JPS599301A - ロ−タリアクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般的には流体動力式ロータリアクチュエータ
に関するものであり、より具体的には空気作動式アクチ
ュエータにとってしばしば所望される商い運動減速能力
を許容する独特な構造を備えた改良されたロークリアク
チュエータに関するものである。

流体動力式アクチュエータは流体圧力差分をシャフトの
回転運動に変換するための装置である。

そのようなアクチュエータはミサイルの翼や魚雷の翼全
位置決めしたり産業ロボットの把力をコントロールした
りという極めて多数の使用法及び用途を有している。

多くの用途において、前記アクチュエータは亀気旧号に
よって命令される位置サーボ機能を果す。

そのようなサーボはまた典型的には出力位置を検出する
フィードバックトランスデユーサと、前記フィードバッ
ク信号を、命令信号と比較するための電気的加算機構と
、そのような命令及びフィードバック信号間の電気的誤
差信号に反応し、アクチュエータに対する流体圧力差分
をコントロールするよう作動可能なサーボ弁とを含んで
いる。

そのようなアクチュエータの可動要素が小さな慣性乃至
質量を備えているということはしばしば望まれることで
ある。アクチュエータが高い動剛性を示すことも望まし
いことである。見掛は上の剛性はモータ要素とアクチュ
エータ出力シャフトの間に運動減速機構を設けることに
よって増大させることが可能である。しかしながら、運
動減速能力を添加するということはまた可動要素の見掛
は上の慣性を増大させることになる。

かくて、本出願人が直面する間頌点は最小の慣性と高い
剛性を備えた改良された流体動力式アクチユエータをコ
ンパクトな形で提供することである。

本発明は改良された流体動力式ロータリアクチュエータ
を提供している。

前記改良されたロークリアクチュエータは１つの軸線を
備えたステータと、前記ステータ部材軸線と偏心をなす
軸線を備えた可動部材にして、前配回動部材軸線はステ
ータ部材軸線のまわりを軌道運動するようにされている
可動部材と、前記可動部材上においてｉＪ動部材軸線と
同心上に装着された第１のギヤと、出力軸線のまわりを
回転するように装着され、ｍｊ記第１のギヤと噛合う第
２のギヤを備えた出力部材と、前記ステータ及び可動部
材の間で４５　ｑしこれらの部材間の相対運動を誘起せ
しめるよう選択的に作動ｐＪ能な流体動力式モータとを
含んでいる。好ましい実す亀例においては、前記ｉｊＪ
勤邪材ｉ；町動部材軸線のまわりの回転を拘束されてい
る。

何って、本発明の一般的目的は改良されたロータリアク
チュエータを提供することである。

別の目的は減少した慣性特性を１雇えた改良されたロー
クリアクチュエータを提供することである。

別の目門は可動出力部材が高度の見掛は上の剛性を有す
る改良されたロークリアクチュエータを提供することで
ある。

別の目的は最小の慣性及び連動減速能力を備えた改良さ
れたロークリアクチュエータを提供することである。

更に別の目的はコンパクトであり、位置サーボとして用
いるようにされた改良されたロータリアクチュエータを
提供することである。

以下付図を参照して本発明のより具体的な説明を行なう
。

最初に、幾つかの図面を通じて類似の参照番号は同一の
要素及び／又は構造物を示すためのものとして用いられ
ていることを理解されたい。というのはそのような要素
及び／又は構造物はこの詳ｉ＋１１な説明が一部をなし
ている全体明細書によって更に記載されるか説明される
ことがあるからである。

次に付図、特に第１図から第４図を参照すると、本発明
は改良されたロータリアクチュエータを提供しており、
その第１の好ましい実施例が全体として１０により示さ
れている。この形態のアクチュエータ１０は全体的に見
れば、ステータ部材１１、ｉ１動部材１２、クランクシ
ャフト１３．６つの回転防止部材（第４図の符号１４）
、出力部材１５及び前記ステータと可動部材の間で作用
するよう配されたモーター６とを含んでいる。

第１図において最も良く示されているｕｎ　＜、ｉ［Ｊ
記ステータ部材は環状の垂直左方及び右方端面１７．１
８を備えるとともに、これらの端面間を妙び円筒状表面
１９によって画成されている内側貫通孔を備えている。

