JPS5961731A - トルクセンサ - Google Patents
トルクセンサInfo
- Publication number
- JPS5961731A JPS5961731A JP58099472A JP9947283A JPS5961731A JP S5961731 A JPS5961731 A JP S5961731A JP 58099472 A JP58099472 A JP 58099472A JP 9947283 A JP9947283 A JP 9947283A JP S5961731 A JPS5961731 A JP S5961731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- torque
- amorphous magnetic
- magnetic alloy
- rotating shaft
- iron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 31
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 claims description 10
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 claims description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 abstract 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 2
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 235000009508 confectionery Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910000697 metglas Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/102—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving magnetostrictive means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
- G01L3/101—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
- G01L3/102—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving magnetostrictive means
- G01L3/103—Details about the magnetic material used
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は非接触でトルクを検出するトルクセンサに関す
る。
る。
近年、回転体のトルクを正確に検出することが求められ
ている。この要望に対しては、回転体に検出体が接触し
ない非接触方式が適している０ 従来、非接触方式によるトルクセンサとしては、軸のね
じシ角を光や磁気によシ検出して間接的にトルクを検出
する間接方式によるもの、或いは回転体に磁性体を設け
、磁性体の回転による磁気ひずみ現象を利用してトルク
を検出する直接方式等が試みられている。しかしながら
実用」−１使用に剛えるものではない。
ている。この要望に対しては、回転体に検出体が接触し
ない非接触方式が適している０ 従来、非接触方式によるトルクセンサとしては、軸のね
じシ角を光や磁気によシ検出して間接的にトルクを検出
する間接方式によるもの、或いは回転体に磁性体を設け
、磁性体の回転による磁気ひずみ現象を利用してトルク
を検出する直接方式等が試みられている。しかしながら
実用」−１使用に剛えるものではない。
上記直接方式は間接方式に比較すると、簡便で、かつ静
止、正転、逆転時のトルクの検出が可能で応用上好まし
いが、従来のものでは磁性体の磁気的特性の不均一によ
り正確なトルク検出が困難であった。
止、正転、逆転時のトルクの検出が可能で応用上好まし
いが、従来のものでは磁性体の磁気的特性の不均一によ
り正確なトルク検出が困難であった。
ところで、最近アモルファス磁性合金の磁気ひずみ特性
を利用し１、直接、非接触でトルクを検出するトルクセ
ンサが提案されている（鶏７気学会マグネティックス研
究合資刺、Ｍ、Ａ（Ｊ−８１−７１，）。
を利用し１、直接、非接触でトルクを検出するトルクセ
ンサが提案されている（鶏７気学会マグネティックス研
究合資刺、Ｍ、Ａ（Ｊ−８１−７１，）。
これは、大きな磁気ひずみ特性を有するアモルファス磁
性合金薄帯を回転軸に巻いて固定し、トルクによる軸の
ひずみ応力がアモルファス磁性合金薄帯に導入されるよ
うにして、磁気ひずみ現象によるアモルファス磁性合金
れり、帯の磁気特性の変化を外部から非接触で検出する
ことによりトルクを検出するものである。
性合金薄帯を回転軸に巻いて固定し、トルクによる軸の
