JPS6011447B2 - 磁性材料の製法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は高密度粉末冶金によるＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金
からなる磁性材料の製法に関し、特に目的とするＦｅ−
山一Ｓｉ合金組成よりＳｉおよびＡＩ舎量の多いＦｅ−
Ｎ−Ｓｉ系母合金粉末と鉄粉末の混合粉末を圧粉成形な
らびに加熱焼結することにより高密度のＦｅ−ＡＩ−Ｓ
ｉ系合金製磁性材料を得ようとするものである。

センダスト合金、すなわち、ここではＮｂ ｏ
．０１〜６．０％（重量％「以下同じ）Ｍｏ
ｏ．１〜５．０％Ｔｉ
ｏ．１〜５．０％Ｃ
ｒ ｏ．１〜７．
０％Ｖ Ｏ．１〜
５．０％Ｎｉ ｏ．
１〜７．０％Ｃｕ
ｏ．０５〜６．０％Ｗ
Ｏ．１〜５．０％Ｔａ
ｏ．１〜５．０％Ｃも
０．１〜５・０％批
０．１〜５．０％Ｚｒ
ｏ．１〜５．０％希±
類元素 ０．０１〜３．０％Ｎ
ｈ ｏ．１〜５
．０％Ｐ Ｏ．００１
〜０．５％Ｙ Ｏ．
０１〜５．０％Ｂ Ｏ
．００１〜０．５％Ｔｉ
０．１〜５．０％Ｐｂ
０．１〜５．０％の群より選ばれた成分
の１種以上を必要に応じて総量で０．００１〜８．０％
、および山 ３〜８％ Ｓｉ ３〜１２％
Ｆｅ 残 部からなる組
成を有する磁性合金として定義されるＦｅ−ＡＩ一Ｓｉ
系合金は、初透磁率、最大透磁率が高いのに加えて硬度
が著しく高〈耐摩耗性に優れた磁性材料として知られ、
このためたとえば、磁気ヘッドコア材として最適である
。

しかしながら、このＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金はその高い
硬度と脆性のため加工性が悪いことがその利用上の欠点
であった。

たとえばＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金からなるヘッドコアを製
造する場合、従来は鋳造ブロックの切り出しならびに研
削を行う方法が探られてきたが、この方法は溶解鋳造に
伴う引け巣や内部クラックの発生あるいは切削加工中の
チッピングなどの発生により、材料の歩留りが悪く、か
つコストが高くなるという欠点があった。また、Ｆｅ−
ＡＩ−Ｓｉ系合金を型プレス、ロールプレスあるいは静
水圧プレスなどのプレス手段により庄粉成形し、この圧
粉成形体を加熱嘘結する方法も知られている。しかし「
これらの圧粉成形にも種々の問題点が見出された。ま
ず型プレスを用いる方法には、目的形状の成形品を得や
すいという利点があるが、圧縮が一方向性であるので、
粉体内部に均一な圧力がかからず圧粉体の各部で密度の
不均一又は密度不足が生ずる欠点がある。

したがってこれを塀結した場合も密度の不均一又は密度
不足が生ずるなどの不都合があった。この問題は型プレ
スを高温にすることにより幾分緩和されるが「プレス装
置が高温に耐え難いということ、あるいは高温でセンダ
スト合金の表面に生ずる酸化膜が、その後の焼結を妨げ
るという別の問題が生ずる。また所要の圧縮圧力を得る
には大型の設備を何台も必要とする難点がある。またロ
ールプレスなどを用いる粉末圧延法の場合には、板厚を
薄くすれば部分的な圧縮不均一の問題は減少するものの
、０．３肋以下のような騒く薄い厚みの製品に成形する
ことは困難であり、またコアの形状などに二次加工する
ことも困難であつた。

これに対しラバーブレスなどを用いる静水圧プレスは等
方圧縮性であるので、圧縮の不均一性が少く、また被成
形体の単位面積当りの圧力を比較的容易に非常に高くま
で上げることができるので、庄粉成形法として理想的な
方法と考えられる。

しかし、この静水圧プレス法もＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金
粉末に単純に適用するときは好ましい結果が得られなか
った。

