JPS60110390A - 無菌水製造装置 - Google Patents

無菌水製造装置

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JPS60110390A
JPS60110390A JP22033583A JP22033583A JPS60110390A JP S60110390 A JPS60110390 A JP S60110390A JP 22033583 A JP22033583 A JP 22033583A JP 22033583 A JP22033583 A JP 22033583A JP S60110390 A JPS60110390 A JP S60110390A
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water
filter
clean bench
pipings
microorganisms
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JP22033583A
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Osamu Kusudo
楠戸 修
Yoshito Hamamoto
浜本 義人
Takehiko Okamoto
岡本 健彦
Akio Omori
大森 昭夫
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Kuraray Co Ltd
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Kuraray Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は無菌水製造装置に関するものである。
さらに詳しくは微生物による配管の汚染を防止すること
のできる装置に関するものである。
従来よシミ子工業、医薬品製造業等で使用する水の中に
は微粒子数や細菌数を厳しく管理しなければならない水
があシ、超純水あるいはパイロジエン7リー水(以下無
菌水という)と呼ばれている。このような無菌水は通常
第1図に示すように逆浸透、イオン交換、0.22〜0
.45μのミクロフィルター、紫外線(UV)ランプを
組み合せたラインで製造されている。逆浸透からUVラ
ンプまでの工程を経て用水センターで純化された水は供
給配管を通って各クリーンペンチへ給水される。超純水
は滞留すると直ちに比抵抗が下がってしまうばかシでな
く、微生物の発生などによって微生物数も増加してしま
うのでクリーンベンチで使われなかった残シは循環配管
で用水センターへ送シ返されイオン交換、ミクロフィル
ター、 UVを通って再純化されてからクリーンペンチ
に送られる。またクリーンペンチでは限外p過膜やミク
ロフィルターを内蔵したチェックフィルターが使わレテ
おり一部クリーンベンチの蛇口6をとめても蛇口を再び
開けてフラッシュアウトすれば、直ちに比抵抗の高特に
休日の運転休止などの場d令気中の微生物が蛇口よシ逆
流して配管内に侵入することがある。
この配管中に混入した微生物は急速に増殖し、パイロジ
エンをプラスにしたシ微生物自体が粒子となって流出し
水質を極めて悪化させる。さらに微生物数の計数には培
養法で数日を要するためその間の製品収率が低下すると
ともに、微生物が膜表面に棲息してコロニーを形成して
濾過速度を経時的に低下させるという問題があった。か
かる問題を解消するため従来より次亜塩素酸ナトリウム
、ホlレマリンなどを使った薬液洗浄が行われているが
、水質回復のための活性炭、イオン交換樹脂による後処
理が必要となシ、その部分での生菌の再発生の恐れがあ
り実用性に乏しい。
本発明者らは上記微生物による汚染を防止するため鋭意
検討した結果本発明に到達したものである。すなわち本
発明は用水センターより熱交換器と筐体内に80・Å以
上の物質を実質的に透過させず、かつ60℃以上の耐熱
性を有する一端が封止された多数の中空糸を収容し、該
中空糸の他端をイミダゾール系硬化エポキシ樹脂で集束
固定した濾過器をこの順序で配設したクリーンベンチへ
無菌水を供給する配管と、クリーンベンチへ供給した無
菌水の一部を回収して用水センターへ送シ返す循環配管
よシなる無菌水製造装置である。
本発明においては、最終チェックフイμタ一部の前に熱
交換器を設けて水の温度を60℃以上、好ましくは80
℃以上に加熱することにより実質的に有害な微生物を殺
