JPS60112635A - ガラス光フアイバプリフオーム製造方法 - Google Patents

ガラス光フアイバプリフオーム製造方法

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JPS60112635A
JPS60112635A JP22188784A JP22188784A JPS60112635A JP S60112635 A JPS60112635 A JP S60112635A JP 22188784 A JP22188784 A JP 22188784A JP 22188784 A JP22188784 A JP 22188784A JP S60112635 A JPS60112635 A JP S60112635A
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optical fiber
chlorine
atmosphere
fiber preform
manufacturing
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JP22188784A
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ロジヤー チヤールトン
チエリル ジエーン ガーナム
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
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    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はガラス光ファイバプリフォームの製造に関し、
特にドーピングされた石英コアを有しプリフォームのガ
ラス管状母材のコラプスからなる■程により製造される
プリフォームに関する。ここで用語光フアイバプリフォ
ームは、内部に光導波構成を右づる光ファイバを線引き
によりliJ造するための充実断面の柱状体を意味する
従来の技術及びその問題点 かかる管状母材を製造する1つの方法としてはガラス製
基体管の孔に気相堆積を行なうことがある。本発明はそ
れのみに関する訳ではないが波長1.275乃至1.3
35ミクロンの範囲で動作するよう設計された単一モー
ドファイバ用のプリフォームの製造に応用される。この
波長範囲で動作する場合ファイバの性能を決定する重要
なパラメータの1つは、光コア及びコアを直接包囲する
気相堆積材料の光クラッド中の水酸基混入のレベルであ
る。
この方法によるプリフォームの製造中において水N基の
混入の重要な原因は3つある。第1には典型的には約1
50ppm+の水M基を含む基体管からの拡散であり、
第2には気相堆積−反応で用いられるガス流中の原料ガ
ス及び蒸気の水素含有混入物のうちの若干が水1%とし
て堆積中に入る傾向があることであり、第3には管がプ
リフォームとなるようコラプスする際管の孔内の雰囲気
中の同様な混入物である。混入の第1の原因は、初めか
ら比較的低水分の基体管を選択するか、拡散障壁層とな
るにうな材質及び厚さの堆積光クレット層を選択するこ
とで少なくとも部分的には改善される。第2及び第3の
原因の効果は、乾燥した原料を用い空気中の水分を侵入
させるようなシステムの漏れがないようにすることで改
善される。li積反応は通常、システムの排気により排
出される塩化水素蒸気を生ずるJ:う残留水U基と強く
反応する塩素ガスを発生するから、混入の第2の原因で
ある堆積中の混入は通常第3の原因にり重要性は小さい
従って実際上水酸基混入の最も重要な原因はコラプスニ
し程である。塩素ガスをコラプス雰囲気に添加した場合
のことが報告されている。これは例えばエレクトロニク
ス レタース(E IectronicsL cttc
rs) 1980年8月28日号、第16巻第18号6
92〜3頁に掲載されたB、LJ、i−ンスリー(B、
J、Δ1nslie)他1.:ヨ<5 r オフ チV
 −1’ ストストラクチュア フォア プリベアリン
グ ロング ウシ1〜ラローロス シングル モード 
ファイバースJ (QptimiSed 5truct
ure forp reparing 1.ono L
J 1tra−L OW−1−03S S inglc
−Mo+Ic 「1bres )で報告されている。エ
レクトロニクス レタース 1981年1月8日号、第
