JPS60108723A - 差圧・圧力発信器 - Google Patents
差圧・圧力発信器Info
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- JPS60108723A JPS60108723A JP21629883A JP21629883A JPS60108723A JP S60108723 A JPS60108723 A JP S60108723A JP 21629883 A JP21629883 A JP 21629883A JP 21629883 A JP21629883 A JP 21629883A JP S60108723 A JPS60108723 A JP S60108723A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/142—Multiple part housings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0007—Fluidic connecting means
- G01L19/0038—Fluidic connecting means being part of the housing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0645—Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は大気圧または真空圧とプロセス圧力とを比較し
て発信する圧力発信器、およびプロセス圧力と他のプロ
セス圧力とを比較して発信する差圧発信器を総称する圧
力・差圧発信器に関するものである。
て発信する圧力発信器、およびプロセス圧力と他のプロ
セス圧力とを比較して発信する差圧発信器を総称する圧
力・差圧発信器に関するものである。
一般に圧力発信器または差圧発信器は、ボディ内室の両
端部にダイヤフラムを気密状に取付けてこれらのダイヤ
フラムに外側から加えられた被測定圧力をボディ内室内
の封入液を介しセンサ室内の圧力センナに伝達し、圧力
センサで差圧力を電気量に変換して発信するものである
。
端部にダイヤフラムを気密状に取付けてこれらのダイヤ
フラムに外側から加えられた被測定圧力をボディ内室内
の封入液を介しセンサ室内の圧力センナに伝達し、圧力
センサで差圧力を電気量に変換して発信するものである
。
しかしながら、従来の圧力・差圧発信器は、圧力センサ
がダイヤフラムから離れた箇所に配置されているために
、その間を接続する通路が長くなってボディ内室内の通
路容積が増大し、また封入液の量が多く、なっている。
がダイヤフラムから離れた箇所に配置されているために
、その間を接続する通路が長くなってボディ内室内の通
路容積が増大し、また封入液の量が多く、なっている。
この結果、計器の環境温度が上昇した場合における封入
液の膨張量が大きく々シ、この膨張による圧力がダイヤ
フラムの内側に作用して無視できない量に達することに
よシ、ダイヤフラムが被測定圧力を精度よく検出できな
いという問題があった０特に圧力バイパスを設けてその
途中に過負荷保護手段を内蔵したものなどにおいては、
封入液の量がさらに多くなるので、このような問題がさ
らに大きくなっていた〇そこでこのような問題を解決す
るために、ダイヤフラム径を大きくして受圧面積を増し
、封入液の膨張による影響を低減させることが行なわれ
ているが、このようにするとボディ本体の形状が大きく
なシ、取扱いが面倒になるとともに、材料費が嵩んで経
済的にも好ましくなかった。
液の膨張量が大きく々シ、この膨張による圧力がダイヤ
フラムの内側に作用して無視できない量に達することに
よシ、ダイヤフラムが被測定圧力を精度よく検出できな
いという問題があった０特に圧力バイパスを設けてその
途中に過負荷保護手段を内蔵したものなどにおいては、
封入液の量がさらに多くなるので、このような問題がさ
らに大きくなっていた〇そこでこのような問題を解決す
