JPS5979852A - 微視的破壊検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、物体の亀裂発生、その成長、或は疲労、劣
化等の微視的破壊に伴って放出されるアコースティック
エミッションを捕捉してその物体　−の微視的破壊を検
出する装置に関する。

〈従来技術〉 物体が微視的に破壊する際に、その歪みエネルギーの一
部が超音波として放出されるアコーステのアコースティ
ックエミッション（以下ＡＥと記憶）信号を監視して拐
料、設備機器の異常を検知することに利用されている。

しかし従来のこの種の検知法は時間領域でのパラメータ
、すなわちＡＥ倍信号強度２発生位置１発生頻度、持続
時間等を測定するのが主であシ、振動音や電気雑音等外
来雑音を除去するのが困難であったり、雑音とＡＥ倍信
号の弁別回路に特殊な工夫が必要であった。

ＡＥ倍信号外来雑音との周波数スペクトルの差異に着目
し、周波数特性の異なる幾つかのｐ波器に対する減衰率
の違いからＡＥ倍信号雑音とを弁別する方法も提唱され
ている。この方法は周波数解析に主眼を置いたものでは
なく、予めＡＥ倍信号スペクトルがわかっていないと弁
別用ｆ波器の設計はできなかった。最近になシＡＥ信号
のスペクトルパターンを標準スペクトルと比較して異常
判定を行なう方法が提唱された。ＡＥ倍信号スペクトル
パターンは被検出物体の材質、構造、亀裂の進展過程等
によシ大きく異なるため標準スペクトルを決定すること
自体が非常に難しく、そのためいた。しかし、周波数帯
域が数１０ｋＫｚ〜Ｉ　ＭＨｚという広帯域周波数成分
を有するＡＥ倍信号実時間で周波数分析するプロセッサ
は現在まで存在しなかった。

〈発明の概要〉 この発明の目的は、ＡＥ倍信号周波数スペクトルを実時
間で解析して物体の微視的破壊と対応した信号を得るこ
とができる微視的破壊検出装置を提供することにある。

この発明によれば、被検出物体における微視的破壊によ
り発生するＡＥ倍信号ピックアップにょシミ気信号とし
て捕捉され、その電気信号は増幅された後、ＡＤ変換器
にょシ各標本化し、かつ各標本値はディジタル信号に変
換される。一方入カ用第１．第２メモリと、回転因子が
記憶される第３メモリとパイプライン方式によるバタフ
ライ演算を行なう演算ユニットとからなる複数個のステ
ージが設けられ、そのステージの初段の第１．第２メモ
リに、ＡＤ変換器からのディジタル信号を、一定の標本
数ごとに交互に書込むと共に、各ステージにおいて第１
．第２メモリの一方と第３メモリとを読出してバタフラ
イ演算をパイプライン方式で行わせ、その演算結果を次
段のステージの第１．第２メモリの読出されてない方の
メモリへ書込み、全ステージが全体としてパイプライン
演算を行う制御を制御手段により行う。上記各ステージ
の各メモリに対するアクセスはアドレス発生手段よシの
共通のアドレスによシ行う。上記ステージの終段の演算
結果として得られる各スペクトル成分よりそのパワー成
分が演算されて上記微視的破壊と対応した信号を得、物
体の微視的破壊の検出に用いられる。

前記パイプライン演算によって自動スケーリング手段に
よジブロック浮動小数点演算を行なう高速フーリエ変換
手段によって指数部と仮数部とを分離してスペクトルを
求めるようにすることができる。またｉビットのＡＤ変
換によるディジタル信号の大きさによシ、一定例数の標
本化入力データ毎にｉ＞ｊなる適当なｊビットのディジ
クル値を選択してデータ語長ｊビットの高速フーリエ変
換を行なうようにすることもできる。

〈実施例〉 以下図面に従って詳細に説明する。

第１図はこの発明の一実施例を示し、被検出物体１１の
微視的破壊により発生するＡＥ倍信号ピックアップ１２
によシミ気信号として捕捉される。このピックアップ１
２の出力は増幅器１３で増幅されて端子１４よシＡＤ変
換器１５へ入力される。この実施例では増幅器１３の出
力は比較器１６へも入力されて基準信号源１７の基準信
号と比較され、その入力の絶対値が基準信号より大きい
場合はＡＥ倍信号入力されたと判定されてＡＤ変換器１
５以後の動作を開始させると共に時間信号発生器１８を
起動し、時間経過を知ることができるようにされる。

