JPS5975147A - 超音波検査装置 - Google Patents
超音波検査装置Info
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- JPS5975147A JPS5975147A JP57184619A JP18461982A JPS5975147A JP S5975147 A JPS5975147 A JP S5975147A JP 57184619 A JP57184619 A JP 57184619A JP 18461982 A JP18461982 A JP 18461982A JP S5975147 A JPS5975147 A JP S5975147A
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、超音波を用いて探査対象物の形状等を検出す
る超音波検査装置に係り、特に縦波と横波を利用して対
象物の検査を行なう超音波検査装置に関するものである
。 。
る超音波検査装置に係り、特に縦波と横波を利用して対
象物の検査を行なう超音波検査装置に関するものである
。 。
２つの探査対象物（例えば、鋼材中の傷）間の分
分解能力を表わす方位ぞ能を向上させる方法として、開
口合成法（５ｙｎｔｈｅｔｉｃ ａｐｅｒｔｕｒｅ）が
知られている。開口合成法は、多数の位置で超音波を送
受信して、それぞれの位置で得られた受信信号の位相を
一致させる様にして全ての信号を合成し、探査対象物の
情報を得る方法である。
口合成法（５ｙｎｔｈｅｔｉｃ ａｐｅｒｔｕｒｅ）が
知られている。開口合成法は、多数の位置で超音波を送
受信して、それぞれの位置で得られた受信信号の位相を
一致させる様にして全ての信号を合成し、探査対象物の
情報を得る方法である。
この開口合成法を用いた場合の方位分解能δは、送受信
範囲（開口）から反射体（探査対象物）を見込む角度φ
と使用超音波の波長λとによってδ−λ／φと表わされ
る。δが小さいほど方位分解能が高い。このため、最近
では球面状振動子を用いて焦点を鋼材の表面位置に設定
した、すなわち角度φの大きな探触子が使用されている
。しかしながら、後述する様に超音波の屈折角が大きく
なると、従来法では感度が低下するため、角度φの大き
さに制限があった。従って、開口合成法における方位分
解能の一層の改善が望まれていた。
範囲（開口）から反射体（探査対象物）を見込む角度φ
と使用超音波の波長λとによってδ−λ／φと表わされ
る。δが小さいほど方位分解能が高い。このため、最近
では球面状振動子を用いて焦点を鋼材の表面位置に設定
した、すなわち角度φの大きな探触子が使用されている
。しかしながら、後述する様に超音波の屈折角が大きく
なると、従来法では感度が低下するため、角度φの大き
さに制限があった。従って、開口合成法における方位分
解能の一層の改善が望まれていた。
本発明の目的は、方位分解能に優れた超音波検査装置を
提供することにある。
提供することにある。
本発明の超音波検査装置は、被検査体表面上の多数の点
で超音波を送受信する探触子を含む送受信部と、上記多
数の点の各点と被検体の所望の領域の再生点との距離に
対応した受信信号を累積演算する演算部と、上記累積演
算した結果形成された映像を表示する表示部とから成る
超音波検査装置において、上記探触子は、振動モードの
異なる２種類の超音波を送受信するように、各振動モー
ドに対応した振動子を備え、上記累積演算部は、振動モ
ードの異なる２種類の波に対応して上記累積演算を行な
う機構を備えている。
で超音波を送受信する探触子を含む送受信部と、上記多
数の点の各点と被検体の所望の領域の再生点との距離に
対応した受信信号を累積演算する演算部と、上記累積演
算した結果形成された映像を表示する表示部とから成る
超音波検査装置において、上記探触子は、振動モードの
異なる２種類の超音波を送受信するように、各振動モー