るために、ダイヤフラム径を大きくして受圧面積を増し
、封入液の膨張による影響を低減させることが行なわれ
ているが、このようにするとボディ本体の形状が大きく
なシ、取扱いが面倒になるとともに、材料費が嵩んで経
済的にも好ましくなかった。
本発明は以上のような点に鑑みなされたもので、ボディ
内孔に挿着固定した円柱ブロックの中心貫通孔に円筒ホ
ルダを挿入して一端を固定し、その非固定側開口端を閉
塞して気密固定した圧力センサと、円柱ブロックの周面
凹部とをシール端子で接続するとともに、圧力セ／すの
両面と円柱ブロック両端のダイアフラムとの間に形成さ
れる両受圧室のうちの円筒ホルダ側受圧室に発生する過
負荷のみを吸収する過負荷保護手段を設けるように構成
することにより、圧力センサとダイヤフラムとを近接さ
せ、ボディ内室の容積を小さくすることを可能にしダイ
ヤフラムに対する内圧の影響を減少させて測定精度の向
上を計るとともに、過負荷の吸収により圧力センサと円
筒ホルダとの剥離防止と構造の簡素化を計った圧力・差
圧発信器を提供するものである。以下、本発明の実施例
を図面に基いて詳細に説明する。
内孔に挿着固定した円柱ブロックの中心貫通孔に円筒ホ
ルダを挿入して一端を固定し、その非固定側開口端を閉
塞して気密固定した圧力センサと、円柱ブロックの周面
凹部とをシール端子で接続するとともに、圧力セ／すの
両面と円柱ブロック両端のダイアフラムとの間に形成さ
れる両受圧室のうちの円筒ホルダ側受圧室に発生する過
負荷のみを吸収する過負荷保護手段を設けるように構成
することにより、圧力センサとダイヤフラムとを近接さ
せ、ボディ内室の容積を小さくすることを可能にしダイ
ヤフラムに対する内圧の影響を減少させて測定精度の向
上を計るとともに、過負荷の吸収により圧力センサと円
筒ホルダとの剥離防止と構造の簡素化を計った圧力・差
圧発信器を提供するものである。以下、本発明の実施例
を図面に基いて詳細に説明する。
第１図ないし第３図は本発明を差圧発信器に適用した実
施例を示し、第１図は差圧発信器の縦断面図、第２図は
電気街等を除いて示す第１図のＡＡ断面図、第３図は第
２図のＢＢ断面図である。
施例を示し、第１図は差圧発信器の縦断面図、第２図は
電気街等を除いて示す第１図のＡＡ断面図、第３図は第
２図のＢＢ断面図である。
これらの図において、制御装置等を収納する電気街１の
底部には、円筒状の接続管２ａと、これに対して軸芯を
直交させた扁平円筒状のボディ本体２ｂとで一体形成さ
れたボディ２がポルト３によって固定されておシ、ボデ
ィ本体２ｂの内孔２ｃには、全体を符号４で示す受圧ユ
ニットが、後述するパックプレート６．７の局面を嵌着
させて気密固定されている。この受圧ユニットは、ボデ
ィ内孔２ｃよシも小径の円柱状に形成された円柱ブロッ
ク５とその両端面に気密固定された円板状のバックプレ
ート６．７とで一体的に形成されておシ、各バンクプレ
ー）６，７ＪＣは、プロセスの低圧側に接続される低圧
導入口８を備えたプロセスカバー９と、プロセスの高圧
側に接続される高圧導入口１０を備えたプロセスカバー
１１とがそれぞれ気密固定されている。円柱ブロック５
の高圧側端面には、長方形状の凹陥部５＆が形成されて
おシ、また円柱ブロック５の中心部には、低圧側端面と
凹陥部５Ｍの底面との間を貫通し低圧側の一部が高圧側
よシも小径に形成された貫通孔５ｂが穿設されている。
底部には、円筒状の接続管２ａと、これに対して軸芯を
直交させた扁平円筒状のボディ本体２ｂとで一体形成さ
れたボディ２がポルト３によって固定されておシ、ボデ
ィ本体２ｂの内孔２ｃには、全体を符号４で示す受圧ユ
ニットが、後述するパックプレート６．７の局面を嵌着
させて気密固定されている。この受圧ユニットは、ボデ
ィ内孔２ｃよシも小径の円柱状に形成された円柱ブロッ
ク５とその両端面に気密固定された円板状のバックプレ
ート６．７とで一体的に形成されておシ、各バンクプレ
ー）６，７ＪＣは、プロセスの低圧側に接続される低圧
導入口８を備えたプロセスカバー９と、プロセスの高圧