第１図は、山５．５％、Ｓｉ９．５％、Ｆｅ残部の組成
を有するＦｅ−Ｍ−Ｓｉ系合金粉末（粒度−２００メッ
シュ）を種々の圧力の静水圧ラバーブレスに付したとき
の圧粉後の成形体密度（完全充填密度に対する百分比）
を示すもので、１００００ｋ９′のまで圧力を上げても
約６６％の密度しか得られず、この圧粉成形体を焼結し
ても高々８７〜８％の密度しか得られなかった。しかし
、このような低密度かつ気孔性のＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合
金の暁絹体を磁性材料として用いることには種々の問題
がある。問題点の第１は、焼結体の密度が低いと初透磁
率が低下するということである。

第３図は初透磁率（仏ｉ）を焼結体密度に対して、プロ
ットしたもので、この事情を明らかにする。第２は、密
度の低下に伴いＦｅ−山一Ｓｉ系合金の耐腐食性が低下
するということである。第４図は、密度の異なるＦｅ−
ＡＩ−Ｓｉ系合金試料を、４０℃、温度９５％の雰囲気
に８時間放置した後の試料表面積に対する発錆面積の百
分比を密度に対してプロットしたものであり、Ｆｅ−Ａ
Ｉ−Ｓｊ系合金の耐食性の密度依存性が明らかである。
第３に磁気ヘッドコア材料としての適性に直接影響する
耐摩耗性が密度に大きく依存するということである。第
５図は密度の異なるＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金製ヘッドコア
についてカセット型テ−プレコーダにより耐摩耗テスト
を行ったときの走行時間１００時間後（雰囲気温度２０
℃、湿度４０％）のヘッド摩耗深さ（ム）と密度の関係
を示すものであり、耐摩耗性が密度に大きく依存するこ
とが判る。第４に密度の低下が、ヘッドコアにおけるヘ
ッドギャップ部に焼結後の気孔の残存という形で現われ
ると、本来１〜３仏程度しかないヘッドギャップの実効
ヘッドギャップを拡げることになり、再生時の周波数特
性ならびに感度が著しく低下するということである。第
６図はヘッドコアの厚み方向に直角な方向に沿って取っ
た断面図であり、第７図はその要部の拡大図、１はヘッ
ドコアを形成する一対のヘッドピース、２はボイド、３
はヘッドギャップ「 ４は実効ヘッドギャップを示す。
また低密度であること、使用中または加工中にチツピン
グを生じやすいという問題もある。

以上の結果はＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金を磁性材料、特に
ヘッドコア用材料として用いるときは「その密度が理論
密度の少くとも９５％以上好ましくは９７％以上なけれ
ばならないことを示すものであり、従来の圧粉成形、焼
結によるＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金材料の製造法が不充分
であったことを意味する。この発明は上述の事情に鑑み
、粉末原料に静水圧プレスを用いる方法を改良して、Ｆ
ｅ−山一Ｓｉ系合金からなる高密度の磁性材料を製造す
るための改良方法として開発されたものである。本発明
者らはＬ この発明を開発するに当り、上述の解析の結
果から、圧粉成形法としては静水圧プレスを用いる方法
が最適であるという認識をもった。

そして更にこの静水圧プレスをＦｅ‐Ｎ−Ｓｉ系合金に
単純に適用するときは、Ｆｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金の高い硬
度（Ｈｖ＝５００〜５２０）を妨げとなり各粒子間でブ
リッジを形成するため圧粉成形体の密度が上昇しないこ
とを認識し；次にＦｅ‐ＡＩ−Ｓｉ系合金の主たる構成
元素であるＦｅは元素単体ではかなり低硬度（Ｈｖ＝１
００〜１３０）であることに着目し；Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ
系合金材料を高いＳｉ、Ｎ含量のＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系母合
金粉末（Ｈｖ＝５００〜６００）と、Ｆｅ単体粉末に分
けて、静水圧プレスすれば、Ｆｅ粉末が塑性変形して、
Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｊ系母合金粉末の空隙を埋めて圧粉成形
体の高密度化が可能となるであろうとの着想を得；現実
にこれにより圧粉成形体の著しい高密度化が可能なこと
、ならびにこのような混合粉末の圧粉成形体もその後に
加熱焼結を行えば；両成分の相互拡散が起って組成の均
一化が起り、Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金本来の磁気特性を
損わないことを知見した。上述の知見に基づけば、一つ
の磁性材料の製法とに、Ｆｅ一Ｎ−Ｓｉ系母合金粉末と
該母合金粉末と混合されて目的とするＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ
系合金組成を与える量の鉄粉末とからなる混合粉末材料
を静水圧プレスにより圧粉成形したのち、加熱暁結して
一体化することにより、高密度かつ均質な磁性材料が得
られることがわかる。