ひずみ応力がアモルファス磁性合金薄帯に導入されるよ
うにして、磁気ひずみ現象によるアモルファス磁性合金
れり、帯の磁気特性の変化を外部から非接触で検出する
ことによりトルクを検出するものである。
即ち、前記トルクセンサは第１図に示す如く回転軸１に
嵌装されたアモルファス磁性合金薄帯からなる環状磁、
し２を有する。今、トルク３を回転軸１に加えると、回
転軸１にはその長手ぐノ 方向に対して±４５°の方向にひすみ応力が加わシ、こ
れに伴って回転軸１に完全密着した環状率 ことによシ生じたひずみ応力σによって、そのＫ ｕ
５はＫｕ’６に変化する。しだがって、前記−軸異方性
の変化檜を電気的に検出することによシ回転軸に加わる
トルクを検出できる。
嵌装されたアモルファス磁性合金薄帯からなる環状磁、
し２を有する。今、トルク３を回転軸１に加えると、回
転軸１にはその長手ぐノ 方向に対して±４５°の方向にひすみ応力が加わシ、こ
れに伴って回転軸１に完全密着した環状率 ことによシ生じたひずみ応力σによって、そのＫ ｕ
５はＫｕ’６に変化する。しだがって、前記−軸異方性
の変化檜を電気的に検出することによシ回転軸に加わる
トルクを検出できる。
上述した誘導磁気異方性ＫＬｔを伺与する具体的な方法
としては、回転軸の径に合わせてアモルファス磁性合金
薄帯の環状磁芯を作製し、熱処理して内部応力を除去し
た後、これを前記回転軸に嵌装して軸にねじりを与えた
状態で接着し、軸のねじシをもどすという方法が挙げら
れる。
としては、回転軸の径に合わせてアモルファス磁性合金
薄帯の環状磁芯を作製し、熱処理して内部応力を除去し
た後、これを前記回転軸に嵌装して軸にねじりを与えた
状態で接着し、軸のねじシをもどすという方法が挙げら
れる。
この際、アモルファス磁性合金に加えられるトルクをＴ
。、検出すべき回転軸のトルクをＴとすると出力はλ＋
１（Ｔｏ−Ｔ）に比例する。ここで、λ８はアモルファ
ス磁性合金の磁歪定数である。
。、検出すべき回転軸のトルクをＴとすると出力はλ＋
１（Ｔｏ−Ｔ）に比例する。ここで、λ８はアモルファ
ス磁性合金の磁歪定数である。
上記トルクセンナにおいては、アモルファスイ１＋２件
合金として（ｌ−１磁歪定数が大きく、Ｗ＝和磁化が１
、・、いはと大きな出力が得られるので望ましい。
合金として（ｌ−１磁歪定数が大きく、Ｗ＝和磁化が１
、・、いはと大きな出力が得られるので望ましい。
甘た、大きなトルクＴを検出するために−Ｔ。
を予め大きくしでおけばよい。すなわち、回転軸に大き
なねじりを加えた状態でアモルファス仙ネ性合金を接着
ずればよい。
なねじりを加えた状態でアモルファス仙ネ性合金を接着
ずればよい。
ところが、本発明者らが上記資料にｈｔ３載されている
Ｍｅｔｇｌａｓ ２８２６ ＭＢ （米国アライド社商
品名Ｆ＠４ｏＮ１３Ｂλ１０４Ｂ＋８アモルファス磁性
合金）を用いて上述したプロセスによってトルクを検出
しようとしたところ、とのアモルファスイ１゛・ｉ性台
金？・、ｉ帯のりη状（磁芯は内部応力除去のために熱
処理を行った段階で非常にもろくなり、検出しようとす
るトルクＴが大きくなるのに元、してアモルファス磁性
合金薄帯の環状磁芯に与えるトルクＴ。
Ｍｅｔｇｌａｓ ２８２６ ＭＢ （米国アライド社商
品名Ｆ＠４ｏＮ１３Ｂλ１０４Ｂ＋８アモルファス磁性
合金）を用いて上述したプロセスによってトルクを検出
しようとしたところ、とのアモルファスイ１゛・ｉ性台
金？・、ｉ帯のりη状（磁芯は内部応力除去のために熱
処理を行った段階で非常にもろくなり、検出しようとす
るトルクＴが大きくなるのに元、してアモルファス磁性
合金薄帯の環状磁芯に与えるトルクＴ。
か大きくなると、その応力により環状磁芯にクラックが
発生し、大きなトルクの検出ができないという欠点のあ
ることが判明した。
発生し、大きなトルクの検出ができないという欠点のあ
ることが判明した。
本発明は上記欠点を解消するためになされたものであり
、大きなトルクを検出し皆るトルクセンサを提供するこ
とを目的とするものである。
、大きなトルクを検出し皆るトルクセンサを提供するこ
とを目的とするものである。
本発明者らは上述したトルクセンサに用いられるアモル
ファス磁性合金として各極アモルファス磁性合金につい
て鋭意研究を行った結果、結晶化温度の高い鉄基アモル
ファス磁性合金を用いれば上記目的を達成できることを
見出した。
ファス磁性合金として各極アモルファス磁性合金につい
て鋭意研究を行った結果、結晶化温度の高い鉄基アモル
ファス磁性合金を用いれば上記目的を達成できることを
見出した。
すなわち、本発明のトルクセンサは、アモルファス磁性
合金として結晶化温度Ｔｘが４５０°以上の鉄基アモル
ファス磁性合金を用いるととを特徴とするものである。
合金として結晶化温度Ｔｘが４５０°以上の鉄基アモル
ファス磁性合金を用いるととを特徴とするものである。
本発明において鉄基アモルファス（１ｎ性合金の結晶化
温度を４５０℃以上としたのは４５０℃未満であるとア
モルファス磁性合金薄帯の環状磁芯は内部応力除去のた
めに熱処理を行った段階でもろくなり、予め大きなトル
クＴｏを力えるとクラックが発生して大きなトルクＴを
検出することかできなくなるためである。
温度を４５０℃以上としたのは４５０℃未満であるとア
モルファス磁性合金薄帯の環状磁芯は内部応力除去のた
