JPS60108721A - 圧力・絶対圧力発信器 - Google Patents
圧力・絶対圧力発信器Info
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- JPS60108721A JPS60108721A JP21629683A JP21629683A JPS60108721A JP S60108721 A JPS60108721 A JP S60108721A JP 21629683 A JP21629683 A JP 21629683A JP 21629683 A JP21629683 A JP 21629683A JP S60108721 A JPS60108721 A JP S60108721A
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- hole
- cylindrical block
- recess
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
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- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は大気圧または真空圧とプロセス圧力とを比較し
て発信する圧力・絶対圧力発信器に関するものである。
て発信する圧力・絶対圧力発信器に関するものである。
一般に圧力発信器または絶対圧力発信器は、ボディ内室
の一端または両端部にダイヤフラムを気密状に取付りて
このダイヤフラムに外側から加えられた被測定圧力全ボ
ディ内室内の封入液を介してセンサ室内の圧力センサに
伝達し、圧力センサで測定圧力を電気量に変換して発信
するものでるる。
の一端または両端部にダイヤフラムを気密状に取付りて
このダイヤフラムに外側から加えられた被測定圧力全ボ
ディ内室内の封入液を介してセンサ室内の圧力センサに
伝達し、圧力センサで測定圧力を電気量に変換して発信
するものでるる。
しかしながら、従来の圧力・絶対圧力発信器は圧力セン
サがダイアフラムから離れた箇所に配置されているため
に、その間を接続する通路が長くなってボディ内室内の
通路容積が増大し、また封入液の量が多くなっている。
サがダイアフラムから離れた箇所に配置されているため
に、その間を接続する通路が長くなってボディ内室内の
通路容積が増大し、また封入液の量が多くなっている。
この結果、計器の環境温度が上昇した場合における封入
液の膨張量が大きくなり、この膨張による圧力がダイア
フラムの内側に作用して無視できない量に達することに
より、ダイアクラムが被測定圧力を精度よく検出できな
いという問題がめった。特に圧力バイパスを設けてその
途中に過負荷保護手段全内蔵したものなどにおいては、
封入液の量が多くなるので、このような問題がさらに大
きくなっていた。
液の膨張量が大きくなり、この膨張による圧力がダイア
フラムの内側に作用して無視できない量に達することに
より、ダイアクラムが被測定圧力を精度よく検出できな
いという問題がめった。特に圧力バイパスを設けてその
途中に過負荷保護手段全内蔵したものなどにおいては、
封入液の量が多くなるので、このような問題がさらに大
きくなっていた。
そこでこのような問題を解決するために、ダイヤフラム
径を大きくして受圧面ｓ全増し、封入液の膨張による影
響を低減させることが行なわれているが、このようにす
るとボディ本体の形状が大きくなり、取扱いが面倒にな
るとともに、材料費が嵩んで経済的にも好ましくなかっ
た。
径を大きくして受圧面ｓ全増し、封入液の膨張による影
響を低減させることが行なわれているが、このようにす
るとボディ本体の形状が大きくなり、取扱いが面倒にな
るとともに、材料費が嵩んで経済的にも好ましくなかっ
た。
また、この種の差圧・圧力発信器には圧力センサの特性
が温度変化に左右されないようにするための検出手段と
して測温抵抗体が設けられることが多く、この場合、圧
力センサ自体の補償という目的ではこの抵抗体を圧力セ