更にステータ部材は左側病（頁ｊ１７から右側に蝙びる
円筒状表面２０と、表面２０から半径方向外向きに妙び
る左側に対面する環状の垂直表面２１と、この表面から
右側に引続き右端面１８と結合している円筒状表面２２
とを含む外側表面を備えている。ステータ部材は１本の
軸ｇ　ｘ−ｘを備えており、その軸−疾のまわりにへ 幾つかの円筒状表面１９．２０及び２２が創成されてい
る。符号２３で示す６つの軸一方間に隔置された環状凹
所は貫通孔表面１９からその左端面近くにおいてステー
タ部材内へと延び、シーリンガ゛○リングを収納してい
る。前記ステータ部材には２つの軸線方向に隔置された
半径方向の通路２４及び２５が設けられている。左側の
通路２４は外側表面２０及び内側表面１９の間において
、かつ左側及び中間凹所の間において延びており、右側
通路２５は外側表面２０及び内側表面１９の間において
、かつ中間及び右側凹所の間において延びている。これ
らの左側及び右側ステータ通路２４及び２５はサーボ弁
（図示せず）のようなアクチュエータコントロール弁に
接続されるようにされており、当該コントロール弁はＣ
工及びＣ２を流体圧力源及び流体戻り回路へと選択的に
接続することが出来る。第２図において最も良く示され
ているように、６つの円周方向に隔置された半径方向の
割溝２６はステータ部材の右側の半径方向に厚くされた
バズ部分において円筒状表面からステータ部材内に延び
、モータ翼を収納している。

隣接するステータ割溝は互いに６０’の等間隔をなして
配置されている。６つの円周方向に隔置された半径方向
通路２７が貫通孔表面１９とハブ部分外側表面２２の間
を延びており、各通路は隣接する割溝２６の周縁中点付
近において外側表面２２へと開口している。

第１図に戻ると、ＭＱ記記動動部材１２特殊な形状をし
ており、ステータハブ部分を取囲むようにされた左側部
分２８と、右側７ランジ部分２９とを含んでいる。より
具体的には、前記ｌｊｆ動部材はそれぞれ環状の左側及
び左側端面３０及び３１を備えている。同部材はまた（
第１図の左から右の順に）左側端面３０から右方に延び
、叙テータ表面２０に対して隔置対面して配された円筒
状表面３２と、ステータ表面２１に対問する右方に向い
た環状の垂直表面３３と、ステータ表面２２に対面する
より径の大きな円筒状表面３４と、ステータ端面１８に
対面する左向きの環状垂直表面３５と、右側で可動部材
右側端面３１とつながっている円筒状表１ｍ３６によっ
て画成された貞辿孔とを含む白画表面を備えている。Ｍ
ｉＪ記可Ｍ部材はまた外側表面を備えており、当該外側
表面は（第１図の左から右へと）左側端面３０から右方
向に延ひる円筒状表面３８と、右方向に而している環状
垂直表面３９と、そこから右方向に引続く円筒状表面４
０と、左方向に面している環状垂直表面４１と、表面４
１及び左側端面３１の間に配された第１の歯車歯部分４
２とを備えている。前記可動部材は軸線ｙ−ｙを備えて
おり、この軸線のまわりには円筒状表面３２．３４，３
６．３８及び４０の各々が創成されている。歯部分４２
は軸ｍｙ−ｙと同軸をなしている。可動部材の軸線ｙｙ
はステータ部材の軸線ｘ　−ｘから半径距離ｅだけ半径
方向にオフセットしており、ステータ部材軸線Ｘ　−Ｘ
のまわりを軌道運動するようにされている。

前記ｉｉＪ動部材の左側部分２８はステータハブ部分を
取囲むようにされており、これらの間には適当なシール
（図示せず）が設けられている。前記ｉＪ動部材フラン
ジ部分２９は６つの水平方向の貫通孔３７を設けている
のが図示されており（第４図）、これらの孔の中心は１
■動部材軸線ｙ−ｙから同一の半径距離にあるよう配置
されるとともに、互いに１２０度の角度をなし等分装置
されている。

