JPS5986261A - 光トリガサイリスタ - Google Patents
光トリガサイリスタInfo
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- JPS5986261A JPS5986261A JP57197201A JP19720182A JPS5986261A JP S5986261 A JPS5986261 A JP S5986261A JP 57197201 A JP57197201 A JP 57197201A JP 19720182 A JP19720182 A JP 19720182A JP S5986261 A JPS5986261 A JP S5986261A
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 25
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 24
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 12
- 230000001960 triggered effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 4
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 abstract description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 abstract 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 33
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 12
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 8
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910001313 Cobalt-iron alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N [Fe].[Co].[Ni] Chemical compound [Fe].[Co].[Ni] KGWWEXORQXHJJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4248—Feed-through connections for the hermetical passage of fibres through a package wall
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
- G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
- G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
- G02B6/4207—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms with optical elements reducing the sensitivity to optical feedback
-
- G—PHYSICS
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
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- G02B6/4295—Coupling light guides with opto-electronic elements coupling with semiconductor devices activated by light through the light guide, e.g. thyristors, phototransistors
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/111—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors
- H01L31/1113—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by at least three potential barriers, e.g. photothyristors the device being a photothyristor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は光トリガサイリスタに係り、特にパッケージ
忙気密封止された光トリガ信号の取入れ窓の改良に関す
るものである。
忙気密封止された光トリガ信号の取入れ窓の改良に関す
るものである。
第１図は従来の光トリガサイリスクの一例の構成を示す
断面図、第２図はその光トリガ信号取入れ用レセプタの
パッケージへの気密封止部を拡大して示す断面図である
。
断面図、第２図はその光トリガ信号取入れ用レセプタの
パッケージへの気密封止部を拡大して示す断面図である
。
図において、（１）は光トリガサイリスタのベーシック
エレメント（以下「エレメント」と呼ぶ）、（１ａ）は
エレメント（１）の第１の主面中央部に形成嘔れた光ト
リガ用の受光部、（２）はエレメント（１）の第１の主
面部に受光部（１ａ）を取り囲んで形成された第１の電
極に加圧接触させられた第１の電極体、（３）はエレメ
ント（１）の第２の主面部に設けられた第２の電極に加
圧接触させられた第２の電極体である。（４）はアルミ
ナセラミックスなどからなりニレメンｌ）、第１の電極
体（２）および第２の電極体（３）を取り囲んで設けら
れパンケージを構成する絶縁筒体、（５）はリング状の
金属板からなシ絶縁筒体（４）の一方の端面に気密に固
着され内周面が第１の電極体（２）の外周面に気密に固
着された第１のフランジ、（６）は絶縁筒体（４〕の他
方の端面に気密に固着され内周面が第２の電極体（３）
の外周面に気密に固着された第２の７ランジ、（７）は
第１の電極体（２）のニレメン） （１）側の端面部に
その外周面からその径方向に受光部（１ａ）に対応する
部分を越えるように設けられ受光部（１ａ）の大きさよ
シ大きい溝幅を有する横溝、（８）は絶縁筒体（４）の
横溝（７）に対応する部分に設けられた貫通孔、（９）
は第２図に示すように、外周面が絶縁筒体（４）の貫通
孔（８）の内壁面に気密に固着され軸心部に後述の内部
ライトガイドが挿入固着きれる軸穴（９ａ）が設けられ
た第１の部分と、外周面が第１の部分の外周面の外径よ
り大きい外径を有し第１の部分に絶縁筒体（４）の外側
へ突出するように一体に連結され軸心部に内径が軸穴（
９ａ）の内径より大きく後述の外部ライトカイトスリー
ブが挿入保持される軸穴（９ｂ）が設けられかつ外周面
部に後述のコネクタのねじ部に螺合するねじ部（９ｃ）
が設けられた第２の部分とからなるリセプタ、（９ｄ）
は軸穴（９ａ）の内周面と軸穴（９ｂ）の内周面との間
の段差部である。ＱＯは光トリガ信号取入れ窓であるサ
ファイア板で、このサファイア板ｕＱはその一方の主面
周縁部に形成された金属化膜（図示せず）が銀ろうなど
のノ・−ドソルダーで段差部（９ｄ）に気密にろう付け
されており、第２図に示すように、他方の主面上にフッ
化マグネシウム（ＭｇＦ２）などからなる反射防止膜（
１０ａ）が被着されている０（１１）は一方の端面がリ
セプタ（９）の軸穴（９ａ） （第２図に図示）内を通
ってサファイア板０りの主面に接し他方の端面が横溝（
７）内を通って受光部（１ａ）に近接するように外周面
の所要部分が軸穴（９ａ）の内壁面に接着剤（１２（第
２図に図示）で固着保持されサファイア板０１を透過し
た光トリガ信号を受光部（ｌａ）へ伝達する内部ライト
ガイド、０３）は外部に設けられた光信号発生源（図示
せず）から光トリガ信号を導ひいてくる例えばバンドル
ファイバ（ＢｕｎｄｌｅＦｉｂｅｒ）などからなる外部
ライトガイド０４）を中心部に有しリセブタ（９）の軸
穴（９ｂ） （第２図に図示）内に先端所要部分が挿入
保持された外部ライトガイドスリーブ、（１５）は内壁
面部にリセプタ（９）のねじ部（９ｃＸ第２図に図示）
Ｋ螺合するねじ部を有しこのねじ部をねじ部（９ｃ）に
螺合式せることによってリセブタ（９）の軸穴（９ｂ）
（第２図に図示）内に挿入された外部ライトガイドスリ
ーブａ萄の中心部の外部ライトガイド０＜の端面を反射
防止膜（１０ａ） （第２図に図示）に当接させるよう
に構成されたコネクタである。
エレメント（以下「エレメント」と呼ぶ）、（１ａ）は
エレメント（１）の第１の主面中央部に形成嘔れた光ト
リガ用の受光部、（２）はエレメント（１）の第１の主
面部に受光部（１ａ）を取り囲んで形成された第１の電
極に加圧接触させられた第１の電極体、（３）はエレメ
ント（１）の第２の主面部に設けられた第２の電極に加
圧接触させられた第２の電極体である。（４）はアルミ