／す近くの中継ボード上に設けるのが普通であるが、よ
り高い補正を指向するのでろれはダイアフラムや封入液
などの温度変化が圧力センサに及ぼす影響をも考慮しな
くてはなら々い。この場合には測定温度と受圧室内の温
度との差が大きいとそれぞれの補正特性が互に比例せず
補正形態としては好ましくない。
が温度変化に左右されないようにするための検出手段と
して測温抵抗体が設けられることが多く、この場合、圧
力センサ自体の補償という目的ではこの抵抗体を圧力セ
／す近くの中継ボード上に設けるのが普通であるが、よ
り高い補正を指向するのでろれはダイアフラムや封入液
などの温度変化が圧力センサに及ぼす影響をも考慮しな
くてはなら々い。この場合には測定温度と受圧室内の温
度との差が大きいとそれぞれの補正特性が互に比例せず
補正形態としては好ましくない。
本発明は以上のような点に鑑みなされたもので、ボディ
内孔に挿着固定した円柱ブロックの中心貫通孔の一端を
閉塞する圧力センサを配置してこれと円柱ブロックの局
面凹部内の導電部材とをシール端子で接続し、円柱ブロ
ックの両端面に固定したバックプレートのうちの測定圧
倒バックプレートに受圧ダイアフラム全固定するととも
に、円柱ブロックの貫通孔バイパス内に過負荷保護手段
を設けるように構成することにより、圧力センサとダイ
アフラムと全近接させ、ボディ内室の容積を小さくする
ことを可能にし、ダイアフラムに対する内圧の影響を減
少させて測定精度の向上を計るとともに、受圧室の至近
位置に温度補正用の抵抗体を配置することによシ測温部
と受圧室内との温度差が少ない理想的な温度特性の補正
を可能にした圧力・絶対圧力発信器を提供するものであ
る。
内孔に挿着固定した円柱ブロックの中心貫通孔の一端を
閉塞する圧力センサを配置してこれと円柱ブロックの局
面凹部内の導電部材とをシール端子で接続し、円柱ブロ
ックの両端面に固定したバックプレートのうちの測定圧
倒バックプレートに受圧ダイアフラム全固定するととも
に、円柱ブロックの貫通孔バイパス内に過負荷保護手段
を設けるように構成することにより、圧力センサとダイ
アフラムと全近接させ、ボディ内室の容積を小さくする
ことを可能にし、ダイアフラムに対する内圧の影響を減
少させて測定精度の向上を計るとともに、受圧室の至近
位置に温度補正用の抵抗体を配置することによシ測温部
と受圧室内との温度差が少ない理想的な温度特性の補正
を可能にした圧力・絶対圧力発信器を提供するものであ
る。
以下、本発明の冥施例を図面に基いて詳細に説明する。
第１図ないし第３図は本発明全圧力発信器に適用した例
を示し、第１図は圧力発信器の縦断面図、第２図は電気
量等を除いて示す第１図のＡＡ断面図、第３図は嬉２図
のＢＢ断面図である。これらの図において、制御装置等
を収納する電気量１の底部には、円筒状の接続管２ａと
、これに対して軸芯を直交させた扁平円筒状のボデイネ
体２ｂとで一体形成さ−ｒＬｆｃボディ２がボルト３に
よって固定されており、ボディ本体２ｂの内孔２ｃには
、全体を符号４で示す受圧ユニットが後述するバックプ
レート６、γの局面全嵌着させて気密同市されている。
を示し、第１図は圧力発信器の縦断面図、第２図は電気
量等を除いて示す第１図のＡＡ断面図、第３図は嬉２図
のＢＢ断面図である。これらの図において、制御装置等
を収納する電気量１の底部には、円筒状の接続管２ａと
、これに対して軸芯を直交させた扁平円筒状のボデイネ
体２ｂとで一体形成さ−ｒＬｆｃボディ２がボルト３に
よって固定されており、ボディ本体２ｂの内孔２ｃには
、全体を符号４で示す受圧ユニットが後述するバックプ
レート６、γの局面全嵌着させて気密同市されている。
この受圧ユニット４は、ボディ内孔２ｃＬｖも小径の円
柱状に形成きれた円柱ブロック５とその両端面に気密固
定された円板状のバックプレートロ、７とで一体的に形
成されており、各バツクプレート６．７には、大気圧に
開放された大気圧導入口８を備えたプロセスカバー９と
、プロセスの圧力部に接続される測定圧導入口１０を備
えたプロセスカバー１１とがそれぞれ気密固定されてい
