JPS5969498A - マイクロ波用yig単結晶の製造方法 - Google Patents
マイクロ波用yig単結晶の製造方法Info
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- JPS5969498A JPS5969498A JP57179556A JP17955682A JPS5969498A JP S5969498 A JPS5969498 A JP S5969498A JP 57179556 A JP57179556 A JP 57179556A JP 17955682 A JP17955682 A JP 17955682A JP S5969498 A JPS5969498 A JP S5969498A
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- JP
- Japan
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- single crystal
- ions
- crystal
- microwave
- magnetic resonance
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/02—Zone-melting with a solvent, e.g. travelling solvent process
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Soft Magnetic Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はマイクロ波特性、特に磁気共鳴特性が良好なマ
イクロ波用ガーネツ1−@結晶を製造する方法に関Jる
ものである。
イクロ波用ガーネツ1−@結晶を製造する方法に関Jる
ものである。
なd′:3、本明li1′l占にc13いて、イツl−
リウム鉄系ガーネット(以下、r )’ I’ G J
と略記づる)単結晶とは、化学式YJ e 501’l
で表わされる純粋のYIGのみならず、イツトリウム(
Y)の一部を曲の希土類元素で@検したもの、畝(F(
! )の一部をGa又はAIで置換したものも含J、れ
る。
リウム鉄系ガーネット(以下、r )’ I’ G J
と略記づる)単結晶とは、化学式YJ e 501’l
で表わされる純粋のYIGのみならず、イツトリウム(
Y)の一部を曲の希土類元素で@検したもの、畝(F(
! )の一部をGa又はAIで置換したものも含J、れ
る。
Y I G単結晶を製造Jる方法としては、人別して酸
化鉛(PI] O)やフッ化鉛(PIIF2)等の溶l
Al1剤(フラックス)を用いるフラックス法と、1〜
ラベリング・ツルベン1〜・フ[1−アイング・ゾーン
法(以下、r T S F Z法Jど略記づる)と呼ば
れる方法とがある。1+!i者は、融点の低いフラック
スにYIGの原わ1を溶FMけしめ、徐冷または温度勾
配を利用してY I G 7f1結晶を析出せしめるこ
とを原理と覆るものぐあって、かなり以前から利用され
て゛いる方法である。このフラックス法は、部分的には
すぐれIcマイクロ波特性を右する単結晶が得られるも
のの、その木質−F当然のことながら、フラックスを包
有物らしくは不純物として結晶中に取り込み易く、イの
ため結晶品質が不安定であり、歩留りが悪く、ロス1〜
高となるという欠点があり、量産には適用し難い。
化鉛(PI] O)やフッ化鉛(PIIF2)等の溶l
Al1剤(フラックス)を用いるフラックス法と、1〜
ラベリング・ツルベン1〜・フ[1−アイング・ゾーン
法(以下、r T S F Z法Jど略記づる)と呼ば
れる方法とがある。1+!i者は、融点の低いフラック
スにYIGの原わ1を溶FMけしめ、徐冷または温度勾
配を利用してY I G 7f1結晶を析出せしめるこ
とを原理と覆るものぐあって、かなり以前から利用され
て゛いる方法である。このフラックス法は、部分的には
すぐれIcマイクロ波特性を右する単結晶が得られるも
のの、その木質−F当然のことながら、フラックスを包
有物らしくは不純物として結晶中に取り込み易く、イの
ため結晶品質が不安定であり、歩留りが悪く、ロス1〜
高となるという欠点があり、量産には適用し難い。
これに対して後者の方法は、比較的最近開発された方法
であって、予め秤量、混合、成形、焼成した原オ′+1
棒の下に溶媒を設【ノ、更にその下に種結晶をセラ1〜
して、溶媒部分が溶解Jるように赤外線で集中加熱して
単結晶を析出させる方法である。このTsrrz法は、
本質的には結晶品質の均−性並びに再現性が良好である
という特徴を右するが、マイクロ波用として製造したこ
の種のYIG単結晶は、電子スピン共鳴装置により9.