ナセラミックスなどからなりニレメンｌ）、第１の電極
体（２）および第２の電極体（３）を取り囲んで設けら
れパンケージを構成する絶縁筒体、（５）はリング状の
金属板からなシ絶縁筒体（４）の一方の端面に気密に固
着され内周面が第１の電極体（２）の外周面に気密に固
着された第１のフランジ、（６）は絶縁筒体（４〕の他
方の端面に気密に固着され内周面が第２の電極体（３）
の外周面に気密に固着された第２の７ランジ、（７）は
第１の電極体（２）のニレメン） （１）側の端面部に
その外周面からその径方向に受光部（１ａ）に対応する
部分を越えるように設けられ受光部（１ａ）の大きさよ
シ大きい溝幅を有する横溝、（８）は絶縁筒体（４）の
横溝（７）に対応する部分に設けられた貫通孔、（９）
は第２図に示すように、外周面が絶縁筒体（４）の貫通
孔（８）の内壁面に気密に固着され軸心部に後述の内部
ライトガイドが挿入固着きれる軸穴（９ａ）が設けられ
た第１の部分と、外周面が第１の部分の外周面の外径よ
り大きい外径を有し第１の部分に絶縁筒体（４）の外側
へ突出するように一体に連結され軸心部に内径が軸穴（
９ａ）の内径より大きく後述の外部ライトカイトスリー
ブが挿入保持される軸穴（９ｂ）が設けられかつ外周面
部に後述のコネクタのねじ部に螺合するねじ部（９ｃ）
が設けられた第２の部分とからなるリセプタ、（９ｄ）
は軸穴（９ａ）の内周面と軸穴（９ｂ）の内周面との間
の段差部である。ＱＯは光トリガ信号取入れ窓であるサ
ファイア板で、このサファイア板ｕＱはその一方の主面
周縁部に形成された金属化膜（図示せず）が銀ろうなど
のノ・−ドソルダーで段差部（９ｄ）に気密にろう付け
されており、第２図に示すように、他方の主面上にフッ
化マグネシウム（ＭｇＦ２）などからなる反射防止膜（
１０ａ）が被着されている０（１１）は一方の端面がリ
セプタ（９）の軸穴（９ａ） （第２図に図示）内を通
ってサファイア板０りの主面に接し他方の端面が横溝（
７）内を通って受光部（１ａ）に近接するように外周面
の所要部分が軸穴（９ａ）の内壁面に接着剤（１２（第
２図に図示）で固着保持されサファイア板０１を透過し
た光トリガ信号を受光部（ｌａ）へ伝達する内部ライト
ガイド、０３）は外部に設けられた光信号発生源（図示
せず）から光トリガ信号を導ひいてくる例えばバンドル
ファイバ（ＢｕｎｄｌｅＦｉｂｅｒ）などからなる外部
ライトガイド０４）を中心部に有しリセブタ（９）の軸
穴（９ｂ） （第２図に図示）内に先端所要部分が挿入
保持された外部ライトガイドスリーブ、（１５）は内壁
面部にリセプタ（９）のねじ部（９ｃＸ第２図に図示）
Ｋ螺合するねじ部を有しこのねじ部をねじ部（９ｃ）に
螺合式せることによってリセブタ（９）の軸穴（９ｂ）
（第２図に図示）内に挿入された外部ライトガイドスリ
ーブａ萄の中心部の外部ライトガイド０＜の端面を反射
防止膜（１０ａ） （第２図に図示）に当接させるよう
に構成されたコネクタである。
このように構成された従来例では、反射防止膜（１０ａ
） （第２図に図示）がサファイア板αＱの段差部（９
ｄ）へのろう付は時に高温の雰囲気ガスとの反応によっ
て損傷式れるのを防止するために、ｖファイア板曲を段
差部（９ｄ）Ｋろう付けしたのちにサファイア板曲の主
面上に反射防止膜（１ｏａ）を例えば真空蒸着法などで
被着させねばならない。しかしながら、段差部（９ｄ）
にろう付けされた丈ファイア板曲の主面上に反射防止膜
（１０ａ）を均一に被着させることは、軸穴（９ｂ）（
第２図に図示）内を通して行うので、非常にむずかしく
、反射防止膜（１０＆）の良品歩留りが約３０チ程度し
かならず、しかも反射防止膜（ｌｏａ）が不良である場
合には、反射防止膜（１０ａ）の不良品を修正して良品
処することができないので、パンケージ全体を不良品に
せねばならなかった。また、サファイア板Ｑｌが段差［
９ｄ）にろう付けされた大きな形状のパンケージを真空
蒸着用の真空チャンバー内に入れねばならないので、１
回の蒸着作業で行なえる数が非常に少なくなり、反射防
止膜（１ｏａ）の良品歩留りの急さと相まってパッケー
ジの製造コストが非常に高いものになっていた。このよ
うに、製造コストを高くさせる反射防止膜（１０ａ）の
サファイア板ａ１の主面上への被着を省略した場合には
、光信号のサファイア板（ＩＱの主面における反射が、
サファイア板曲の主面上に反射防止膜（１０ａ）が被着
されている場合に比べて、多くなり、光トリガ信号の反
射損失が増大するので、光信号発生源の光電を増加させ
ねばならない。
） （第２図に図示）がサファイア板αＱの段差部（９
ｄ）へのろう付は時に高温の雰囲気ガスとの反応によっ
て損傷式れるのを防止するために、ｖファイア板曲を段