めに熱処理を行った段階でもろくなり、予め大きなトル
クＴｏを力えるとクラックが発生して大きなトルクＴを
検出することかできなくなるためである。
こうした鉄基アモルファス磁性合金としては一般式
％式％
Ｎｂ 、 Ｍｏ 、 Ｈｆ 、 Ｔａ 、Ｗのうち少な
くとも１種、ａはＭがＮｌ、Ｃｏのときは０２以下、そ
の他のＭについては０．１以下、ｘ ＝ Ｏ〜２０、ｙ
＝５〜３０、ｘ十ｙ＋ｚ ＝ １００ ：］ にて表わされるものが望ましい。
くとも１種、ａはＭがＮｌ、Ｃｏのときは０２以下、そ
の他のＭについては０．１以下、ｘ ＝ Ｏ〜２０、ｙ
＝５〜３０、ｘ十ｙ＋ｚ ＝ １００ ：］ にて表わされるものが望ましい。
ここで、Ｍは結晶化温度を上昇させるのに効果があるが
、その割合がある限度を超えると磁歪定数が小さくなる
とともに飽和磁化も小さくなり実用的でなくなる。その
限度はＭがＣｏ、Ｎｉの場合はａ ＝ ０．２、その他
の上記Ｍに対し又はａ ＝ Ｏ，Ｉ−Ｃある。Ｓ＋は結
晶化温度を上昇させるのに効果のある元素であるが、そ
の含有率を上記範囲に限定したのは、Ｘが２０を超える
とアモルファス合金の製造が困難になるためである。
、その割合がある限度を超えると磁歪定数が小さくなる
とともに飽和磁化も小さくなり実用的でなくなる。その
限度はＭがＣｏ、Ｎｉの場合はａ ＝ ０．２、その他
の上記Ｍに対し又はａ ＝ Ｏ，Ｉ−Ｃある。Ｓ＋は結
晶化温度を上昇させるのに効果のある元素であるが、そ
の含有率を上記範囲に限定したのは、Ｘが２０を超える
とアモルファス合金の製造が困難になるためである。
また、Ｂはアモルファス合金の製造に不可欠の元素であ
るが、その含有率を上記範囲に限定したのはｙが５未満
になると４５０℃以上の結晶化温度を得るのが困難とな
シ、３ｏを超えるとアモルファス合金の製造が困難にな
るためである。
るが、その含有率を上記範囲に限定したのはｙが５未満
になると４５０℃以上の結晶化温度を得るのが困難とな
シ、３ｏを超えるとアモルファス合金の製造が困難にな
るためである。
本発明に用いられるアモルファス磁性合金薄帯の板厚は
薄い方が良く、平均の板厚（重量と比重から求めた板厚
）として２０μｍ以下であることが好ましい。これは、
板厚が２０μｍを超えると、アモルファス磁性合金薄帯
と検出すべきトルクを発生する回転軸との接着が充分で
なくなシ、トルクを正しく検出することが困難となるた
めである。
薄い方が良く、平均の板厚（重量と比重から求めた板厚
）として２０μｍ以下であることが好ましい。これは、
板厚が２０μｍを超えると、アモルファス磁性合金薄帯
と検出すべきトルクを発生する回転軸との接着が充分で
なくなシ、トルクを正しく検出することが困難となるた
めである。
以下、本発明の実施例に基づいて説明する。
実施例１〜１３及び比較例１〜３
下記表に示す組成の各アモルファス磁性合金の薄帯を単
ロール法を用いて作製した。得られた薄帯の幅は約１０
調、平均の板厚は約１８μｍであった。これらのアモル
ファス磁性合金薄帯について、示差熱分析器（ＤＴＡ）
を用いて昇温スピード１０℃／分の条件で結晶化温度（
Ｔｘ）を、ストレイン・ゲージ法を用いて磁歪定数（λ
Ｓ）を夫々測定した。これらの結果を下記表にｇ上記す
る。
ロール法を用いて作製した。得られた薄帯の幅は約１０
調、平均の板厚は約１８μｍであった。これらのアモル
ファス磁性合金薄帯について、示差熱分析器（ＤＴＡ）
を用いて昇温スピード１０℃／分の条件で結晶化温度（
Ｔｘ）を、ストレイン・ゲージ法を用いて磁歪定数（λ
Ｓ）を夫々測定した。これらの結果を下記表にｇ上記す
る。
次に、これらアモルファス磁性合金薄帯を予めＮ転軸の
径（１０ｇ、）に合わせて巻き、環状磁芯を作製した後
、内部応力除去のための熱処理を施した。つづいて、環
状（１６芯を前記回転軸に嵌挿し、５ｋｇ・ｍ までの
トルクＴを測定しようとして軸にねじシを与えた状態で
接着剤により固定した後、軸のねじりをもどして前記環
状磁芯に誘導磁気異方性Ｋｕをカえた。この段１偕で環
状磁芯にクラックが発生した比較例１〜３についてはク
シツクが発生した時に環状磁芯に与えたトルクＴｏを下
記表に併記する。
径（１０ｇ、）に合わせて巻き、環状磁芯を作製した後
、内部応力除去のための熱処理を施した。つづいて、環
状（１６芯を前記回転軸に嵌挿し、５ｋｇ・ｍ までの
トルクＴを測定しようとして軸にねじシを与えた状態で
接着剤により固定した後、軸のねじりをもどして前記環
状磁芯に誘導磁気異方性Ｋｕをカえた。この段１偕で環
状磁芯にクラックが発生した比較例１〜３についてはク
シツクが発生した時に環状磁芯に与えたトルクＴｏを下
記表に併記する。
実施例１〜１３のトルクセンサについては軸を回転させ
、トルクを変化させて動トルクを検出した。測定すべき
トルクＴが５ｋｇ・ｍの時の出方（ｍＶ）を下記表に併
記する。また、実施例１のトルクセンサについてはその
動トルク検出特性を第２図に示す。
、トルクを変化させて動トルクを検出した。測定すべき
トルクＴが５ｋｇ・ｍの時の出方（ｍＶ）を下記表に併
記する。また、実施例１のトルクセンサについてはその
動トルク検出特性を第２図に示す。
しかして、上記表の実施例１〜１３のトルクセンサに用
いられるアモルファス磁性合金は、いずれも結晶化温度