3Gl−IZで測定した磁気共鳴半値幅Δ11は、飽和
磁化が550GのYGalG球CI、45 Qeど、フ
ラックス法で得られる単結晶の最良特性値に比しかなり
jll!iいという欠点があった。
であって、予め秤量、混合、成形、焼成した原オ′+1
棒の下に溶媒を設【ノ、更にその下に種結晶をセラ1〜
して、溶媒部分が溶解Jるように赤外線で集中加熱して
単結晶を析出させる方法である。このTsrrz法は、
本質的には結晶品質の均−性並びに再現性が良好である
という特徴を右するが、マイクロ波用として製造したこ
の種のYIG単結晶は、電子スピン共鳴装置により9.
3Gl−IZで測定した磁気共鳴半値幅Δ11は、飽和
磁化が550GのYGalG球CI、45 Qeど、フ
ラックス法で得られる単結晶の最良特性値に比しかなり
jll!iいという欠点があった。
そこで本発明者は、ホ目的にづぐれた特徴を有づ′るT
S F Z法を用いてマイクし」波性1りの良好な、
しかも結晶のほぼ全体にわたって均一なマイクロ波特性
を呈しうる単結晶を得ることを目的どして、新たな製法
の開発を種々試みてぎIこ 。
S F Z法を用いてマイクし」波性1りの良好な、
しかも結晶のほぼ全体にわたって均一なマイクロ波特性
を呈しうる単結晶を得ることを目的どして、新たな製法
の開発を種々試みてぎIこ 。
従来、]−s rr z法で構成した’l’ I G
Jlt結晶(゛)社気共鳴半鎖幅Δ]−1が9.3G
Hzで約1.45〜1、!iQc稈度と大ぎく、かつば
らつく主因は、TSFZ法では赤外線集中加熱炉を用い
て単結晶を育成するので、単結晶の合成温度が高いため
酸素分圧不足となり、通常は3IITllである鉄イオ
ンが2価の状態で混在するためと考えられている。
Jlt結晶(゛)社気共鳴半鎖幅Δ]−1が9.3G
Hzで約1.45〜1、!iQc稈度と大ぎく、かつば
らつく主因は、TSFZ法では赤外線集中加熱炉を用い
て単結晶を育成するので、単結晶の合成温度が高いため
酸素分圧不足となり、通常は3IITllである鉄イオ
ンが2価の状態で混在するためと考えられている。
てこで、YIG単結晶育成後、熱処理を行ない2価の鉄
イオンを3価にすることを試みたが、単結晶の内部の方
へはなかなか酸素が拡i、tk していきにくく、熱処
理たりては鉄の422価を変換することができず、マイ
クロ波特性の向上は生じないことが判明した。
イオンを3価にすることを試みたが、単結晶の内部の方
へはなかなか酸素が拡i、tk していきにくく、熱処
理たりては鉄の422価を変換することができず、マイ
クロ波特性の向上は生じないことが判明した。
また、21+Tliの鉄イオンを減少させるため、酸素
圧加圧中C合成することも考えられるが、使用炉の特性
上困難であることが判明した。ずなわらどうしU t)
加圧酸素の漏洩は避りられず、酸素ヂ17−ジを行なう
にしても長期間にわたって(例えば数週間)酸素圧を所
定の一定値に保つことは極めて困難だからである。もし
、酸素圧が変動すれば、結晶化温度がゆらぐことになり
、結晶品質(特性)が変動してしまうからである。
圧加圧中C合成することも考えられるが、使用炉の特性
上困難であることが判明した。ずなわらどうしU t)
加圧酸素の漏洩は避りられず、酸素ヂ17−ジを行なう
にしても長期間にわたって(例えば数週間)酸素圧を所
定の一定値に保つことは極めて困難だからである。もし
、酸素圧が変動すれば、結晶化温度がゆらぐことになり
、結晶品質(特性)が変動してしまうからである。
本発明の目的は、前述したように、磁気共鳴半値幅△1
−1が小さく、結晶のほぼ全体にわたって均一な特性を