側に接続される高圧導入口１０を備えたプロセスカバー
１１とがそれぞれ気密固定されている。円柱ブロック５
の高圧側端面には、長方形状の凹陥部５＆が形成されて
おシ、また円柱ブロック５の中心部には、低圧側端面と
凹陥部５Ｍの底面との間を貫通し低圧側の一部が高圧側
よシも小径に形成された貫通孔５ｂが穿設されている。
符号１２で示すものは圧力−電気変換素子として作用す
るシリコンダイヤフラムからなる方形板状の圧力センサ
であって、この圧力センサ１２はこれとはソ同じ膨張係
数を有するガラスで形成された円筒状のセンサホルダ１
３の非固定側端面に接合されて気密固定されており、セ
ンサホルダ１３は貫通孔５ｂの低圧側小径部に嵌着され
て気密固定されている。なお、円柱ブロック５はガラス
に近似した膨張係数を有するフエルニコ合金（５４Ｆｅ
、２８Ｎｌ、１８Ｃｏ）等の金属で形成されているので
、センサホルダ１３の接合が良好である。符号１４で示
すものは、長方形板状に形成され、連通孔１５＆で表裏
を連通された保護カバー１５で覆われて凹陥部５ａ内に
装入されたプリント板からなる中継ボードであって、中
心部には圧力センサ１２との間に間隙ができるようこれ
よりもや＼大きい方形孔が穿設されており、圧力センサ
１２と中継ボード１４の方形孔周縁部とは、８個の金細
線１２＆で接続されている。さらに、円柱ブロック５の
外周面には、相対向する半月状に形成された一対の凹部
５ｃが形成されており、との凹部５ｃと凹陥部５ａとの
間を貫通して穿設された８個の各透孔内には、一端を凹
部５ｃ内に臨ませたフレキシブルプリント板１９（後述
）のプリント配線に一端を接続されたシール端子１６が
透孔に嵌着固定されたパイレックス等からなるハーメチ
ックシール１７で絶縁されてそれぞれ係入されている。
るシリコンダイヤフラムからなる方形板状の圧力センサ
であって、この圧力センサ１２はこれとはソ同じ膨張係
数を有するガラスで形成された円筒状のセンサホルダ１
３の非固定側端面に接合されて気密固定されており、セ
ンサホルダ１３は貫通孔５ｂの低圧側小径部に嵌着され
て気密固定されている。なお、円柱ブロック５はガラス
に近似した膨張係数を有するフエルニコ合金（５４Ｆｅ
、２８Ｎｌ、１８Ｃｏ）等の金属で形成されているので
、センサホルダ１３の接合が良好である。符号１４で示
すものは、長方形板状に形成され、連通孔１５＆で表裏
を連通された保護カバー１５で覆われて凹陥部５ａ内に
装入されたプリント板からなる中継ボードであって、中
心部には圧力センサ１２との間に間隙ができるようこれ
よりもや＼大きい方形孔が穿設されており、圧力センサ
１２と中継ボード１４の方形孔周縁部とは、８個の金細
線１２＆で接続されている。さらに、円柱ブロック５の
外周面には、相対向する半月状に形成された一対の凹部
５ｃが形成されており、との凹部５ｃと凹陥部５ａとの
間を貫通して穿設された８個の各透孔内には、一端を凹
部５ｃ内に臨ませたフレキシブルプリント板１９（後述
）のプリント配線に一端を接続されたシール端子１６が
透孔に嵌着固定されたパイレックス等からなるハーメチ
ックシール１７で絶縁されてそれぞれ係入されている。
そして、各シール端子１６の係入端と前記各金細線１２
ｍとが別の金細線１８で接続されていることによシ、圧
力センサ１２とフレキシブルプリント板１９とが電気的
に接続されている。
ｍとが別の金細線１８で接続されていることによシ、圧
力センサ１２とフレキシブルプリント板１９とが電気的
に接続されている。
フレキシブルプリント板１９は薄板にょシジグザグ状に
折曲形成されて前記接続管２ａ内を電気量１へ向って延
設されておシ、その一端が前述したように円柱ブロック
の凹部５ｃに係入されて各プリント配線が各シール端子
１６に接続されているとともに、プリント配線の他端は
接続管２ａ端部のコネクタ２０に接続されている。
折曲形成されて前記接続管２ａ内を電気量１へ向って延
設されておシ、その一端が前述したように円柱ブロック
の凹部５ｃに係入されて各プリント配線が各シール端子