上記した磁性材料の製法の効果は第８図に明らかに示さ
れる。

すなわち第８図は、目的とする釘５．５％、Ｓｉ９．５
％、Ｆｅ残部からなるＦｅ一ＡＩ−Ｓｉ系合金組成を得
るに当り、そのＦｅ分の１０％に相当する量の鉄粉（粒
度−３２０メッシュ）と鉄粉のＦｅ分を差し引いた高い
ＳｉおよびＡＩ舎量のＦｅ−ＡＩ‐Ｓｉ系母合金粉末（
粒度−２００メッシュ）との混合粉末を種々の圧力の静
水圧プレスに付し、引き続き１２５０こ０×水ｒの加熱
焼結を行ったときの圧粉成形後ならびに競結後の密度を
圧粉静水圧力に対してプロットしたものである。第８図
を見れば、圧粉成形後ですでに８５％以上の密度が得ら
れ、暁縞後には９５％以上の密度が得られることが判る
。この結果と第１図および第２図の結果を比較すれば上
記製法の効果が明らかに理解されよう。この発明は上記
思想に立脚した積層磁性材料の製法を提供するものであ
る。すなわちＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金は秀れた磁性材料で
あるが、金属磁性材料であるために導電率が高く、たと
えばヘッドコア材として用いるときに高周波域での渦電
流損失による実効透磁率の低下が問題となる。この問題
を解決するためにはＦｅ−Ｎ−Ｓｉ系合金層と絶縁材料
層を交互に積層して積層磁性材料とすればよいが、この
Ｆｅ一ＡＩ−Ｓｉ系合金層については、上述の静水圧プ
レスを利用した高密度化法の考え方が適用できる。すな
わち、この発明の積層磁性材料の製法は、Ｆｅ−山一Ｓ
ｉ系母合金粉末と該母合金粉末と混合されて目的とする
Ｆｅ−釘一Ｓｉ系合金を与える量の鉄粉末とからなる混
合粉末材料の層と、絶縁材料の層とを交互に積層してな
る積層材料を、静水圧プレスにより氏粉成形したのち加
熱嘘結して一体化することを特徴とするものである。以
下「 この発明による積層磁性材料の製法を更に詳細に
説明する。

この発明で用いるＦｅ−山一Ｓｉ系母合金組成は次のよ
うにして決定される。

すなわち、この明細書で定義したＦｅ一山一Ｓｉ系合金
の範囲から選ばれ目的とするＦｅ−山一Ｓ；系合金組成
をたとえばＮ５．５％、Ｓｊ９．５％、Ｆｅ残部（８５
％）として、鉄粉としての添加量をＦｅ一ＡＩ−Ｓｉ系
合金中の鉄分の１０％（Ｆｅ−山一Ｓｉ系合金の８．５
％）とした場合、母合金組成は、上記組成から鉄粉とし
ての寄与分を差し引いて、山：５５×市岸里巧５−±６
‐ｏ％ Ｓｉ：９５×両主筆亨±・ｏ‐４％ Ｆｅ：残部±８３．６％ として求められる。

このような母合金は各元素成分を所定量加えて、得られ
た溶湯を、たとえば水砕することにより粉体化する。粉
体の粒径は１００メッシュ以下であることが好ましい。
１００メッシュ以上では鉄粉との混合が困難になるから
である。

一方鉄粉末の量は、この例では所要Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ系
合金量の約１０％と定められているがｔ逆に云えば上記
組成の母合金粉末と混合されて、上記目的のＦｅ−Ｎ−
Ｓｉ系合金の組成を与えるに必要な量である。一般に鉄
粉の添加量は目的センダスト合金中のＦｅ分の１〜６０
％好ましくは５〜２０％の範囲内で加えられる。１％禾
満では、鉄粉の分割添加の効果がなく、６０％を超える
と加熱焼給時にカーケンドール拡散によるボィドが発生
し「暁綾体の密度が却って低下するからである。

原料ＦｅはＣなどの不純物をできるだけ含まないもので
あることが好ましく、水砕などの方法により粉体化した
後、４００〜９００００で暁鈍して置くことが好ましい
。これにより引続く静水圧プレスにおける塑性加工性が
増し、ひいては圧粉成形体の密度上昇効果が増大するか
らである。センダスト母合金の粉粒体間の空隙を効果的
に充填するために鉄粉の粒径はセンダスト母合金粉末の
それよりも小さいことが好ましく、粒径０。１〜１５０
仏のの範囲が好適に用いられる。

