JPS5983335A - 試料像の傾斜増幅表示装置 - Google Patents
試料像の傾斜増幅表示装置Info
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- JPS5983335A JPS5983335A JP19429382A JP19429382A JPS5983335A JP S5983335 A JPS5983335 A JP S5983335A JP 19429382 A JP19429382 A JP 19429382A JP 19429382 A JP19429382 A JP 19429382A JP S5983335 A JPS5983335 A JP S5983335A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、走査型電子顕微鏡等に付設される装置に関し
、特１こブラウン管（以下；１ｃＲＴＪとり・う。）上
に表示された試料像がＣＲ’「の表示座標からどれだけ
傾斜しているかを検出して表示できるようにした、試料
像の傾斜増１冒表示装置に関する。
、特１こブラウン管（以下；１ｃＲＴＪとり・う。）上
に表示された試料像がＣＲ’「の表示座標からどれだけ
傾斜しているかを検出して表示できるようにした、試料
像の傾斜増１冒表示装置に関する。
従来の走査型電子顕微鏡では、第１図に示すように、電
子銃１から放！１Ｊされた電子ビーム（荷電粒子線）２
を集束レンズ３で集束し、この集束されたＺ方向に沿う
電子ビーム２を偏向コイル４，５でＸ方向およびＸ方向
に偏向し、偏向された電子ビーム２は対物レンズ６で焦
点合わせを施されながら試料（ＩＣパターン等）７」−
を走査するようになっている。
子銃１から放！１Ｊされた電子ビーム（荷電粒子線）２
を集束レンズ３で集束し、この集束されたＺ方向に沿う
電子ビーム２を偏向コイル４，５でＸ方向およびＸ方向
に偏向し、偏向された電子ビーム２は対物レンズ６で焦
点合わせを施されながら試料（ＩＣパターン等）７」−
を走査するようになっている。
そして、試料７からの２次電子は、２次電子検出装置り
によって検出され、試料像が表示装置としてのＣＲＴ
Ｓ上に映し出される。（第２図参照）偏向フィル４，５
へは、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向するた
めの鋸歯状波信号ＳＸ、ＳＹが供給される。
によって検出され、試料像が表示装置としてのＣＲＴ
Ｓ上に映し出される。（第２図参照）偏向フィル４，５
へは、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向するた
めの鋸歯状波信号ＳＸ、ＳＹが供給される。
この鋸歯状波信号ＳＸ、ＳＹは、Ｘ方向鋸歯状波発生回
路９およびＹ方向鋸歯状波発生回路１０からの信号ｖｘ
、ｖｙを倍率可変用アッテネータｉｉ、ｉ２でそれぞれ
倍率調整し、さらに、調整された信号Ａｘ、Ａ）・を増
幅器（ＡＩＴＩＩＩ） １３．１４で増幅したものから
作られる。
路９およびＹ方向鋸歯状波発生回路１０からの信号ｖｘ
、ｖｙを倍率可変用アッテネータｉｉ、ｉ２でそれぞれ
倍率調整し、さらに、調整された信号Ａｘ、Ａ）・を増
幅器（ＡＩＴＩＩＩ） １３．１４で増幅したものから
作られる。
このようにして、偏向フィル４．Ｘ方向鋸歯状波発生１
！ｉ１路９１倍率可変用アッテネータ１１および増幅器
１３でＸ力向偏向部利］）Ｘが構成されている。
！ｉ１路９１倍率可変用アッテネータ１１および増幅器
１３でＸ力向偏向部利］）Ｘが構成されている。
同様しこ偏向コイル５．Ｘ方向鋸歯状波発生回路１０゜
倍率可変用アンテネータ１２および増幅器１４で、Ｙ力
向偏向部祠１）Ｙか構成されている。
倍率可変用アンテネータ１２および増幅器１４で、Ｙ力
向偏向部祠１）Ｙか構成されている。