１６に接続されているとともに、プリント配線の他端は
接続管２ａ端部のコネクタ２０に接続されている。
一方、前記低圧側のバックプレート６には、その表裏を
連通ずる連通孔２１が中心部に穿設されておシ、またバ
ックプレート６の波形状外面には、円形の波板状に形成
されたダイヤフラム２２が周縁部を気密状に固定されて
いてその外側には前記低圧導入孔８が開口する導圧室９
ａが形成されている。さらに、前記高圧側のバックプレ
ートγには、その表裏を連通ずる連通孔２３が中心部に
穿設されており、またバックプレート７０波形状外面に
は円形の波板状に形成されたダイアフラム２４が周縁部
を気密状に固定されていてその外側には前記高圧導入孔
１０が開口する導圧室１１ｍが形成されている。
連通ずる連通孔２１が中心部に穿設されておシ、またバ
ックプレート６の波形状外面には、円形の波板状に形成
されたダイヤフラム２２が周縁部を気密状に固定されて
いてその外側には前記低圧導入孔８が開口する導圧室９
ａが形成されている。さらに、前記高圧側のバックプレ
ートγには、その表裏を連通ずる連通孔２３が中心部に
穿設されており、またバックプレート７０波形状外面に
は円形の波板状に形成されたダイアフラム２４が周縁部
を気密状に固定されていてその外側には前記高圧導入孔
１０が開口する導圧室１１ｍが形成されている。
そして円柱ブロック５と低圧側バックプレート６との間
の空間部２５と前記凹陥部５ａとの間は、貫通孔 ５ｂ
に対するバイパスとしてのベローズ孔２６と通路２γと
で連通されており、ベローズ孔２６の開口端は、連通孔
を有する座板２８によって閉塞されているとともに、ベ
ローズ孔２６内には過負荷保護手段２９が装填されてい
る。この過負荷保護手段２９は内部を凹陥部に連通され
たベローズ３０と、このベローズ３０を軸の鍔を介して
縮める方向に付勢するスプリング３１とで構成されてい
る。
の空間部２５と前記凹陥部５ａとの間は、貫通孔 ５ｂ
に対するバイパスとしてのベローズ孔２６と通路２γと
で連通されており、ベローズ孔２６の開口端は、連通孔
を有する座板２８によって閉塞されているとともに、ベ
ローズ孔２６内には過負荷保護手段２９が装填されてい
る。この過負荷保護手段２９は内部を凹陥部に連通され
たベローズ３０と、このベローズ３０を軸の鍔を介して
縮める方向に付勢するスプリング３１とで構成されてい
る。
以上のように構成された受圧ユニット４において、円柱
ブロック５、バックプレート７、ダイヤフラム２４、圧
力センサ１２、センサホルダ１３、ハーメチックシール
１７、保護カバー１５、中継ボード１４で形成された気
密空間によって高圧側の受圧室が構成されておシ、との
受圧室内にはシリコンオイル等の封入液が封入されてい
る。この封入液の封入圧によってダイヤフラム２４がバ
ックプレート７の外面から離れ、この間にすき間が形成
される。また、円柱ブロック５、バックプレート６、ダ
イヤフラム２２、圧力センサ１２、センサホルダ１３、
ベローズ３ｏで形成された気密空間によって低圧側の受
圧室が構成されておシ、受圧室内にはシリコンオイル等
の封入液が封入されている。この封入液の封入圧によっ
てダイヤフラム２２がバックプレート６の外面から離れ
、この間にすき間が形成される。
ブロック５、バックプレート７、ダイヤフラム２４、圧
力センサ１２、センサホルダ１３、ハーメチックシール
１７、保護カバー１５、中継ボード１４で形成された気
密空間によって高圧側の受圧室が構成されておシ、との
受圧室内にはシリコンオイル等の封入液が封入されてい
る。この封入液の封入圧によってダイヤフラム２４がバ
ックプレート７の外面から離れ、この間にすき間が形成
される。また、円柱ブロック５、バックプレート６、ダ
イヤフラム２２、圧力センサ１２、センサホルダ１３、
ベローズ３ｏで形成された気密空間によって低圧側の受
圧室が構成されておシ、受圧室内にはシリコンオイル等
の封入液が封入されている。この封入液の封入圧によっ
てダイヤフラム２２がバックプレート６の外面から離れ