る。円柱ブロック５の測定圧側端面には、長方形状の凹
陥部５ａが形成されておジ、また円柱ブロック５の中心
部には、大気圧側端面と凹陥部５ａの底面との間全貫通
し大気圧側の一部が測定圧側よりも小径に形成された貫
通孔５ｂが穿設されている。符号１２で示すものは圧力
−電気変換素子として作用するシリコンダイヤフラムか
らなる方形板状の圧力センサでめって、この圧力センサ
１２はこれとはソ同じ膨張係数を有するガラスで形成さ
れた円筒状のセンサホルダ１３の非固定側端面に接合さ
れて気密固定されており、センサホルダ１３は貫通孔５
ｂの低圧側小径部に嵌着されて気密固定されている。な
お、円柱ブロック５はガラスに近似した膨張係数を有す
るフエルニコ合金（５４Ｆｅ、 ２８Ｎｉ 、 １８Ｃ
ｏ）等の金属で形成されているので、センサホルダ１３
の接合が良好である。符号１４で示すものけ、長方形板
状に形成され、連通孔１５ａで表裏を連通された保護カ
バー１５で覆われて凹陥部５ａ内に装入されたプリント
板からなる中継ボードであって、中心部には圧力センザ
１２との間に間隙ができるようこれよりもや＼大きい方
形孔が穿設されており、圧力センサ１２と中継ボード１
４の方形孔周縁部とは、８個の金細線１２ａで接続され
ている。さらに、円柱ブロック５の外周面には、相対向
する半月状に形成された一対の四部５ｃが形成されてお
り、この凹部５ｃ内と凹陥部５ａ との開音貫通して穿
設された８個の各透孔内には、一端金四部５ｃ内に臨ま
せたフレキシブルプリント板１９（後述）のプリント配
線に一端を接続さｔしたシール端子１６が、透孔に嵌着
固？されたパイレックス等からなるハーメチックシール
１７で絶縁されてそれぞれ係入されている。そして、各
シール端子１６の係入端と前記各金細線１２ａ とが別
の金細線１８で接続されていることにより、圧力センサ
１２とフレキシブルプリント板１９とが電気的に接続さ
れている。フレキシブルプリント板１９は薄板によりジ
グザグ状に折曲形成されて前記接続管２ａ内を電気街１
へ向って延設されており、その一端が前述したように円
柱ブロック５の凹部５ｃに係入されてこれにプリントさ
れた各プリント配線が各シール端子１６に接続されてい
るとともに、プリント配線の他端は、接続管２ａ端部の
コネクタ２０に接続されている。
柱状に形成きれた円柱ブロック５とその両端面に気密固
定された円板状のバックプレートロ、７とで一体的に形
成されており、各バツクプレート６．７には、大気圧に
開放された大気圧導入口８を備えたプロセスカバー９と
、プロセスの圧力部に接続される測定圧導入口１０を備
えたプロセスカバー１１とがそれぞれ気密固定されてい
る。円柱ブロック５の測定圧側端面には、長方形状の凹
陥部５ａが形成されておジ、また円柱ブロック５の中心
部には、大気圧側端面と凹陥部５ａの底面との間全貫通
し大気圧側の一部が測定圧側よりも小径に形成された貫
通孔５ｂが穿設されている。符号１２で示すものは圧力
−電気変換素子として作用するシリコンダイヤフラムか
らなる方形板状の圧力センサでめって、この圧力センサ
１２はこれとはソ同じ膨張係数を有するガラスで形成さ
れた円筒状のセンサホルダ１３の非固定側端面に接合さ
れて気密固定されており、センサホルダ１３は貫通孔５
ｂの低圧側小径部に嵌着されて気密固定されている。な
お、円柱ブロック５はガラスに近似した膨張係数を有す
るフエルニコ合金（５４Ｆｅ、 ２８Ｎｉ 、 １８Ｃ
ｏ）等の金属で形成されているので、センサホルダ１３
の接合が良好である。符号１４で示すものけ、長方形板
状に形成され、連通孔１５ａで表裏を連通された保護カ
バー１５で覆われて凹陥部５ａ内に装入されたプリント
板からなる中継ボードであって、中心部には圧力センザ
１２との間に間隙ができるようこれよりもや＼大きい方
形孔が穿設されており、圧力センサ１２と中継ボード１
４の方形孔周縁部とは、８個の金細線１２ａで接続され
ている。さらに、円柱ブロック５の外周面には、相対向
する半月状に形成された一対の四部５ｃが形成されてお
り、この凹部５ｃ内と凹陥部５ａ との開音貫通して穿