差部（９ｄ）Ｋろう付けしたのちにサファイア板曲の主
面上に反射防止膜（１ｏａ）を例えば真空蒸着法などで
被着させねばならない。しかしながら、段差部（９ｄ）
にろう付けされた丈ファイア板曲の主面上に反射防止膜
（１０ａ）を均一に被着させることは、軸穴（９ｂ）（
第２図に図示）内を通して行うので、非常にむずかしく
、反射防止膜（１０＆）の良品歩留りが約３０チ程度し
かならず、しかも反射防止膜（ｌｏａ）が不良である場
合には、反射防止膜（１０ａ）の不良品を修正して良品
処することができないので、パンケージ全体を不良品に
せねばならなかった。また、サファイア板Ｑｌが段差［
９ｄ）にろう付けされた大きな形状のパンケージを真空
蒸着用の真空チャンバー内に入れねばならないので、１
回の蒸着作業で行なえる数が非常に少なくなり、反射防
止膜（１ｏａ）の良品歩留りの急さと相まってパッケー
ジの製造コストが非常に高いものになっていた。このよ
うに、製造コストを高くさせる反射防止膜（１０ａ）の
サファイア板ａ１の主面上への被着を省略した場合には
、光信号のサファイア板（ＩＱの主面における反射が、
サファイア板曲の主面上に反射防止膜（１０ａ）が被着
されている場合に比べて、多くなり、光トリガ信号の反
射損失が増大するので、光信号発生源の光電を増加させ
ねばならない。
この発明は、上述の問題点を改善する目的でなされたも
ので、光トリガ信号取入れ窓として主面上に反射防止膜
が均一に被着された金属枠付透明板をレセプタに半田付
けで装着することによって、反射防止膜の損傷がなく、
しかもパッケージの製造コストの安い光トリガサイリス
タを提供するものである。
ので、光トリガ信号取入れ窓として主面上に反射防止膜
が均一に被着された金属枠付透明板をレセプタに半田付
けで装着することによって、反射防止膜の損傷がなく、
しかもパッケージの製造コストの安い光トリガサイリス
タを提供するものである。
第３図はこの発明の一実施例の光トリガ信号取入れ用レ
セプタのパッケージへの気密封止部を拡大して示す断面
図である。
セプタのパッケージへの気密封止部を拡大して示す断面
図である。
図において、第１図および第２図に示した従来例の符号
と同一符号は同等部分を示す。（国はホウケイ酸ガラス
などからなり光トリガ信号取入れ窓であるガラス板、（
Ｘａａ）はガラス板（１６）の熱膨張係数に近似した熱
膨張係数を有するニッケル・コバルト・鉄合金などから
なり内周面がカラス板０６）の外周端面にフリットガラ
スなどで気密に固着されカラス板（イ）の厚さと同一厚
さのリング状の金属枠である。この金属枠（１６ａ）は
融点が３００℃程度の高温半田などでリセプタ（９）の
段差部（９ｄ）に気密に固着式れている。（ｘａｂ）は
ガラス板０＠の段差部（９ｄ）側の主面とは反対側の主
面上に被着された反射防止膜である。
と同一符号は同等部分を示す。（国はホウケイ酸ガラス
などからなり光トリガ信号取入れ窓であるガラス板、（
Ｘａａ）はガラス板（１６）の熱膨張係数に近似した熱
膨張係数を有するニッケル・コバルト・鉄合金などから
なり内周面がカラス板０６）の外周端面にフリットガラ
スなどで気密に固着されカラス板（イ）の厚さと同一厚
さのリング状の金属枠である。この金属枠（１６ａ）は
融点が３００℃程度の高温半田などでリセプタ（９）の
段差部（９ｄ）に気密に固着式れている。（ｘａｂ）は
ガラス板０＠の段差部（９ｄ）側の主面とは反対側の主
面上に被着された反射防止膜である。
この実施例の構成は、外周端面に金属枠（１６ａ）が固
着され主面上に反射防止膜（１６ｂ）が被着されたカラ
ス板Ｏ樽以外は、第１図に示した従来例の構成と同様で
ある。
着され主面上に反射防止膜（１６ｂ）が被着されたカラ
ス板Ｏ樽以外は、第１図に示した従来例の構成と同様で
ある。
このように構成きれたこの実施例では、金属枠（１６ａ
）を高ｔ！半田でリセプタ（９）の段差部（９ｄ）Ｋ固
着するので、この固着時にガラス板（１１１の主面に被
着されている反射防止膜（１６ｂ）が損傷されることが
ない。従って、ガラス板−を金属枠（１６ａ）を介して
リセプタ（９）の段差部（９ｄ）に固着する以前にガラ
ス板（１６）の主面上に反射防止膜（１ａｂ）を被着さ
せておくことができるので、あらかじめ主面上に反射防
止膜（ｌｅｂ）が均一に被着されたカラス板（１時の選
別を行うことが可能となり、反射防止膜（１６ｂ）が不
良であるガラス板（１１１１がリセプタ（９）の段差部
９ｄ）に取り付けられることがない。仮に、ガラス板端
を金属枠（１６ａ）を介してリセプタ（９）の段差部（
９ｄ）Ｋ高温半田で固着する際に反射防止膜（１６ｂ）