、この間にすき間が形成される。
さらに、前記円柱ブロック５の凹部５ｃ内には、差圧発
信器の温度特性を補正するための抵抗体３２が、フレキ
シブルプリント板１９に接続されて配置されている。
信器の温度特性を補正するための抵抗体３２が、フレキ
シブルプリント板１９に接続されて配置されている。
以上のように構成された差圧発信器の動作について説明
する。高圧導入孔１ｏがら導入されたプロセス圧力Ｐｌ
がダイヤフラム２４の表面に印加されると、この圧力は
連通孔２３．１５ｍを経て封入液を介し圧力センサ１２
の表面に伝達される。
する。高圧導入孔１ｏがら導入されたプロセス圧力Ｐｌ
がダイヤフラム２４の表面に印加されると、この圧力は
連通孔２３．１５ｍを経て封入液を介し圧力センサ１２
の表面に伝達される。
一方、低圧導入孔８から導入されたプロセス圧力Ｐ２が
ダイヤフラム２２の表面に印加されると、この圧力は連
通孔２１とセンサホルダ１３内すなわち貫通孔５ｂを経
て封入液を介し圧力センサ１２の裏面に伝達されるので
、圧力センサ１２は両正力の差圧（ＰＩ−Ｐ２）に応じ
た歪を受け、この歪が電気量に変換される。そして、差
圧の値に応じた電気信号が金細線１２ａ１中継ボード１
４、金細線１８、シール端子１６、フレキシブルプリン
ト板１９を経てコネクタ２ｏに導かれ、ここから図示し
ない制御装置へ発信される。
ダイヤフラム２２の表面に印加されると、この圧力は連
通孔２１とセンサホルダ１３内すなわち貫通孔５ｂを経
て封入液を介し圧力センサ１２の裏面に伝達されるので
、圧力センサ１２は両正力の差圧（ＰＩ−Ｐ２）に応じ
た歪を受け、この歪が電気量に変換される。そして、差
圧の値に応じた電気信号が金細線１２ａ１中継ボード１
４、金細線１８、シール端子１６、フレキシブルプリン
ト板１９を経てコネクタ２ｏに導かれ、ここから図示し
ない制御装置へ発信される。
この場合、ダイヤフラム２２に印加された圧力は、同時
にバイパスであるベローズ室２６内にも伝達され、ベロ
ーズ３ｏの内部に圧力が生じる。
にバイパスであるベローズ室２６内にも伝達され、ベロ
ーズ３ｏの内部に圧力が生じる。
これによってベローズ３ｏが伸びる方向に変位しようと
するが、この圧力が設定圧以下の場合にはスプリング３
１０弾発力にうち勝つことができずベローズ３０が変位
しない。この場合の圧力は圧力センサ１２で測定可能な
最大圧力がベローズ３０に加わってもベローズ３０が変
位しないように設定されており、この圧力範囲内では封
入液がほとんど移動しない。そして、測定圧力範囲を越
えた過大圧力がダイヤフラム２２に加わると、スプリン
グ３１がこの圧力に抗することができずに圧縮されベロ
ーズ３０が伸びる。同時にダイヤフラム２２も内方へ変
位し、やがてバックプレート６の外面に密着して受圧室
内への圧力伝達がこの状態で止められる。すなわちセン
サホルダ１３内部を圧力センサ１２の方向へ向って加え
られる圧力がスプリング３１に設定された所定圧力を越
えることがないので、圧力センサ１２にはこれをセンサ
ホルダ１３から剥離させるような過大圧力が作用しない
。この場合センサホルダ１３は一般に圧力センサ１２と
近似熱膨張率のガラス質などで形成されているので強度
が小さいが、センサホルダ１３はこれを圧力センサ１２
で圧縮させる方向の圧力に対してはかなシの過大圧力に
対しても充分耐えられる。したがって高圧導入口１０側
からの過大圧力に対しては保護手段を設ける必要がない
。さらに、圧力センサ１２自体の温度特性ならびに円柱
ブロック５、ダイヤフラム２２，２４、封入液等の温度
変化による圧力センサ１２の温度特性は抵抗体３２によ
って補償される。そして、本実施例においては、この抵
抗体３２を円柱ブロック５の比較的深い凹部５Ｃ内の受
圧室に至近の位置に配置したことによシ、測定温度と受
圧室内の温度上の差がさほど生じず、理想的な補正を期
待するξとができる。
するが、この圧力が設定圧以下の場合にはスプリング３
１０弾発力にうち勝つことができずベローズ３０が変位
しない。この場合の圧力は圧力センサ１２で測定可能な