クランクシャフト１３は前記ステータ貫通孔内に班支ざ
ｎ８円＠伏表面４３によって画成された左方部分と、軸
受４５．４５によって前記ｒｊＪ動部材貫°通孔内に回
転装着された円筒状表面４４によって画成さｔｔでいる
中間の半径方向にオフセットした部分と、円筒状表面４
６によって画成された右側部分とを備えている。クラン
クシャフト左側及び右側部分は同軸状であり、これらの
クランクシャフト軸線はステータ及び出力部材の軸線と
一致している。前記クランクシャフトの中間オフセット
部分は可動部材！ｌＩＩ鞭アーｙと一致する＠線を備え
ている。クランクシャフトにはそれぞれステータ戻り及
び加圧通路２４．２５と連続導通している環状凹所４８
．４９が設りられている。第１図において点線で示され
る内側長手方向Ｊ出路５０．５１はそれぞれｌｕＪ所４
日、４９と導通しており、クランクシャフト中を右方へ
と延びている。クランクシャフトには４つの平坦部（第
６図）がステータハブ部分内に設けられている。これら
の平坦部の２つ５２．５３は通路５１内の圧力制御部Ｃ
２と導通し、ステータ通路２７の隣接する６つと導通す
るチャンバ５４を画成している。これらの平坦部の残り
の２つ５５．５６は通路５０内の圧力制御部Ｃ□と導通
し、クランクシャフトの反対側において設けられ前記圧
力通路が作用するステータ通路と直径方向反対側におい
て残りの６つの隣接するステータ通路２γと導通するチ
ャンバ５８を画成している。かくて、Ｃ２が供給圧力に
さらされると、加圧流体はステータ通路２５に供給され
、次にクランクシャフト通路４９及び５１中を通過しチ
ャンバ５４に進入し、任意の導通ステータハブ部分通路
２７を介して関連する翼チャンバへと供給される。同時
に、Ｃ□は流体戻り通路に接続されるので、流体は他方
の翼チャンバから、チャンバ５８と導通する直径方向反
対ハブ部分通路２７を経て次にクランクシャフト通路５
０．４８を経てステータ通路２４及びコントロールポー
トＣ０へと流れることが出来る。クランクシャフト及び
ステータ部材の間に設けられたモータチャンバ５４．５
８はかくて加圧及び戻しへと選択的に接続されることが
出来る。クランクシャフトがステ−タＫ（Ｓ　’ｌに対
して回転すると、これらの直杼方向反対に位置するチャ
ンバも又回転し、徐々にステータ通路２７の幾つかを櫨
うとともに他の幾つかを露出せしめることになる。しか
しながら、クランクシャフトのステータに対する角度位
置如何にかかわらずコントロールチャンバ５４は少なく
とも２つの隣接する通路２７と導通し、一方コントロー
ルチャンノ々５８はチャンバ５４が作用スルのと直径方
向反対側の通路と導通ずる。

前記回転防止部材１４の各々は可動部付置通孔３７内に
軸支された円筒状部分５９と、偏心ピン６０を備えてい
る。当該ピン６０は部材１４がら左方に延び、静止支持
部材６２内に設けられた適当な穴６１内に軸支されてい
る。各ピン６ｏの軸線はその関連する円筒状部分５９の
軸線がら距離「ｅコだけ半径方向にオフセットされてい
る。ここに距離ｅはステータと町動部材両軸標間の偏心
距離に等しい。この実施例におけるアンチ回転部材１４
の＠　”ｆＦＥ　ｉ；：可動部材軸線ｙ−ｙがステータ
部材＠稼ニーＸのまわりを軌道運動するのを許容せしめ
るも、当該可動部材がそれ自身の軸線ｙ−ｙのまわりを
回転するのを抑制することにある。

出力部材１５は可動部材上の第１の歯車４２と噛合う左
側部分と、右側出力シャフト６３とを備えている。より
具体的には、前記出力部材１５は左側垂直端面６４を備
えるとともに、円筒状表面６５、右方に収束する円錐台
状表面及び出力シャフト６３の円筒状外側表面６Ｂを含
む外側表面を備え、更に、リングギヤ歯部分６９、右方
に面した環状垂直表面ＴＯ１円筒状表面７Ｌ左方に面し
た環状垂直表面７２、円筒状表面７３、及び左方に面し
た円形垂直表面７４を含む内側表面を備えている。クラ
ンクシャフトの右方部分は軸受７５を介して出力部材上
に回転装着されている。

