JPS60108734A - 光学的欠陥検出方法 - Google Patents
光学的欠陥検出方法Info
- Publication number
- JPS60108734A JPS60108734A JP21810183A JP21810183A JPS60108734A JP S60108734 A JPS60108734 A JP S60108734A JP 21810183 A JP21810183 A JP 21810183A JP 21810183 A JP21810183 A JP 21810183A JP S60108734 A JPS60108734 A JP S60108734A
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- JP
- Japan
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- optical
- optical member
- resin
- resins
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- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学部材の内部の光学的欠陥を検出する光学
的欠陥検出方法に関するものである。
的欠陥検出方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、光学機器の高性能化に伴ない、光学部材の内部の
光学的欠陥に対する規格がきびしくなってきており、光
学的欠陥の検出方法の改善が望まれていた０ 従来、凹凸面を有する光学部材の内部の光学的欠陥を検
出する方法として、光学部材とほぼ同じ屈折率をもつ液
体（以下マツチング液という）を入れたオイルバスを使
用する方法かぁ−・た。
光学的欠陥に対する規格がきびしくなってきており、光
学的欠陥の検出方法の改善が望まれていた０ 従来、凹凸面を有する光学部材の内部の光学的欠陥を検
出する方法として、光学部材とほぼ同じ屈折率をもつ液
体（以下マツチング液という）を入れたオイルバスを使
用する方法かぁ−・た。
しかし、前述のオイルバスを使用するＪｊ法ではマツチ
ング液が、ごみ・はこりなどでよごれたり、マツチング
液中に気泡が発生したりすることにより、光学部材の小
さな欠陥が見えなくなるという問題があった。
ング液が、ごみ・はこりなどでよごれたり、マツチング
液中に気泡が発生したりすることにより、光学部材の小
さな欠陥が見えなくなるという問題があった。
また、マツチング液が液体であるということで手やオイ
ルバスの外側などがよごれ、非常に取扱いが煩雑である
という欠点も有し改善が空寸れていた。
ルバスの外側などがよごれ、非常に取扱いが煩雑である
という欠点も有し改善が空寸れていた。
発明の目的
本発明の目的は、上述のような欠点をなくし、オイルバ
スを使用しない乾式方式で簡便に、しかも精度良く光学
欠陥の検出が可能な光学的欠陥検出方法を提イＪ（する
ものである。
スを使用しない乾式方式で簡便に、しかも精度良く光学
欠陥の検出が可能な光学的欠陥検出方法を提イＪ（する
ものである。
発明の構成
本発明の光学部材の選別方法は、凹凸面を有する光学部
材に、屈折率が前記光学部材にほぼ等しい樹脂を塗布し
、前記樹脂に鏡面を有する物質を押し当てて、前記樹脂
を鏡面に仕」二げ、前記光学部材に光を透過させて内部
の光学的欠陥を検出するよう構成されたものである。
材に、屈折率が前記光学部材にほぼ等しい樹脂を塗布し
、前記樹脂に鏡面を有する物質を押し当てて、前記樹脂
を鏡面に仕」二げ、前記光学部材に光を透過させて内部
の光学的欠陥を検出するよう構成されたものである。
実施例の説明
以下本発明の実施例を図面とともに説明する。
第１図および第３図は、本発明の光学的欠陥検出方法に
おける光学部材の正面図、第２図および第４図は同斜視
図を示す。
おける光学部材の正面図、第２図および第４図は同斜視
図を示す。
第１図および第２図において、光学部材１の両半部に凹
凸がある場合、内部の光学的欠陥である不純物２や脈理
３および４は、反対の主平面から光を透過させても、凹
凸面で光が乱反射するため検出することができない。
凸がある場合、内部の光学的欠陥である不純物２や脈理
３および４は、反対の主平面から光を透過させても、凹
凸面で光が乱反射するため検出することができない。
第３図および第４図において、光学部材１の凹凸面を有
する主平面に、前記光学部材１と屈折率が等しい樹脂５
および６を塗布し、両生平面に、鏡面を有する平板の物
質子および８を抑圧して、前記の樹脂６および６を鏡面
に仕−にげて、両生甲面が鏡面をもつ光学部材９とし、
反対の主平面側から光源１ｏにより光を透過することに
よ−）で、内部の光学的欠陥である不純物２や脈理３お
よび４′ｆｆ：検出することができる。
する主平面に、前記光学部材１と屈折率が等しい樹脂５
および６を塗布し、両生平面に、鏡面を有する平板の物
質子および８を抑圧して、前記の樹脂６および６を鏡面
に仕−にげて、両生甲面が鏡面をもつ光学部材９とし、
反対の主平面側から光源１ｏにより光を透過することに
よ−）で、内部の光学的欠陥である不純物２や脈理３お
よび４′ｆｆ：検出することができる。
以上のように、凹凸面を有する光学部材に、屈折率が等
しい樹脂を塗布することによって、内部の光学的欠陥が
容易に検出することができる。
しい樹脂を塗布することによって、内部の光学的欠陥が
容易に検出することができる。