最大圧力がベローズ３０に加わってもベローズ３０が変
位しないように設定されており、この圧力範囲内では封
入液がほとんど移動しない。そして、測定圧力範囲を越
えた過大圧力がダイヤフラム２２に加わると、スプリン
グ３１がこの圧力に抗することができずに圧縮されベロ
ーズ３０が伸びる。同時にダイヤフラム２２も内方へ変
位し、やがてバックプレート６の外面に密着して受圧室
内への圧力伝達がこの状態で止められる。すなわちセン
サホルダ１３内部を圧力センサ１２の方向へ向って加え
られる圧力がスプリング３１に設定された所定圧力を越
えることがないので、圧力センサ１２にはこれをセンサ
ホルダ１３から剥離させるような過大圧力が作用しない
。この場合センサホルダ１３は一般に圧力センサ１２と
近似熱膨張率のガラス質などで形成されているので強度
が小さいが、センサホルダ１３はこれを圧力センサ１２
で圧縮させる方向の圧力に対してはかなシの過大圧力に
対しても充分耐えられる。したがって高圧導入口１０側
からの過大圧力に対しては保護手段を設ける必要がない
。さらに、圧力センサ１２自体の温度特性ならびに円柱
ブロック５、ダイヤフラム２２，２４、封入液等の温度
変化による圧力センサ１２の温度特性は抵抗体３２によ
って補償される。そして、本実施例においては、この抵
抗体３２を円柱ブロック５の比較的深い凹部５Ｃ内の受
圧室に至近の位置に配置したことによシ、測定温度と受
圧室内の温度上の差がさほど生じず、理想的な補正を期
待するξとができる。
なお、本実施例は本発明を差圧発信器に適用した例を示
したが、実施例における低圧導入孔８と導圧室９ａとを
大気圧に開放すれば圧力発信器となシ、また大気圧の代
りに真空圧を導入すれば、絶対圧力発信器となってその
作用効果は差圧発信器の場合と同じである。また、前記
実施例においては、圧力センサ１２とシール端子１６と
の間を中継ボード１４を介して接続した例を示したが、
中継ボード１４を用いることなく細線で直接接続しても
よい。さらにセンサホルダ１３の材料はガラスでなくて
もよく、低膨張率の金属を用いてもよい。また、ダイヤ
フラム２２．２４は波板状でなくて平板状でもよく、シ
ール端子１６の本数、配列も前記実施例に限定するもの
ではない。
したが、実施例における低圧導入孔８と導圧室９ａとを
大気圧に開放すれば圧力発信器となシ、また大気圧の代
りに真空圧を導入すれば、絶対圧力発信器となってその
作用効果は差圧発信器の場合と同じである。また、前記
実施例においては、圧力センサ１２とシール端子１６と
の間を中継ボード１４を介して接続した例を示したが、
中継ボード１４を用いることなく細線で直接接続しても
よい。さらにセンサホルダ１３の材料はガラスでなくて
もよく、低膨張率の金属を用いてもよい。また、ダイヤ
フラム２２．２４は波板状でなくて平板状でもよく、シ
ール端子１６の本数、配列も前記実施例に限定するもの
ではない。
以上の説明によシ明らかなように、本発明によれば差圧
・圧力発信器において、ボディ内孔に挿着固定した円柱
ブロックの中心貫通孔に円筒ホルダを挿入して一端を固
定し、その非固定側開口端を閉塞して気密固定した圧力
センサと、円柱ブロックの周面凹部とをシール端子で接
続するとともに、圧力センサの両面と円柱ブロック両端
のダイヤフラムとの間に形成される両受圧室のうちの円
筒ホルダ側受圧室に発生する過負荷のみを吸収する過負
荷保護手段を設けるように構成することによシ、圧力セ
ンサとダイヤフラムとが近くに配設七引で午力桜鴇の奔
めの通欽萌（さ召払イ鞘萌為？外り、受圧室内の容積が
大幅に減少して計器全体を小形化することができるので
、取扱いが容易になり、これを安価に提供することがで
きるとともに、封入液の量が少なくなるので、膨張によ
るダイヤフラムへの影響が少なくなり、温度による圧力
測定誤差が低減して圧力測定性能が向上する。また、組
立時に受圧ユニットの状態で性能テスト、検査等が可能
となり、合格したもののみをボディに組込むことができ
るので、製作過程における不良品による損失が大幅に減