が損傷した場合には、高温半田を溶融させて反射防止膜
（１６ｂ）が損傷したガラス板０呻を金属枠１１６ａ）
とともに取りはずし、再度反射防止膜（ｘａｂ）の良好
なカラス板Ｑ’６）を金属枠（１６ａ）を介してリセプ
タ（９）の段差部（９ｄ）に収シ付けることができ、第
１図に示した従来例のように、パッケージ全体を不良品
にすることがない。しかも、ガラス板（Ｉ６１および金
属枠（１６ａ）の形状が小さいので、ガラス板θＧ）の
主面上に反射防止膜（１６ｂ）を被着するときに、−回
の蒸着作業で行なえる数が上記従来例の場合に比べて非
常に多くなり、反射防止膜（１ａｂ、）が良好に被着さ
れたガラス板Ｏ呻をあらかじめ選別することができるこ
とと相まってパッケージの製造コストを非常に安くする
ことができる。
）を高ｔ！半田でリセプタ（９）の段差部（９ｄ）Ｋ固
着するので、この固着時にガラス板（１１１の主面に被
着されている反射防止膜（１６ｂ）が損傷されることが
ない。従って、ガラス板−を金属枠（１６ａ）を介して
リセプタ（９）の段差部（９ｄ）に固着する以前にガラ
ス板（１６）の主面上に反射防止膜（１ａｂ）を被着さ
せておくことができるので、あらかじめ主面上に反射防
止膜（ｌｅｂ）が均一に被着されたカラス板（１時の選
別を行うことが可能となり、反射防止膜（１６ｂ）が不
良であるガラス板（１１１１がリセプタ（９）の段差部
９ｄ）に取り付けられることがない。仮に、ガラス板端
を金属枠（１６ａ）を介してリセプタ（９）の段差部（
９ｄ）Ｋ高温半田で固着する際に反射防止膜（１６ｂ）
が損傷した場合には、高温半田を溶融させて反射防止膜
（１６ｂ）が損傷したガラス板０呻を金属枠１１６ａ）
とともに取りはずし、再度反射防止膜（ｘａｂ）の良好
なカラス板Ｑ’６）を金属枠（１６ａ）を介してリセプ
タ（９）の段差部（９ｄ）に収シ付けることができ、第
１図に示した従来例のように、パッケージ全体を不良品
にすることがない。しかも、ガラス板（Ｉ６１および金
属枠（１６ａ）の形状が小さいので、ガラス板θＧ）の
主面上に反射防止膜（１６ｂ）を被着するときに、−回
の蒸着作業で行なえる数が上記従来例の場合に比べて非
常に多くなり、反射防止膜（１ａｂ、）が良好に被着さ
れたガラス板Ｏ呻をあらかじめ選別することができるこ
とと相まってパッケージの製造コストを非常に安くする
ことができる。
第４図はこの発明の他の実施例の光トリカ信号取入れ用
レセプタのパンケージへの気密封止部を拡大して示す断
面図である。
レセプタのパンケージへの気密封止部を拡大して示す断
面図である。
図においで、第３図に示した実施例と同一符号は同等部
分を示す。（１６ａｌ）はこの実施例の金属枠で、この
金属枠（１６ａｌ）はその一方の主面部にガラス板（１
１１を挿入可能な凹部が形成され、他方の主面部に上記
凹部に連通し内部ライトガイド（１１）を挿入可能な貫
通孔が形成された金属板からなりガラス板（１均が上記
凹部内にフリットガラスで気密に固着されており、かつ
高温半田でレセプタ（９）の段差部（９ｄ）に気密に固
着されている。
分を示す。（１６ａｌ）はこの実施例の金属枠で、この
金属枠（１６ａｌ）はその一方の主面部にガラス板（１
１１を挿入可能な凹部が形成され、他方の主面部に上記
凹部に連通し内部ライトガイド（１１）を挿入可能な貫
通孔が形成された金属板からなりガラス板（１均が上記
凹部内にフリットガラスで気密に固着されており、かつ
高温半田でレセプタ（９）の段差部（９ｄ）に気密に固
着されている。
この実施例では、第３図に示した実施例と同様の効果が
ある上に、金属枠（１６ａｌ）のガラス板（１６）の反
射防止膜（１６ｂ）が被着された主面側とレセプタ（９
）の段差部（９ｄ）にし１着される主面側との区別が容
易にできるので、ガラス板部の反射防止膜（ｆ６ｂ）が
被着嘔れている主面が内部ライトガイド（１１）側にな
るよう忙して金属枠（１６ａｌ）をレセプタ（９）の段
差部（９ｄ）に固着する間違いをなくすことができる。
ある上に、金属枠（１６ａｌ）のガラス板（１６）の反
射防止膜（１６ｂ）が被着された主面側とレセプタ（９
）の段差部（９ｄ）にし１着される主面側との区別が容
易にできるので、ガラス板部の反射防止膜（ｆ６ｂ）が
被着嘔れている主面が内部ライトガイド（１１）側にな
るよう忙して金属枠（１６ａｌ）をレセプタ（９）の段
差部（９ｄ）に固着する間違いをなくすことができる。
なお、上記各実施例では、ガラス板を用いたが、これに
限らずその他の透明板を用いてもよい。
限らずその他の透明板を用いてもよい。
以上、説明したように、この発明によれば、光トリガ信
号取入れ窓として外周端面部に金属枠が固着され主面上
に反射防止膜が被着された透明板がパッケージを構成す