出力部材は軸線、Ｚ　−Ｚを備えており、そのまわりに
は円筒状表面６５．６８．７１及び７３が創成されてい
る。尚軸線ｚ−２はステータ軸線エーエと一致している
。リングギヤ６９は軸線ｚ　−２と同心状である。出力
部材シャフト６３は軸受Ｔ８．７８を介して適当な支持
部材γε上に回転装着されている。甫２のギヤ即ちリン
グギヤ６９は第１のギヤ即ちス・−０−ギヤ４２の歯数
よりも多い歯数を備えてεす、これらの２つのギヤはリ
ングギヤの一地点においてのみ完全噛合いを行なってい
る。

町オニ部材＠襟がステータ部材軸線のまわりを軌道運動
するにつれて、可動部材スパーギヤ４２（これは本実噸
例においては前記アンチ回転部材が提供する抑制効果の
故に可動部材軸線のまわりを回転することはない）の噛
合い点はリングギヤ６９のまわりを徐々に進行する。可
動部材軸線がステータ部材軸線のまわりを完全に一回転
するよ、出力ギヤは２つのギヤのピッチサークル円長の
差異に等しい量だけ回転させられる。小さな歯丈及びほ
ぼ等しいピンチ円直径を備えたギヤを選択することによ
って極めて大きな減速比（例えば１００：１）を得るご
とが出来る。リングギヤとスパーギヤ間のこのような特
定の接続方法は遊星歯車列の周知の一形式であり、例え
ばＭｅｃｈａｎｉｃａｌ　ＤｅｓｉｇｎＡｎａｌｙｓｉ
ｓ　（機械の設計）　＜　Ｐｒｅｎｔｉｃｅ　−Ｈａｌ
ｌ　、　Ｉｎｃ、。

ＥｎｇｌｅＷＯＯｄ　Ｃ１１ｆｆｓ、　Ｎ、　Ｊ、　（
１９６４））の５ｐｏｔｔｓ（スポッッ）氏の記事（２
６員）の第１１−８図において図式的に示されている。

モータ１６は翼タイプのものであり、ステータと可動部
材の間で作動的に配設されている。前記モータは個別的
に７９で示されている６個の洲を含んでおり、各種はス
テータ割溝２６内に収納されるとともに、可動部材表面
３３．３４及び３５の該当表面とシールされたワイピン
グ係合をなすようにばね又は他の手段（図示せず）で外
向きに偏倚されている。隣接した翼対７９．７９は可変
容積翼チャンバ８０を形成している。この第１の実施例
においては、合計６個のそのような翼チャンバが設けら
れている。２つ又は６つの近接する翼チャンバは常に加
圧チャンバ５４の作用を受けており、一方直華方向に相
対する２つ又は６つのチャンバは常に戻りチャンバ５８
と導通している。

かくて、直径方向に相対する翼チャンバ間には圧力差分
が存在しており、当該差分は近接翼間に内接する可動部
材表面３４０部分に加えられ、可動部材をしてステータ
部材に関して移動せしめてぃる。前述した如く、可動部
材軸線ｙ−ｙはステータ部材軸線ｘ　−ｘのまわりを回
転することが出来るが、前記６つの回転防止部材１４に
よって与えられる拘束作用の故に、前記ｏＪ動部材はそ
れ自身の軸線のまわりでは回転しない。

かくて、出力シャフト６３に接続される負荷を無視すれ
ば、ある極性の圧力差分は可動部材軸線をしてステータ
部材軸線のまわりを軌道運動せしめる。可動部材のその
ような運動は出力シャフトの一つの角度方向の回転を誘
起せしめる。出力シャフトの回転方向を逆転させるため
には、ステータ通路２４及び２５に供給される圧力の極
性を逆転させれば良い。かくて、出力シャフトの回転方
間はステータ通路２４．２５間の圧力差分の極性に依存
する。もちろんそのような圧力差分はシャフト６３に接
続される負荷を移動させるに十分な大きさを有していな
ければならない。

改良されたロータリアクチュエータの１つの特徴的な利
点は軸線方向にコンパクトな構造において高い減速能力
（例えば１００１の）を提供出来るということである。

そのような実施例が第５図及び第６図において図式的に
例示されている。

配列が異なったり簡単化されているものの、構造及び機
能の基本的組合せは実質的に同一であるので、第２の実
施例の説明は幾分簡略化することにする。ダッシュを付
した同一の参照番号は叙上の対応する構造を示している
。