設された８個の各透孔内には、一端金四部５ｃ内に臨ま
せたフレキシブルプリント板１９（後述）のプリント配
線に一端を接続さｔしたシール端子１６が、透孔に嵌着
固？されたパイレックス等からなるハーメチックシール
１７で絶縁されてそれぞれ係入されている。そして、各
シール端子１６の係入端と前記各金細線１２ａ とが別
の金細線１８で接続されていることにより、圧力センサ
１２とフレキシブルプリント板１９とが電気的に接続さ
れている。フレキシブルプリント板１９は薄板によりジ
グザグ状に折曲形成されて前記接続管２ａ内を電気街１
へ向って延設されており、その一端が前述したように円
柱ブロック５の凹部５ｃに係入されてこれにプリントさ
れた各プリント配線が各シール端子１６に接続されてい
るとともに、プリント配線の他端は、接続管２ａ端部の
コネクタ２０に接続されている。
一方、前記大気圧側のバックプレート６には、その表裏
を連通する連通孔２１が中心部に穿設されており、また
バンクプレート６の外側には、前記大気圧導入孔８が開
口する導圧室９ａが形成さｉｚている。さらに、前記測
定圧側のバックプレートＴにｔよ、その表裏全連通する
連通孔２２が中心部に穿設されており、またバンクプレ
ート７の外面には円形の波板状に形成さｉ”Ｌ ｙｒ−
ダイアフラム２３が周縁部を気密状に固定されていてそ
の外側には前記測定圧導入孔１０が開口する導圧室１１
ａが形成されている。
を連通する連通孔２１が中心部に穿設されており、また
バンクプレート６の外側には、前記大気圧導入孔８が開
口する導圧室９ａが形成さｉｚている。さらに、前記測
定圧側のバックプレートＴにｔよ、その表裏全連通する
連通孔２２が中心部に穿設されており、またバンクプレ
ート７の外面には円形の波板状に形成さｉ”Ｌ ｙｒ−
ダイアフラム２３が周縁部を気密状に固定されていてそ
の外側には前記測定圧導入孔１０が開口する導圧室１１
ａが形成されている。
そして円柱ブロック５と大気圧側バックプレート６との
間の空間部２４と前記凹陥部５ａとの間（づ、貫通孔５
ｂ に対するバイパスとしてのベローズ孔２５と通路２
６とで連通部れており、ベローズ孔２５の開１」端は連
通孔を有する座板２ＴＶＣよって閉塞されているととも
に、ベローズ孔２５内には過負荷保護手段２８が装填さ
ｉｌている。この過負荷保護手段２８は、内部を凹陥部
に連通′ｉｌ！）してたベローズ２９と、このベローズ
２９を軸の鍔全弁して編める方向ＣＣ付勢するスプリン
グ３０とで構成されている。
間の空間部２４と前記凹陥部５ａとの間（づ、貫通孔５
ｂ に対するバイパスとしてのベローズ孔２５と通路２
６とで連通部れており、ベローズ孔２５の開１」端は連
通孔を有する座板２ＴＶＣよって閉塞されているととも
に、ベローズ孔２５内には過負荷保護手段２８が装填さ
ｉｌている。この過負荷保護手段２８は、内部を凹陥部
に連通′ｉｌ！）してたベローズ２９と、このベローズ
２９を軸の鍔全弁して編める方向ＣＣ付勢するスプリン
グ３０とで構成されている。
以上のように構成された受圧ユニット４において、円柱
ブロック５、バックプレート１、ダイアフラム２３、圧
力センザ１２、センサホルダ１３、ハーメチックシール
１７．ベローズ２９、保ｄ−ｈバー１５、中継ボード１
４で形成された気密空間によって測定圧側の受ＦＩ！室
が構成されており、この受圧室内にはシリコンオイル等
の封入液が封入されている。この封入液の詞入圧によっ
てダイアフラム２３がバックプレート７の外面から離れ
、この間にすき間が形成さね、る。
ブロック５、バックプレート１、ダイアフラム２３、圧
力センザ１２、センサホルダ１３、ハーメチックシール
１７．ベローズ２９、保ｄ−ｈバー１５、中継ボード１
４で形成された気密空間によって測定圧側の受ＦＩ！室
が構成されており、この受圧室内にはシリコンオイル等
の封入液が封入されている。この封入液の詞入圧によっ
てダイアフラム２３がバックプレート７の外面から離れ
、この間にすき間が形成さね、る。
さらに、前記円柱ブロック５の凹部５ｃ内には、圧力発
信器の温度特性を補正するための抵抗体３１が、フレキ