ドに対応した振動子を備え、上記累積演算部は、振動モ
ードの異なる２種類の波に対応して上記累積演算を行な
う機構を備えている。
本発明の実施例について説明する前に、開口合成法を超
音波検査装置に適用した例について簡単に説明する。第
１図乃至第３図を参照する。
音波検査装置に適用した例について簡単に説明する。第
１図乃至第３図を参照する。
第１図に超音波探触子１０と探触子走査方法と探触子走
査位置に対応した探査対象物２０からの反射信号である
探傷信号１００ａ〜１００ｇを示す。ここでの超音波探
触子１０の走査はＸ軸方向の一次元走査とし、映像再生
は断層について行う。
査位置に対応した探査対象物２０からの反射信号である
探傷信号１００ａ〜１００ｇを示す。ここでの超音波探
触子１０の走査はＸ軸方向の一次元走査とし、映像再生
は断層について行う。
超音波探触子１０はできるだけ広い走査区間内で常に探
査対象である音響不連続部２１に対して超音波の送受信
がなされるように、例えば短焦点凹面形の振動子を用い
るものとする。このとき超音波は焦点に集果されたのち
探査対象物２０に拡散放出され、上記の機能が実現され
る。いま探査対象物内に音響不連続部２１が存在すると
き走査に対応する超音波探傷信号１００３〜１００ｇを
得る。
査対象である音響不連続部２１に対して超音波の送受信
がなされるように、例えば短焦点凹面形の振動子を用い
るものとする。このとき超音波は焦点に集果されたのち
探査対象物２０に拡散放出され、上記の機能が実現され
る。いま探査対象物内に音響不連続部２１が存在すると
き走査に対応する超音波探傷信号１００３〜１００ｇを
得る。
該探傷信号より断層像を得る手順を第２図を用いて説明
する。超音波探傷信号１００ａ〜１００ｇに対応する超
音波探触子の位置１０１８〜１０１ｇとする。第２図に
示された断層像中の、探査対象物２０の音響不連続部２
１（ＦＩｏ、ｉ）に対応する再生点２３の映像形成を考
える。超音波探触子の位置１０１ａと該再生点との距離
を計算し、探査対象物中の音速を用いて伝搬時間を算出
し、超音波探傷信号１００ａ、ｌ：＃）伝搬時間に対応
する該探傷信号を取り出し画像データとする。超音波探
傷信号１００ｂ〜１００ｇについても同様の演算を行い
、得られた各画像データを加算する。以上で再生点２３
の像再生が行なわれた。次に、断層像の各点について上
記の演算を行う。上記の演算を行うことによシ探査対象
物の断層像の開口合成手法を用いた映像化を行うことが
できる。探傷信号１００ａ上の１つのデータは探触子の
位置１０１ａから等距離の画像データに加算される。
する。超音波探傷信号１００ａ〜１００ｇに対応する超
音波探触子の位置１０１８〜１０１ｇとする。第２図に
示された断層像中の、探査対象物２０の音響不連続部２
１（ＦＩｏ、ｉ）に対応する再生点２３の映像形成を考
える。超音波探触子の位置１０１ａと該再生点との距離
を計算し、探査対象物中の音速を用いて伝搬時間を算出
し、超音波探傷信号１００ａ、ｌ：＃）伝搬時間に対応
する該探傷信号を取り出し画像データとする。超音波探
傷信号１００ｂ〜１００ｇについても同様の演算を行い
、得られた各画像データを加算する。以上で再生点２３
の像再生が行なわれた。次に、断層像の各点について上
記の演算を行う。上記の演算を行うことによシ探査対象
物の断層像の開口合成手法を用いた映像化を行うことが
できる。探傷信号１００ａ上の１つのデータは探触子の
位置１０１ａから等距離の画像データに加算される。
他の点も同様に加算されるので、音響不連続部２１に対
応した再生点２３の画像が形成される。
応した再生点２３の画像が形成される。
上記の開口合成手法を用いた画像形成処理を第３図を用
いて数式で説明する。超音波探触子１０はＸ軸方向に走
査する。映像再生はｘ−ｚ平面の断層像とする。ｘ −
ｚ平面内の点は（Ｘｏ、ｚｏ）と表現しＸ＝Ｘｏ、Ｚ＝
Ｚｏの点を表わす。超音波探触子１０の座標を（Ｘｏ、
