JPS598773B2 - 非破壊検査用欠陥監視装置 - Google Patents
非破壊検査用欠陥監視装置Info
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- JPS598773B2 JPS598773B2 JP50070472A JP7047275A JPS598773B2 JP S598773 B2 JPS598773 B2 JP S598773B2 JP 50070472 A JP50070472 A JP 50070472A JP 7047275 A JP7047275 A JP 7047275A JP S598773 B2 JPS598773 B2 JP S598773B2
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
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- G—PHYSICS
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Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、受像部における撮像管を２台用意し、互い
にその走査線の方向を適宜の角度傾けておき、欠陥が撮
像部の受像面において、どのような形状であつても欠陥
を所定の性能で発見できるようにした非破壊検査用欠陥
監視装置に関するものである。
にその走査線の方向を適宜の角度傾けておき、欠陥が撮
像部の受像面において、どのような形状であつても欠陥
を所定の性能で発見できるようにした非破壊検査用欠陥
監視装置に関するものである。
まず、従来の非破壊検査用欠陥識別装置を第１図によつ
て説明する。
て説明する。
第１図において、１は非破壊検査のためのＸ線発生装置
、２はこのＸ線の照射野を決めるためのコリメータ、３
は被検査物体である。４は必要ならば取りつける受像部
の受像面への入射Ｘ線のコリメータである。
、２はこのＸ線の照射野を決めるためのコリメータ、３
は被検査物体である。４は必要ならば取りつける受像部
の受像面への入射Ｘ線のコリメータである。
５はイメージ・インテンシフアイヤで、放射線像の変換
増幅部をなしている。
増幅部をなしている。
６はレンズ系等を含むカメラ部、１は撮像管を含む撮像
部で、前記カメラ部６とともに受像部を構成している。
部で、前記カメラ部６とともに受像部を構成している。
８はイメージ・インテンシフアイヤ５のための電源であ
る。
る。
９および１０は以上のＸ線照射の室から隔離された室に
あり、９がテレビジョンモニタ、１０は制御器である。
あり、９がテレビジョンモニタ、１０は制御器である。
なお、Ｌは照射Ｘ線の主線錐束の中心軸である。この装
置では、Ｘ線発生装置１により発生したＸ線はコリメー
タ２により照射野が決められ、被検査物体３を通過し、
イメージ・インテンシフアイヤ５の受像面に到達する。
置では、Ｘ線発生装置１により発生したＸ線はコリメー
タ２により照射野が決められ、被検査物体３を通過し、
イメージ・インテンシフアイヤ５の受像面に到達する。
被検査物体３によりＸ線は減衰させられるが、もし、こ
の被検査物体３に何らかの欠陥があれば、この部分のＸ
線の減衰は少ないため、受像面にはその周囲より強いＸ
線が入射する。イメージ・インテンシフアイヤ５でこの
Ｘ線像を撮像管が感じるような像に変換増幅し、カメラ
部６で撮像管の入力面に像を結ぶ。撮像管で得られた像
情報は電気信号に変換され、テレビジョンモニタ９に再
びＸ線像を描きだす。従つて、このテレビジョンモニタ
９を監視する事により被検査物体３の欠陥の有無を判定
することができる。いま、撮像管あるいはテレビジョン
モニタ９の走査線に平行な方向をＸ方向とし、垂直な方
向をｙ方向とするとｘ、ｙ方向で分解能が異なる。
の被検査物体３に何らかの欠陥があれば、この部分のＸ
線の減衰は少ないため、受像面にはその周囲より強いＸ
線が入射する。イメージ・インテンシフアイヤ５でこの
Ｘ線像を撮像管が感じるような像に変換増幅し、カメラ
部６で撮像管の入力面に像を結ぶ。撮像管で得られた像
情報は電気信号に変換され、テレビジョンモニタ９に再
びＸ線像を描きだす。従つて、このテレビジョンモニタ
９を監視する事により被検査物体３の欠陥の有無を判定
することができる。いま、撮像管あるいはテレビジョン
モニタ９の走査線に平行な方向をＸ方向とし、垂直な方
向をｙ方向とするとｘ、ｙ方向で分解能が異なる。