０．１仏禾満では鉄粉が取扱い中に酸化しやすく、１５
０仏を超えるとセンダスト母合金粉との均一な混合が困
難になるからである。

上記のＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系母合金粉末と鉄粉末を慣用の
手段で混合し、混合粉末材料を得る。この混合粉末材料
と、絶縁材料を交互に積層して、静水圧プレスに付す。

静水圧プレスに先立ち、好ましくは所望の関口形状、た
とえばヘッドピースの断面形状を有する型プレス中に上
記混合粉末材料と絶縁材料を交互に充填・積層して最終
的にプレスするか、あるいは各層を充填する毎にプレス
を行うかして予備成形し、この予備成形体について静水
圧プレスを行うことが好ましい。あるいは、上記混合粉
末材料と絶縁材料を別個に一層ずつ型プレスして予備成
形し、この予備成形した混合粉末材料と絶縁材料を交互
に積層して得られる積層材料について、最終的に一回型
プレスするか、あるいはそのまま静水圧プレスを行う方
法も好ましく用いられる。静水圧プレスに先立って型プ
レス等の機械プレスを行うのは、静水圧プレスには上述
したように等万性圧縮できる利点があるが、目的の形状
の圧粉成形体に仕上げるという点では型プレスに劣るか
らである。

たとえば、混合粉末を材料と絶縁材料との交互積層物型
プレスにより磁気ヘッドピースの断面形状を有する柱状
体に仕上げておけば、静水圧プレスならびに暁結中では
その形状がほぼ維持されるので競緒後の磁性材料をスラ
イスすれば直ちにヘッドピースが得られる。なお、上記
のような柱状体の長さをヘッドピース１個分の厚みにし
ておけば、焼縞体のスライス加工が不要になることはい
うまでもない。型プレスでは予備成形だけに止め、高圧
をかけて内部圧縮の不均一を起さないようにその圧力は
６０００ｋ９′の以下とすることが好ましい。絶縁材料
としては「９００℃〜１３５０℃の焼結温度にて溶融せ
ずし化学的に安定なもので「 しかも電気的に絶縁性の
ものが用いられる。

例えば、アルミナ「石英「高融点ガラスなどの粉末、繊
維あるいは薄板が用いられる。また「これら材料はＦｅ
−山一Ｓｉ系合金と同様に硬いので「高密度圧粉成形な
らびに焼結がしがたいという問題がある。この場合は「
単独でなく鉄粉のような低硬度材料を加えて絶縁材料と
すれば、絶縁特性は多少蟻性となるが、絶縁材層「ひい
ては積層材料の機械的特性が改善される。静水圧プレス
はラバープレスなどの手段により行う。

静水圧プレスにおける圧力は装置が許容する限り高いこ
とが望ましく、４０００ｋ９′の以下では余りその効果
がない。静水圧プレスを繰り返し行うことは、圧粉成形
体ひいては最終焼体の高密度化の上で非常に効果的であ
る。

その理由としては主として二つのものが考えられる。そ
の第一は「静水圧プレスを繰り返し行うことにより、圧
粉成形体中に残存するガスの除去が容易となることであ
る。すなわち、一回の圧縮では残存ガスのかなりの部分
が圧粉成形体中に高圧で閉じ込められるが、一旦静水圧
を開放すると、圧粉成形体の粒子間隙からこのような残
存ガスが放出される余地が生じ引き続く静水圧プレスが
効果的に行えるということである。また理由の第二は、
繰り返しの間に圧粉成形体を燐鈍処理することと結びつ
いて得られるものである。すなわち、静水圧プレスの際
に、低い硬度の鉄粉は塑性加工されてＦｅ−ＡＩ−Ｓｊ
系母合金粉末をつつむ様な形になり母合金粉末の空隙を
充填していく（第９図参照；図中５は母合金粉末、６は
鉄粉）。しかし、このとき、鉄粉は同時に加圧中の加工
歪みにより硬化してその塑性変形性を次第に失う。そこ
で静水圧プレスを行った後、次の静水圧プレスの前に圧
粉成形体を暁鎚処理し、鉄粉に蓄積した歪みを除去して
やれば再度蝿性変形性を付与され、繰り返しの静水圧プ
レスを通じて圧粉成形体、ひいては焼結体の密度上昇に
寄与するものである。この焼錨は４００〜９００午０の
温度において３０分から１独特間行うことが好ましい。