なお、Ｘ方向の倍率ＭｕとＸ方向の倍率Ｍｖとは倍率連
動指令部１Ｇによって連動して変化するようになってい
て、同じ倍率Ｍとなっている。
動指令部１Ｇによって連動して変化するようになってい
て、同じ倍率Ｍとなっている。
ところで、このような従来の装置では、試料７を観察す
る前に、あらかじめ決められた基準となる状態に試料７
を位置させるようになっている。
る前に、あらかじめ決められた基準となる状態に試料７
を位置させるようになっている。
すなわち、ｆＩｔＪ２図に示すように、試料７上にイτ
１けられた十Ｔ形の基準マークＭＫの示す座標Ｘ＋Ｖと
ＣＲＴ８における表示座標Ｘ、Ｙとを整合させることに
よって、試料像１５の表示座標Ｘ、Ｙからの傾斜の角度
θ１をゼロとするようになっている。（第３図参照）な
お、この傾斜の補正は、試料７下面の試料移動台（図示
せず）をＺ方向を軸として回転することによって行なう
。
１けられた十Ｔ形の基準マークＭＫの示す座標Ｘ＋Ｖと
ＣＲＴ８における表示座標Ｘ、Ｙとを整合させることに
よって、試料像１５の表示座標Ｘ、Ｙからの傾斜の角度
θ１をゼロとするようになっている。（第３図参照）な
お、この傾斜の補正は、試料７下面の試料移動台（図示
せず）をＺ方向を軸として回転することによって行なう
。
しかしながら、このような従来の走査型電子顕微鏡にお
ける傾斜表示手段では、ＣＲＴ８に示される基準マーク
ＭＫの傾斜が小さい場合には、この傾斜を肉眼では検出
することができないという問題点があり、精度が低い傾
斜表示手段となっている。
ける傾斜表示手段では、ＣＲＴ８に示される基準マーク
ＭＫの傾斜が小さい場合には、この傾斜を肉眼では検出
することができないという問題点があり、精度が低い傾
斜表示手段となっている。
これに対し、従来の走査型電子顕微鏡における他の傾斜
表示手段では、第４図に示すように、試料の座標Ｘに沿
う基準直線ＳＬによって整合をとる場合、まず試料の座
標Ｘ＋３’と表示座標Ｘ、Ｙとをおおまかに一致させた
後、試料移動台を移動して試料７の領域Ａをｍ察しく第
５図参照）、つぎに試料移動台をＸ方向【こ直線的に移
動して、領域Ｂを観察する。（第６図参照）そして、こ
の移動に伴って、直線ＳＬの画像がＣＲＴＢ上でＹ方向
に移動すれば、傾斜があることがわかり、そのＸ方向移
動距離Ｍｘ、Ｙ方向移四ＪＶ［離σＹおよびＣＲＴ８に
おけるＹ方向移動距離りによって傾斜の角度θ２は次式
により計算される。
表示手段では、第４図に示すように、試料の座標Ｘに沿
う基準直線ＳＬによって整合をとる場合、まず試料の座
標Ｘ＋３’と表示座標Ｘ、Ｙとをおおまかに一致させた
後、試料移動台を移動して試料７の領域Ａをｍ察しく第
５図参照）、つぎに試料移動台をＸ方向【こ直線的に移
動して、領域Ｂを観察する。（第６図参照）そして、こ
の移動に伴って、直線ＳＬの画像がＣＲＴＢ上でＹ方向
に移動すれば、傾斜があることがわかり、そのＸ方向移
動距離Ｍｘ、Ｙ方向移四ＪＶ［離σＹおよびＣＲＴ８に
おけるＹ方向移動距離りによって傾斜の角度θ２は次式
により計算される。
θ２＝ｔａｎ−’（Ｎｙ＃２ｘ）
このとと、ｔａｎθ２＝１ｘｌｏ−５の傾斜の測定を行
なうためには、倍率Ｍを１０００倍、ＣＲＴＢ上の精度
を［ｎｕｎ：ｌとすると、 ｔａｎθ−’＝ ＱＹ／Ｎｘ＝（１／Ｍ） ・Ｌ／Ｑｘ
より、Ｘ方向移動距離Ｑｘは、 ρｘ ”（１／ Ｍ） ・Ｌ／ ｔａｎθ２＝（１０−
コＸｉ）／＜ＩＸｌ、０−５）＝ ｉ （，１０［＋ｏ
ｍｌ となる。すなわち、試料７上の１００ ［ｍｍｌの間隔
をもった２点を測定する必要がある。
なうためには、倍率Ｍを１０００倍、ＣＲＴＢ上の精度
を［ｎｕｎ：ｌとすると、 ｔａｎθ−’＝ ＱＹ／Ｎｘ＝（１／Ｍ） ・Ｌ／Ｑｘ
より、Ｘ方向移動距離Ｑｘは、 ρｘ ”（１／ Ｍ） ・Ｌ／ ｔａｎθ２＝（１０−
コＸｉ）／＜ＩＸｌ、０−５）＝ ｉ （，１０［＋ｏ