すなわち、同じ欠陥でもｘ方向とｙ方向では識別される
こともあり、またされないこともあることになる。ｙ方
向に対しては走査線の数により解像度は決まり、通常約
４００本の黒白（モノクロ）の線が見分けられる。
こともあり、またされないこともあることになる。ｙ方
向に対しては走査線の数により解像度は決まり、通常約
４００本の黒白（モノクロ）の線が見分けられる。
一方、Ｘ方向の解像度はこれとは全く異なる様式で解像
度が決められる。ｘ方向には電子ビームが連続的に走査
を行つているので、電子ビームの径を除けば映像信号周
波数により定められる。通常、５００〜６００本の黒白
線の解像能力を持つがこれはさらに上げる事ができる。
こうしてＸ，ｙ方向に解像度の差が生じて来る。しかも
、この電子ビーム走査はテレビジヨンモニタ９、撮像管
で行い、さらにイメージ・インテンシフアイヤ５でも行
う場合があるため、Ｘ，ｙ方向における解像度は結果的
に２〜３倍の差を生じる事になる。被検査物体３の細長
い欠陥がｘ方向とｙ方向にあつた場合、この結果識別度
が変つて来る。
度が決められる。ｘ方向には電子ビームが連続的に走査
を行つているので、電子ビームの径を除けば映像信号周
波数により定められる。通常、５００〜６００本の黒白
線の解像能力を持つがこれはさらに上げる事ができる。
こうしてＸ，ｙ方向に解像度の差が生じて来る。しかも
、この電子ビーム走査はテレビジヨンモニタ９、撮像管
で行い、さらにイメージ・インテンシフアイヤ５でも行
う場合があるため、Ｘ，ｙ方向における解像度は結果的
に２〜３倍の差を生じる事になる。被検査物体３の細長
い欠陥がｘ方向とｙ方向にあつた場合、この結果識別度
が変つて来る。
これを第２図に示す。すなわち、第２図において、Ｗが
走査線、Ｆが前記被検査物体３の細長い欠陥である。第
２図の欠陥Ｆ１は方向がｙ方向にあるため電子ビームの
映像周波数による分解能により像情報が得られる。しか
し、欠陥Ｆ２では方向がｘ方向であるために、走査線Ｗ
間に埋沿すれば検知されず、走査線Ｗ間以上の大きさで
なければならない。このようにｘ方向の欠陥Ｆ２るとき
は見えない場合があるが、ｙ方向の欠陥Ｆ１であれば解
像度の許す範囲において識別可能となる場合がある。従
つて、この装置ではｘ方向とｙ方向で異なる欠陥識別度
を有している事になり、製品の性能としては悪い方の値
を保証することができるのみである。この発明は、上述
の問題点を解決するためになされたもので、撮像管を２
台用意し、互いに走査線の方向が適宜の角度傾いている
ような装置を用い、欠陥の方向性による欠陥識別度の差
異をなくしたものである。
走査線、Ｆが前記被検査物体３の細長い欠陥である。第
２図の欠陥Ｆ１は方向がｙ方向にあるため電子ビームの
映像周波数による分解能により像情報が得られる。しか
し、欠陥Ｆ２では方向がｘ方向であるために、走査線Ｗ
間に埋沿すれば検知されず、走査線Ｗ間以上の大きさで
なければならない。このようにｘ方向の欠陥Ｆ２るとき
は見えない場合があるが、ｙ方向の欠陥Ｆ１であれば解
像度の許す範囲において識別可能となる場合がある。従
つて、この装置ではｘ方向とｙ方向で異なる欠陥識別度
を有している事になり、製品の性能としては悪い方の値
を保証することができるのみである。この発明は、上述
の問題点を解決するためになされたもので、撮像管を２
台用意し、互いに走査線の方向が適宜の角度傾いている
ような装置を用い、欠陥の方向性による欠陥識別度の差
異をなくしたものである。
以下この発明について説明する。第３図はこの発明の一
実施例の要部を示すもので、２台の撮像部を用いるとこ
ろに特色がある。この第３図において、７Ａ，７Ｂはい
ずれも撮像管を含む撮像部であり、１１はハーフミラー
系、１２はミラー、１３〜１５はレンズ系、Ｅ，Ｅｌ′
，Ｅダは像である。さて、イメージ・インテンシフアイ
ヤ５のヴウーイング・スクリーンにＥのような像が形成
されるとする。レンズ系１３，１４によＥ／のような像
を結び、これを撮像管が受像する。一方、レンズ系１３
と１４の間に挿入されたハーフミラー系１１は、例えば
プリズムを組み合わせる等の事により像Ｅの中心線が屈
折する事のないような系であれば、この装置のアライメ
ントが容易である。ハーフミラー系１１で２本に分割さ
れた光線の一本はレンズ系１４を経て前述のように像Ｅ
／を結ぶが、さらにもう一方はミラー１２によりレンズ
系１５を経て像Ｅノを結ぶ。このようにして、結像Ｅ１
′，Ｅ２′に対して各々撮像部７Ａ，７Ｂを用意し、し
かもそれらの撮像管の走査線の方向を適宜な角度を持た