４０ぴ０禾満では上述した焼鈍効果がほとんどなく、９
００℃を超えると母合金中のＳｉ「Ｎが鉄粉中に拡散し
て鉄粉の硬度を上昇させてしまう。

また焼錨時間が３０分未満では焼錨効果が少なくＬＩ畑
時間を超えると経済的に不利となる。なお、この程度の
温度では母合金の焼錨、軟化は殆んど起らない。上述し
た静水圧プレスの繰り返しおよび燐錨の効果は第１０図
に明らかである。

すなわち第１０図は、第８図の場合と同様な母合金粉末
と鉄粉との混合粉末材料について、種々の圧力で第１回
目の静水圧プレスを行った後、圧粉成形体について５０
０ｏｏ×牝ｒの焼鎚を行い、更に１００００ｋ９′地の
圧力で第２回目の静水圧プレスを行い「最後に第８図の
場合と同一条件で焼結を行ったときの第１回目静水圧プ
レス後、第２回静水圧プレス後ならびに暁緒後の試料の
密度を第１回目静水圧力に対してプロットしたものであ
る。この場合「凝結体の密度は完全充填密度の９９％以
上に達し、静水圧プレスを１回だけ行い、焼結体密度約
９５％に止まる第８図の場合に比べて、静水圧プレスの
繰り返しと中間焼鈍の効果が顕著に認められる。なお上
記した中間競錨の効果は、静水圧プレスとして、鉄の加
工歪が除去し易く「かつ母合金と鉄の間での拡散が起ら
ない温度、すなわち４００〜９０び０において高温静水
圧プレス（日花）処理を行うことによっても得られ、１
回の処理によっても９７％以上の密度が得やすい。

上述のようにして静水圧プレスを経た積層圧粉成形体を
加熱焼結して一体化することにより、この発明による磁
性材料が得られる。

暁結は９００〜１３５０００の温度で３０分〜１餌時間
行い、その雰囲気としては１×１０‐４側Ｈｇより高真
空中、または露点一４０ｑｏ以下の水素中もしくは不活
性ガス雰囲気中が好ましい。焼結温度が９００℃未満で
あるとＡＩ、Ｓｉの拡散が起らず、また焼結も進まない
。一方１３５０ｑｏを超えると母合金の溶解が問題とな
る。１０‐４側Ｈｇより低度の真空中、あるいは露点が
−４０００より高い水素ガスまたは不活性ガス中ではＮ
、Ｓｉが酸化されて目標組成からずれ、製品が特性的に
不安定となる問題が生ずる。

上記したこの発明の方法により製造された磁性材料は、
必要であれば更に最終加工ならびに精密仕上げしてそれ
ぞれの用途に供される。

これには例えばヘッドピースの場合、その断面形状と平
行に所望の厚さにスライスし、必要に応じて研磨仕上げ
するなどが挙げられる。上述したように、この発明の磁
性材料の製法は、Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金の粉末冶金的
成形法において懸案であった高密度化が困難であるとい
う問題を、Ｆｅ−山一Ｓｉ系合金の主成分であるＦｅが
処理が適当であれば、低硬度に止めることができるとい
う点に着目し、これと静水圧プレスならびに加熱暁緒と
の結合により解決し、粉末冶金によるＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ
系合金材料の磁性材料としての利用性を飛躍的に向上せ
しめたものであって、その工業的価値は非常に大きい。

また、この発明によれば、Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金材料
の高密度化ならびに積層構造による渦電流損失の低下を
通じて磁気特性が改善され、積層材料もそれ程の工程の
繁雑化を招かずに製造可能である。このような点を考慮
すれば、この発明の磁性材料の製法がヘッドコアの製造
に特に通したものであることも自ずと理解できよう。以
下、実施例によりこの発明を更に具体的に説明する。

例Ｎ６．８％、Ｓｉｌｌ．３％、Ｆｅ残部の組成を有す
るＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系母合金粉末（一２００メッシュ）
０．８５重量部とＦｅ粉（５００メッシュ）０．１５重
量部を混合して、Ｎ５．８％、Ｓｉ９．８％、Ｆｅ残部
の組成を有する混合粉末を得た。

この混合粉末と、絶縁材としてのＡＩ２０３粉末を、外
径１仇吻、内蓬６脚の環状溝を有するプレス型中に交互
に頚層して、２．０トンの圧力でプレスした。

その結果一層当りの厚さ０．５肋の混合粉末層５層の間
に交互に、一層当りの厚さ０．０５肌の山２０３層４層
が挿入された構造の積層予備成形体を得た。この予備成
形体を静水圧ラバープレスにより、８０００ｋｇ／のに
加圧した（圧粉体密度８５％、この例において、括弧内
の値は、別途同一条件で単層品について求められた値の
引用値である。