17巻1号3・〜・5頁に掲載されたJ、アーブンLl
l rven)他の「[]ング ウェーブレングス パ
フオーマンス Aブ オプチカル ファイバース二〕ウ
ドーブ1へ ウィズ フルAリーンJ(Ion(IWa
veleno’th Performance of 
0ptical F 111reS Co−Doged
 witb F +uorTnc )でも報告されてい
る。IEFE ジ(7−ナル オフ クアンタムニ[レ
クトロニクス(IEEE Journal ofQ u
ant(llll E ICCtrOllioS>第Q
’E 18巻4号91べ俣)≦)負のJ、エーンスリー
他による論文「1fデザイン アンド フアプリケーシ
ョン Aブモノモード オプチカル ファイバーJ (
TheDcsion and Fabrication
 of Monomode 0ptical F it
+cr)では、以前の彼等の論文を引用しつつ塩素は1
0%の塩素/酸索混合物によったことを明らかにしてい
る。また第3回インクナショナル オプチクス アンド
 オプチカル ファイバ コミコこケーションズ(I 
nternational 0ptlicsa同Qpt
ical [1bar Communications
 )−g−シフランシス1,1981年86〜88頁の
「リダクション オフ ヒドロキシル ]ンタミネーシ
ョン イン オプチカル ファイバ プリフォームスJ
 (Reduction of l−1ydroxyl
 Contamination in Qptical
 Fi、ber Preforms )におい’UK、
i、ウォーカー(K、 l−、Walker >他は、
如何にして四塩化シリコン及び四塩化ゲルマニウムの酸
化により3〜10%の塩素が11積雰囲気内にあるのか
を説明し、ぞれにより水酸M混入の実際のレベルが40
00程度の係数で減少J−ることを)ホベている。次い
で若者(j、]ララブのため80%の酸素と20%の塩
素の雰囲気を用いることを説明している。
本発明は」ス前報告されているよりもはるかに高い割合
の塩素を]ラプス雰囲気で用いることに関係する。
問題点を解決するための手段 本発明によれば、コラプス中孔が水素及び水素化合物を
略合まない乾燥した雰囲気にさらされるようにしてプリ
フォームとなるようプリフォームのガラス管状母材の孔
をコラプスする段階からなり、雰囲気は塩素及び酸素か
らなる雰囲気であり他の成分は10容積%以下であり3
0乃至75容積%の範囲の塩素を含み、ドーピングされ
た石英コアを有し充実した断面のガラス光ファイバプリ
フォームの製造方法が提供される。
実施例 以下の説明で一連の光フアイバプリフォームの製造は略
同−のコラプス雰囲気の状態で行なわれた。これらのプ
リフォームから線引きされたファイバの減衰はコラプス
雰囲気中の塩素Rに関連して比較される。
この一連の光フアイバプリフォームの部材は、石英基体
管の孔にガラスを堆積させる無水素熱誘導直接酸化反応
を用いる自動装置によりIyJ造され、次いでプリフォ
ームとなるようコラプスされる。
これらのプリフォームは、石英基体管の屈折率と適合す
る屈折率を有Jる気相jff積光クラッド材料が設【プ
られ、5.25ミクロンのモードフィールド半径、1.
31ミクロンのゼロ分散波長、1.2ミクロンの高次モ
ードカッ1〜71フ波長の単一モードファイバの製造に
用いられる。
使用される基体管は、21+1111の壁厚で20ml
11の外径を有するヘラルックス(@ eralux)
 W G天然水晶管である。光クラッド用の初期の堆積
材料は、ゲルマニア、五酸化リン及びフッ素をドーピン
グされたち英であるが、コア用の堆積材料はゲルマニア
をドーピングされた石英である。堆積温度1750℃の
設定温度の±3℃以内に制御される。
被覆された管はそれぞれ、炎フィードバック制御装百に
J:り炎温庶が一定に維持される酸水素バーナの両長手
方向縦断によって13mmの公称径のプリフォームとな
るJ:う2050℃でコラプスされる。
次いで長さ約51v、径約125ミクロンのファイバが
コーラブスから、思鉛質耐火炉を備える垂直ブリングタ
ワーを用いて引出される。これらのファイバは熱硬化性
シリコン弾性材によりオンラインで被覆される。
次の表は、これらのプリフォームの!l!j造に使用さ
れるコラプス雰囲気をプリフォームから線引きされたフ
ァイバの減衰に関係付けて表わしたものである。
表 1 塩素′a度 1,385ミクロンでのOH無限切片容積
 % 吸収ピーク dB/km 、E/km30 1.