ｍｌ となる。すなわち、試料７上の１００ ［ｍｍｌの間隔
をもった２点を測定する必要がある。
このように従来の池の傾斜表示手段では、Ｘ方向に大き
く離れた２箇所を観察しなければ傾斜を検出できず、し
かも、十分な検出精度を得られないという問題点がある
。
く離れた２箇所を観察しなければ傾斜を検出できず、し
かも、十分な検出精度を得られないという問題点がある
。
よりこ、傾斜の検出を同一視野で行なうことができず、
これｌこよＩ）傾斜の検出を短時間のうちに行なえない
という問題点や測定誤差が累積されるといった問題点が
ある。
これｌこよＩ）傾斜の検出を短時間のうちに行なえない
という問題点や測定誤差が累積されるといった問題点が
ある。
本発明は、これらの問題点を解決しようとするもので、
試料像の傾きを増幅することにより、傾斜を表示装置の
同−視野内において迅速に且つ精度よく観察し、傾斜を
明確に表示することがで鰺るようにした、試料像の傾斜
増幅表示装置を提供することを目的とする。
試料像の傾きを増幅することにより、傾斜を表示装置の
同−視野内において迅速に且つ精度よく観察し、傾斜を
明確に表示することがで鰺るようにした、試料像の傾斜
増幅表示装置を提供することを目的とする。
このため、本発明の試料像の傾斜増幅表示装置は、荷電
粒子線を試料上に走査すべく、同荷電粒子線をＸ方向に
偏向しうるＸ方向偏向部祠と、Ｙ方向に偏向しうるＸ方
向偏向部材とをそなえるとともに、上記試料を表示する
表示装置をそなえ、同表示装置に映し出された試料像の
」１記表示装置における表示座標からの傾斜を増幅すべ
く、上記のＸ方向偏向部材およびＹ方向偏向ｆｌＥの少
なくとも一方の偏向部材に、倍率を増減制御しうる倍率
調整部が付設されたことを特徴としている。
粒子線を試料上に走査すべく、同荷電粒子線をＸ方向に
偏向しうるＸ方向偏向部祠と、Ｙ方向に偏向しうるＸ方
向偏向部材とをそなえるとともに、上記試料を表示する
表示装置をそなえ、同表示装置に映し出された試料像の
」１記表示装置における表示座標からの傾斜を増幅すべ
く、上記のＸ方向偏向部材およびＹ方向偏向ｆｌＥの少
なくとも一方の偏向部材に、倍率を増減制御しうる倍率
調整部が付設されたことを特徴としている。
以下、図面により本発明の一実施例としての試料像の傾
斜増幅表示装置について説明すると、第７図はその全体
構成図、第８図はその表示座標と試料像の傾斜との関係
を示す平面図、第９．１１．１３図はいずれもその走査
領域を示す模式図、第１０．１２．１４図はいずれもそ
の表示装置における試料像を示す説明図である。なお、
第７〜１４図中、第１〜６図と同じ符号はほぼ同様のも
のを示す。
斜増幅表示装置について説明すると、第７図はその全体
構成図、第８図はその表示座標と試料像の傾斜との関係
を示す平面図、第９．１１．１３図はいずれもその走査
領域を示す模式図、第１０．１２．１４図はいずれもそ
の表示装置における試料像を示す説明図である。なお、
第７〜１４図中、第１〜６図と同じ符号はほぼ同様のも
のを示す。
第７図に示すように、この実施例の場合も、走査型電子
顕微鏡の電子銃１がら放射された電子ビーム（荷電粒子
線）２を集束レンズ３で集束し、この集束されたＺ方向
に沿う電子ビーム２を偏向コイル４，５でＸ方向および
）′方向に偏向し、偏向された電子ビーム２は月初レン
ズ′６を介して試料（ＩＣパターン等）７」二を走査す
るようになっている。
顕微鏡の電子銃１がら放射された電子ビーム（荷電粒子
線）２を集束レンズ３で集束し、この集束されたＺ方向
に沿う電子ビーム２を偏向コイル４，５でＸ方向および
）′方向に偏向し、偏向された電子ビーム２は月初レン
ズ′６を介して試料（ＩＣパターン等）７」二を走査す
るようになっている。
そして、試料７がらの２次電子は、２次電子検出装置Ｉ
）によって検出され、試料像１５を表示装置としてのＣ
