is a plan view showing a conventional lead frame, FIG. 2 is a plan view showing an embodiment of the lead frame devised by the inventor, and FIG. 3 is a plan view showing an embodiment of the semiconductor device of the present invention. 4, 1al and tbl are a plan view and partially enlarged view of a semi-finished product in one work step in manufacturing the semiconductor device of the present invention, and FIG. 5 is a plan view of another embodiment of the lead frame of the present invention. 181, tbl is an explanatory view of the molded state and a partially enlarged perspective view of the tab lead, and FIG. 7 (al, ibl is an enlarged plan view of the resin injection gate part of the lead frame and the state at the time of molding) It is an explanatory diagram. 1... Semiconductor element, 2... Tab, 3... Tab lead, 4... Lead, 5... Frame, 6... Dam piece,
7... Guide hole, 8... Wire, 9... Mold part, 10... Frame part, 11... Semiconductor element, 12...
Tab, 13...Tab lead, 14...Lead, 15
...Dam piece, 16...Guide hole, 17...Mold part, 18...Cut out surface, 19...Separation lead, 20...7-shaped groove, 21...Resin injection gate for,
22...Lunch. Figure 1 Figure 2 Figure 3 Figure 4 Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、半導体素子を取り付ける4角、形のタブを支持する
タブリードと、前記タブの周縁近傍に内端を突出させる
複数のリードと、前記タブリード及び複数のリードを支
持するダム片と、前記ダム片の外側で少なくとも前記複
数のリードを支持する枠部とを有するリードフレームに
おいて、前記タブリードは前記タブの隅付近から延びる
とともに途中でふたまたに分離していることを特徴とす
るリードフレーム。 2、特許請求の範囲第1項記載のふたまたに分離したタ
ブリードは、ダム片に接続され、前記ダム片近傍に溝を
有していることを特徴とするリードフレーム。
[Claims] 1. A tab lead that supports a square-shaped tab on which a semiconductor element is attached, a plurality of leads whose inner ends protrude near the periphery of the tab, and a dam that supports the tab lead and the plurality of leads. and a frame portion that supports at least the plurality of leads on the outside of the dam piece, wherein the tab lead extends from near a corner of the tab and is separated into two parts in the middle. lead frame. 2. A lead frame characterized in that the bifurcated tab lead according to claim 1 is connected to a dam piece and has a groove near the dam piece.
JP15289584A 1984-07-25 1984-07-25 Lead frame Pending JPS60121750A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04133453A (en) * 1990-09-26 1992-05-07 Nec Corp Lead frame for semiconductor device use
JPH04350960A (en) * 1991-05-28 1992-12-04 Fuji Xerox Co Ltd Semiconductor package

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04133453A (en) * 1990-09-26 1992-05-07 Nec Corp Lead frame for semiconductor device use
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