JPS60114100A - 超音波トランスジユ−サの製造方法 - Google Patents
超音波トランスジユ−サの製造方法Info
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- JPS60114100A JPS60114100A JP22140483A JP22140483A JPS60114100A JP S60114100 A JPS60114100 A JP S60114100A JP 22140483 A JP22140483 A JP 22140483A JP 22140483 A JP22140483 A JP 22140483A JP S60114100 A JPS60114100 A JP S60114100A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
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- B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
- B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は診断のための医療機器の分野に属し、特に超音
波プローブにおける超音波トランスジューサの裂ｊ省方
法に関する。
波プローブにおける超音波トランスジューサの裂ｊ省方
法に関する。
［発明の技術的前照とその問題点コ
従来より、例えば超音波プローブにおけるトランスジュ
ーサとしての圧電振動子には圧電セラミックが用いられ
、その使用する用途に応じて例えばリンク状若しくはダ
イス状又はアレイ状に１７１断し−Ｃいた。この切断に
際してカッターで切断する場合には、固形のバッキング
材に圧電セラミックを接着固定した後にカッティングを
行なっていた。
ーサとしての圧電振動子には圧電セラミックが用いられ
、その使用する用途に応じて例えばリンク状若しくはダ
イス状又はアレイ状に１７１断し−Ｃいた。この切断に
際してカッターで切断する場合には、固形のバッキング
材に圧電セラミックを接着固定した後にカッティングを
行なっていた。
この際、バッキング材は治具の役割も果すことになる。
一方、レーザで切断する場合には、例えば銅の冶具上で
圧電セラミックを載置した後にレーザで所定形状に切断
し、それを固形のバッキング材に貼りｆ］けていた。直
接にバッキング材上でレーザ加工すると、熱伝導性の悪
いバッキング材は切…ｉ面に悪影響を及ぼすからである
。
圧電セラミックを載置した後にレーザで所定形状に切断
し、それを固形のバッキング材に貼りｆ］けていた。直
接にバッキング材上でレーザ加工すると、熱伝導性の悪
いバッキング材は切…ｉ面に悪影響を及ぼすからである
。
しかしながら、前記したいずれの方法による場合も、バ
ッキング材は固形であるため、切断分割された圧電セラ
ミックの各エレメントからリード線により電極を取り出
すことに物理的な制約を受け、製造工程の困難性が強ら
れることは勿論、リード線の取り出し位置精度などにつ
いても問題が生じる。また圧電セラミックは固形のバッ
キング材に接着剤により固定されているため、この接着
層の存在により圧電セラミックからの超音波に不要信号
が混入することがあるので、前記接着剤層を充分に薄く
するというようなコントロールが必要であった。ざらに
、バッキング材は予め成形された固形のため、圧電セラ
ミックから放射される超音波に応じた超音波吸収特性を
有づるバッキング材に適宜に変えることが困難でもあＴ
た。
ッキング材は固形であるため、切断分割された圧電セラ
ミックの各エレメントからリード線により電極を取り出
すことに物理的な制約を受け、製造工程の困難性が強ら
れることは勿論、リード線の取り出し位置精度などにつ
いても問題が生じる。また圧電セラミックは固形のバッ
キング材に接着剤により固定されているため、この接着
層の存在により圧電セラミックからの超音波に不要信号
が混入することがあるので、前記接着剤層を充分に薄く
するというようなコントロールが必要であった。ざらに
、バッキング材は予め成形された固形のため、圧電セラ
ミックから放射される超音波に応じた超音波吸収特性を
有づるバッキング材に適宜に変えることが困難でもあＴ
た。
［発明の目的］
本発明は前記事情に基づいてなされたものであり、圧電
セラミックからバッキング材を介して容易に電極を取り
出づことができると共に、バッキング材の吸音特性を適
切に調整でき、然も圧電セラミックからの超音波に悪影
響を全く与えない超音波トランスジューサの製造方法を
提供づることを目的とする。
セラミックからバッキング材を介して容易に電極を取り
出づことができると共に、バッキング材の吸音特性を適
切に調整でき、然も圧電セラミックからの超音波に悪影
響を全く与えない超音波トランスジューサの製造方法を
提供づることを目的とする。
［発明の概要］
上記目的を達成するための本発明の概要は、圧電セラミ
ックを冶具に仮固定した後、該セラミックを所定形成の