１てＴ ８にに映し出す。（第８図参照）偏向フィルｌ
［，５へは、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向
するための鋸歯状波信号ＳＸ、ＳＹが（ｊ、給される。
）によって検出され、試料像１５を表示装置としてのＣ
１てＴ ８にに映し出す。（第８図参照）偏向フィルｌ
［，５へは、Ｘ方向およびＹ方向へ電子ビーム２を偏向
するための鋸歯状波信号ＳＸ、ＳＹが（ｊ、給される。
この夕１信（１状波信号ＳＸは、Ｘ力向鋸ｆｉ］状波発
生回路９からの信号ｖＸを倍率可変用アッテネータ１１
で倍率調整し、さらｔこ、調整された信号Ａｘを増幅器
（Ａ＋ｎｐ）１３で増幅したものから作られる。
生回路９からの信号ｖＸを倍率可変用アッテネータ１１
で倍率調整し、さらｔこ、調整された信号Ａｘを増幅器
（Ａ＋ｎｐ）１３で増幅したものから作られる。
また、鋸歯状波信号ＳＹは、切換スイッチ１７が第７図
のａ側のとき、Ｙ方向鋸歯状波発生回路１０がらの信号
ＶＹを倍率可変用アッテネータ１２で倍率調整し、さら
に、調整された信号ＡＹを増幅器（Ａ＋ｎｌ＋） ｉ
４で増幅したものから作られる。
のａ側のとき、Ｙ方向鋸歯状波発生回路１０がらの信号
ＶＹを倍率可変用アッテネータ１２で倍率調整し、さら
に、調整された信号ＡＹを増幅器（Ａ＋ｎｌ＋） ｉ
４で増幅したものから作られる。
このとき、Ｘ方向の倍率ＭｕとＹ方向の倍率Ｍｖとは同
倍率になっていて、倍率連動指令部１６によって、連動
して変化する。
倍率になっていて、倍率連動指令部１６によって、連動
して変化する。
切換スイッチ１７が第７図のｂ側のときには、鋸歯状波
信号ＳＹは、Ｙ方向鋸歯状波発生回路１（）がらの信号
＼７ＹをＹ方向倍率可変用アンテネータ１Ｂを介して、
倍率可変用アッテネータ１２で倍率調整し、さらに、調
整された信号ＡＹを増幅器１４で増幅したものから作ら
れる。
信号ＳＹは、Ｙ方向鋸歯状波発生回路１（）がらの信号
＼７ＹをＹ方向倍率可変用アンテネータ１Ｂを介して、
倍率可変用アッテネータ１２で倍率調整し、さらに、調
整された信号ＡＹを増幅器１４で増幅したものから作ら
れる。
このとき、Ｘ方向の倍率ＭｌｌとＹ方向の倍率Ｍｖとは
、Ｙ方向倍率可変用アッテネータ１８によって一定の比
（Ｍｖ／Ｍ−’）にされる。
、Ｙ方向倍率可変用アッテネータ１８によって一定の比
（Ｍｖ／Ｍ−’）にされる。
このようにして、偏向フィル４．×方向鋸歯状波発生回
路９９焙率可変用アッテネータ１１および増幅器１３で
Ｘ方向偏向部材ＤＸが構成さねている。
路９９焙率可変用アッテネータ１１および増幅器１３で
Ｘ方向偏向部材ＤＸが構成さねている。
同様に偏向コイル５．Ｙ方向鋸歯状波発生回路１０゜倍
率可変用アッテネータ１２．Ｙ方向倍率可変用アッテネ
ータ１８．切換スイッチ１７および増幅器１４で、Ｙ力
向偏向郁拐１）Ｙが構成されている。
率可変用アッテネータ１２．Ｙ方向倍率可変用アッテネ
ータ１８．切換スイッチ１７および増幅器１４で、Ｙ力
向偏向郁拐１）Ｙが構成されている。
このよつｔ：鋸歯状波信号ＳＹの倍率な鋸歯状波信号Ｓ
Ｘの倍率と異なる値に設定することにより、Ｘ方向の倍
率Ｍｕとは異なる倍率Ｍｖとすることがで外る。
Ｘの倍率と異なる値に設定することにより、Ｘ方向の倍
率Ｍｕとは異なる倍率Ｍｖとすることがで外る。
本発明の試料像の傾斜増幅表示装置は上述のごとく構成
されているので、切換スイッチ１７をａ側にして、第９
図に示すように、試料７を横の長さ１１．縦の長さＶの
範囲にわたって走査すると外、Ｘ方向の倍率Ｍ１１と）
′方向の倍率ＭＶとの倍率比＜Ｍｖ／Ｍｌ）は１となる
。
されているので、切換スイッチ１７をａ側にして、第９
図に示すように、試料７を横の長さ１１．縦の長さＶの
範囲にわたって走査すると外、Ｘ方向の倍率Ｍ１１と）
′方向の倍率ＭＶとの倍率比＜Ｍｖ／Ｍｌ）は１となる