少する。さらに圧力センサに対し円筒ホルダの内部側か
ら作用しようとする過大負荷が吸収されるので、圧力セ
ンサと円筒ホルダとが剥離せずこれらの破損を防止する
ことができるとともに、圧力センサに対する反日筒ホル
ダ側の過大負荷が作用しても円筒ホルダの圧縮方向であ
ってこの過大負荷に充分耐えることができ、従来圧力セ
ンサの両側に必要であった過負荷保護手段が片側だけで
よくなって構造の簡素化を計ることができる。
・圧力発信器において、ボディ内孔に挿着固定した円柱
ブロックの中心貫通孔に円筒ホルダを挿入して一端を固
定し、その非固定側開口端を閉塞して気密固定した圧力
センサと、円柱ブロックの周面凹部とをシール端子で接
続するとともに、圧力センサの両面と円柱ブロック両端
のダイヤフラムとの間に形成される両受圧室のうちの円
筒ホルダ側受圧室に発生する過負荷のみを吸収する過負
荷保護手段を設けるように構成することによシ、圧力セ
ンサとダイヤフラムとが近くに配設七引で午力桜鴇の奔
めの通欽萌（さ召払イ鞘萌為？外り、受圧室内の容積が
大幅に減少して計器全体を小形化することができるので
、取扱いが容易になり、これを安価に提供することがで
きるとともに、封入液の量が少なくなるので、膨張によ
るダイヤフラムへの影響が少なくなり、温度による圧力
測定誤差が低減して圧力測定性能が向上する。また、組
立時に受圧ユニットの状態で性能テスト、検査等が可能
となり、合格したもののみをボディに組込むことができ
るので、製作過程における不良品による損失が大幅に減
少する。さらに圧力センサに対し円筒ホルダの内部側か
ら作用しようとする過大負荷が吸収されるので、圧力セ
ンサと円筒ホルダとが剥離せずこれらの破損を防止する
ことができるとともに、圧力センサに対する反日筒ホル
ダ側の過大負荷が作用しても円筒ホルダの圧縮方向であ
ってこの過大負荷に充分耐えることができ、従来圧力セ
ンサの両側に必要であった過負荷保護手段が片側だけで
よくなって構造の簡素化を計ることができる。
第１図ないし第３図は本発明に係る差圧・圧力発信器の
実施例を示し、第１図はこれを適用した差圧発信器の縦
断面図、第２図は第１図のＡＡ断面図、第３図は第２図
のＢＢ断面図である。 ２−・・９ボデイ、 ２ｂ９・・・ボディ本体、２ｃ
舎・ａｍ内孔、５・・−・円柱ブロック、５ａ・・・・
凹陥部、５ｂ・・・・貫通孔、 ５ｃ・・拳・凹部、６
．７−・―・バックプレー）、９ｍ。 １１ｍ・拳・・導圧室、１２・・・φ圧力センサ、１３
拳・・・センサホルダ、１６１１・・・シール端子、１
７＠・・・ハーメチックシール、２１，２３・・・・連
通孔、２２．２４・・・・ダイヤフラム、２６・・・・
ベローズ孔、２９・・・・過負荷保獲手ｆｆ、３０−−
−・ベローズ、３１・・舎・スプリング。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
実施例を示し、第１図はこれを適用した差圧発信器の縦
断面図、第２図は第１図のＡＡ断面図、第３図は第２図
のＢＢ断面図である。 ２−・・９ボデイ、 ２ｂ９・・・ボディ本体、２ｃ
舎・ａｍ内孔、５・・−・円柱ブロック、５ａ・・・・
凹陥部、５ｂ・・・・貫通孔、 ５ｃ・・拳・凹部、６
．７−・―・バックプレー）、９ｍ。 １１ｍ・拳・・導圧室、１２・・・φ圧力センサ、１３
拳・・・センサホルダ、１６１１・・・シール端子、１
７＠・・・ハーメチックシール、２１，２３・・・・連
通孔、２２．２４・・・・ダイヤフラム、２６・・・・
ベローズ孔、２９・・・・過負荷保獲手ｆｆ、３０−−
−・ベローズ、３１・・舎・スプリング。 特許出願人 山武ハネウェル株式会社 代理人 山川政樹（ほか１名）
Claims (1)
- ボディ内孔に挿着固定されて中心部に貫通孔を有し周面
に四部が形成された円柱ブロックと、前記貫通孔に挿入
されて少なくとも一端部を気密固定された円筒ホルダと
、前記円柱ブロックの一方の端面に形成しだ凹陥部内に
配置され前記円筒ホルダの非固定側開口端を閉塞するよ