ンプルプリント板１９に接続されて配置されている。
信器の温度特性を補正するための抵抗体３１が、フレキ
ンプルプリント板１９に接続されて配置されている。
以上のように構成された圧力発信器の動作について説明
する。ＩＩＩ定圧導入孔１０から導入されたプロセス圧
力Ｐ１がダイアフラム２３の表面に印加されると、この
圧力は連通孔２２．１５ａ を経て封入液を介し圧力セ
ンサ１２の表面に伝達される。一方、大気圧導入孔８カ
・ら導入された大気圧Ｐ２が連通孔２１とセンサホルダ
１３内すなわち貫通孔５ｂ？経て圧力センサ１２の裏面
に印加されるので、圧力センサ１２は側圧力の差圧（ｐ
＋−Ｐ２ ）に応じた歪を受け、この歪が電気量に変換
される。そして、差圧の値に応じた電気信号が金細線１
５ａ１ 中継ボルド１４、金細線１８、シー ル端子１
６ 、フレキシブルプリント板１９を経てコネクタ２０
に導かれ、ここから図示しない制御装置へ発信される。
する。ＩＩＩ定圧導入孔１０から導入されたプロセス圧
力Ｐ１がダイアフラム２３の表面に印加されると、この
圧力は連通孔２２．１５ａ を経て封入液を介し圧力セ
ンサ１２の表面に伝達される。一方、大気圧導入孔８カ
・ら導入された大気圧Ｐ２が連通孔２１とセンサホルダ
１３内すなわち貫通孔５ｂ？経て圧力センサ１２の裏面
に印加されるので、圧力センサ１２は側圧力の差圧（ｐ
＋−Ｐ２ ）に応じた歪を受け、この歪が電気量に変換
される。そして、差圧の値に応じた電気信号が金細線１
５ａ１ 中継ボルド１４、金細線１８、シー ル端子１
６ 、フレキシブルプリント板１９を経てコネクタ２０
に導かれ、ここから図示しない制御装置へ発信される。
この場合、ダイアフラム２３に印加された圧力バ、同時
にバイパスであるベローズ孔２５内（でも伝達すれ、ベ
ローズ２９の内部に圧力が生じる。
にバイパスであるベローズ孔２５内（でも伝達すれ、ベ
ローズ２９の内部に圧力が生じる。
これによってベローズ２９が伸びる方向に変位しようと
するが、この圧力が設定圧以下の場合にはスプリング３
０の弾発力にうち勝つことができずベローズ２９が変位
しない。この場合のＨ−力は圧力センサ１２で測定可能
な最大ＦＥ力かベローズ２９に加わってもベローズ２９
が変位しないように設定されており、このｊｔ力範囲内
では封入液かほとんど移動しかへ、そして、測定１’ｆ
−カ範囲を越えた過大圧力がダイアフラム２３に加わる
と、スプリング３０がこの圧力に抗することかできずに
圧縮されベローズ２９が伸びる。同時にダイアフラム２
３も内方へ変位し、やがてバックプレートＴの外面に密
着して受圧室内への１モカ伝達がこの状態でＩＬめられ
る。したがって過大圧力が圧力センサ１２に加わらず、
圧力センザ１２を破壊から保護することができる。また
、ｒＦカセンサ１２自体の温度特性ならびに円柱ブロッ
ク５、ダイアフラム２３、封入液等の温度変化による圧
力センサ１２の温度特性は、抵抗体３１によって補正さ
れる。
するが、この圧力が設定圧以下の場合にはスプリング３
０の弾発力にうち勝つことができずベローズ２９が変位
しない。この場合のＨ−力は圧力センサ１２で測定可能
な最大ＦＥ力かベローズ２９に加わってもベローズ２９
が変位しないように設定されており、このｊｔ力範囲内
では封入液かほとんど移動しかへ、そして、測定１’ｆ
−カ範囲を越えた過大圧力がダイアフラム２３に加わる
と、スプリング３０がこの圧力に抗することかできずに
圧縮されベローズ２９が伸びる。同時にダイアフラム２
３も内方へ変位し、やがてバックプレートＴの外面に密
着して受圧室内への１モカ伝達がこの状態でＩＬめられ
る。したがって過大圧力が圧力センサ１２に加わらず、
圧力センザ１２を破壊から保護することができる。また
、ｒＦカセンサ１２自体の温度特性ならびに円柱ブロッ
ク５、ダイアフラム２３、封入液等の温度変化による圧
力センサ１２の温度特性は、抵抗体３１によって補正さ
れる。
第４図は本発明を給体圧力発信器に適用した実施例を示
す給体圧力発信器の縦断面図であって第１図と同符号全
村したものはこれと同じ構成でろる力・らぞの説明全省
略する。給体圧力発信器において番τ服圧力発信器の場