。
このとき、試料７上の十字形の基準マークＭＫは、横の
長さＨ，縦の長さ■のＣＲＴＳ上では、第１０図に示す
ように表示され、試料像１５の横の長さＬｘ＋縦の長さ
１−Ｙｌから傾斜の角度α（＝０３）は次のようになる
。
長さＨ，縦の長さ■のＣＲＴＳ上では、第１０図に示す
ように表示され、試料像１５の横の長さＬｘ＋縦の長さ
１−Ｙｌから傾斜の角度α（＝０３）は次のようになる
。
α＝θｓ ＝ ｔａｎ −’ （Ｌｙｅ／ Ｌｘ）なお
、Ｘ方向の倍率１’４＋は、（）ｉ／Ｉ＋）によって計
算され、Ｙ方向の倍率Ｍｙは、（Ｖ／Ｖ）によって計算
される。
、Ｘ方向の倍率１’４＋は、（）ｉ／Ｉ＋）によって計
算され、Ｙ方向の倍率Ｍｙは、（Ｖ／Ｖ）によって計算
される。
この倍率比（Ｍｖ／Ｍｕ）が１のと外、ＣＲｉ’ Ｂ上
の精度は前述のごと＜１［ｍｍｌが限界であ１）、この
精度の限界まで傾斜を補正することができる。
の精度は前述のごと＜１［ｍｍｌが限界であ１）、この
精度の限界まで傾斜を補正することができる。
ついで、切換スイッチ１７をｂ側に切Ｉ）換えてＹ方向
倍率可変用アッテネータ１８を例えば２倍にセットする
と、試料７の走査領域Ｃは第１１図に示すように、Ｙ方
向に１／２だけ縮まり、縦の長さが（Ｖ／ ２ ）とな
って、倍率比（Ｍｖ ／ Ｍｕ ）は２となる。
倍率可変用アッテネータ１８を例えば２倍にセットする
と、試料７の走査領域Ｃは第１１図に示すように、Ｙ方
向に１／２だけ縮まり、縦の長さが（Ｖ／ ２ ）とな
って、倍率比（Ｍｖ ／ Ｍｕ ）は２となる。
このとき、試料７上の十字形の基準マークＭ Ｋは、Ｃ
ＲＴＳ上では、第１２図に示すように表示され、試料像
１５の横の長さＬｘ＋縦の長さ１．ＪＹ２からＣＲＴ８
．Ｊ二の傾斜の角度α′は次のようになる。
ＲＴＳ上では、第１２図に示すように表示され、試料像
１５の横の長さＬｘ＋縦の長さ１．ＪＹ２からＣＲＴ８
．Ｊ二の傾斜の角度α′は次のようになる。
α’ ＝ｔａｎ−’（Ｌｙ２／Ｌｘ）
また、実際の試料７上の傾斜の角度θ３は次のようにな
る。
る。
θ＊＝ｔａｎ−’ｉ （Ｍｕ／Ｍｖ） ・ＬＹ２／ＬＸ
１このように、ＣＲＴ ８ Ｊ二におけるＹ方向の長
すＪ−Ｙ２は２１．、ｙ、となる。すなわち、試料像１
５のＣＲＴ ８上にｔ：；ｌｉる表示座標Ｘがらの傾斜
を増幅できるので、（ｉ Ｒ”Ｆ８ ＩｔのＹ方向にお
ける測定精度が２倍となる。
１このように、ＣＲＴ ８ Ｊ二におけるＹ方向の長
すＪ−Ｙ２は２１．、ｙ、となる。すなわち、試料像１
５のＣＲＴ ８上にｔ：；ｌｉる表示座標Ｘがらの傾斜
を増幅できるので、（ｉ Ｒ”Ｆ８ ＩｔのＹ方向にお
ける測定精度が２倍となる。
〕ぎに、）′方向倍率可変用アッテネータ１７を１０倍
にセットすると、試料７の走査領域Ｃは第１３図に示す
ように、さらにＹ方向に縮まり、縦の長さが（ｖ／１０
）となって、倍率比（Ｍｖ／ Ｍｕ）は１０となる。
にセットすると、試料７の走査領域Ｃは第１３図に示す
ように、さらにＹ方向に縮まり、縦の長さが（ｖ／１０
）となって、倍率比（Ｍｖ／ Ｍｕ）は１０となる。
このとき、試料７」二の十字形の基準マークＭＫは、Ｃ
Ｒｉ” Ｂ上では第１４図に示すように表示され、試料
像１５の横の長さＬｘ、縦の長さＬＹ３からＣＲＴ８に
の傾斜の角度α″は次のようになる。
Ｒｉ” Ｂ上では第１４図に示すように表示され、試料
像１５の横の長さＬｘ、縦の長さＬＹ３からＣＲＴ８に
の傾斜の角度α″は次のようになる。
α″”１．ａ＋１’（Ｌｙ３／ Ｌｘ）また、実際の試
料７上の傾斜の角度θ３は人のようになる。
料７上の傾斜の角度θ３は人のようになる。
θｚ ＝ １．ａｎ −’ ｉ（Ｍ１＋／ Ｍｖ ）
・Ｉ−Ｙ３／ Ｌｘ １このように、ＣＲＴ８ｊユにお
けるＹ方向の長さＩ＝ １．３は］ （、＋ １．１．
、となる（この場合も試料像１５の傾斜を増幅できる）