ＡＤ変換器１５ではその入力されたＡＥ倍信号一定周期
で標本化し、その各標本値を複数ビットのディジクル信
号に変換する。そのディジタル信号はバッファメモリ１
９に書き込まれ、これより高速フーリエ変換（以下ＦＦ
Ｔと記す）プロセッサ２１に転送され、ＦＦＴプロセッ
サ２１よシの複素周波数スペクトル出力はパワースペク
トル演算器２２でパワースペクトルに変換されて累算器
２３に入力され、ＡＥ信号１個を１イベントと定義すれ
ば、１イベントに対して累算されたパワースペクトルが
計算され、データ圧縮器２４へ転送される。自動スケー
リング回路２５はＦＦＴプロセッサ２１で行なわれるブ
ロック浮動小数点演算を制御しつつスケールファクタを
計算する。このスケールファクタ２６は、累算器２３に
おける累算の際のスペクトル強度の規格化に用いられる
。

基数２の高速フーリエ変換アルゴリズムでは２ｎ個のデ
ータを１フレームと定義して各フレーム毎にＦＦＴ演算
を行なう。例えばｎ＝１０の場合１０２４個のデータ群
で１フレームを形成する。まだサンプリング（標本化）
定理によれば、被測定信号の含む最高周波数の少くとも
２倍のサンプリング周波数によってサンプリングを行な
わなければＦＦＴによるスペクトルは確定しない。ＡＥ
倍信号Ｉ　ＭＨｚの周波数成分を有していればサンプリ
ング周波数（ｆｓ）は２　ＭＨｚとなる。従って１フレ
ームのデータを取り込むのに必要な時間（Ｔｆ）は次の
（１）式の様に求められる。

Ｔｆ＝２ｎ／７Ｂ＝１０２４／２Ｘ１０６＝０．５１２
ｍ５ｅｃ　　（１）第２図にＡ、Ｅ信号とフレーム分割
の模式図を示すＯこの図に示すようにＴｆよシも長い持
続時間を有するＡＥ倍信号対してのＦＦＴ方法は２通り
あシ、ｎ＝１３として１フレーム８１９２点のＦＦＴを
行なう方法と、８フレームについてそれぞれＦＦＴを行
ない、得られたスペクトル成分を累算することによシス
ベクトルを求める方法がある。第２図に示した例では ｉ）ハードウェア量が少なくて済むこと、ｉｉ）　ＡＥ
倍信号場合さほど分解能は問わないこと、１１１）累算
による平均化操作のためＦＦＴ特有のスペクトルの微細
振動が抑えられること、 等の理由により後者を採用している。しかし前者の手法
によってもよい。

ＦＦＴプロセッサ２１は、第３図に示すように２ｎ点を
１フレームとするとｎ段のバタフライ演算ステージ３３
およびその前段に設けられたウィンドウ処理を行なうス
テージ３２から構成されており、”＝１０の１０２４点
の場合はステージ３２　、３３を合せて１１段の従続ス
テージ構成となっている。第４図に第１図及び第３図中
のバランアメモリ１９を、第５図にステージ３３のブロ
ック図を示す。バッファメモリ１９及び各ステージ３２
　、３３は全て２面の入力用メモ’）　Ｍｌ、　Ｍ２を
有しており、一方がＡＤ変換器１５あるいは前段のステ
ージの出力データの書き込み状態にある時に、他力は以
前に書き込んだデータを演算後火段へ転送する読出し状
態とされる。そして１０２４点のデータの転送が終了す
るとメモＩＪ　ＭｌとＭ２の状態が交換され、今まで読
出し状態であったメモリが書き込み状態に、書き込み状
態であったメモリが読み出し状態になることによって、
データの流れがパイプライン的に行なわれる。この時メ
モリアクセスのだめのアドレス１７は、アドレスレジス
タユニット３７から供給される。

各ステージ３３におけるバタフライ演算ユニット４１も
制御部３８よシ与えられるマイクロ命令によって制御さ
れ、パイプライン演算によりバタフライ演算を行う。各
ステージ３３には回転因子が記憶されたメモリ４４が設
けられている。各ステージにおける入力データをＡｋ、
　１３に１出力データをＡ′に、　Ｂ’ｙ。