合に大気圧が導入されていた低圧側の導圧家９ａおよび
大気圧導入口８が設けられておらず、基準圧側のバック
プレート６と円柱ブロック５の端面との間にははソ真空
状態の基準圧室３２が形成されており、前記貫通孔５ｂ
はこの基準圧室３２に開口連通されている。こうするこ
とにより、前記圧力発信器と同じように動作して絶対圧
力を測定することができ、また過負荷保護手段２８およ
び温度補正用の抵抗体３１も圧力発信器と同様に作用す
る。
す給体圧力発信器の縦断面図であって第１図と同符号全
村したものはこれと同じ構成でろる力・らぞの説明全省
略する。給体圧力発信器において番τ服圧力発信器の場
合に大気圧が導入されていた低圧側の導圧家９ａおよび
大気圧導入口８が設けられておらず、基準圧側のバック
プレート６と円柱ブロック５の端面との間にははソ真空
状態の基準圧室３２が形成されており、前記貫通孔５ｂ
はこの基準圧室３２に開口連通されている。こうするこ
とにより、前記圧力発信器と同じように動作して絶対圧
力を測定することができ、また過負荷保護手段２８およ
び温度補正用の抵抗体３１も圧力発信器と同様に作用す
る。
なお、前記各実施例においては、圧力センサ１２とシー
ル端子１６との開音中継ボード１４を介して接続した例
を示したが、中継ボード１４全用いることなくｍ線で直
接接続してもよい。！、に１センサホルダ１３の材料は
ガラスでなくてもよく、（ｍ張車の金属を用いてもよい
。さらに前記各実施例では波板状のダイアフラム２３を
用いた例を示したが、平板状のダイアフラム全相いても
よい。
ル端子１６との開音中継ボード１４を介して接続した例
を示したが、中継ボード１４全用いることなくｍ線で直
接接続してもよい。！、に１センサホルダ１３の材料は
ガラスでなくてもよく、（ｍ張車の金属を用いてもよい
。さらに前記各実施例では波板状のダイアフラム２３を
用いた例を示したが、平板状のダイアフラム全相いても
よい。
またシール端子１６の本数、配列は前記各実施例に限定
するものではな（，４・１１々変更することができる。
するものではな（，４・１１々変更することができる。
以上の説明により明ら７１１な」、うに、本発明によハ
ば圧力・絶対圧力発情−器Ｖこおいて、ボテづ内孔に挿
着固定した円柱ブロックの中心貫通孔の一端を閉塞する
圧力センサを配ｔｉｆシてこ７Ｌと円柱ブロックの周面
凹部内の導Ｎ ｔｒｌｉ材とをシール端子で接続し、円
柱ブロックの両端面に固定したバックプレートのうちの
測定圧ｆｌｌ＋バックプレー］に受圧ダイヤフラム分固
定するとともＶＣ１円柱円柱ブロック通孔バイパス内に
過負荷保護手段′（］ｌ−設けるように構成することに
より、圧力センサとダイアフラムとが近くに配置されて
圧力伝達のための通路がきわめて短かくなり、受圧室内
の容積が大幅に減少して計器全体を小形化することがで
きるので、取扱いが容易になりこれを安価に提供するこ
とができるとともに、封入液の量が少なくなるので、膨
張によるダイア７ラムへの影響が少なくなり、温度によ
る圧力測定精度が低減して圧力測定精度が向上する。ま
た組立時に受圧ユニットの状態で性能テスト、検査等が
可能となシ、合格したもののみ全ボディに組込むことが
できるので、製作過程における不良品による損失が大幅
に減少する。
ば圧力・絶対圧力発情−器Ｖこおいて、ボテづ内孔に挿
着固定した円柱ブロックの中心貫通孔の一端を閉塞する
圧力センサを配ｔｉｆシてこ７Ｌと円柱ブロックの周面
凹部内の導Ｎ ｔｒｌｉ材とをシール端子で接続し、円
柱ブロックの両端面に固定したバックプレートのうちの
測定圧ｆｌｌ＋バックプレー］に受圧ダイヤフラム分固
定するとともＶＣ１円柱円柱ブロック通孔バイパス内に
過負荷保護手段′（］ｌ−設けるように構成することに
より、圧力センサとダイアフラムとが近くに配置されて
圧力伝達のための通路がきわめて短かくなり、受圧室内
の容積が大幅に減少して計器全体を小形化することがで
きるので、取扱いが容易になりこれを安価に提供するこ
とができるとともに、封入液の量が少なくなるので、膨
張によるダイア７ラムへの影響が少なくなり、温度によ