早し、量産化に適したマイクロ波用Y I G li結
晶の製造方法を提供することにある。
−1が小さく、結晶のほぼ全体にわたって均一な特性を
早し、量産化に適したマイクロ波用Y I G li結
晶の製造方法を提供することにある。
本発明は、上記のようなこの種技術の現状を鑑み、全く
別の観点から、他の不純物イオンを添加することによっ
て2価の鉄イオンの減少補正を行なえるのではないかと
いうことに着目し、T S F Z法により種々実験を
試みた結果、ある(!トの2価の金属イオンをあるff
1((うi少用)添加することによって前記目的を達成
できることを知4gL、本発明を完成するに至−ノたも
のC′ある。
別の観点から、他の不純物イオンを添加することによっ
て2価の鉄イオンの減少補正を行なえるのではないかと
いうことに着目し、T S F Z法により種々実験を
試みた結果、ある(!トの2価の金属イオンをあるff
1((うi少用)添加することによって前記目的を達成
できることを知4gL、本発明を完成するに至−ノたも
のC′ある。
以下、本発明について詳述する。1本発明は、イン1−
リウム鉄系カーネットを主成分と−りる組成物中に、C
a、Zユ、又はpbの21西のイオンのいずれか一種を
エル比で、caの場合には0.4x10 〜5,2x1
0 、 Zll 又ハPIIの場合には0.3×10
〜/1.4X 10 含むJ、うに調整し、トラベ
リング・ソルベント・フローテ、rング・ゾーン法にJ
:り単結晶化さけ−るマイクロ波相YIG単結晶の製造
方法である。
リウム鉄系カーネットを主成分と−りる組成物中に、C
a、Zユ、又はpbの21西のイオンのいずれか一種を
エル比で、caの場合には0.4x10 〜5,2x1
0 、 Zll 又ハPIIの場合には0.3×10
〜/1.4X 10 含むJ、うに調整し、トラベ
リング・ソルベント・フローテ、rング・ゾーン法にJ
:り単結晶化さけ−るマイクロ波相YIG単結晶の製造
方法である。
本発明て添加するイオンは、ca、 /: II 、又
はP bの2価のイオンのいずれが一種である。
はP bの2価のイオンのいずれが一種である。
これらCa 、 Zn 、又はPbを選定した理由は、
これら−rオンの大きさがYIGの結晶中のイツトリウ
ム又は鉄の位置に入りうる1法であることと、磁気特性
に悪影響を及ぼさくfいこと、そして2価のイオンであ
ること、の三つの条件をH)6りからである。勿論、こ
れら三種のイオンのいずれもがその微小吊の添加によっ
て良Orな結果をもたらづことは、実験の結果はじめて
確認されたことである。また、木特許請求の範囲で規定
したC;]、Z11又はPbの21ITIiの金属イオ
ンの置換量の範囲も、一連の実験の結果はじめて求めら
れたものである。
これら−rオンの大きさがYIGの結晶中のイツトリウ
ム又は鉄の位置に入りうる1法であることと、磁気特性
に悪影響を及ぼさくfいこと、そして2価のイオンであ
ること、の三つの条件をH)6りからである。勿論、こ
れら三種のイオンのいずれもがその微小吊の添加によっ
て良Orな結果をもたらづことは、実験の結果はじめて
確認されたことである。また、木特許請求の範囲で規定
したC;]、Z11又はPbの21ITIiの金属イオ
ンの置換量の範囲も、一連の実験の結果はじめて求めら
れたものである。
まず、第1番目の発明であるCa添加YIG単結晶の製
法について述べる。実験は次のようにして行なった。’
1’、Q、(99,9%以上)とF T3.0゜十G
a2Q、(99,9%以上)を3:5のモル比に秤量混
合し、更に添加したい量のCaOを加えるが、この場合
、カルシウムはイツトリウム・→ノイ]〜に置換される
