JPS5984839U - 半導体製造装置 - Google Patents

半導体製造装置

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JPS5984839U
JPS5984839U JP18096382U JP18096382U JPS5984839U JP S5984839 U JPS5984839 U JP S5984839U JP 18096382 U JP18096382 U JP 18096382U JP 18096382 U JP18096382 U JP 18096382U JP S5984839 U JPS5984839 U JP S5984839U
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JP
Japan
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semiconductor manufacturing
tank
manufacturing equipment
manufacturing apparatus
supply pipe
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Pending
Application number
JP18096382U
Other languages
English (en)
Inventor
清野　寿也
Original Assignee
日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の半導体製造装置の断面図である。 第２図はこの考案の一実施例の半導体製造装置の゛断面
図である。 １・・・・・・槽、３・・・・・・ヒータ、４・・・・
・・蓋体、５・・・・・・処理液（リン酸）、７・・・
・・・半導体ウェーハ、８・・・・・・水供給管、９・
・・・・・弁、１０・・・・・・水槽、１１・・・・・
・純水。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 槽と、槽の周囲に配設されたヒータと、冷却水を通水す
    る蓋体とを備え、槽内に収納した熱処理液中で半導体ウ
    ェーハを処理する半導体製造装置において、前記槽の底
    部に水供給管を設け、槽内の処理液の濃度上昇に応じて
    水供給管より水を補給するようにしたことを特徴とする
    半導体製造装置。
JP18096382U 1982-11-30 1982-11-30 半導体製造装置 Pending JPS5984839U (ja)

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JP18096382U JPS5984839U (ja) 1982-11-30 1982-11-30 半導体製造装置

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JPS5984839U true JPS5984839U (ja) 1984-06-08

Family

ID=30392243

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0298631U (ja) * 1989-01-26 1990-08-06

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5018759A (ja) * 1973-06-26 1975-02-27

Patent Citations (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5018759A (ja) * 1973-06-26 1975-02-27

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JPH0298631U (ja) * 1989-01-26 1990-08-06

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