かくて、改良されたロークリアクチュエータの第２の実
施例は全体として１０′で示されており、一般的には軸
線ガーｆを備えたステータ部材１１′と、前記ステータ
部材軸線から偏心距離ｅ′だけオフセットした軸線ｙ’
　−ｙ’を備えた可動部材１２′と、ステータ部材及び
ｉｊＪ動部材間に作動的に配設された回転防止部材１４
′と、出力部材１５′と、ステータ及び町動邪利間で作
用するように作動接続された颯タイプモータ１６′と全
含んでいる。

第１の実施例のクランクシャフト１３は省略されており
、回転防止部材１４′がその機能を果している。可動部
材軸線ｙ′−ｙ′はステータ部材ＭＪ線Ｘ’−Ｘ’のま
わりを軌道運動するようにされているが、回転防止部材
１４′は可動部材がそれ自身の軸線のまわりを回転する
のを抑制している。幾分異なって配設されてはいるが、
出力部材がリングギヤ６９′を！４′えている点はかわ
らない。

しかしながら、第１の実施例の第１のギヤ即ちスパーギ
ヤ４２がステータ部材／１プを取囲んだ可動部材部分か
ら細醇方向に隔置されていたのに対し、この第２の実施
例においては、可動部材スパーギヤ４２′はそのような
ステータハブ係合部分から半径方向内向において設けら
れている。スパー及びリングギヤ４２′、６９′は前述
の如く噛合い係合しており、種々の萬チャンバに流体を
導入する手段装置は実質的に前述の場合と同様である。

かくて、第１の実施例と第２の実施例１０′の主要な差
異はクランクシャフト１３が省略されている点と、回転
防止部材１４′が省略されたクランクシャフトの機能を
果している点と、スパーギヤ４２′を翼モータが半径方
向に取囲まれる位置に設けることによって可動部材の軸
線方向長さが著しく短かくされている点とである。第１
の実施例と第２の実施例の作動は実質的に同一である。

他の修整例 本発明は多くの修整例をなすことが可能なることを予想
している。例えば、第２の実施例の回転防止部材は所望
に応じて半径方向内向き又は外向き又は、、・：他の位
置に配置換えすることが可能である。

用途Ｊよ−では、出力部材軸受の位置を変えて・テータ
ハブ部分をも取囲むようにすることも出来る。前記モー
タは（図示の如く）翼タイプのものとすることも出来る
し、ラジアルピストンタイプのものとしても良いし、何
か他のモータを採用することも出来る。そのようなモー
タは液体及び気体の両者を含む種々の流体で作動させる
こともｏｆ能である。正…ｊ弁を介して種々の翼チャン
バをコントロール圧力へと選択的に導通してやることも
可能であり、この場合には軌道運動する翼チャンバポー
トは２つのフントロールポートを選択的に覆うか露出せ
しめる。

前述したように、クランクシャフトを用いることは任意
選択的であり、可動部材がその軸線のまわりを回転する
のを抑制するための種々の機構を前記回転防出ピンの代
りに用いることが出来る。

また設計条件に応じて種々の部品の構造及び形状は容易
に変更可能である。また例示した前記スパー及びリング
ギヤの代りにギヤ又はギヤ状要素を用いることも出来る
。実際、ギヤ（又はギヤ類）は可動部材及び出力部材上
に含まれた摩擦駆動表面によって置換える口とが可能で
あり、そのような表面は所望の運動減速量に対応した円
周長さの差異を備えている。