ため、その分、鉄イオンを補止り−る。CaOを添加し
た原料をさらに混合して丸棒に成型し、静水珪プレスに
よって加圧成型し、1500℃以上の温度で酸素雰囲気
中で焼成する。次に、この焼結体を赤外線集光加熱炉に
レッ1〜し、予め単結晶化された種結晶を炉内にレット
η−るど共に、該種結晶ど前記焼結体どの間に予め別に
準備された融帯44 旧を挿入してから炉内の温度を上
昇さけて融帯を溶かし、フ[」−テrング・ゾーンを形
成する。これを約1.0mm/時の速度で移動さけて結
晶化さける。かくして結晶化させたものは、内部(こマ
イクE」ボイド等が生じるため、さらに再結晶化さける
。このときの1京料棒と種結晶の回転数は上下330回
/分の逆回転であり、育成速度は0 、5 mm/’
lll’i ’?’ある。
法について述べる。実験は次のようにして行なった。’
1’、Q、(99,9%以上)とF T3.0゜十G
a2Q、(99,9%以上)を3:5のモル比に秤量混
合し、更に添加したい量のCaOを加えるが、この場合
、カルシウムはイツトリウム・→ノイ]〜に置換される
ため、その分、鉄イオンを補止り−る。CaOを添加し
た原料をさらに混合して丸棒に成型し、静水珪プレスに
よって加圧成型し、1500℃以上の温度で酸素雰囲気
中で焼成する。次に、この焼結体を赤外線集光加熱炉に
レッ1〜し、予め単結晶化された種結晶を炉内にレット
η−るど共に、該種結晶ど前記焼結体どの間に予め別に
準備された融帯44 旧を挿入してから炉内の温度を上
昇さけて融帯を溶かし、フ[」−テrング・ゾーンを形
成する。これを約1.0mm/時の速度で移動さけて結
晶化さける。かくして結晶化させたものは、内部(こマ
イクE」ボイド等が生じるため、さらに再結晶化さける
。このときの1京料棒と種結晶の回転数は上下330回
/分の逆回転であり、育成速度は0 、5 mm/’
lll’i ’?’ある。
かくしてjqられたYIG単結晶はY 3−y Caア
”’?7゜Ga、、g)O/2なる組成式テア% #ツ
サh ル。(口し、yはCaのモル比である。次に、こ
の単結晶を切断し、研摩して球鏡面に11上げる。そし
て、9.30 N Z ”C(D iX rD 球鏡面
試lit (1) M!気共鳴半値幅Δ1−1を電子ス
ピン共鳴装置C′測定づる。
”’?7゜Ga、、g)O/2なる組成式テア% #ツ
サh ル。(口し、yはCaのモル比である。次に、こ
の単結晶を切断し、研摩して球鏡面に11上げる。そし
て、9.30 N Z ”C(D iX rD 球鏡面
試lit (1) M!気共鳴半値幅Δ1−1を電子ス
ピン共鳴装置C′測定づる。
第1図は上記製法によりCaOの添加量をO〜500
p p mまで種々変化させて智られた球鏡面試オ′3
1について、磁気共鳴半値幅Δニー1を測定したIl’
i果を示している。同図から明らかなJ:うに、CaO
の添加量で25〜400pHm、 Caのモル比で0.
4X10=〜5.2X10−’の範囲内でΔ]−1がほ
ぼ1.35 Qe以下というように、良好なマイクロ波
特性を呈りることが判る。とりわりCaOの添加量で1
25〜275ppm程度の場合には、平均してΔ1−l
= 1.20e以下、最良時にはΔl−1=1.IQe
といった非常にづぐれた特性を有することが知1!1さ
れた。本願第1番目の発明におりるCa沢入亀の範囲の
限定理由は、かかるデータによるものである。
p p mまで種々変化させて智られた球鏡面試オ′3
1について、磁気共鳴半値幅Δニー1を測定したIl’
i果を示している。同図から明らかなJ:うに、CaO
の添加量で25〜400pHm、 Caのモル比で0.