菌する能力と膜表面に棲息する付着微生物を除去する能
力とを付加させることができ、最終チェックフィルター
後の微生物のラインへの付着を未然に防いだシ、付着し
た微生物を殺菌し、微生物汚染の防止に著効を示す。
次に図面によシ本発明装置の一実施例を示す。
第2図に示すように用水センターよシ供給配管1で送ら
れてきた無菌水は枝配管2を通ってクリーンベンチ、す
なわち熱交換器3で60℃以上に加熱された後、限外濾
過膜を内蔵した濾過器(チェックフィルター)4に圧入
される。そして濾過水は蛇口6よシ取シ出される。一方
用水センターからクリーンベンチへ供給された無菌水の
一部は循環配管5から用水センターへ戻される。
上記熱交換器3は通常二重管によるスチーム加熱方式が
用いられるが他の加熱方式でもよい。また無菌水を蛇口
から連続的に流出させているときには微生物による逆汚
染は極めて少ないため通常1週間に1回以上、よシ好ま
しくは1日1回立上げる前に、例えば90℃に加熱した
水を約30分間蛇口より流出させることにより配管及び
チェックフィルター内の微生物を死滅させることができ
る。上記熱水の流出時間は熱水温度によシ適宜決定され
る。一方用水センターからクリーンベンチに供給される
配管中に含まれる微生物はチェックフィルターである限
外濾過膜で阻止されるため、これらの微失物が蛇口から
流出することはない。
限外濾過膜を内蔵した濾過器4は、例えば第3図に示す
ように下端が実質的に封止され、上端が開口した多数の
中空糸7の上端を接着剤8で集束固定した中空糸束を、
上端に開口を有する筐体9内に収容し、かつ該中空糸束
の集束固定部に接続固定されたキャップ体10を、相互
間隔をおいて配置された少くとも2つのパツキン11を
介して、底壁に被処理液入口及び処理液出口と連通ずる
2つの開口を有する蓋体12の処理液出口側の開口内に
液密に挿入している。そして上記筐体を蓋体に液密に取
着して、中空糸束の集束固定部に接続固定されたキャッ
プ体の挿入状態を保持している。
一方、上記蓋体の側壁には複数のパツキンの間に開口す
る洩出液出口13が穿設されている。そのためシール部
材11の欠陥によって流出した8詐液は洩出液出口よシ
流出してp液側に洩れることがないため処理液側への微
生物の漏出を完全に防止することができる。また上記濾
過器では通常外圧全沖過方式が採用されるが、内圧全濾
過又は外圧循環方式でもよい。外圧循環の場合循環液は
用水センターへ返すことが好ましい。
上記濾過器4に収容する中空糸としてはsol以上の物
質を実質的に透過させず、かつ耐熱性を有する素材、例
えばポリスルホン系、ポリプロピレン系、ポリカーボネ
ート系、ポリアミド系、ポリイミド系、ポリフッ化ビニ
リデン系、ポリアクリロニトリル系、ポリビニルアルコ
ール系などがある。中でもポリスルホン系は曲げ弾性率
が高いため特に好ましい。
80大以上の物質を実質的に透過させない中空糸とは平
均粒径が80大のコロイダルシリカの排除率Rを次の条
件で測定し、Rが95%以上のものをいう。
排除率の測定方法 (1)中空糸束;中空糸長20z、外径基準の膜面@2
00Cjの中空糸束を作製し使用。
(II)測定液;平均粒径80^のコロイダルシリカ1
%液(日産化学工朶株式会社製スノーテツクヌーS(コ
ロイダルシリカで最小粒径のもの)を蒸留水にて稀釈)
(++D沖過条件;外圧全濾過方式、濾過圧o、5hg
7=温度25℃。なお中空糸束は使用前によく水をきシ
、かつ中空糸壁内もコロイダルシリカ液に置換後加圧し
、濾過を開始する。
(1■)サンプリング;加圧直前の測定原液及び加圧後
の炉液の初流よp 10 cc毎に5回サンプリングす
る。得られた6コのサンプルを100℃X 16 hr
乾燥し、固型分濃度を測定する。
(V)排除率Rの算出;測定原液の固型分濃度CDと5
個の炉液中で最も高い固型分濃度Crmax よシ次式
によりRをめる。
1’t = (1−Crmax/GD) X 100な
お本測定法の如く、コロイド液を用いると粒子以外の溶
解物質を含有している可能性があシ、Rを重斌法でめる
ため、Rが97%と出ても、80大の粒子が3%透過し
ていることを意味しておらず、Rが95%以上であれば
soX以上の粒子は全く透過していないと考えてよい。
またかかる中空糸は外面あるいは内面あるいは内外両面
に805L以上の物質を実質的に透過させない活性層を
有するもの、あるいは膜の内部に】00大以上の物質を
実質的に通過させない微細構造を有するものならばいず