回転因子をＷｋと略記すれば、各ステージでのバタフラ
イ演算は次の（２）式の繰り返しとなる。

この際マイクロ命令の命令状態が第６図に示す状態で与
えられ、この命令を解読することによって第６図に示す
ようにＤＩ乃至Ｄ６．Ｓｌ乃至Ｓ４、更にＳＵＢの制御
信号が発生して第７図に示すような内容の命令が実行さ
れる。この結果このような命令を用いてメモリＭ＋　、
　Ｍ２から読出されたデータ中の入力Ａｋはレジスタ４
２．パスバッファ４３を介して格納され、入力データＢ
ｋがパスバッファ４３を介してまた回転因子Ｗｋが回転
因子用ＲＯＭ　（メモリ）４４かも乗算器４５にそれぞ
れ格納されて乗算が行なわれるＯＲ０Ｍ４４にアドレス
４６が与えられると共にこのアドレス４６はマルチプレ
クサ４７により選択されてメモ’）　Ｍ＋　、　Ｍ２に
選択的に与えられる。乗算器４５の乗算結果はマルチプ
レクサ４７及び加算器５１を介してレジスタ４８又は４
９に格納される。その乗算結果ＷｋＢｋはマルチプレク
サ５２を通シ、排他的論理和回路５３を通９、更にマル
チプレクサ５４を通って加算器５１に与えられる０その
際に排他的論理和回路５３の一方の入力を全てパＯｎ又
は全て“１”とし、前者の場合はその出力とレジスタ４
２の内容とを加算してＡｉを得、後者の場合はレジスタ
２１の内容と加算する際にさらにパ１”を加えてＷｋＢ
ｋの補数を得て加算結果にＢ’ｋを得る。これらによシ
（２）式のバタフライ演算がパイプライン式に実行され
るようにデータが入力され各部が制御される。演算結果
はオーバーフロラ防止回路５５を通じて次のステージに
送られる。なおメモ！ｊ　Ｍｔ　、　Ｍ２に対する書込
みはデータ５６がパスバッファ５７を介してメモリＭｒ
　、　Ｍ２に与えられると共にアドレス５８がマルチプ
、レクサ４７で選択されメモ’）　Ｍｓ　＋　Ｍ２に与
えられて行われる。

この様なパイプライン構成によシ、実時間演算でナイキ
スト周波数１．４　ＭＨｚという高速演算が可能となシ
、ＡＥ倍信号実時間高速フーリエ変換が達成された。

ＡＥ倍信号特徴の一つに、各イベントの強度が非常にば
らついていることがあり、そのレンジは４０ｄＢ以上も
ある。まだＡＥ信号波形自体も減衰振動波形であり１イ
ベント内の各フレームについてもデータの大きさはそれ
ぞれ異なるため、フレーム分割を行なった場合イベント
の最後の方のフレームに含まれるデータは小振幅のもの
となる。従って有限語長のディジタル演算を行なう場合
は、小振幅信号に対しても桁落ちなく十分な演算精度が
得られる様に、ＡＤ変換器１５の語長を大きくとり入力
信号強度に合せて適当なビットをその中よシ選択する方
法、および自動スケーリング手段によって演算時のオー
バーフロラおよびアンダーフロラを防止する方法が必要
となる。

第３図に自動スケーリング回路２５のブロック図および
その結線図を示す。例えばＡＤ変換器１５の語長を１０
ビツト、ＦＦＴデータ語長を８ビツトとする。バッファ
メモリ１９については、第４図において一方のメモリに
ＡＤ変換器１５から１フレームの１０ビツト（Ｄ、〜Ｄ
Ｏ）のデータが書き込まれる際に、フレームの中での最
大値を最大値検出器６１（第３図）で検出し、各フレー
ムごとにその検出出力が７リツプ７０ツブ６７にセット
しそのセット内容がデコーダ６２でデコードされ、デコ
ーダ６２の出力で次のように制御される０１０ビツトで
表現できる最大値は１０２３であるから、検出器６１で
検出された最大値が１０２３／４　＝　２５５以下であ
ればデコーダ６２から出力されるビットセレクト信号６
３によってバッファメモリ１９内のピットセレクタ６３
において第４図中のパスバッファ６４が選択され、２５
５〜５１１　（＝１０２３／２　）の範囲内であればパ
スバッファ６５が、５１２以上であればパスバッファ６
６がそれぞれ選択され、８ビットデータとしてＦＦＴプ
ロセッサ２１に転送される。フリップフロップ回路６７
の出力はまだゲート回路６８を通りスケールファクタ２
６の初期値となってカウンタ７３にプリセットされる０
このようにして、いたずらにＦＦＴプロセッサ２１のデ
ータ語長、すなわちノ・−ドウエア量を増大させること
なく振幅変化の大きいＡＥ入力信号に対するダイナミッ
クレンジを広げることができ、８ビツト語長を有効に使
用することができる。