ので、ＣＲｉ’ ８上のＹ方向における測定精度は１０
倍となる。
・Ｉ−Ｙ３／ Ｌｘ １このように、ＣＲＴ８ｊユにお
けるＹ方向の長さＩ＝ １．３は］ （、＋ １．１．
、となる（この場合も試料像１５の傾斜を増幅できる）
ので、ＣＲｉ’ ８上のＹ方向における測定精度は１０
倍となる。
この倍率比（Ｍｖ／Ｍ＋）としては、」二連の１． 、
２ 、１０以外にも設定することがでこ、例えばＸ方向
の倍率ｌ１１４Ｈ” ３０ 、 Ｙ方向の倍率Ｍｖ＝３
００００すなわち倍率比（Ｍｖ ／ Ｍｕ ）＝ １０
００に設定したとき、ＣＲｉ’ ｌｉ上のＹ方向の・測
定精度カ弓［ｍ１１１］である場合においで、視野を変
えることなく、ｔａｎθ３＝ＩＸ１０−５の傾斜を観察
することがで終る。なお、このと！＝ ＣＲ”ｌ’ ８
のＸ方向の長さしＸは１００ ［＋ｎ＋ｎｌとなってい
る。
２ 、１０以外にも設定することがでこ、例えばＸ方向
の倍率ｌ１１４Ｈ” ３０ 、 Ｙ方向の倍率Ｍｖ＝３
００００すなわち倍率比（Ｍｖ ／ Ｍｕ ）＝ １０
００に設定したとき、ＣＲｉ’ ｌｉ上のＹ方向の・測
定精度カ弓［ｍ１１１］である場合においで、視野を変
えることなく、ｔａｎθ３＝ＩＸ１０−５の傾斜を観察
することがで終る。なお、このと！＝ ＣＲ”ｌ’ ８
のＸ方向の長さしＸは１００ ［＋ｎ＋ｎｌとなってい
る。
さらに、倍率比（Ｍｖ／ｌ’４＋υを天外くすることに
よって、傾斜を精度よく表示し、測定することかでと、
この傾斜の増幅による表示に基づいて、試料移動台を回
転さぜ、傾斜をより精度よく小さくすることも可能とな
る。
よって、傾斜を精度よく表示し、測定することかでと、
この傾斜の増幅による表示に基づいて、試料移動台を回
転さぜ、傾斜をより精度よく小さくすることも可能とな
る。
また、倍率はＸ方向およびＹ方向の一方を大きくするも
ののほか、その他方を小さくするものを用いてもよい。
ののほか、その他方を小さくするものを用いてもよい。
なお、倍率調整部としては、」二連のごとくＹ方向にＹ
方向倍率可変用アッテネータ１８を設けられるもののほ
か、Ｘ方向にＸ方向倍率可変用アッテネータを設けられ
るものを用いてもよく、この場合はＸ方向の倍率Ｍｕを
）′方向の倍率Ｎ１ｖより犬たくすることがでべろ。
方向倍率可変用アッテネータ１８を設けられるもののほ
か、Ｘ方向にＸ方向倍率可変用アッテネータを設けられ
るものを用いてもよく、この場合はＸ方向の倍率Ｍｕを
）′方向の倍率Ｎ１ｖより犬たくすることがでべろ。
本た、倍率調整部としては、倍率可変用アッテネータ１
１．１２の倍率連動指令部１６のＸ方向倍率およびＹ方
向倍率の指令値をそれぞれ独立して与えるように構成し
てもよく、この場合、連動した状態と独立した状態とは
切り換えられるように構成する。
１．１２の倍率連動指令部１６のＸ方向倍率およびＹ方
向倍率の指令値をそれぞれ独立して与えるように構成し
てもよく、この場合、連動した状態と独立した状態とは
切り換えられるように構成する。
以上詳述したように、本発明の試料像の傾斜増幅表示装
置によれば、Ｘ方向偏向部材およびＸ方向偏向部材の少
なくとも一方の偏向部材に、倍率を増減制御しうる倍率
調整部がイ」設されるという簡素な構造で、表示装置に
映し出された試料像の表示装置における表示座標からの
傾斜を増幅して、傾斜の検出精度を高めることかで外、
特に傾斜の検出が同一視野で行なえるため、操作か簡便
かつ切時間に行なえる利点があり、さらに傾斜の検出に
伴う誤差も小さくなるのである。
置によれば、Ｘ方向偏向部材およびＸ方向偏向部材の少
なくとも一方の偏向部材に、倍率を増減制御しうる倍率
調整部がイ」設されるという簡素な構造で、表示装置に
映し出された試料像の表示装置における表示座標からの
傾斜を増幅して、傾斜の検出精度を高めることかで外、
特に傾斜の検出が同一視野で行なえるため、操作か簡便
かつ切時間に行なえる利点があり、さらに傾斜の検出に