０）、探査対象物２０を２≧０の範囲とし、核探査対象
物内の再生点２３の座標を（ｘｒ、ｚ、）とする。超音
波探触子１０よシ時刻ｔにおける送信波 Ｓ、 （ｔ ） ＝ｕ （ｔ）ｓｉｎ （２πｆｏｔ）
但しｆ。は搬送波周波数 を送出すると、探査対象物の音響不連続部より反射され
、探触子の位置（Ｘｏ＋０）における受信信号５ｒｔｘ
ｏ、ｔ）は ・・・・・・・・・（１） となる。ここでＶは探査対象物中での音速、積分は探査
対象物の全空間で行い、ρ（ｘ、ｚ）は（ｘ、ｚ）点に
おける超音波反射率を示す。再生点（”ｒ、ｚｒ）にお
ける再生像の強度Ｉ （Ｘ、。
いて数式で説明する。超音波探触子１０はＸ軸方向に走
査する。映像再生はｘ−ｚ平面の断層像とする。ｘ −
ｚ平面内の点は（Ｘｏ、ｚｏ）と表現しＸ＝Ｘｏ、Ｚ＝
Ｚｏの点を表わす。超音波探触子１０の座標を（Ｘｏ、
０）、探査対象物２０を２≧０の範囲とし、核探査対象
物内の再生点２３の座標を（ｘｒ、ｚ、）とする。超音
波探触子１０よシ時刻ｔにおける送信波 Ｓ、 （ｔ ） ＝ｕ （ｔ）ｓｉｎ （２πｆｏｔ）
但しｆ。は搬送波周波数 を送出すると、探査対象物の音響不連続部より反射され
、探触子の位置（Ｘｏ＋０）における受信信号５ｒｔｘ
ｏ、ｔ）は ・・・・・・・・・（１） となる。ここでＶは探査対象物中での音速、積分は探査
対象物の全空間で行い、ρ（ｘ、ｚ）は（ｘ、ｚ）点に
おける超音波反射率を示す。再生点（”ｒ、ｚｒ）にお
ける再生像の強度Ｉ （Ｘ、。
ｚ、）は、次式で示される。
上記第（２）式が開口合成法の基本式であり、上記第（
２）式の演算結果に基づいて再生点２３の画像が形成さ
れ表示される。
２）式の演算結果に基づいて再生点２３の画像が形成さ
れ表示される。
第４図に本発明の一実施例の全体構成を示す。
探触子１０は被検査体２００表面上を手動又は自動的に
走査される。全体構成について説明する前に、本発明で
用いる探触子の構造について説明する。探触子１０の具
体的構造を第５図に示す。
走査される。全体構成について説明する前に、本発明で
用いる探触子の構造について説明する。探触子１０の具
体的構造を第５図に示す。
１４Ｌは縦波用振動子であり、１４Ｓは横波用振動子で
ある。振動子１４Ｌと１４．８は同心円面上に配置され
ている。２個の振動子１４Ｓは、振動子１４Ｌに対して
対称な位置に配置されている。
ある。振動子１４Ｌと１４．８は同心円面上に配置され
ている。２個の振動子１４Ｓは、振動子１４Ｌに対して
対称な位置に配置されている。
ただし、中心点０から両振動子までの距離は必ずして等
しくなくとも良い。ここで、両振動子の位置関係を説明
するために、第６図を参照する。第６図は、アクリル樹
脂のシュー１５（縦波音速度Ｖｎ ＝ ２，７２０ｍ／
ｓ ）を介しテ鋼材（縦波音速匿Ｖｔ−５，８５０ｍ／
ｓ、横波音速度Ｖ、＝３，２３０ｍ／Ｓ）へ入射した超
音波ビームの入射角θ量に対する往復音圧透過率との関
係を示す。横軸のθｔ、は縦波の屈折角を、θ、、は横
波の屈折角を示す。甘た、実線は横波を、破線は縦波を
示している。図から次のことがわかる。θ１が小さい範
囲では、探傷信号として縦波が寄与するが、θ寵の増大
とともに縦波の透過率が低下する一方、横波の寄与が漸
次増大し、最終的には横波だけが寄与するようになる。
しくなくとも良い。ここで、両振動子の位置関係を説明
するために、第６図を参照する。第６図は、アクリル樹
脂のシュー１５（縦波音速度Ｖｎ ＝ ２，７２０ｍ／
ｓ ）を介しテ鋼材（縦波音速匿Ｖｔ−５，８５０ｍ／
ｓ、横波音速度Ｖ、＝３，２３０ｍ／Ｓ）へ入射した超
音波ビームの入射角θ量に対する往復音圧透過率との関
係を示す。横軸のθｔ、は縦波の屈折角を、θ、、は横
波の屈折角を示す。甘た、実線は横波を、破線は縦波を
示している。図から次のことがわかる。θ１が小さい範
囲では、探傷信号として縦波が寄与するが、θ寵の増大
とともに縦波の透過率が低下する一方、横波の寄与が漸