る圧力測定精度が低減して圧力測定精度が向上する。ま
た組立時に受圧ユニットの状態で性能テスト、検査等が
可能となシ、合格したもののみ全ボディに組込むことが
できるので、製作過程における不良品による損失が大幅
に減少する。
さらに、円柱ブロックに比較的深い凹部を設けてこの凹
部内の受圧室に至近の位置に温度補正用の抵抗体全配置
したことによシ、測定温度と受圧室内の温度との差がさ
ほど生じず、理想的な補正を期待することができる。
部内の受圧室に至近の位置に温度補正用の抵抗体全配置
したことによシ、測定温度と受圧室内の温度との差がさ
ほど生じず、理想的な補正を期待することができる。
第１図ないし第４図は本発明に係る圧力・絶対圧力発信
器の実施例を示し第１図はこれを適用した圧力発信器の
縦断面囚、第２図は第１図のＡＡ断面図、第３図は第２
図のＢＢ断面図、第４図は本発明を適用した絶対圧力発
信器の縦断面図である。 ２・・・・ボディ、２ｂ ・・・・ボディ本体、２ｃ
・・・・内孔、５・・・・円柱ブロック、５ａ ・・・
・凹陥部、 ５ｂ −−・・貫通孔、５ｃ ・・・・Ｉ
Ｅｌｌｆｌ、６ 、７−・・・バックプレート、１１ａ
・・・・導圧室、１２・・・・圧力センサ、１６・・
・・シール端子、１７・・・・ハーメチックシール、２
２・・・・連通孔、２３・・・Φダイアフラム、２５・
・・・ベローズ孔、２８・・・・過負荷保護装置、２９
・・・・ベローズ、３０・・書・スプリング、３１・・
・・抵抗体、３２・・・・基準ＦＥ室。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
器の実施例を示し第１図はこれを適用した圧力発信器の
縦断面囚、第２図は第１図のＡＡ断面図、第３図は第２
図のＢＢ断面図、第４図は本発明を適用した絶対圧力発
信器の縦断面図である。 ２・・・・ボディ、２ｂ ・・・・ボディ本体、２ｃ
・・・・内孔、５・・・・円柱ブロック、５ａ ・・・
・凹陥部、 ５ｂ −−・・貫通孔、５ｃ ・・・・Ｉ
Ｅｌｌｆｌ、６ 、７−・・・バックプレート、１１ａ
・・・・導圧室、１２・・・・圧力センサ、１６・・
・・シール端子、１７・・・・ハーメチックシール、２
２・・・・連通孔、２３・・・Φダイアフラム、２５・
・・・ベローズ孔、２８・・・・過負荷保護装置、２９
・・・・ベローズ、３０・・書・スプリング、３１・・
・・抵抗体、３２・・・・基準ＦＥ室。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
Claims (2)
- （１）ボディ内孔に挿着面？されて中心部に貫通孔を有
し局面に凹部が形成された円柱ブロックと、この円柱ブ
ロックの一方の端面に形成した凹陥部内に前記貫通孔を
閉塞するように配置された圧力センサと、この圧力セン
サと前記凹部内の導電部材とを接続するように前記円柱
ブロックを貫いて気密固定されたシール端子と、前記凹
陥部と自らの外面との間の連通孔を有し前記円柱ブロッ
クの端面に気密固定されたバックプレートと、このバッ
クプレートの外面に周縁部全気密固定されて圧力導入室
内に配置されたダイアフラムと、前記貫通孔の反間陥部
側開口端へ真空大気圧が導けるように覆って前記円柱ブ
ロックの他！面に気密固定されたバンクプレートと、前
記円柱ブロック内に形成された前記貫通孔に対するバイ
パス内に配置されベローズとバックアップスプリングと
からなる過負荷保護手段とを設けたことを特徴とする圧
力・絶対圧力発信器。 - （２）ボディ内孔に挿着固定されて中心部に貫通孔を有
し局面に凹部が形成された円柱ブロックと、この円柱ブ
ロックの一方の端面に形成した凹陥部内に前記貫通孔を
閉塞するように配置された圧力センサと、この圧力セン
サと前記凹部内の導電部材とを接続するように前記円柱
ブロックを貫いて気密固定されたシール端子と、前記凹
陥部と自らの外面との間の連通孔を有し前記円柱ブロッ
クの端１ｍに気密固定されたバックプレートと、このノ
くツクプレートの外面に周縁部を気密固定されて圧力導
入室内に配置されたダイアフラムと、前記貫通孔の反間