4X10=〜5.2X10−’の範囲内でΔ]−1がほ
ぼ1.35 Qe以下というように、良好なマイクロ波
特性を呈りることが判る。とりわりCaOの添加量で1
25〜275ppm程度の場合には、平均してΔ1−l
= 1.20e以下、最良時にはΔl−1=1.IQe
といった非常にづぐれた特性を有することが知1!1さ
れた。本願第1番目の発明におりるCa沢入亀の範囲の
限定理由は、かかるデータによるものである。
更に本発明によれば、得られた単結晶のほぼ全体にわた
って磁気共鳴半値幅へHのばらつきが非常に少ないこと
も実験の結果(11「認されている。
って磁気共鳴半値幅へHのばらつきが非常に少ないこと
も実験の結果(11「認されている。
なJ3、本発明において、Caイオンはイブ1−リウム
・リイ1へに置換されること、モしてCa。
・リイ1へに置換されること、モしてCa。
Yどもに36,4f電子軌道によるM&(ヒを持たない
ため、磁気的な悪影響はない。ただし、実験の結果、こ
の(/n置換型の場合には、磁気共鳴曲線にスプリアス
が出る率が高いことが判明した。スプリアスの点からい
えば、後述づるJ)b、/:11置換型の方がりfまし
い。
ため、磁気的な悪影響はない。ただし、実験の結果、こ
の(/n置換型の場合には、磁気共鳴曲線にスプリアス
が出る率が高いことが判明した。スプリアスの点からい
えば、後述づるJ)b、/:11置換型の方がりfまし
い。
本願第2?II目の発明である711又はPb添加YI
G単結晶も、前記Ca添加の場合と同様にて製造づる。
G単結晶も、前記Ca添加の場合と同様にて製造づる。
この場合、亜鉛や鉛は鉄ザイトに置換されるため、その
分、鉄イオンを補正りる。
分、鉄イオンを補正りる。
かくして得られたYIG単結晶は、Y、F e <t/
7Ga a9s−x N4 y O/2なる組成式で表
わされる。但し、MはZOまたはPb、×はZ n 又
GJ Pl+ a)モル比である。この単結晶から前記
と同様にして球鏡面試料を作成し、磁気共鳴半値幅を測
定した結果を第2図に示す。X = 0.3X10−’
・〜4.4X10−3の範囲内、づなわらpl+Qの添
加量で・110〜16(101)l’1lll 、 I
n Oの場合には40〜G00ppm(71)fa聞
内で△1(≦ 1.35 Qcのものが19られている
ことが判る。なお、この711イAンやp l)イオン
は、3スのザイ1〜に置換されるため、銭の川が若干減
少し、磁化ヤ)ファラデー回転角に影響を与えるかもし
れないが、実用上、何等支障ない。また、従来もガリウ
ム岡換型(ガリラムは鉄の1ノイ[・に入る)の場合、
磁気共鳴曲線にスプリアスが現われないことから、本発
明においてもその魚については何ら心配ない。このこと
は実験的(こも確認されている。
7Ga a9s−x N4 y O/2なる組成式で表
わされる。但し、MはZOまたはPb、×はZ n 又
GJ Pl+ a)モル比である。この単結晶から前記
と同様にして球鏡面試料を作成し、磁気共鳴半値幅を測
定した結果を第2図に示す。X = 0.3X10−’
・〜4.4X10−3の範囲内、づなわらpl+Qの添
加量で・110〜16(101)l’1lll 、 I
n Oの場合には40〜G00ppm(71)fa聞
内で△1(≦ 1.35 Qcのものが19られている
ことが判る。なお、この711イAンやp l)イオン
は、3スのザイ1〜に置換されるため、銭の川が若干減
少し、磁化ヤ)ファラデー回転角に影響を与えるかもし
れないが、実用上、何等支障ない。また、従来もガリウ
ム岡換型(ガリラムは鉄の1ノイ[・に入る)の場合、
磁気共鳴曲線にスプリアスが現われないことから、本発
明においてもその魚については何ら心配ない。このこと
は実験的(こも確認されている。
しかし、鉛を添加リ−る場合には、鉛が他のものに比べ
て重いため、重量効果があられれ、鉛が57面に沈降し
やりくヒルグロースができやすくなるから、他の2種の
添加物に比してやや製造が1++ 1. くなる傾向が
ある。
て重いため、重量効果があられれ、鉛が57面に沈降し
やりくヒルグロースができやすくなるから、他の2種の
添加物に比してやや製造が1++ 1. くなる傾向が
ある。
以上、本発明について詳述したが、Ga置換型のみなら
り゛、純粋のYIG、イツトリウムの一部をNd、Sm
、Gd、Tb、oyとイウような他の希土類元素で置換
したもの、あるいは鉄の一部を△1で置換したものも同
様の挙動を呈する。
り゛、純粋のYIG、イツトリウムの一部をNd、Sm
、Gd、Tb、oyとイウような他の希土類元素で置換
