JPS60111047U - ウエハ加熱用ホルダ - Google Patents
ウエハ加熱用ホルダInfo
- Publication number
- JPS60111047U JPS60111047U JP20190283U JP20190283U JPS60111047U JP S60111047 U JPS60111047 U JP S60111047U JP 20190283 U JP20190283 U JP 20190283U JP 20190283 U JP20190283 U JP 20190283U JP S60111047 U JPS60111047 U JP S60111047U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer heating
- heating holder
- holder
- wafer
- resistance wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Heating Bodies (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の一実施例を示す図、第2図は第1図の
A−A断面図を示す。 1・・・ホルダ、2・・・加熱ヒータ、3・・・ウェハ
、4・・・抵抗線、7・・・電源、8・・・電流計。
A−A断面図を示す。 1・・・ホルダ、2・・・加熱ヒータ、3・・・ウェハ
、4・・・抵抗線、7・・・電源、8・・・電流計。
Claims (1)
- 被加熱ウェハを保持し、加熱手段が設けられているホル
ダに抵抗線を固定し、該抵抗線に流れる電流値を測定す
る手段を設けたウェハ加熱用ホルダの温度測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20190283U JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20190283U JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60111047U true JPS60111047U (ja) | 1985-07-27 |
Family
ID=30764118
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20190283U Pending JPS60111047U (ja) | 1983-12-28 | 1983-12-28 | ウエハ加熱用ホルダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60111047U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04101381A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱装置 |
-
1983
- 1983-12-28 JP JP20190283U patent/JPS60111047U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04101381A (ja) * | 1990-08-17 | 1992-04-02 | Ngk Insulators Ltd | 半導体ウエハー加熱装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS60111047U (ja) | ウエハ加熱用ホルダ | |
JPS59148509U (ja) | 電気暖房器 | |
JPS6117632U (ja) | 熱電対取付治具 | |
JPS59107397U (ja) | 凝固性流体の配管装置 | |
JPS5836370U (ja) | 抵抗測定回路 | |
JPS60192722U (ja) | 載置台付加熱式保温容器 | |
JPS6053032U (ja) | 温度センサ | |
JPS58116232U (ja) | 静電チヤツク式加熱台装置 | |
JPS59108237U (ja) | 溶湯温度測温装置 | |
JPS58189948U (ja) | 風洞 | |
JPS5945495U (ja) | 誘導炉の湯漏れ検出装置 | |
JPS58164195U (ja) | 自己温度制御機能をもつヒ−タ−線 | |
JPS5876747U (ja) | サ−マルヘツド | |
JPS5836371U (ja) | 抵抗測定回路 | |
JPS5811202U (ja) | 抵抗器 | |
JPS60181893U (ja) | ヒ−タ | |
JPS6090665U (ja) | ガス検出装置 | |
JPS58120938U (ja) | 温度計測装置 | |
JPS619179U (ja) | 保温されたハンダごて | |
JPS5929037U (ja) | 熱圧着ワイヤボンデイング装置におけるボンデイング用具加熱装置 | |
JPS5865788U (ja) | 電気採暖具の安全装置 | |
JPS6011461U (ja) | 磁電変換素子 | |
JPS616738U (ja) | 温度測定装置 | |
JPS59134074U (ja) | 電圧検出回路 | |
JPS60181881U (ja) | 採暖器具 |