）。この圧粉体を８００ｑｏ×１時間、一４５ｑｏの霧
点を有する水素雰囲気中で焼鈍する（鉄粉の硬さＨｖ＝
１３０母合金粉硬さＨｖ＝５２０）。競鈍した圧粉体を
更に１００００ｋ９′めで静水圧プレスに付した（圧粉
体密度９４％）。この圧粉体を１２８ぴ○×１時間、一
５０ｑｏの露点の水素ガス雰囲気で焼結した（密度６．
８９タｒ／欲・…・・完全充填密度の９８．９％）。

得られた隣結体は○リング状であり、Ｆｅ−ＡＩ−Ｓｉ
系合金層は一層当り厚さ０．２１側、山２０３層−層当
り厚さ０．０２肋であり、磁気侍性‘ま以下の通りであ
った。

山ｏニ３６０００ 仏ｍニ１２３０００ Ｈｃ＝０．０２１〔Ｃら〕 Ｂ。

ニ９，２〔ＫＧａ瓜Ｓ〕この０リングの交流特性を、同
一組成の溶解−切り出しＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系材の○リン
グ（厚さ０．２肌）の交流特性とともに第１１図に示す
。

第１１図を見れば、両者においてほぼ同等の特性が得ら
れることが判明する。上記結果は、この発明の方法によ
り得られた粉末法によるＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系材料が、溶
解法によるＦｅ−ＡＩ一Ｓｉ系材料に比べて密度的にも
、磁気特性的にも殆んど同等であることを意味する。

【図面の簡単な説明】

第１図はＦｅ−ＡＩ−Ｓｉ系合金単味粉末の静水圧プレ
ス後の圧粉体密度と静水圧の相関図：第２図は同隣給体
密度と静水圧の相関図：第３図はＦｅ一山一Ｓｉ系合金
焼結体の初透磁率と嘘結体密度の相関図：第４図はＦｅ
−ＡＩ−Ｓｉ系合金の耐食性の密度依存性を示す図；第
５図は同耐摩耗性の密度依存性を示す図；第６図はヘッ
ドコアの厚み方向と直角方向に沿って取ったコア断面図
；第７図は第６図の要部拡大図；第８図はＦｅ−Ｎ−Ｓ
ｉ系合金混合粉末の圧粉後および焼給後の密度と圧粉静
水圧力との相関図：第９図は向圧粉後の母合金粉末と鉄
粉の分布を示す図；第１０図は、同様に圧粉を２回に分
けて行ったときの第１回圧粉後、第２回圧粉後および競
結後の密度と第１回目圧粉静水圧力との相関図；第１１
図は、この発明（実施例）による積層○リングならびに
鋳造によるＦｅ一Ｎ−Ｓｉ系合金製○リングの実効透磁
率の周波数依存性を示す図。 １……磁気ヘッドピース、２……ボィド、５…・・・Ｆ
ｅ−Ｎ−Ｓｉ系母合金粉末、６…・・・鉄粉。 籍１図第２図 鯖３図 第４図 第５図 第６図 完７図 精８図 第９図 精１０図 第１つ図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系母合金粉末と、該母合金粉末と
   混合されて目的とするＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金組成を与
   える量の鉄粉末とからなる混合粉末材料の層と、絶縁材
   料の層とを交互に積層してなる積層材料を、静水圧プレ
   スにより圧粉成形したのち、加熱焼結して一体化する積
   層磁性材料の製法。 ２ 静水圧プレスに先立ち、成形型内に前記混合粉末材
   料と絶縁材料を交互に充填、積層したのち機械的にプレ
   スして予備成形を行い、かく予備成形された積層材料に
   ついて静水圧プレスを行う第１項の方法。 ３ 静水圧プレスに先立ち、成形型内に前記混合粉末材
   料と絶縁材料を交互に充填積層するに際し、各層の充填
   毎に機械的プレスを行い、最終的に得られた予備成形さ
   れた積層材料について静水圧プレスを行う第１項または
   第２項の方法。 ４ 前記混合粉末材料と絶縁材料をそれぞれ一層分毎に
   機械的にプレスして予備成形し、かく予備成形された前
   記混合粉末材料と絶縁材料を交互に積層し、この積層材
   料について静水圧プレスを行う第１項の方法。