前記可動部材は常にそれ自身の軸線のまわりの回転を拘
束される必要は無い。第７図が例示する修整例において
は、Ｊ動部材軸ｍ　ｙ’　−ｙ’はステータ部材軸線ｘ
’　−ｘ’のまわりを軌道運動させられるとともに、ｉ
Ｊ動部材１２″もまたそれ自身の軸勝、、、ｒ　−ｙ′
のまわりを回転することが出来る。この修整例において
は、可動部材１２′はステータ部材１１′に対して偏心
しており、萬２７及び翼チャンバ８０に対応する流体モ
ータ要素が両部材間において機能するよう設けられてい
る。しかしながら、可動部材１２′は（例えば回転防止
部材によって）それ自身の軸線ｙ＃　　、＃のまわりの
回転を抑制されていない。可動部材にはその外側表面上
においてスパーギヤ４２′が設けられているのは前例と
同様である。リングギヤ６９′を含むハウジング８１は
この場合静止するよう保持されており、スパーギヤ４２
′は噛合い点がリングギヤのまわりを漸進しながら自由
に回転することが出来る。６つの円周方向に隔設された
継手ピン８２は出力シャフトの軸線Ｚ’−２“から半径
方向に隔置されている。これらの継手ピンの遠隔端部は
可動部材内に設けた六８３内において偏心的に装着され
ている。かくて、出力部材１５′の軸線ｚ″−２″はス
テータ１１′の軸線Ｘ″’−ｘ’と同心をなしている。

コ（７）　５長された流体動力式アクチュエータの基本
的特徴は、静止要素に関して偏心的に配された可動要素
を備える流体モータと、やはり偏心装着された入力及び
出力要素を備えた運動減速機構を組合せたことにある。

流体モータの偏心度及び運動減速機構の偏心度は等しく
、全組立体は共１ｉＭ部品を含むことがｉｊＪ能であり
、かくて機構が簡単になり、全体の寸法が減少する。

この改良された流体動力式ロータリアクチュエータの別
の顕著な機能上の利点は軌動運動する部材を用いること
により慣性を減少出来ることである。

慣用のロークリアクチュエータの慣性はＩ　＝　Ｍ　ｒ
２／　２　　である。

ここに　　　　■＝慣性モーメント ！ｌ−可動部利の質量 ｒ−可動部材の円筒半径 ＠遣運虻Ｔる可動部材を備えた改良されたアクチュエー
タの場合には、慣性モーメントはＩ＝、Ｍｅ”　　であ
る。

こ口に　　　　工＝壜性モーメント Ｍ＝町動部材の質量 ｅ−偏心半径 前記軌道部材の偏心量は円面半径よりずっと小さく、本
改良アクチュエータの慣性は、慣用のロータリ流体モー
タ及び運動減速機構を用いる同等のアクチュエータの慣
性よりもずっと小さくすることが出来る。

従って、２つの好ましい実施例を図示、説明するととも
に、該実施例の修整についても議論してきたが、当業者
は特許請求の範囲に記載の本発明の精神から離脱するこ
となく種々の変更及び修整を行なうことが出来ることを
容易に理解するであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は改良されたロータリアクチュエータの第１の実
施例の図式的垂直断面図、 第２図は第１図の線２−２に沿って眺めたロータリアク
チュエータの断片前立横断面図であり、主として翼モー
タを示している。 第６図はクランクシャフトとステータ部材の間に設けら
れたモータ弁要素の流体コントロールチャンバを示す断
片的拡大詳細図、 第４図は第１図のｍ４−４に沿って眺めたアクチユエー
タの断片前立横断面図であり、主とじて３つの回転防止
部材並びに第１及び第２のギヤ間の遊星歯不接続の態様
を示している。 第５図は改良されたロークリアクチュエータの第２の実
施例の図式的立続断面図、 第６図は第５図の線６−６に沿って眺めたアクチュエー
タの断片的立積断面図、 第７図は可動部材がそれ自身の軸線のまわりを回転する
ことを拘束されていない修整例の斜視図である。 １０・・・アクチュエータ、１１・・・ステータ部材、
１２・・・可動ｆｆ１ｓｌ、１３・・・クランクシャフ
ト、１４・・・回転防止部材、１５・・・出力部材、１
６・・・モータ。 代理人　浅　利　　皓