エレメントに切断分割する工程ど、各エレメントにリー
ド線を接続する工程と、前記分割された圧電セラミック
に筒状の枠体を仮設する工程と、枠体内に所望の音響特
性を有するように配合した注型バッキング材を流し込む
工程と、該注型バッキング材が固化した後に前記枠体と
治具を取り除く工程とを含むことを特徴とするものであ
る。
ックを冶具に仮固定した後、該セラミックを所定形成の
エレメントに切断分割する工程ど、各エレメントにリー
ド線を接続する工程と、前記分割された圧電セラミック
に筒状の枠体を仮設する工程と、枠体内に所望の音響特
性を有するように配合した注型バッキング材を流し込む
工程と、該注型バッキング材が固化した後に前記枠体と
治具を取り除く工程とを含むことを特徴とするものであ
る。
［発明の実施例］
本発明の超音波トランスジューサの製造方法について図
面を参照しながら説明する。
面を参照しながら説明する。
第１図からｖＲ４図まではアレイ状のトランスジューサ
を製造するまでの工程を示す概略説明図である。
を製造するまでの工程を示す概略説明図である。
先ず、第１図に示すように、方形板状の圧電セラミック
１の一面をコーティング被膜し、その面が下面になるよ
うに金属治具２の上面に前記圧電セラミック１を仮固定
した後、例えばレーザ加工により圧電セラミック１を短
冊状に切断し分割する。この際、圧電セラミック１の一
面にはコーティング岡があるため、分割された各エレメ
ントがばらばらになることがない。尚、金属冶具２は熱
伝導性のよい例えば銅で成形されたものを使用する。
１の一面をコーティング被膜し、その面が下面になるよ
うに金属治具２の上面に前記圧電セラミック１を仮固定
した後、例えばレーザ加工により圧電セラミック１を短
冊状に切断し分割する。この際、圧電セラミック１の一
面にはコーティング岡があるため、分割された各エレメ
ントがばらばらになることがない。尚、金属冶具２は熱
伝導性のよい例えば銅で成形されたものを使用する。
次に、第２図に示すように金属治具２の上面で短冊状に
分割された圧゛市セラミック１の各ニレメンｈ１ａ、Ｉ
ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆにＩＪ−ドＩ！３をそれぞ
れハンダ付けして配線した後に前記圧電セラミック１を
凹ｒＡ？ｌるように金属治具２上に、内周輪郭が圧電セ
ラミック１の形状と同一形状の枠体４を配置づる。
分割された圧゛市セラミック１の各ニレメンｈ１ａ、Ｉ
ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆにＩＪ−ドＩ！３をそれぞ
れハンダ付けして配線した後に前記圧電セラミック１を
凹ｒＡ？ｌるように金属治具２上に、内周輪郭が圧電セ
ラミック１の形状と同一形状の枠体４を配置づる。
次いで、第３図に示すように前記枠体４内に充分な粘度
を右する液状のバッキング材５を流し込み、所定時間後
に固化させる。この際には圧電セラミック１の各ニレメ
ン１−１ａ〜１［から引き出されたリード線３が前記注
型バッキング材５を目通してその上部に引き出されるよ
うにする。
を右する液状のバッキング材５を流し込み、所定時間後
に固化させる。この際には圧電セラミック１の各ニレメ
ン１−１ａ〜１［から引き出されたリード線３が前記注
型バッキング材５を目通してその上部に引き出されるよ
うにする。
前記注型バッキング材５は、セメンダイン＃１５６５に
マンガン亜鉛（Ｍ【Ｉ−Ｚｎ）フェライト粉末（品ｆｆ
１Ｍ４Ａ１３）を配合したもので、その配合する重量比
を変えることによって、適宜の音Ｗ特性を得ることがで
きる。例えば、前記セメンタインにＭｎ−Ｚｎフェライ
ト粉末を重量比７０％で混合づれば、音響インピータン
ス６．５ （Ｍ。
マンガン亜鉛（Ｍ【Ｉ−Ｚｎ）フェライト粉末（品ｆｆ
１Ｍ４Ａ１３）を配合したもので、その配合する重量比
を変えることによって、適宜の音Ｗ特性を得ることがで
きる。例えば、前記セメンタインにＭｎ−Ｚｎフェライ
ト粉末を重量比７０％で混合づれば、音響インピータン
ス６．５ （Ｍ。
Ｋ、Ｓ）減衰１０ ｄＢ／ｍｍ ａｔ５ＭＨｚとなり、
また、前記重量比を７５％とづれば音響インピーダンス
を６．９ （Ｍ、に、Ｓ）とすることができる。
また、前記重量比を７５％とづれば音響インピーダンス
を６．９ （Ｍ、に、Ｓ）とすることができる。
このＪ：うに、バッキング材５それ自体が接着剤として
の機能を有するので、これを注型することにＪ：って各
■−レメントに分ｇｌされた圧電セラミック１がバッキ
ング材５と強固に固着すると共に、リード線３を容易に
バッキング材５の外側へ引き出すことができる。また、
バッキング材５は組成Ｉイ料のｆａｆｊｚ比を適宜に変
えることによって、圧電セラミック１から放射される超
音波に最も適合する吸音特性を有する吸音材とすること
が可能である。さらに、前記したように、圧電セラミッ
ク１は特別の接着剤を介づることなくバッキング材５と
固着づることができるので、両者の間には従来のような
接着層が存在しなくなり、従って圧電セラミック１から
放射される超音波が反射されて不要な信号として再度圧