したもの、あるいは鉄の一部を△1で置換したものも同
様の挙動を呈する。
本発明は前記のJ:うに構成されたマイクロ波用YIG
甲結品の製造方法であるから、従来の1 SFZ法の装
置をそのまま用いても従来の7ラツクス法にJ、るYI
G単結晶と同程痕以上のマイクu波1.′i性をイラす
る結晶を1することかでき、しかも得られた結晶のほぼ
全体にわたつ(マイクロ波特性のばらつきを低く抑える
ことができるのC,m産性、再現性、品質安定性がよく
、マイクロ波領域におりるフィルタIb発振器等の性能
向上に大きく貢献しうる・しの℃゛ある。
甲結品の製造方法であるから、従来の1 SFZ法の装
置をそのまま用いても従来の7ラツクス法にJ、るYI
G単結晶と同程痕以上のマイクu波1.′i性をイラす
る結晶を1することかでき、しかも得られた結晶のほぼ
全体にわたつ(マイクロ波特性のばらつきを低く抑える
ことができるのC,m産性、再現性、品質安定性がよく
、マイクロ波領域におりるフィルタIb発振器等の性能
向上に大きく貢献しうる・しの℃゛ある。
第1図は磁気共鳴半値幅に対するCa置換効宋を示1グ
ラフ、第2図は同じりRk気」l−鳴半1ift幅に対
りる711.pl)の置換効果を示リグラフでおる。 持具′[出願人 H学技術庁無(幾月冒仙究所長1月
中 虜 占 同 富士電気化学株式会社 同 タケダ理研:に業株式会社同 新
技術開発事業団 第 1 図 Co(J ppm 第2図 東京都港区新橋5丁目36番11号 ■出 願 人 タケダ理研工業株式会社東京都練馬区旭
町1丁目32番1 号 ■出 願 人 新技術開発事業団 東京都千代田区永田町2丁目5 番2号
ラフ、第2図は同じりRk気」l−鳴半1ift幅に対
りる711.pl)の置換効果を示リグラフでおる。 持具′[出願人 H学技術庁無(幾月冒仙究所長1月
中 虜 占 同 富士電気化学株式会社 同 タケダ理研:に業株式会社同 新
技術開発事業団 第 1 図 Co(J ppm 第2図 東京都港区新橋5丁目36番11号 ■出 願 人 タケダ理研工業株式会社東京都練馬区旭
町1丁目32番1 号 ■出 願 人 新技術開発事業団 東京都千代田区永田町2丁目5 番2号
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、イッI−リウム鉄系ガーネットを主成分とする組成
物中に、Caイオンをモル比で0.4×10−3〜!1
.2X1(l 含むように819整し、トラベリング
・ツルベン1〜・フローティング・ゾーン法にJ、り単
結晶化さけることを特徴とするマイクロ波用イツトリウ
ム鉄系ガーネット単結晶の製)聞方法。 2、イツトリウム鉄系ガーネットを主成分とする組成物
中に、Z 11又はPI)の2価のイオンのうちのいり
゛れか一方をモル比で0,3X10−’〜4,4X 1
0− 含むように調整し、トラベリング・ソルベント・
フ【コーディング・ゾーン法にJ:り単結晶化させるこ
とを特徴とするマイクロ波用イッ]〜リウム畝系ガーネ
ット単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57179556A JPS5969498A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | マイクロ波用yig単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57179556A JPS5969498A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | マイクロ波用yig単結晶の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5969498A true JPS5969498A (ja) | 1984-04-19 |
Family
ID=16067799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57179556A Pending JPS5969498A (ja) | 1982-10-13 | 1982-10-13 | マイクロ波用yig単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5969498A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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