63 、 0.03 ’30 2.03 0,11 10 3.11 0.04 20 1.79 0.06 34 1.19 0.07 100 0.47 0,25 100 0.35 0.23 38 1.06 1.0G 80 0.62 0.04 90 0.58 o、39 9°5 0.39 0.36 80 0.56 0,26 80 0.62 0.09 80 0.63 − 0.31 7/1 0,86 0.15 60 1.15 0.04 表 2 プリフォーム 塩素温度 j、275・〜1.335ミ
ク 1,385ミクロンで 無限切片容積 % ロンの
範囲での平均 の平均OH吸収番 号 最大減衰 c[
3/km ピーク dB/km (B/km5 60 
、 0.44 0.72 0.0610 40 0.4
6 1.28 <0.0512 、 40 0.51 
1.42 <0.0511 29 0.60 4.28
 <0.0510 36 0.48 2.54 <0.
059 350.47 2.11 <0.056 35
 0.54 .2.11 <0.05第1図は、これら
の単一モードファイバの光減衰の波長の函数としての変
化の(1方の一般的な形状を示すグラフである。かかる
スペクトル特性の長波長端では約1.6ミクロンより長
い波長においてはフォノン効果により減衰は定常的に増
大し、短波長端ではレイリー散乱の効果で増大Jる。こ
れに重畳して 1.38〜1.4ミクロンの範囲で水酸
基減衰のビーク10があり、また1、2ミクロン付近で
は波長が減少するにつれ減衰の増大11が起こるが、こ
れは高次モードのカッティングオンにともなうものであ
る。(水酸基ビーク10にともない約、1.24〜1.
26ミクロンにある2次的な低いピークは、水′M基ビ
ーク10の値が5dB/kll1以上の場合にははっき
りしているが2J/km以下の値の場合には、見分けら
れない。) 第2図では第1図のスペクトル吸収特性をレイリー散乱
の効果がより明確になるよう波長の4乗の逆数に対して
プロットし直している。第2図から分るように水酸基ピ
ーク20と高次モード波長カットオフ21との間の波長
、例えば1.31ミクロンの波長での減衰は3つの成分
子aJ、rbJ及びrcJの和である。成分aは大きさ
が、レイリーの逆4乗低減衰を特徴付ける直線22の接
片で与えられる波長から独立した部分である。成分すは
選択された波長でのレイリー散乱弁であり、レイリー線
22の傾ぎと選択された波長の4乗の逆数との積に等し
い。3番目の成分Cは水酸基ピーク20の短波長側の末
端による付加的な損失である。
個々のファイバにおいては、個々のスペクトル特性の正
確なレイリー線20を決定するのが困難なため水MW酸
成分の適切な値を決定するのは困難である。しかし、多
数の資料により2つの特定波長におGづろ水酸基ピーク
20の大きさと水酸基成分Cとの関係がわかっている。
この関係は第3図及び第4図にグラフどして表わされて
いる。従って、コラプス雰囲気中の塩素の効果を評価す
るにあたり、水酸基成分Cとして引用した数値は水By
>吸収ピーク20の測定から導かれた数値である。一般
的に言って、結果は塩素′m度が増大すると水M基Cの
大きさは略指数的に減少することを示している。これは
第5図に示しである。
レイリー散乱成分すは、特に屈折率に依存し資料毎に変
化する。この成分の大ぎさとコラプス雰囲気中の塩素濃
度との関係はわかっていない。一方、無限切片として知
られている波長から独立した成分aは、第6図に示す如
(約50%以下を含むコラプス雰囲気の場合には0,0
5 J3 / km以下にとどまるが、それを越えると
略指数的に増大する。
これらの結果に基づき、コラプス雰囲気中の塩素m度の
変化の効果を、水I!I基成分成分無限切片aの0.0
5 J3/lvを超過する値とを加えることにより第7
図に示す。第6図から最良の塩素濃度の[窓]は、水酸
基吸収ピークに近い長波長動作の場合低塩素濃度では狭
くなることがわかる。従って本発明では30乃至75%
の塩素濃度の範囲が用いられるが、この広い範囲中40
乃至60%の範囲が特に有利である。
コラプス雰囲気中の酸素をヘリウムで置き換えた一連の
試験が別に行なわれたが、塩素の割合が増大するとやは
り無限切片の大きさは略指数的に増大した。しかしこの
例では効果がはかるに低い塩素濃度においてはるかに顕
著であった。従ってコラプス雰囲気は酸素及び塩素以外
の成分を10%以上含んではならず、好ましくは酸素及
び塩素のみを含むべぎである。
【図面の簡単な説明】 第1図は光減衰が波長の函数としてプロットされた単一
モードファイバの典型的なスペクトル吸収特性の一般的
な形を示す図、第2図は波長の4乗の逆数の函数として
プロットしなおした光減衰のスペクトル吸収特性を示す
図、第3図及び第4図はそれぞれ1.31ミクロン及び
1.325ミクロンにおける水酸基減衰の超過分と1.