次増大し、最終的には横波だけが寄与するようになる。
従って、第５図に示された探触子では、縦波用振動子１
４Ｌと横波用振動子１４８との関係を次のように定めて
いる。
４Ｌと横波用振動子１４８との関係を次のように定めて
いる。
１５°≦θｔ≦２０゜
３０°≦θｔ１≦３５゜
５０°≦θｔ２≦５７゜
次に、第４図を再び参照する。超音波信号の送受信は、
予め指定された探触子位置で行なわれる。
予め指定された探触子位置で行なわれる。
この送受信動作は、縦波と横波について夫々１回ずつ行
なわれる。縦波用超音波送受信部３０及び横波用超音波
送受信部１３でそれぞれ高圧音波パルスを送出する。被
検査体２０からの受信信号１２．１３２は、それぞれ超
音波送受信部３０゜１３で別個に増幅される。縦波信号
と横波信号は、マルチブレフサ４０によって選択された
後、ＡＤ変換器４５に送られる。デジタル化された信号
は、波形記憶部５０に記憶される。
なわれる。縦波用超音波送受信部３０及び横波用超音波
送受信部１３でそれぞれ高圧音波パルスを送出する。被
検査体２０からの受信信号１２．１３２は、それぞれ超
音波送受信部３０゜１３で別個に増幅される。縦波信号
と横波信号は、マルチブレフサ４０によって選択された
後、ＡＤ変換器４５に送られる。デジタル化された信号
は、波形記憶部５０に記憶される。
波形記憶部５０に記憶された波形データはコントローラ
ｌｌ内のメモリ１１３に、バス１１１を通して転送され
る。コントローラ１１は、マイクロプロセッサ等によっ
て構成される中央処理装置（ＣＰＵ）１１５によって制
御される。次に、コントローラ１１の動作を説明する。
ｌｌ内のメモリ１１３に、バス１１１を通して転送され
る。コントローラ１１は、マイクロプロセッサ等によっ
て構成される中央処理装置（ＣＰＵ）１１５によって制
御される。次に、コントローラ１１の動作を説明する。
波形メモリ５０に貯えられた波形データは、（９）
ＣＰＵＩ １５によシ時系列順に読出される。読出され
た波形データは、予め入力されている波形データのスレ
ッショルドレベル値と比較される。スレッショルドレベ
ル値を越える波形データについては、下記の処理がなさ
れる。
た波形データは、予め入力されている波形データのスレ
ッショルドレベル値と比較される。スレッショルドレベ
ル値を越える波形データについては、下記の処理がなさ
れる。
波形テークのスレッショルドレベルをＳＴＨとすれば、
探触子の位置Ｘ、における受信信号の波形データ５ｒ（
ｘｒ、をンのうち Ｓｒ （ｘｒ ＋ ’ ） ） Ｓｒ＊
・・・・・・・・・（３）ここで、ｔは時刻を示す
。
探触子の位置Ｘ、における受信信号の波形データ５ｒ（
ｘｒ、をンのうち Ｓｒ （ｘｒ ＋ ’ ） ） Ｓｒ＊
・・・・・・・・・（３）ここで、ｔは時刻を示す
。
を満足する波形データＳｒ （ｘｒ、 ｔ、 ）につ
いて、まず、画像記憶部９０に書き込む際の半径Ｒ１を
次式に従って算出する。
いて、まず、画像記憶部９０に書き込む際の半径Ｒ１を
次式に従って算出する。
ここで、Ｖ４は、使用した超音波の音速である。
鋼材の場合、音速Ｖ」は次の値をとる。縦波を使用した
場合は、例えばｖ ４ ＝＝ ｖｐ ＝ ５８５０ ｍ
／ Ｓであシ、横波を使用した場合は、ｖｊ＝ｖｓ＝３
２３０ｍ／Ｓである。また、ｔＩは離散化された時刻の
うち（３）式を満足する時刻である。縦波及び横波の音
速（１０） は、コントローラ１１のキーボード１１２からメモリ１
１３に予め入力されている。
場合は、例えばｖ ４ ＝＝ ｖｐ ＝ ５８５０ ｍ
／ Ｓであシ、横波を使用した場合は、ｖｊ＝ｖｓ＝３
２３０ｍ／Ｓである。また、ｔＩは離散化された時刻の
うち（３）式を満足する時刻である。縦波及び横波の音
速（１０） は、コントローラ１１のキーボード１１２からメモリ１
１３に予め入力されている。
探触子の位置Ｘｒがバス１１１を介して距離演算部７０
に転送された後、第（４）式の演算によって得られた田