陥部側開口端へ真空・大気圧が導けるように覆って前記
円柱ブロックの他端面に気密固定されたバックプレート
と、前記円柱ブロック内に形成された前記貫通孔に対す
るバイパス内に配置されベローズとバックアップスプリ
ングとからなる過負荷保護手段と、前記円柱ブロックの
局面凹部内に配置され前記シール端子と接続された温度
補正用の抵抗体とを設けたこと全特徴とする圧力・絶対
圧力発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21629683A JPS60108721A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 圧力・絶対圧力発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21629683A JPS60108721A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 圧力・絶対圧力発信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108721A true JPS60108721A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16686307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21629683A Pending JPS60108721A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 圧力・絶対圧力発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108721A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54100511A (en) * | 1978-01-26 | 1979-08-08 | Howa Mach Ltd | Vane type rotary compressor |
| JPS5612528A (en) * | 1979-07-13 | 1981-02-06 | Hitachi Ltd | Pressure transducer |
| JPS56134623A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-21 | Nippon Seiko Kk | Orifice type gas static pressure bearing |
| JPS57191488A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Compressor |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21629683A patent/JPS60108721A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54100511A (en) * | 1978-01-26 | 1979-08-08 | Howa Mach Ltd | Vane type rotary compressor |
| JPS5612528A (en) * | 1979-07-13 | 1981-02-06 | Hitachi Ltd | Pressure transducer |
| JPS56134623A (en) * | 1980-03-24 | 1981-10-21 | Nippon Seiko Kk | Orifice type gas static pressure bearing |
| JPS57191488A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Compressor |
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