れでもよい。このような80大以上の物質を実質的に透
過させない中空糸を用いることによシ、原水中の88分
たとえば微生物やコロイド状物は完全に除去出来るとと
もに最も小さいウィルスといわれているポリオウィルス
やコロイド状物質の最小物である100大のコロイド状
シリカをも除去出来るだめ高度に精製された無菌水を得
ることが出来多。
また上記中空糸束の一端を集束固定する接着剤8も耐熱
性を有するものでなければならない。そのため通常用い
られるポリウレタン樹脂などは用いることができない。
かかる接着剤としてはイミダゾール系硬化エポキシ樹脂
が用いられる。この樹脂はエポキシ主剤、そのエポキシ
当量に対して25〜70モル%のアミン当量を有するポ
リアミン系硬化剤、およびエポキシ主剤に対して0.5
〜10重量%のイミダゾール系硬化剤よりなシ、かつポ
リアミン系硬化剤/イミダゾール系硬化剤の重量比が1
00150〜100/1である液状エボキ7糸配合物を
中空糸の端部の間隙に充填し、まず0〜50℃で固化さ
せ、次いで60〜150℃にてキユアリングして中空糸
の端部を集束固定することができる。
また上記中空糸束を収容する筐体9、蓋体12及びキャ
ップ体10はステンレン鋼や、4ミリプロピレン、ポリ
4弗化エチレン、ポリ弗化ビニリデン、ポリアセターl
し、ポリカーボネート、ポリスルホン、′ポリー4−メ
チルペンテンー1などの耐熱性を有する樹脂が用いられ
る。ポリスルホン中空糸を用いる場合には篩体、蓋体及
びキャップ体−もポリスルホンを用いることが好ましい
またシールに用いるパツキンは工業用ゴム、例えばシリ
コンゴムなどが用いられる。
以上のように本発明装置はクリーンベンチに熱交換器と
特定の渥過器をこの順序で配設することによシ微生物に
よる配管ラインの汚染と濾過速度の低下を防止すること
ができ、特にLSI組立などの電子工業などに極めて有
用な装置である。
実施例 第2図に示すラインで炉液の検査を行った。この場合熱
交換器はSUS316製2重管式熱交換器であり、内管
内に超純水が流れ、外管内にスチームを供給する方式の
ものを用いた。また濾過器は単分散ポリエチレンオキサ
イドの分画性より分画分子量26万の多数のポリヌルホ
ン製中空糸をイミダゾール系エポキシ樹脂で接着した限
界濾過膜4m2を使用した。系内を3%ホルマリン水で
満し、1日間放置后400l/Hrで連続通水した所、
濾過器の処理液中からは2ヶ月間に亘り細菌は検出され
ず、かつパイロジエンもマイナスであった。しかしなが
ら上記装置を50l/Hrで連続使用したところ7日後
に細菌が検出され、パイロジエンがプラスマイナスに転
じた。以後細菌が検出されパイロジエンもプラスに変っ
た。14日後に熱交換器にスチームを流し90℃の熱水
を2時間通水後細菌及びパイロジエンをチェックしたと
ころ細菌は検出されずパイロジエンもマイナスであった
。上記装置を50l/Hrで連続使用(2回に1回、1
回につき30分間90℃の熱水を通水)したところ2ヶ
月間に亘り処理液からは細菌は検出されず、またパイロ
ジエンもマイナスであった。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のIC製造工場における無菌水供給ライン
の一例であり、第2図は本発明による無菌水供給フィン
であり、第3図は濾過器の一例を示す断面図である。 特許出願人 株式会社 クラレ 代理人 弁理士 本身堅

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、用水センターよシ、熱交換器と筐体内に80^以上
    の物質を実質的に透過させず、かつ60℃以上の耐熱性
    を有する一端が封止された多数の中空糸を収容し、該中
    空糸の他端をイミダゾール系硬化エポキシ樹脂で集束固
    定し九濾過器をこの順序で配設したクリーンベンチへ無
    菌水を供給する配管と、クリーンベンチへ供給した無菌
    水の一部を回収して用水センターへ送シ返す循環配管よ
    りなる無菌水製a装置。 2.80^以上の物質を実質的に透過させず、かつ60
    ℃以上の耐熱性を有する中空糸がポリスルホンよ多構成
    された中空糸である特許請求の範囲第1項記載の無菌水
    製造装置。
JP22033583A 1983-11-21 1983-11-21 無菌水製造装置 Granted JPS60110390A (ja)

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