せておけば、同一の欠陥像を異なつた監視装置で検査で
きるので、いずれか一方で識別された欠陥は存在すると
いう判定を下す事ができる。第４図は第３図の機構を用
意したこの発明の一実施例の構成を示すもので、撮像部
７Ａ，７Ｂ、テレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂ、制御器１
０Ａ，１０Ｂのそれぞれ２個を設けた点が第１図の従来
のものとの大きな相違点である。
実施例の要部を示すもので、２台の撮像部を用いるとこ
ろに特色がある。この第３図において、７Ａ，７Ｂはい
ずれも撮像管を含む撮像部であり、１１はハーフミラー
系、１２はミラー、１３〜１５はレンズ系、Ｅ，Ｅｌ′
，Ｅダは像である。さて、イメージ・インテンシフアイ
ヤ５のヴウーイング・スクリーンにＥのような像が形成
されるとする。レンズ系１３，１４によＥ／のような像
を結び、これを撮像管が受像する。一方、レンズ系１３
と１４の間に挿入されたハーフミラー系１１は、例えば
プリズムを組み合わせる等の事により像Ｅの中心線が屈
折する事のないような系であれば、この装置のアライメ
ントが容易である。ハーフミラー系１１で２本に分割さ
れた光線の一本はレンズ系１４を経て前述のように像Ｅ
／を結ぶが、さらにもう一方はミラー１２によりレンズ
系１５を経て像Ｅノを結ぶ。このようにして、結像Ｅ１
′，Ｅ２′に対して各々撮像部７Ａ，７Ｂを用意し、し
かもそれらの撮像管の走査線の方向を適宜な角度を持た
せておけば、同一の欠陥像を異なつた監視装置で検査で
きるので、いずれか一方で識別された欠陥は存在すると
いう判定を下す事ができる。第４図は第３図の機構を用
意したこの発明の一実施例の構成を示すもので、撮像部
７Ａ，７Ｂ、テレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂ、制御器１
０Ａ，１０Ｂのそれぞれ２個を設けた点が第１図の従来
のものとの大きな相違点である。
このように構成すれば、第３図で既に説明したように、
テレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂの双方を監視することで
、被検査物体３の欠陥をその方向に関係なく検出するこ
とができる。上記の実施例では各々の撮像部７Ａ，７Ｂ
に対し、専属のデレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂ等を用意
してある。
テレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂの双方を監視することで
、被検査物体３の欠陥をその方向に関係なく検出するこ
とができる。上記の実施例では各々の撮像部７Ａ，７Ｂ
に対し、専属のデレビジヨンモニタ９Ａ，９Ｂ等を用意
してある。
しかし、これでは高価になる。それを避けるため信号の
切換えを行えば共通のテレビジヨンモニタを使用できる
。この場合の実施例を第５図に示ず。ここで、１６は２
個の撮像部７Ａ，７Ｂからの信号および走査信号の切換
部である。この切換部１６は手動でも良いし適宜な時間
間隔を持つた自動切換式でもよい。この発明の非破壊検
査用欠陥監視装置は、Ｘ線の非破壊検査を対象とした装
置であるが、これは医療用においてもガンの診断に用い
るような透視装置にも応用でき、この場合、ガンの診断
の精度がより高くなることは明らかである。
切換えを行えば共通のテレビジヨンモニタを使用できる
。この場合の実施例を第５図に示ず。ここで、１６は２
個の撮像部７Ａ，７Ｂからの信号および走査信号の切換
部である。この切換部１６は手動でも良いし適宜な時間
間隔を持つた自動切換式でもよい。この発明の非破壊検
査用欠陥監視装置は、Ｘ線の非破壊検査を対象とした装
置であるが、これは医療用においてもガンの診断に用い
るような透視装置にも応用でき、この場合、ガンの診断
の精度がより高くなることは明らかである。
以上詳細に説明したように、この発明は放射線像の変換
増幅部とモニタ部との間に２つの受像部を設け、この２
つの受像部の走査線の方向を互いに適宜の角度傾けたの
で、常に正確に被検査物体の欠陥を発見できるので、非
破壊検査において、実時間上で欠陥を監視する場合、一
定の欠陥識別を保証できる特長がある。
増幅部とモニタ部との間に２つの受像部を設け、この２
つの受像部の走査線の方向を互いに適宜の角度傾けたの
で、常に正確に被検査物体の欠陥を発見できるので、非
破壊検査において、実時間上で欠陥を監視する場合、一