Ｔｘが４５０℃以上であり、内部応力除去のための熱処
理（例えば実施例１でＶｉ４５０℃×１０分間）を施し
てももろくならなかった。したがって、環状磁芯に大き
なトルクＴｏを与えてもクラックは発生せず、実験範囲
内の５ ｋｇ・ｍのトルクまで充分検出することができ
た。
いられるアモルファス磁性合金は、いずれも結晶化温度
Ｔｘが４５０℃以上であり、内部応力除去のための熱処
理（例えば実施例１でＶｉ４５０℃×１０分間）を施し
てももろくならなかった。したがって、環状磁芯に大き
なトルクＴｏを与えてもクラックは発生せず、実験範囲
内の５ ｋｇ・ｍのトルクまで充分検出することができ
た。
これに対して上記表の比較例１〜３のトルクセンサに用
いられるアモルファス磁性合金はいずれも結晶化温度Ｔ
ｘが４５０℃未満であり、内部応力除去のための熱処理
（例えば比較例１では３７０℃×３０分間）を〃ｉすと
もろくなり、環状磁芯に大きなトルクＴｏを与えるとク
ラックが発生し、トルク検出ができなかった。
いられるアモルファス磁性合金はいずれも結晶化温度Ｔ
ｘが４５０℃未満であり、内部応力除去のための熱処理
（例えば比較例１では３７０℃×３０分間）を〃ｉすと
もろくなり、環状磁芯に大きなトルクＴｏを与えるとク
ラックが発生し、トルク検出ができなかった。
以上詳述した如く本発明によれば、大きなトルクを検出
し得るトルクセンサを提供できるものである。
し得るトルクセンサを提供できるものである。
第１図及び第２図は非接触型のトルクセンサの原理図、
第３図は本発明の実施例１におけるトルクセンサのトル
ク検出特性図である。 １・・・回転軸、２・・・環状磁芯、３・・・トルク、
４・・・ひずみ応力、５，６・・・誘導磁気異方性、出
願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ１図 第２図 第３図 トルク（ｋｇｏｍ）
第３図は本発明の実施例１におけるトルクセンサのトル
ク検出特性図である。 １・・・回転軸、２・・・環状磁芯、３・・・トルク、
４・・・ひずみ応力、５，６・・・誘導磁気異方性、出
願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦オ１図 第２図 第３図 トルク（ｋｇｏｍ）
Claims (3)
- （１）大きな磁歪定数を有するアモルファス磁性合金の
薄帯を回転軸に巻いて固定し、該回転軸に加えられたト
ルクにより前記アモルファス磁性合金薄帯の磁気特性が
変化することを利用してトルクの非接触検出を行うトル
クセンサにおいて、前記アモルファス磁性合金として結
晶化温度が４５０℃以上の鉄基アモルファス磁性合金を
用いたことを特徴とするトルクセンサ。 - （２） 鉄基アモルファス磁性合金が一般式％式％ Ｎｂ 、 Ｍｏ 、 Ｈｆ 、 Ｔａ 、 Ｗのうち少
なくとも１種、ａ＝０〜０．２ （Ｍ＝Ｃｏ 、Ｎｉの
場合）、ａ＝０〜０１（Ｍ、＝ Ｃｏ 、 Ｎｌ以外の
上記元素）、ｘ＝０〜２０．ｙ−５〜３０ 、 ｘ＋ｙ
＋ｚ＝１００ ）で表わされるものであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のトルクセンサ。 - （３）鉄基アモルファス磁性合金の薄帯の板厚が２０μ
ｍ以下であることを特徴とする特許請求の範囲第１項も
しくは第２項記載のトルクセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099472A JPS5961731A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | トルクセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58099472A JPS5961731A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | トルクセンサ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57171346 Division | 1982-09-30 | 1982-09-30 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961731A true JPS5961731A (ja) | 1984-04-09 |
| JPH0242418B2 JPH0242418B2 (ja) | 1990-09-21 |
Family
ID=14248254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58099472A Granted JPS5961731A (ja) | 1983-06-06 | 1983-06-06 | トルクセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961731A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5585574A (en) * | 1993-02-02 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corporation | Shaft having a magnetostrictive torque sensor and a method for making same |