うに気密固定された圧力セ／すと、この圧力センサと前
記凹部内の導電部材とを接続するように前記円柱ブロッ
クを貫いて気密固定されたシール端子とを備え、前記貫
通孔および凹陥部の開口端をそれぞれシールする各ダイ
ヤフラムと前記圧力シールの両面との間に一対の受圧室
を形成してこれら両受圧室をバイパスで連通させるとと
もに、前記両受圧室に発生する過負荷のうち圧力センサ
に対する前記円筒ホルダ側の受圧室に発生する過負荷の
みを吸収する過負荷保護手段を設けたことを特徴とする
差圧・圧力発信器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21629883A JPS60108723A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 差圧・圧力発信器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21629883A JPS60108723A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 差圧・圧力発信器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60108723A true JPS60108723A (ja) | 1985-06-14 |
Family
ID=16686336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21629883A Pending JPS60108723A (ja) | 1983-11-18 | 1983-11-18 | 差圧・圧力発信器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60108723A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107529A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-07 | Yoshiaki Tsunoda | ターボ過給機の駆動方法及び駆動装置 |
| CN110411835A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-11-05 | 广东嘉仪仪器集团有限公司 | 一种带有新型传感器保护装置的塑料瓶顶压强度测试仪 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5612528A (en) * | 1979-07-13 | 1981-02-06 | Hitachi Ltd | Pressure transducer |
-
1983
- 1983-11-18 JP JP21629883A patent/JPS60108723A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5612528A (en) * | 1979-07-13 | 1981-02-06 | Hitachi Ltd | Pressure transducer |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03107529A (ja) * | 1989-09-21 | 1991-05-07 | Yoshiaki Tsunoda | ターボ過給機の駆動方法及び駆動装置 |
| JPH0581732B2 (ja) * | 1989-09-21 | 1993-11-16 | Yoshiaki Tsunoda | |
| CN110411835A (zh) * | 2019-08-26 | 2019-11-05 | 广东嘉仪仪器集团有限公司 | 一种带有新型传感器保护装置的塑料瓶顶压强度测试仪 |
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