る絶縁筒体に固着されたレヒプタに半田付けで装着され
るので、この装着時に上記反射防止膜が損傷されること
がない。従って、上記透明板を上記レセプタに装着する
以前ＫＬ記透明板の主面上に上記反射防止膜を被着させ
ておくことができるので、あらかじめ主面上に上記反射
防止膜が良好に被着された上記透明板の選別を行うこと
が可能となり、上記反射防止膜が不良である透明板が上
記レセプタに装着されることがない。仮に、上記透明板
の上記レセプタへの装着時に上記反射防止膜が損傷した
場合には、上記装着用半田を溶融させて上記反射防止膜
の損傷した透明板をこれに固着されている上記金属枠と
と上記レセプタに装着することができ、従来例のよう７
７（、ハラケージ全体を不良品にすることがない。
号取入れ窓として外周端面部に金属枠が固着され主面上
に反射防止膜が被着された透明板がパッケージを構成す
る絶縁筒体に固着されたレヒプタに半田付けで装着され
るので、この装着時に上記反射防止膜が損傷されること
がない。従って、上記透明板を上記レセプタに装着する
以前ＫＬ記透明板の主面上に上記反射防止膜を被着させ
ておくことができるので、あらかじめ主面上に上記反射
防止膜が良好に被着された上記透明板の選別を行うこと
が可能となり、上記反射防止膜が不良である透明板が上
記レセプタに装着されることがない。仮に、上記透明板
の上記レセプタへの装着時に上記反射防止膜が損傷した
場合には、上記装着用半田を溶融させて上記反射防止膜
の損傷した透明板をこれに固着されている上記金属枠と
と上記レセプタに装着することができ、従来例のよう７
７（、ハラケージ全体を不良品にすることがない。
しかも、上記透明板および上記金属枠の形状が小さいの
で、上記透明板の主面上に上記反射防止膜を被着すると
きに、−回の蒸着作業で行々える数が従来例の場合に比
べて非常に多くなり、上記反射防止膜の良好な透明板を
あらかじめ選別することができることと相まってパッケ
ージの製造コストを非常に安くすることができる。
で、上記透明板の主面上に上記反射防止膜を被着すると
きに、−回の蒸着作業で行々える数が従来例の場合に比
べて非常に多くなり、上記反射防止膜の良好な透明板を
あらかじめ選別することができることと相まってパッケ
ージの製造コストを非常に安くすることができる。
第１図および第２図はそれぞれ従来の光トリガサイリス
タの一例の構成およびそのレセプタの）（ツケージへの
気密封止部を示す断面図、第３図はこの発明の一実施例
のレセプタのパンケージへの気密封止部を示す断面図、
第４図はこの発明の他の実施例のレセプタのパッケージ
への気密封止部を示す断面図である。 図において、（１）は光トリガサイリスクのベーシック
エレメント、（ｌａ）Ｆｉ受光部、（２）および（３）
はそれぞれ第１および第２の電極体、（４）は絶縁筒体
、（７）は４ｊｌＮ＃′１１（３）は貫通孔、（９）け
レセプタ、（９ａ）ｔ；ｊ第１の軸穴、（９ｂ）は第２
の軸穴、（９ｄ）は段差部、（ｌりは内部ライトガイド
、（１１は外部ライトガイドスリーブ、−は外部ライト
ガイド、Ｏ曖はガラス板（透明板）、（１６ａ）および
（１６ａｌ）は金属枠、（１６ｂ）は反射防止膜である
。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。 代理人 為野信 −（外１名） 第１図 第２図 を 第３図 １゜ 第４図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５ツ一１９７２０１号２
、発明の名称 光トリガサイリスタ３、補正をす
る者 ５、補正の対象 図面の第４図 ６、補正の内容 １１１ 図面の第４図を添付図面の朱記書色のとおり
に訂正する。 ７、添付書類の目録 訂正後の図面の第４図を示す図面 １通以上
タの一例の構成およびそのレセプタの）（ツケージへの
気密封止部を示す断面図、第３図はこの発明の一実施例
のレセプタのパンケージへの気密封止部を示す断面図、
第４図はこの発明の他の実施例のレセプタのパッケージ
への気密封止部を示す断面図である。 図において、（１）は光トリガサイリスクのベーシック
エレメント、（ｌａ）Ｆｉ受光部、（２）および（３）
はそれぞれ第１および第２の電極体、（４）は絶縁筒体
、（７）は４ｊｌＮ＃′１１（３）は貫通孔、（９）け
レセプタ、（９ａ）ｔ；ｊ第１の軸穴、（９ｂ）は第２
の軸穴、（９ｄ）は段差部、（ｌりは内部ライトガイド
、（１１は外部ライトガイドスリーブ、−は外部ライト
ガイド、Ｏ曖はガラス板（透明板）、（１６ａ）および
（１６ａｌ）は金属枠、（１６ｂ）は反射防止膜である