の値が、バス１１１を介して距離演算部７０に転送され
る。
に転送された後、第（４）式の演算によって得られた田
の値が、バス１１１を介して距離演算部７０に転送され
る。
また波形データ５ｒ（Ｘｒ、ｔ＋）は、バス１１１を介
して、合成演算部６０に転送される。以上のデータの設
定が済んだ時点で、コントローラ１１よυバス１１１を
介して、距離演算部７０にスタート信号が送られる。ス
タート信号に同期して、距離演算部７０では波形データ
５ｒ（Ｘ＋ｔｔＪを書き込むべく、画像記憶部９０の座
標（メモリのアドレス）が計算される。画像記憶部９０
には、円の中心Ｘ、半径Ｒ＋の軌跡に沿って波形データ
５ｒ（Ｘｒ＋１＋）が書き込まれる。この軌跡は画像記
憶部９０の座標をＸＲ，ｙｎ とすれば、次式で表わさ
れる。
して、合成演算部６０に転送される。以上のデータの設
定が済んだ時点で、コントローラ１１よυバス１１１を
介して、距離演算部７０にスタート信号が送られる。ス
タート信号に同期して、距離演算部７０では波形データ
５ｒ（Ｘ＋ｔｔＪを書き込むべく、画像記憶部９０の座
標（メモリのアドレス）が計算される。画像記憶部９０
には、円の中心Ｘ、半径Ｒ＋の軌跡に沿って波形データ
５ｒ（Ｘｒ＋１＋）が書き込まれる。この軌跡は画像記
憶部９０の座標をＸＲ，ｙｎ とすれば、次式で表わさ
れる。
（ＸＲ−Ｘｔ）２ ＋ｙｔ −ＲＩ２ ・
・・・・・・・・（５）距離演算部７０は画像記憶部９
０の座標ＸＲに（１υ 対応するｙｎを第（５）式より算出して、（Ｘｎ、’Ｉ
ｎ）の座標を計算し、画像記憶部９０に、画像アドレス
データ７１として入力する。入力されたアドレスに対応
する画像データは、画像記憶部９０から読み出され、合
成演算部６０に入力される。合成演算部６０では、予め
設定されている波形データと画像データの和が計算され
、再度画像記憶部に合成データ６１が書き込壕れる。以
上の合成演算は、（５）式を満足するすべての（Ｘｎ、
ＹＲ）について打力われる。以上の合成演算は距離演算
部７０にスタート信号が入ると自動的に行う高速ハード
ウェア構成で実現できる。
・・・・・・・・（５）距離演算部７０は画像記憶部９
０の座標ＸＲに（１υ 対応するｙｎを第（５）式より算出して、（Ｘｎ、’Ｉ
ｎ）の座標を計算し、画像記憶部９０に、画像アドレス
データ７１として入力する。入力されたアドレスに対応
する画像データは、画像記憶部９０から読み出され、合
成演算部６０に入力される。合成演算部６０では、予め
設定されている波形データと画像データの和が計算され
、再度画像記憶部に合成データ６１が書き込壕れる。以
上の合成演算は、（５）式を満足するすべての（Ｘｎ、
ＹＲ）について打力われる。以上の合成演算は距離演算
部７０にスタート信号が入ると自動的に行う高速ハード
ウェア構成で実現できる。
１つの受信信号について（３）、 （４）式の演算を行
い、条件を満足すると（５）式の座標（ＸＲ、ｙＲ）に
ついて合成演算を実行する。１つの探触子位置Ｘ、につ
いて、縦波と横波の２つの受信信号について、上記の演
算を行う。縦波、横波共に同じ手順で処理を行う。
い、条件を満足すると（５）式の座標（ＸＲ、ｙＲ）に
ついて合成演算を実行する。１つの探触子位置Ｘ、につ
いて、縦波と横波の２つの受信信号について、上記の演
算を行う。縦波、横波共に同じ手順で処理を行う。
以上探触子位置Ｘ、における処理について述べたが、他
の探触子位置についても同様の合成演算（１２） が実行される。すべての探触子位置についての処理が完
了した段階で、画像メモリ９０内に形成された画像が、
コントローラ１１内のプログラムメモリ１１４のプログ
ラムに従って、表示部９５に表示される。コントローラ
１１が画像用ノ・ソファメモリ付のＣＲＴ １１６を持
っている場合は、このＣＲＴ１１６に表示させることも
できる。
の探触子位置についても同様の合成演算（１２） が実行される。すべての探触子位置についての処理が完