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１１１つの軸線を備えたステータ部材と、前記ステー
   タ部材軸線と偏心した軸線を備えた可動部材にして、該
   可動部材軸線は前記ステータ部材軸線のまわりを軌道運
   動するようにされている可動部材と、前記可動部材上に
   おいて前記可動部材軸線と同心状に装着された第１の要
   素と、前記第１の要素と噛合う第２の要素と、出力軸線
   のまわりを回転し、前記要素の１つとともに移動するよ
   う装着された出力部材と、前記ステータ及び可動部材間
   に作用し、それらの間の相対運動を誘起せしめるよう選
   択的に作動可能なモータとを有するロータリアクチュエ
   ータ。 （２、特許請求の範囲第１項に記載のロークリアク千ユ
   エータにおいて、前記第２の要素は前記出力部材上に装
   着されて該出力部材とともに移動することを特徴とする
   ロータリアクチュエータ。 （３）特許請求の範囲第１項に記載のロータリアクチュ
   エータにおいて、前記第２の要素はリングギヤであるこ
   とを特徴とするロータリアクチュエータ。 （４）特許請求の範囲第１項に記載のり一タリアクチュ
   エータにおいて、前記可動部材は前記可動部材軸線のま
   わりを回転するのを防止されていることを特徴とするロ
   ークリアクチュエータ。 （５）特許請求の範囲第１項に記載のロークリアクチュ
   エータにおいて、前記出力軸線は前記ステータ部材軸線
   と同心をなしていることを特徴とするロークリアクチュ
   エータ。 （６）ｗ許ｉ？＃求の範囲第１項に記載のロータリアク
   チュエータにおいて、前記第１及び第２の要素間の噛合
   いが周転円曲であることを特徴とするロータリアクチュ
   エータ。 （７）１つの軸線を備えたステータ部材と、前記ステー
   タ部材軸線と偏心した軸線を備えた可動部側にして、該
   可動部材軸線は前記ステータ部側軸線のまわりを軌道運
   動するようにされており、該６Ｊ動部材は該可動部材軸
   線のまわりを回転するのを防止されているｉｊＪ動部材
   と、ｍＪ記記動動部材上おいて前記可動部材軸線と同心
   にて装着された第１のギヤと、出力軸排のまわりを回転
   するよう装着され、ｉＴＪ記第１のギヤと噛合う第２の
   ギヤを備えた出力部材と、前記ステータ及び１１動部材
   間に作用し、これらの間に相対運動を誘起せしめるよう
   選択的に作動可能なモータとを有するロータリアクチュ
   エータ。 （８）　特許請求の範囲第７項に記載のロータリアクチ
   ュエータにおいて、前記出力部材軸線はｍＪ記ステータ
   部材軸暇と同心をなしていることを特徴とするロークリ
   アクチュエータ。 （９）特許請求の範囲第７項に記載のロークリアクチュ
   エータにおいて、前記ステータ部材は前記ステータ部材
   軸線と同心の孔を備えており、前記可動部材はｉ」動部
   材軸線と同心をなす孔を備えていることを特徴とするロ
   ークリアクチュエータ。 ００）特許請求の範囲第９項に記載されたロータリアク
   チュエータであって、更にクランクシャフトを有してお
   り、該クランクシャフトは前記ステータ部材孔内に軸支
   された第１の部分と、前記可動部材孔内に軸支された第
   ２の部分を備えていることを特徴とするロータリアクチ
   ュエータ。 （１１）特許請求の範囲第１０項に記載のロークリアク
   チュエータにおいて、前記出力部材は前記ステータ部材
   孔と同軸をなす四所を備えており、前記クランクシャフ
   トは前記町動部材四所内に軸支された第６の部分を備え
   ていることを特徴とするロータリアクチュエータ。 ０２）　　特許請求の４ｉｉ２　ＦｉＥ第７項に記載の
   ロークリアクチュエータであって、更に前記り動部材及
   び静止部材の間に作動的に配設され、可動部材が前記可
   動部材軸線のまわりを回転するのを抑制するための少な
   くとも６？の回転防止部材を有するロークリアクチュエ
   ータ。 （１３）　　特許請求の範囲第１２項に記載のロータリ
   アクチュエータにおいて、前記回転防止部材の各々が前
   記可動部材及び静止部材の一方上に軸支された円筒状部
   分と、前記可動及び静止部材の他方上に回転装着された