以下、本発明の具体例について述べる。
：＃８００〜＃：１０００の研摩砥粒で研摩した光学用
水晶原石の両生平面に、紫外線硬化樹脂を塗布し、両生
平面にガラス板をそれぞれ両側から抑圧し、紫外線を約
１分間照射して樹脂を鏡面に硬化させた。
水晶原石の両生平面に、紫外線硬化樹脂を塗布し、両生
平面にガラス板をそれぞれ両側から抑圧し、紫外線を約
１分間照射して樹脂を鏡面に硬化させた。
前記、紫外線硬化樹脂で鏡面を形成した水晶原石に、反
対側の主平面からハロゲンランプにより光を透過させ約
１００ミクロンの不純物が肉眼で観察できた。
対側の主平面からハロゲンランプにより光を透過させ約
１００ミクロンの不純物が肉眼で観察できた。
観察後、水晶原石に形成した紫外線硬化樹脂の層を、マ
イナス３０’Ｃの温度と微少な機械的外力を加えること
によって容易に剥離することができた０ なお、樹脂として、熱硬化性の透明な樹脂を用いても同
様の効果が得られるが、紫外線硬化樹脂を用いた場合の
方が短時間で、しかも熱がほとんど被測定物に加わらな
いで処理することができる。
イナス３０’Ｃの温度と微少な機械的外力を加えること
によって容易に剥離することができた０ なお、樹脂として、熱硬化性の透明な樹脂を用いても同
様の効果が得られるが、紫外線硬化樹脂を用いた場合の
方が短時間で、しかも熱がほとんど被測定物に加わらな
いで処理することができる。
発明の４１果
以」−のように本発明によれば、オイルバスを用いるこ
となく、簡便に、しかも乾式のためマツチング部材のＪ
：ごれもなく精度良く光学的欠陥を検出することができ
る。
となく、簡便に、しかも乾式のためマツチング部材のＪ
：ごれもなく精度良く光学的欠陥を検出することができ
る。
第１図およびｍ３図Ｆ：Ｊ：本発明の一実施例における
光学的欠陥検出方法を説明するだめの正面図、第２図お
よび第４図は同斜視図である。 １・・・・・・凹凸面を有する光学部材、２・・・・・
・不純物、３．４・・・・・・脈理、５，６・・・・・
・樹脂、７，８・・・・・・鏡面を有する平板の物質、
９・・・・・・両生面が鏡面をもつ光学部材、１０・・
・・・・光源。 第 １ 図 ” ２１’４ 第：３図 第４ＬＡ
光学的欠陥検出方法を説明するだめの正面図、第２図お
よび第４図は同斜視図である。 １・・・・・・凹凸面を有する光学部材、２・・・・・
・不純物、３．４・・・・・・脈理、５，６・・・・・
・樹脂、７，８・・・・・・鏡面を有する平板の物質、
９・・・・・・両生面が鏡面をもつ光学部材、１０・・
・・・・光源。 第 １ 図 ” ２１’４ 第：３図 第４ＬＡ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ０）凹凸面を有する光学部材に屈折率が前記光学部材と
ほぼ等しい樹脂を塗布し、前記樹脂に鏡面を有する物質
を押し当てて前記樹脂を鏡面に仕上げ、前記光学部材に
光を透過させて内部の光学的欠陥を検出することを特徴
とする光学的欠陥検出方法。 （２）樹脂が紫外線硬化樹脂であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の光学的欠陥検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21810183A JPS60108734A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 光学的欠陥検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21810183A JPS60108734A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 光学的欠陥検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108734A true JPS60108734A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16714645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21810183A Pending JPS60108734A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 光学的欠陥検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108734A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015004535A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 試験片の破壊靭性測定方法および試験片の破壊靭性測定用混合溶液 |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21810183A patent/JPS60108734A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015004535A (ja) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 試験片の破壊靭性測定方法および試験片の破壊靭性測定用混合溶液 |
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