伴う誤差も小さくなるのである。
また、本発明の装置は、傾斜補正手段を結合することに
よって、基準マークを検出し、自動的に傾斜を補正する
ことも可能となるのである。
よって、基準マークを検出し、自動的に傾斜を補正する
ことも可能となるのである。
第１〜３図は従来の走査型電子顕微鏡における傾斜表示
装置を示すもので、第１図はその全体構成図、第２．３
図はいずれもその表示装置における試料像を示す説明図
であり、第４〜６図は従来の他の走査型電子顕微鏡にお
ける傾斜表示手段を示すもので、第４図はその表示座標
と傾斜との関係を示す平面図、第５，６図はいずれもそ
の表示装置における試料像を示す説明図であり、第７〜
１４図は本発明の一実施例としての走査型電子顕微鏡に
おける試料像の傾斜増幅表示装置を示すもので、第７図
はその全体構成図、ｆｉｔＪ８図はその表示座標と試料
像の傾斜との関係を示す平面図、第９．１．１．１３図
はいずれもその走査領域を示す模式図、第１０．１．２
．１４図はいずれもその表示装置における試料像を示す
説明図である。 」・・電子銃、２・・電子ビーム（荷電粒子線）、３・
・集束レンズ、４，５・・偏向フィル、６・・対物レン
ズ、７・・試料、８・・表示装置としてのＣＲｉ’、０
・・Ｘ方向鉱山状波発生回路、１０・・Ｙ方向鋸歯状波
発生回路、１１．１２・・倍率可変用アッテネータ、１
．３．１４・・増幅器、１５・・試料像、１６・・倍率
連動指令部、１′７・・切換スイッチ、１８・・倍率調
整部としてのＹ方向倍率可変用アッテネータ、Ｃ・・走
査領域、Ｄ・・２次電子検出装置、ＤＸ・・Ｘ力向偏向
部拐、ＤＹ・・Ｙ方向偏向部利、ＭＫ・・基準マーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１１図 ７ 第１２図
装置を示すもので、第１図はその全体構成図、第２．３
図はいずれもその表示装置における試料像を示す説明図
であり、第４〜６図は従来の他の走査型電子顕微鏡にお
ける傾斜表示手段を示すもので、第４図はその表示座標
と傾斜との関係を示す平面図、第５，６図はいずれもそ
の表示装置における試料像を示す説明図であり、第７〜
１４図は本発明の一実施例としての走査型電子顕微鏡に
おける試料像の傾斜増幅表示装置を示すもので、第７図
はその全体構成図、ｆｉｔＪ８図はその表示座標と試料
像の傾斜との関係を示す平面図、第９．１．１．１３図
はいずれもその走査領域を示す模式図、第１０．１．２
．１４図はいずれもその表示装置における試料像を示す
説明図である。 」・・電子銃、２・・電子ビーム（荷電粒子線）、３・
・集束レンズ、４，５・・偏向フィル、６・・対物レン
ズ、７・・試料、８・・表示装置としてのＣＲｉ’、０
・・Ｘ方向鉱山状波発生回路、１０・・Ｙ方向鋸歯状波
発生回路、１１．１２・・倍率可変用アッテネータ、１
．３．１４・・増幅器、１５・・試料像、１６・・倍率
連動指令部、１′７・・切換スイッチ、１８・・倍率調
整部としてのＹ方向倍率可変用アッテネータ、Ｃ・・走
査領域、Ｄ・・２次電子検出装置、ＤＸ・・Ｘ力向偏向
部拐、ＤＹ・・Ｙ方向偏向部利、ＭＫ・・基準マーク。 代理人 弁理士 飯 沼 義 彦 第１１図 ７ 第１２図
Claims (1)
- 荷電粒子−線を試料にに光査すべく、同荷電粒子線をＸ
ツノ向に偏向しうるＸ方向偏向部祠と、Ｙ方向に偏向し
うるＹ方向偏向０１跡４とをそなえるとともに、」１記
試料を表示する表示装置をそなえ、同表示装置に映し出
された試料像の」−記表示装置における表示座標からの
何（斜を増幅すべく、−１−記のＸ方向偏向部祠および
Ｙ方向偏向部祠の少なくとも一方の偏向部利に、倍率を
増ｊ成制御しうる倍率調整部がイτｌ設されたことを特