電セラミック１に到達ツることがなくなる。
の機能を有するので、これを注型することにＪ：って各
■−レメントに分ｇｌされた圧電セラミック１がバッキ
ング材５と強固に固着すると共に、リード線３を容易に
バッキング材５の外側へ引き出すことができる。また、
バッキング材５は組成Ｉイ料のｆａｆｊｚ比を適宜に変
えることによって、圧電セラミック１から放射される超
音波に最も適合する吸音特性を有する吸音材とすること
が可能である。さらに、前記したように、圧電セラミッ
ク１は特別の接着剤を介づることなくバッキング材５と
固着づることができるので、両者の間には従来のような
接着層が存在しなくなり、従って圧電セラミック１から
放射される超音波が反射されて不要な信号として再度圧
電セラミック１に到達ツることがなくなる。
最後に、第４図に示す」：うに、バッキング材５が充分
に固化した後に、前記枠体４と金属治具２を取りはずし
、ここにアレイ状のトランスジューサが完成する。
に固化した後に、前記枠体４と金属治具２を取りはずし
、ここにアレイ状のトランスジューサが完成する。
尚、バッキング材５を通って引き出されたリード線３は
図示しない送受信回路に接続している。
図示しない送受信回路に接続している。
上記説明は本発明に係る１−ランスジユーザの製造方法
の一実施例であるが、本発明の要旨を変更しない範囲で
種々に変形して実施できることは言うまでもない。例え
ば圧電セラミックを格子状に切断するダイス状のトラン
スジューサの場合や圧電セラミックを同心円状に切断す
るリンク状のトランスジューサの場合は勿論、全く切断
を行なわないシングルトランスジューサの場合にも、本
発明の製造方法が応用できる。
の一実施例であるが、本発明の要旨を変更しない範囲で
種々に変形して実施できることは言うまでもない。例え
ば圧電セラミックを格子状に切断するダイス状のトラン
スジューサの場合や圧電セラミックを同心円状に切断す
るリンク状のトランスジューサの場合は勿論、全く切断
を行なわないシングルトランスジューサの場合にも、本
発明の製造方法が応用できる。
′Ｌ発明の効果コ
以上詳述したように本ざで明の超音波トランスジューサ
の製造方法によれば、圧電セラミックがらバッキング材
を介して容易に電極を取り出すことができると共に、バ
ッキング材の配合組成比を変えることにより所望の超音
波吸収特性を簡便に得ることができ、然も不要な信号の
混入しない所望の超音波特性が容易に得ることができる
超音波トランスジューサの製造方法を提供できるもので
ある。また、本発明によれば、バッキング材それ自体が
接着性を有するので、特別に接着剤を使用づる必要がな
く便利である。
の製造方法によれば、圧電セラミックがらバッキング材
を介して容易に電極を取り出すことができると共に、バ
ッキング材の配合組成比を変えることにより所望の超音
波吸収特性を簡便に得ることができ、然も不要な信号の
混入しない所望の超音波特性が容易に得ることができる
超音波トランスジューサの製造方法を提供できるもので
ある。また、本発明によれば、バッキング材それ自体が
接着性を有するので、特別に接着剤を使用づる必要がな
く便利である。
第１図から第４図までは本発明に係る超音波１ヘランス
ジユーサの製造方法における製造工程を示す概略説明図
であり、第１図は切断分割された圧電セラミックが金属
治具上面に仮固定した状態を示すもの、第２図は圧電セ
ラミックの各エレメントに配線し口つ枠体を仮設した状
態を示すもの、第３図は枠体内にバッキング材を流し込
んで固化した状態を示すもの、第４図は枠体と金属冶具
を取り去った状態で完成した製品を示すものである。 １・・・・・・圧電セラミック、 １ａ〜１ｒ・・・・・・圧電セラミックの各エレメント
、２・・・・・・金属治具、３・・・・・・リード線、
４・・・・・・枠体、５・・・・・・バッキング材。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）弔１図 第２図 ３ へ 第 ３ 図 ｆｉ４図
ジユーサの製造方法における製造工程を示す概略説明図
であり、第１図は切断分割された圧電セラミックが金属
治具上面に仮固定した状態を示すもの、第２図は圧電セ
ラミックの各エレメントに配線し口つ枠体を仮設した状
態を示すもの、第３図は枠体内にバッキング材を流し込
んで固化した状態を示すもの、第４図は枠体と金属冶具
を取り去った状態で完成した製品を示すものである。 １・・・・・・圧電セラミック、 １ａ〜１ｒ・・・・・・圧電セラミックの各エレメント
、２・・・・・・金属治具、３・・・・・・リード線、
４・・・・・・枠体、５・・・・・・バッキング材。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑（ほか１名）弔１図 第２図 ３ へ 第 ３ 図 ｆｉ４図
Claims (2)
- （１）圧電セラミックを治具に仮固定した後、該セラミ
ックを所定形成のエレメントに切断分割する工程と、各
エレメントにリード線を接続する工程と、前記分割され
た圧電セラミックに筒状の枠体を仮設する工程と、枠体
内に所望の音響特性を有するように配合した注型バッキ