385ミクロンにおける水M基減衰のピーク値との関係
を示す図、第5図は1.385ミクロンにお番プる水酸
基減衰のピーク値と酸素塩素コラプス雰囲気中の塩素f
!度との関係を示す図、第6図は波長と無関係な(無限
切片)吸収と酸素塩素コラプス雰囲気中の塩素濃度との
関係を示1図、第7図は超過減衰と酸素水 。 索コラプス雰囲気中の塩素濃度どの関係を示寸図である
。 10.20・・・水酸基ピーク、11・・・減衰の増大
、21・・・高次モード波長カットオフ、22・・・レ
イリー線、a・・・無限切片、b・・・レイリー散乱成
分、C・・・水酸基成分。 特許出願人 スタンダード テレフォンズアンド ケー
ブルス パブリック

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1) Tラプス中孔が水素及び水素化合物を略合まな
    い乾燥した雰囲気にざらされるJ:うにしてプリフォー
    ムとなるJ:うプリフォームのガラス管状母材の孔をコ
    ラプスする段階がらなり、雰囲気は塩素及び酸素からな
    る雰囲気であり伯の成分は10容積%以下であり3o乃
    至75容積%の範囲の塩素を含み、ドーピングされた石
    英コアを有し充実した断面のガラス光ファイバブリフA
    −ムの製造方法。 (2)該雰囲気は40乃至6o容積%の範囲の塩、索を
    含むことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のガラ
    ス光ファイバプリフォーム製造方法。 G) 該雰囲気は塩”索及び酸素のみからなることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載のガラス光ファイバ
    プリフォーム製造方法。 (4)雰囲気は40乃至60容積%の割合で塩素を含む
    ことを特徴とする特許請求の範囲第3項記載のガラス光
    ファイバプリフォーム製造方法。 6)管状母料は、ガラス基体管の孔にガラス層を堆積さ
    ぼるのに水素及び水素化合物が排除された気相反応を用
    いて形成されることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載のガラス光ファイバプリフォーム製造方法。 (6)雰囲気は40乃¥60容積%の割合で塩素を含む
    ことを特徴とする特許請求の範囲第5項記載のガラス光
    ファイバプリフォーム製造方法。 ■ 特許請求の範囲第1項記載の方法で製造された光フ
    アイバプリフォーム。 (8)特許請求の範囲第7項記載の光フアイバプリフォ
    ームから線引ぎされた光ファイバ。
JP22188784A 1983-10-24 1984-10-22 ガラス光フアイバプリフオーム製造方法 Pending JPS60112635A (ja)

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EP (1) EP0141549A1 (ja)
JP (1) JPS60112635A (ja)
DK (1) DK507484A (ja)
ES (1) ES8606673A1 (ja)
GB (1) GB2148875B (ja)

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EP0141549A1 (en) 1985-05-15
GB2148875B (en) 1987-01-28
DK507484A (da) 1985-04-25
DK507484D0 (da) 1984-10-24
ES8606673A1 (es) 1986-04-01
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