第５図の各ステージについて、協同様にして１フレーム
内の最大値を検出する手段を用いてブロック浮動小数点
演算を制御することができる。バタフライ演算は（２）
式の通シであるが、ここでｌ　Ｗｋ１≦１であるからオ
ーバーフロラの可能性があるのは、データＡｋあるいは
Ｂｋが８ビツトで表現される最大値の半分を越えた時で
あるｏＦＦＴＦＦ上ッサ２１内ではデータＡｋ、Ｂｋが
とシ得る値の範囲は＝１２８≦Ａｋ、Ｂｋ≦１２７　　
　　　　　・・・・・（３）であるから となった時のみ とすればよいことになる。これをブロック浮動小数点演
算とよぶが、この方法によシ８ビット語長を最大限に利
用しつつバタフライ演算を行なうことができる。ここで
、２で割るか割らないかの制御は、最大値検出器７１の
出力をフリップフロップ回路６７でラッチしてブロック
浮動小数点演算制御信号７２として各ステージのオーバ
ーフロラ防止回路５５（第５図）に与えることによって
行なう。また同時に最大値検出器７１の出力を用い、２
で割った場合のみカウンタ７３にてスケールファクタを
歩進する。このスケールファクタはデータフローに同期
して各ステージのカウンタ７３を伝搬してゆく。

従って最終的に出力されるスケールファクタ２６はＦＦ
Ｔ演算時に２で割った回数を示すことになるため、２を
底とした指数表示量となって周波数スペクトルの指数部
を形成することになる。よって累算の際にはこのスケー
ルファクタで仮数部のスペクトルを規格化して累算する
。

スケールファクタの作成の具体例は第８図に示すように
前段ステージからの演算結果中の第６及び第７ビツトＤ
ｓ　、　Ｄ７が排他的論理和回路（ＥＸＮＯＲ）７５に
入力され、この出力はＮＯＲ回路７６を通じてＤ形フリ
ップフロップ７７に供給され、各データごとにクロック
７８により読込まれる。そのフリップフロップ７７のＱ
出力はＮＯＲ回路７６を通じて帰還される。よってデー
タＡｋ、Ｂｋが−６４＜Ａｋ、　Ｂｋ＜６３の範囲外に
なると回路７５の出力が１″′となシ、フリップフロッ
プ７７の点用力はＩＩ　Ｉ　ＩＩとなシ、この状態が保
持される。この１”となった時にカウンタ７３が１歩進
される。１フレーム（この例では１０２４標本）分のデ
ータが取込まれるごとにクロック７９によりカウンタ７
３に前段ステージのカウンタ７３の内容がラッチされ、
またフリップフロップ７７の４出力はフリップフロップ
６７にラッチされる。フリップフロップ６７のＱ出力は
ブロック浮動小数点演算制御信号７２として出力される
。クロック７９の反転信号で７リツプフロツプ７７はゼ
ロにプリセットされる。