| CN103409707A (zh) * | 2013-07-18 | 2013-11-27 | 北京航空航天大学 | 一种MnaMAbMBc块体非晶合金及其制备方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735633A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-26 | Hitachi Ltd | Heat treatment of metallic thin strip |
-
1983
- 1983-06-06 JP JP58099472A patent/JPS5961731A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5735633A (en) * | 1980-08-08 | 1982-02-26 | Hitachi Ltd | Heat treatment of metallic thin strip |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5585574A (en) * | 1993-02-02 | 1996-12-17 | Mitsubishi Materials Corporation | Shaft having a magnetostrictive torque sensor and a method for making same |
| CN103409707A (zh) * | 2013-07-18 | 2013-11-27 | 北京航空航天大学 | 一种MnaMAbMBc块体非晶合金及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0242418B2 (ja) | 1990-09-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0848397B1 (fr) | Procédé de fabrication d'un composant magnétique en alliage magnétique doux à base de fer ayant une structure nanocristalline | |
| JP3377519B2 (ja) | トルクセンサおよびその製造方法 | |
| US4368447A (en) | Rolled core | |
| FR2459839A1 (fr) | Procede de fabrication d'un alliage magnetique amorphe et alliage obtenu | |
| EP2018530A1 (en) | A measuring device including a layer of a magnetoelastic alloy and a method for production thereof | |
| US4631796A (en) | Torque sensor and method for manufacturing the same | |
| JP2002082000A (ja) | 磁歪式応力センサおよびその製造方法 | |
| JPS5961731A (ja) | トルクセンサ | |
| JPS5961730A (ja) | トルクセンサ | |
| JPS6115942A (ja) | トルクセンサ | |
| JPS5961732A (ja) | トルクセンサの製造方法 | |
| Shimada | Amorphous Co–metal films produced by sputtering | |
| Chiriac et al. | Magnetic behavior of the amorphous wires covered by glass | |
| JPWO2023074693A5 (ja) | ||
| JP7529969B2 (ja) | 感磁ワイヤおよびその製造方法 | |
| JP3024817B2 (ja) | 磁歪式トルクセンサ用磁歪検出体及びその製造方法 | |
| JPS60234948A (ja) | トルクセンサ−用非晶質合金 | |
| JPS6320031B2 (ja) | ||
| JPH0242417B2 (ja) | ||
| Chiriac et al. | Magnetic anisotropy in FeSiB amorphous glass-covered wires | |
| JPH03282337A (ja) | トルクセンサ | |
| JPH1137864A (ja) | 磁歪式トルクセンサの磁歪膜の製造方法 | |
| JP2860914B2 (ja) | 磁気ワイヤの製造方法 | |
| JPH01104746A (ja) | 鉄基非晶質合金薄帯の製造方法 | |
| JPS6044383B2 (ja) | 磁気ヘツド用非晶質合金 |