徴とする、試料像の傾２１増幅表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19429382A JPS5983335A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 試料像の傾斜増幅表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19429382A JPS5983335A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 試料像の傾斜増幅表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983335A true JPS5983335A (ja) | 1984-05-14 |
| JPH0234423B2 JPH0234423B2 (ja) | 1990-08-03 |
Family
ID=16322179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19429382A Granted JPS5983335A (ja) | 1982-11-05 | 1982-11-05 | 試料像の傾斜増幅表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5983335A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4753036A (en) * | 1986-05-09 | 1988-06-28 | Takenaka Kohmuten Co., Ltd. | Indoor multiple-purpose hydroponic cultivation planter |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53108275A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-20 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
| JPS5722229A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-05 | Canon Inc | Simplified film loader for camera |
-
1982
- 1982-11-05 JP JP19429382A patent/JPS5983335A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53108275A (en) * | 1977-03-04 | 1978-09-20 | Hitachi Ltd | Scanning electronic microscope |
| JPS5722229A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-05 | Canon Inc | Simplified film loader for camera |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4753036A (en) * | 1986-05-09 | 1988-06-28 | Takenaka Kohmuten Co., Ltd. | Indoor multiple-purpose hydroponic cultivation planter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234423B2 (ja) | 1990-08-03 |
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