バッファメモリ１９からＦＦＴプロセッサ２１へ入力す
る際のスケールファクタの作成は例えば第９図に示すよ
うに行われる。即ちＡＤ変換器１５からの１０ピツ）Ｄ
ｏ〜Ｄ９（Ｄ９が最上位ピット）中のＤ８．　Ｄ９及び
Ｄ７　、　Ｄ９が排他的論理和回路８３及び８４にそれ
ぞれ供給され、これら回路８３　、８４の出力はＡＮＤ
回路８５へ供給され、回路８３　、８５の出力はそれぞ
れインバータを通じてＮＯＲ回路８６　、８７へ供給さ
れる。ＮＯＲ回路８６　、８７の出力はそれぞれクロッ
ク７８によシデータごとにフリップフロップ８８　、８
９に取込まれ、このフリップ７０ツブ８８　、８９の各
点用力はそれぞれＮＯＲ回路８６　、８７に帰還される
。従って入力データが５１２以上であればフリップフロ
ップ８８のＱ出力が“°１″となシ、入力データが２５
５以上であればフリップフロップ８９のぐ出力がパ１”
となる。これらフリップフロップ８８　、８９は各フレ
ームごとにクロック７９によりフリップフロップ９１　
、９２に取込まれ、フリップフロップ９１　、９２のＱ
出力はデコーダ６２でデコードされ、前記３つの状態に
応じて３本の出力線の１つが′１″となる。フリップフ
ロップ９１　、９２のＱ出力は排他的論理和回路９３　
、　ＮＯＲ回路９４にも供給され、入力データが５１２
以上で回路９３の出力はパ１″′、回路９４の出力はＩ
ｔ　Ｑ　ＩＩ、入力データが２５５〜５１１の範囲で回
路９３の出力は′０″、回路９４の出力は１ｎとなり、
入力データが２５４以下で回路９３　、９４はそれぞれ
ＩＩ　ＯＩＩとなる。これら回路９３゜９４の出力は後
者を最下位ビットとしてカウンタ７３にフレームごとに
プリセットされ、つまり各入力データの状態に応じて１
０進数２，１．０の何れかがプリセットされる。

第３図において必要に応じて各カウンタ７３の間にレジ
スタを介在させ、初段カウンタの内容が一挙の終段カウ
ンタへレーシングするのを防止することができる。

第１０図にこの発明の具体例におけるタイムチャートを
示す。同図において第１０図Ａの例えばＡＥ倍信号第１
フレーム＋１のデータは、タイムスケール（同図Ｆ）の
区間ｌにおいｆバッファメモリ１９に書き込まれ、区間
２でウィンドウ演算ステージ３２で第１０図Ｂに示すよ
うにウィンドウ演算された後、１０段のバタフライ演算
ステージ３３によシバタフライ演算がほどこされ、複素
スペクトル８１として区間１２で出される。このスペク
トルはＦＦＴ演算特有の折シ返しスペクトルとなってい
るため、区間１３でその前半部のみをパワースペクトル
として変換される（第１０図Ｄ）。その後累算器２３（
第１図）に転送されて累算が繰り返され、１イベントに
ついての演算全てが終了した区間１７で累算されたパワ
ースペクトルとして出力される（第１０図Ｅ）。

第１１図はこの発明におけるＡＥ倍信号スペクトルであ
って同図Ａはフレーム分割と自動スケーリングによって
得られたＡＥ倍信号スペクトルであシ、同図Ｂはフレー
ム分割をせず８１９２点のＦＦＴを行なった場合のスペ
クトル、同図Ｃは自動スケーリング手段を伴わない１４
ビット固定小数点演算ＦＦＴによるスペクトルである。

前記実施例よシ、フレーム分割法によってもＡＥ信号ス
ペクトルの特徴は失われることはなく、同図Ｂにおいて
見られる微細振動も抑えられ特徴が返って判別し易くな
っていることが理解された。さらに自動スケーリング回
路２５の付加によシ、８ビツトデータ語長ＦＦＴが１４
ビット固定小数点演算ＦＦＴに匹敵することも示された
。しかし必ずしも自動スケーリング回路２５は設けなく
てもよい。