ング材を流し込む工程と、該注型バッキング材が固化し
ＩＣ後に前記枠体と治具を取り除く工程とを含むことを
特徴とする超音波トランスジューサの製造方法。 - （２） 前記注型バッキング材がセメダインにマンガン
亜鉛フェライト粉末を混合してなることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の超音波トランスジューサの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22140483A JPS60114100A (ja) | 1983-11-26 | 1983-11-26 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22140483A JPS60114100A (ja) | 1983-11-26 | 1983-11-26 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114100A true JPS60114100A (ja) | 1985-06-20 |
| JPH058640B2 JPH058640B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16766217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22140483A Granted JPS60114100A (ja) | 1983-11-26 | 1983-11-26 | 超音波トランスジユ−サの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60114100A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19626293A1 (de) * | 1996-07-01 | 1998-01-08 | Teves Gmbh Alfred | Ultraschallwandler mit Kontaktglied |
| CN102179361A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-09-14 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 超声换能器的制作方法 |
| JP5212468B2 (ja) * | 2008-04-14 | 2013-06-19 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 音響制動部材の製造方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR970008016B1 (ko) * | 1993-12-07 | 1997-05-20 | 엘지전자 주식회사 | 휴대용 컴퓨터의 유/무선 트랙볼 마우스장치 |
| JPH08292835A (ja) * | 1995-04-21 | 1996-11-05 | Nec Corp | ポインティングディバイスを持つ情報処理装置 |
| JPH0991084A (ja) * | 1995-09-27 | 1997-04-04 | Nec Gumma Ltd | 本体着脱型トラックボールマウス装置 |
-
1983
- 1983-11-26 JP JP22140483A patent/JPS60114100A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19626293A1 (de) * | 1996-07-01 | 1998-01-08 | Teves Gmbh Alfred | Ultraschallwandler mit Kontaktglied |
| US6163505A (en) * | 1996-07-01 | 2000-12-19 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | contact member for an ultrasonic transducer |
| JP5212468B2 (ja) * | 2008-04-14 | 2013-06-19 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 音響制動部材の製造方法 |
| CN102179361A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-09-14 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 超声换能器的制作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058640B2 (ja) | 1993-02-02 |
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