   偏心ピンＭ（分とを有していることを特徴とするローク
   リアクチュエータ。 （１４）　　特＃′１梢求の範囲第１６項に記載のロー
   タリアクチュエータにおいて、前記静止部材が前記ステ
   ータ部材であることを特徴とするロータリアクチュエー
   タ。 （１５）　　特許請求の範囲第７項に記載のロークリア
   クチュエータにおいて、前記第１及び第２のギヤ間の噛
   合いが周転内的であることを特徴とするロークリアクチ
   ュエータ。 ０６１　　特許請求の範囲第１５項に記載のロークリア
   クチュエータにおいて、ＭｉＪ　ｇ己ギヤの一方がスパ
   ーギヤであり、前記ギヤの他方がリングギヤであること
   を特徴とするロークリアクチュエータ。 ０７）　　特許請求の範囲第１６項に記載のロータリア
   クチュエータにおいて、前記第１のギヤが前記スパーギ
   ヤであり、前記第２のギヤが前記リングギャテあること
   を特徴とするロータリアクチュエータ。 ｕ８）　　特許請求の範囲第７項に記載のロータリアク
   チュエータにおいて、前記第２のギヤは１１Ｊ記出力部
   材軸線と同心をなしていることを特徴とするロータリア
   クチュエータ。 （１９）特許請求の範囲第７項に記載のロータリアクチ
   ュエータにおいて、前記第１のギヤは前記モータをも含
   む平面内に配設されていることを特徴とするロークリア
   クチュエータ。 に）特許請求の範囲第７項に記載のロータリアクチュエ
   ータにおいて、前記モータが軌道翼モ〜りであることを
   特徴とするロータリアクチュエータ。 （２１）　　特許請求の範囲第２０項に記載のロータリ
   アクチュエータにおいて、前記モータは隣接する翼間に
   翼チャンバを備えており、前記ステータ部材は１１Ｊ記
   翼チヤンバと時々導通する通路を含んでいることを特徴
   と丈るロータリアクチュエータ。 （２、特許請求の範囲第７項に記載のロータリアクノ チュエータにおいて、前記翼モータは前記ステ〜り及び
   可動部材間並びに隣接翼間に配設された複数個の翼チャ
   ンバを備えており、１１）記ステータ部材には前記翼チ
   ャンバと導通ずる複数個の通路が設けられていることを
   特徴とするロークリアクチュエータ。 （ハ）　特言ｆ侑７の範囲第２２項にｄ己截のロータリ
   アクチュエータにおいて、少なくとも２つの翼チャンバ
   間には流体圧力差分が存在し碍ることを特徴とするロー
   タリアクチュエータ。 ２４１つの軸群を備えたステータ部材と、前記ステータ
   部材ｌｌｌ１ｉｌ線と偏心した軸線を備えた可動部材に
   して、前記可動部材＠線はｉｔＪ記ステータ部材軸襟の
   まわりを軌道運動することを拘束されているｉＪ創部材
   と、前記ステータ部材軸線と同心をなす軸線を備えた回
   転ｏＪ能高出力シャフト、前記可動部材及び前記出力シ
   ャフトに噛合う連動伝達機溝と、ｔ’ｆｉＪ記ステータ
   及び可動部相間に作動的に配設され、これら部材の間の
   相対運動を誘起せしめるよう選択門に作動可能な流体作
   動モータとを有するロータリアクチュエータ。 （２、特許請求の範囲第２４項に記載のロークリアクチ
   ュエータにおいて、前記可動部材は前記可動部材軸群の
   まわりの回転を拘束されていることを特徴とするローク
   リアクチユニ〜り。 （２時　　流体モータと、運動減速機構と、回転可能出
   力部材とを含む流体動力式ロータリアクチュエータにお
   いて、 前記モータはステータ部材と、これに対して軌道運動す
   ることを拘束された可動部材とを含んでおり、前記ステ
   ータ及び可動部材はこれらの間に少なくとも６つの流体
   チャンバを画成しており、前記モータは更に前記ステー
   タ及び可動部材間に作用して前記チャンバの１つを加圧
   流体と選択的に導通せしめ以って前記可動部材のそのよ
   うな軌道運動を実施せしめるための弁要素を含んでおり
   、前記運動減少機構は前記可動部材上に装着され外側駆
   動周縁を備えた駆動部材を含むとともに、前記出力部材
   上に装着され前記駆動部材周縁によって作動的に噛合わ
   されるより大きな内側駆動周縁を備えた被駆動部材を含
   んでおり、 かくて前記出力部材は前記可動部材のそのような軌道運
   動に反応して回転することを特徴とするロータリアクチ
   ュエータ。