前記実施例によりイベント毎に振幅、持続時間が大きく
異なり周波数成分もＩ　ＭＥ（Ｚまでと広帯域なＡＥ倍
信号ついての実時間周波数解析が可能となる。第１図に
示すようにこのようにして解析されたＡＥ倍信号周波数
スペクトルの包絡と、標準メモリ３４に予め記憶してい
た標準）々ターンとを比較器３５で比較し、微小破壊が
検出された場合、或はそれが所定値以上の場合に、報知
器３６に表示又は警報を発する。累算器２３の出力をメ
モリ２４に記憶する場合は時間信号発生器１８の時間信
号もメモリ２４に記憶して発生スペクトル例（ワーの時
間経過がわかるようにされる。比較器１６を用いてＡＥ
倍信号得られている時のみ記憶する場合はメモリ２４を
有効に用いることができる。なお自動スケーリング回路
２５はＡＥ倍信号周波数解析のみならず、ＦＦＴ一般に
も適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の構成例を示すブロック図、第２図は
ＡＥ倍信号フレーム分割する模式図、第３図は自動スケ
ーリング回路２５の一例を示すブロック図、第４図はバ
ッファメモリ１９の一例を示すブロック図、第５図はＦ
ＦＴステージの一例を示すブロック図、第６図は演算ユ
ニットの各部を制御する信号とマイクロ命令との関係を
示す図、第７図は第６図に示した命令の内容例を示す図
、第８図は演算ステージにおける自動スケーリング回路
の具体例を示す論理回路図、第９図はバッファメモリの
入力における自動スケーリング回路の具体例を示す論理
回路図、第１０図はこの発明の装置全体の動作タイムチ
ャート、第１１図Ａは実施例如よって得られたＡＥ倍信
号スペクトル例を示す図、第１１図Ｂはフレーム分割を
行なわず８１９２点でＦＦＴを行なった場合のスペクト
ル例を示す図、第１１図Ｃは自動スケーリング回路２５
を中なわない固定小数点演算の語長１４ビツトのＦＦＴ
を行なった場合のスペクトル例を示す図である。 １１：被検出物体、１２：ピックアップ２．１５：ＡＤ
変換器、１６：比較器、１８：時間信号発生器、１９：
バッファメモリ、２１：ＦＦＴフロセッサ、２２：パワ
ースペクトル演算器、２３：累算器、２４：出力メモリ
、２５：自動スケーリング回路。 特許出願人　　旭化成工業株式会社 新　　妻　　弘　　明 中　　鉢　　憲　　賢 代理人　草野　卓 第４図 オ　５　図 手続補正書（自発） 特許庁長官　殿 １、事件の表示　　特願昭５７−１９１３３５２発明の
名称　微視的破壊検出装置 ３、補正をする者 事件との関係　　特許出願人 旭化成工業株式会社 （ｌ′１．２名） ４、代　理　人　　東京都新宿区新宿４−２−２１　　
和積ビル５、補正の対象　　明細書中発明の詳細な説明
の欄および図面６補正の内容 （１）明細書９頁４行「従続」を「縦続」と訂正す（３
）同書１０頁１６行［入力Ａｋはレジスタ４２．」を「
入力Ａｋは第５図に示すようにレジスタ４２に、」と訂
正する。 （４）同書１１頁１０行「レジスタ２１」をルジスタ４
２」と訂正する。 （５）同書１１頁１９行「選択され」を「選択されて」
と訂正する。 （６）　　同書１３頁６行１セツトし」を「セットされ
、」と訂正する。 （７）同書１３頁１２行「ピットセレクタ６３」を「ピ
ットセレクタ６０」と訂正する。 （８）同書１４頁５行「第５図の各ステージについても
」を「第３図の各ステージ３３についても」と訂正する
。 （９）　　同書１７頁２０行「出力線の」を１出力線６
３の」と訂正する。 （１０）　　同書１８頁１２〜１３行「内容が一挙の」
を「内容が一挙に４と訂正する。 （１１）　　添附コピー図に朱書で示すように第３図中
に符号「６０」を加入し、符号「４１」の引出線を変更
し、第４図中の符号ｒ６３Ｊ（下側）を「６０」に訂正
する。 以　　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）物体の微視的破壊によシ発生するアコースティッ
   クエミッションを電気信号として捕捉するピックアップ
   と、 そのピックアップの出力を増幅する増幅器と、その増幅
   出力を標本化し、その各標本値をデジタル、信号に変換
   するＡＤ変換器と、 入力用第１．第２メモリと、回転因子が記憶される第３
   メモリと、パイプライン方式によるバタフライ演算を行
   う演算ユニットとからなる複数個のステージと、 上記各ステージにおけるバタフライ演算をその第１．第
   ２メモリの一方及び第３メモリを読出してパイプライン
   方式で行わせると共に、その演算結果を次段のステージ
   の入力用第１．．第２メモリの読出されてない方のメモ
   リへ書込み、うように制御し、かつ上記ＡＤ変換器より
   のディジタル信号を一定数の標本化ごとに、上記ステー
   ジの初段の入力用第１．第２メモリに交互に書込む制御
   手段と、 上記各ステージの各メモリに対するアクセスのだめの共
   通のアドレスを発生するアドレス発生手段と、 上記ステージの終段の演算結果として得られた各スペク
   トル成分のパワーを演算して上記破壊と対応した信号を
   得る手段とを具備する微視的破壊検出装置。