了した段階で、画像メモリ９０内に形成された画像が、
コントローラ１１内のプログラムメモリ１１４のプログ
ラムに従って、表示部９５に表示される。コントローラ
１１が画像用ノ・ソファメモリ付のＣＲＴ １１６を持
っている場合は、このＣＲＴ１１６に表示させることも
できる。
全体の制御は、コントローラ１１によってなされている
。コントローラ１１の制御手順は、プログラムメモリ１
１４内の命令プログラムによって実行される。ここで、
プログラムの流れの観点から装置の動作を、再度概説す
る。
。コントローラ１１の制御手順は、プログラムメモリ１
１４内の命令プログラムによって実行される。ここで、
プログラムの流れの観点から装置の動作を、再度概説す
る。
まず、キーボード１１２より、音速ｖＬ、ｖｇ。
波形データのスレッショルド値Ｓｔｕ、探触子走査点Ｘ
、の設定値等を入カレ、ノ・−ドウエアの初期値設定を
行なう。まず最初の探触子走査位置Ｘ。
、の設定値等を入カレ、ノ・−ドウエアの初期値設定を
行なう。まず最初の探触子走査位置Ｘ。
を設定する。次に、位置検出器８０よシ位置信号を取り
込み走査位置Ｘ、と比較する。両者が一致した時点で超
音波送受信部３０を駆動し、探触子１０よシ超音波を発
生させる。その後、受信信号（１３） Ｓｒ ｔ ｘ、、 ｔ ）をマルチプレクサ４０．ＡＤ
変換器４５を経由して波形記憶部５０にストアする。
込み走査位置Ｘ、と比較する。両者が一致した時点で超
音波送受信部３０を駆動し、探触子１０よシ超音波を発
生させる。その後、受信信号（１３） Ｓｒ ｔ ｘ、、 ｔ ）をマルチプレクサ４０．ＡＤ
変換器４５を経由して波形記憶部５０にストアする。
次に、ストアされる波形データをコントローラ内のメモ
リ１１３に入力し、上述の処理を行ない、距離演算部７
０９画像記憶部９０及び合成演算部６０を起動し、合成
演算処理を行う。続いて、同様の動作を横波についても
行なう。次に探触子の位置を移動し、同様の動作を行な
う。
リ１１３に入力し、上述の処理を行ない、距離演算部７
０９画像記憶部９０及び合成演算部６０を起動し、合成
演算処理を行う。続いて、同様の動作を横波についても
行なう。次に探触子の位置を移動し、同様の動作を行な
う。
すべての信号取９込み処理を完了した時点で、画像記憶
部７０内の画像データをもとにして、表示部９５に画像
を表示する。
部７０内の画像データをもとにして、表示部９５に画像
を表示する。
第７図は、本発明の他の実施例を示している。
本実施例では、縦波と横波の両者の探傷信号の取込みと
処理を同時に行なうようにしている。従って、同一性能
の部品等を用いて、より高速のデータ処理ができる。第
８図の装置は、マルチプレクサを含んでおらず、送受信
部（３０，１３）、、ＡＤ変換器（４５，４６）、波形
記憶部（５０，５３３、距離演算部（７０，１７）、合
成演算部（６０゜１６〕、画像記憶部（９０，１９）が
二重化され（１４） ている。葦た、成形ｉ己憶部５０．５３から夫々の合成
演算部６０．１６へのデータ伝送用ノ・スとして、夫々
独立の専用バス５１．５２を備えている。
処理を同時に行なうようにしている。従って、同一性能
の部品等を用いて、より高速のデータ処理ができる。第
８図の装置は、マルチプレクサを含んでおらず、送受信
部（３０，１３）、、ＡＤ変換器（４５，４６）、波形
記憶部（５０，５３３、距離演算部（７０，１７）、合
成演算部（６０゜１６〕、画像記憶部（９０，１９）が
二重化され（１４） ている。葦た、成形ｉ己憶部５０．５３から夫々の合成
演算部６０．１６へのデータ伝送用ノ・スとして、夫々
独立の専用バス５１．５２を備えている。
合成ＹＸｘｍ ６０ 、 ｉ ６ ト画徴Ｍｆ’慮ｆＪ
９ Ｕ 、 １９ （！：は夫々協調して動作する工
９）・−ドウエア的に構成されている。＝漂処理部２５
は、合成演算部６（Ｊ、１６でボめられた画像の選択ま
たは統合を行ない、縦波・横仮による画１家のいずれか
１つ、または縦波・横波の合成画像を表示部９５に表示