。 なお、図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示
す。 代理人 為野信 −（外１名） 第１図 第２図 を 第３図 １゜ 第４図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 １、事件の表示 特願昭５ツ一１９７２０１号２
、発明の名称 光トリガサイリスタ３、補正をす
る者 ５、補正の対象 図面の第４図 ６、補正の内容 １１１ 図面の第４図を添付図面の朱記書色のとおり
に訂正する。 ７、添付書類の目録 訂正後の図面の第４図を示す図面 １通以上
Claims (1)
- （１）一方の主面中央部に光トリガ用の受光部を有する
光トリガサイリスタのベーシックエレメント、このベー
シックエレメントを挾持するように設けられた第１およ
び第２の電極体、上記ベーシックエレメントを取シ囲み
両端面と上記第１および第２の電極体との間がそれぞれ
気密に封着されパッケージを構成する絶縁筒体、上記第
１の電極体の上記ベーシックエレメント側の端面部にそ
の外周面からその径方向に上記受光部に対応する部分を
越えるように設けられ上記受光部の大きさよシ大きい溝
幅を有する横溝、上記絶縁筒体の上記横溝に対応する部
分に設けられた貫通孔、外周面が上記貫通孔の内壁面に
気密に固着され軸心部に第１の軸穴か設けられた第１の
部分と外周面が上記第１の部分の外周面の外径より大き
い外径を有し上記第１の部分に上記絶縁筒体の外側へ突
出するように一体に連結され軸心部に内径が上記第１の
軸穴の内径より大きい第２の軸穴が設けられたレセプタ
、外周端面部忙金属枠が固着され一方の主面上に反射防
止膜が被着され他方の主面側を上記第１の軸穴に向けて
上記金属枠が上記第２の軸穴の内周面と上記第１の軸穴
の内周面との間の段差部に半田付けされ光トリガ信号取
入れ窓である透明板、一方の端面が上記第１の軸穴内を
通って上記透明板の主面に接し他方の端面が上記横溝内
を通って上記受光部に近接するように外周面の所要部分
が上記第１の軸穴の内壁面に固着保持され上記透明板を
透過する光トリガ信号を上記受光部へ伝達する内部ライ
トガイド、および光トリガ信号を外部から導ひいてくる
外部ライトガイドを中心部に有しこの外部ライトガイド
の端面が上記ガラス板の主面上に被着された上記反射防
止膜に当接するように先端所要部分が上記第２の軸穴に
挿入保持された外部ライトガイドスリーブを備えた光ト
リガサイリスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197201A JPS5986261A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 光トリガサイリスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57197201A JPS5986261A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 光トリガサイリスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5986261A true JPS5986261A (ja) | 1984-05-18 |
| JPS6359549B2 JPS6359549B2 (ja) | 1988-11-21 |
Family
ID=16370493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57197201A Granted JPS5986261A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 光トリガサイリスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5986261A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101910785B (zh) * | 2007-11-07 | 2013-03-20 | 托姆拉系统公司 | 用于检测物体的设备、光学单元和装置 |
-
1982
- 1982-11-08 JP JP57197201A patent/JPS5986261A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6359549B2 (ja) | 1988-11-21 |
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