定の欠陥識別を保証できる特長がある。
第１図は従来の非破壊検査用欠陥識別装置のプロツク図
、第２図は欠陥の方向と走査線の方向との関係を説明す
る図、第３図はこの発明の一実施例の要部を示す側面図
、第４図は第３図の機構を適用したこの発明の一実施例
のプロツク図、第５図はこの発明の他の実施例を示すプ
ロツク図である。 図中、１はＸ線発生装置、２はコリメータ、３は被検査
物体、４はコリメータ、５はイメージ・インテンシフア
イヤ、６はカメラ部、７，７Ａ，７Ｂは撮像部、８は電
源、９はテレビジヨンモニタ、１０は制御器、１１はハ
ーフミラー系であるなお、図中の同一符号は同一または
相当部分を示す。
、第２図は欠陥の方向と走査線の方向との関係を説明す
る図、第３図はこの発明の一実施例の要部を示す側面図
、第４図は第３図の機構を適用したこの発明の一実施例
のプロツク図、第５図はこの発明の他の実施例を示すプ
ロツク図である。 図中、１はＸ線発生装置、２はコリメータ、３は被検査
物体、４はコリメータ、５はイメージ・インテンシフア
イヤ、６はカメラ部、７，７Ａ，７Ｂは撮像部、８は電
源、９はテレビジヨンモニタ、１０は制御器、１１はハ
ーフミラー系であるなお、図中の同一符号は同一または
相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 被検査物体の非破壊検査を行う際、放射線を被検査
物体に照射し、この被検査物体を透過した放射線像を実
時間上で観察するため放射線像の形成される位置に、イ
メージ・インテンシフアイヤ等の放射線像の変換増幅部
と、カメラおよび撮像管等の受像部を設置し、放射線か
ら隔離された制御室において、テレビジョンモニタおよ
び制御器からなるモニタ部により放射線像を観察する装
置において、互いに適宜の角度に傾いた走査線の方向を
持つ撮像管をそれぞれ有する２つの受像部を前記変換増
幅部と前記モニタ部との間に設けたことを特徴とする非
破壊検査用欠陥監視装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50070472A JPS598773B2 (ja) | 1975-06-11 | 1975-06-11 | 非破壊検査用欠陥監視装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50070472A JPS598773B2 (ja) | 1975-06-11 | 1975-06-11 | 非破壊検査用欠陥監視装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS51146887A JPS51146887A (en) | 1976-12-16 |
| JPS598773B2 true JPS598773B2 (ja) | 1984-02-27 |
Family
ID=13432489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50070472A Expired JPS598773B2 (ja) | 1975-06-11 | 1975-06-11 | 非破壊検査用欠陥監視装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598773B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211574U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-24 | ||
| JPS6376475U (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-20 |
-
1975
- 1975-06-11 JP JP50070472A patent/JPS598773B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6211574U (ja) * | 1985-07-08 | 1987-01-24 | ||
| JPS6376475U (ja) * | 1986-11-10 | 1988-05-20 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS51146887A (en) | 1976-12-16 |
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