する。
９ Ｕ 、 １９ （！：は夫々協調して動作する工
９）・−ドウエア的に構成されている。＝漂処理部２５
は、合成演算部６（Ｊ、１６でボめられた画像の選択ま
たは統合を行ない、縦波・横仮による画１家のいずれか
１つ、または縦波・横波の合成画像を表示部９５に表示
する。
第１図乃主第３図は、不発明の原理説明図である。第４
図は本発明の一笑雄側のブロック図である。第５図は本
弁明で用いられる探触子の詳細構這図でめるＪ第６凶は
第５図に示された探触子の原理説明図である。第７図は
不発明の他の実施例のブロック図でおる。 １０・・・超音波探触子、１１・・・コントローラ、１
３゜３０・・・超音波送受信部、４０・・・マルチブレ
フサ、４５・・・ＡＤコンバータ、５０・・・波形メモ
リ、６０（１５） ・・・合成演算部、７０・・・距離演算部、９０・・・
画像記憶部。 （１６） 第 １ 口 第 ２ 口 第 ３ 図 第 ４ 図
図は本発明の一笑雄側のブロック図である。第５図は本
弁明で用いられる探触子の詳細構這図でめるＪ第６凶は
第５図に示された探触子の原理説明図である。第７図は
不発明の他の実施例のブロック図でおる。 １０・・・超音波探触子、１１・・・コントローラ、１
３゜３０・・・超音波送受信部、４０・・・マルチブレ
フサ、４５・・・ＡＤコンバータ、５０・・・波形メモ
リ、６０（１５） ・・・合成演算部、７０・・・距離演算部、９０・・・
画像記憶部。 （１６） 第 １ 口 第 ２ 口 第 ３ 図 第 ４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被検査体表面上の多数の点で超音波を送受信する探
触子を含む送受信部と、上記多数の点の各点と被検体の
所望の領域の再生点との距離に対応した受信信号を累積
演算する演算部と、上記累積演算した結果形成された映
像を表示する表示部とから成る超音波検査装置において
、上記探触子は、振°動モードの異なる２種類の超音波
を送受信するように、各振動モードに対応した振動子を
備え、上記累積演算部は、振動モードの異なる２種類の
波に対応して上記累積演算を行なう機構を備えているこ
とを特徴とする超音波検査装置。 ２、請求範囲第１項記載の超音波検査装置において、上
記振動モードの異なる２種類の波を上記累積演算する演
算部は、該２種類の波の音速に対応して、上記累積演算
するだめのパラメータを変更するコントローラによって
構成したことを特徴とする超音波検査装置、。 ３、請求範囲第１項記載の超音波検査装置において、上
記振動モードの異なる２種類の波を上記糸、積演算する
演算部は、上記各モードの波に対応した演算部、及びこ
れらの演算部を別個に駆動するコントローラによって構
成されることを特徴とする超音波検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184619A JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57184619A JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975147A true JPS5975147A (ja) | 1984-04-27 |
| JPH0244394B2 JPH0244394B2 (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=16156396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57184619A Granted JPS5975147A (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 超音波検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975147A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0772088A1 (en) | 1991-03-05 | 1997-05-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Heat-developable diffusion transfer color photographic material |
| JP2007017164A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Hitachi Ltd | 超音波探傷方法及び探傷システム |
| JP2016507060A (ja) * | 2013-02-07 | 2016-03-07 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトＳｉｅｍｅｎｓ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 不規則な測定時のｓａｆｔ法による解析を改良する方法及び装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187653A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-18 | Hitachi Ltd | Ultrasonic image pickup apparatus |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP57184619A patent/JPS5975147A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187653A (en) * | 1981-05-15 | 1982-11-18 | Hitachi Ltd | Ultrasonic image pickup apparatus |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0772088A1 (en) | 1991-03-05 | 1997-05-07 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Heat-developable diffusion transfer color photographic material |
| JP2007017164A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Hitachi Ltd | 超音波探傷方法及び探傷システム |
| JP2016507060A (ja) * | 2013-02-07 | 2016-03-07 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフトＳｉｅｍｅｎｓ Ａｋｔｉｅｎｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ | 不規則な測定時のｓａｆｔ法による解析を改良する方法及び装置 |
| US10222352B2 (en) | 2013-02-07 | 2019-03-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for improving the SAFT analysis when measuring irregularities |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244394B2 (ja) | 1990-10-03 |
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