JPS5960855A - 二重収束型質量分析装置 - Google Patents
二重収束型質量分析装置Info
- Publication number
- JPS5960855A JPS5960855A JP57172434A JP17243482A JPS5960855A JP S5960855 A JPS5960855 A JP S5960855A JP 57172434 A JP57172434 A JP 57172434A JP 17243482 A JP17243482 A JP 17243482A JP S5960855 A JPS5960855 A JP S5960855A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- collision
- ion
- collision chamber
- ion detector
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は衝突解離装置を備えた逆配置二重収束型質量分
析装置に関する。
析装置に関する。
イオンを磁場で質量分析した後電場でエネルギー分析す
る逆配置二重束型質量分析装置では、磁場と電場との中
間位置に質量スペクトル像が形成されるので、磁場と電
場との間にイオン検出器を位置させると単収束型質量分
析計としても使用でき、またその位置に衝突室を位置さ
せると、イオンの衝突解離を起させるととゾでき、生じ
たイオンを電場に入射させてエネルギー分析を行うこと
によシイオンの種類の判別或は近接した質量の２種イオ
ンを識別する情報を得ることができる。
る逆配置二重束型質量分析装置では、磁場と電場との中
間位置に質量スペクトル像が形成されるので、磁場と電
場との間にイオン検出器を位置させると単収束型質量分
析計としても使用でき、またその位置に衝突室を位置さ
せると、イオンの衝突解離を起させるととゾでき、生じ
たイオンを電場に入射させてエネルギー分析を行うこと
によシイオンの種類の判別或は近接した質量の２種イオ
ンを識別する情報を得ることができる。
るものはなかった。本発明はこれら３通りの用法間の切
換えが簡単にできる機構を提供するものである。
換えが簡単にできる機構を提供するものである。
本発明は質量分析用磁場とエネルギー分析用電場との中
間位置において、イオンビームと直角の方向に摺動可能
に、イオン検出器と衝突室との一体結合構成を配置し、
この一体結合構成の摺動を真空器壁外から操作可能にし
た逆配置二重収束型質量分析装置を提供するものである
。以下実施例によって本発明を説明する。
間位置において、イオンビームと直角の方向に摺動可能
に、イオン検出器と衝突室との一体結合構成を配置し、
この一体結合構成の摺動を真空器壁外から操作可能にし
た逆配置二重収束型質量分析装置を提供するものである
。以下実施例によって本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例の全体を示す。工はイオン源
、Ｍは質量分析用磁場を形成する電磁石の磁極、Ｅはエ
ネルギー分析用電場を形成する電極で、Ｓｌは磁場Ｍと
電場Ｅとの間に配置された中間スリット、Ｓ２は二重収
束型質量分析装置の出射スリットである。中間スリット
Ｓｌ上には磁場Ｍによる質量スペクトル像が形成される
。Ｄは二重収束用イオン検出器、Ｄｌは単収束質量分析
モード用のイオン検出器で、Ｃが衝突室である。イオン
検出器ＤＩと衝突室Ｃとは一体的に結合されていて、図
示矢印のようにイオンビームと直角の方向に摺動できる
ようになっている。衝突室Ｃ及びイオン検出器Ｄ１が共
にイオンビームの通路から退避させであるときは装置は
二重収束型質量分析装置として用いられる。イオン検出
器Ｄ１をイオンビーム通路に進出させると装置は単収束
型質量分析装置として用いられる。衝突室Ｃをイオンビ
ーム通路に位置させると、イオンの衝突解離を利用した
分析モードとなる。
、Ｍは質量分析用磁場を形成する電磁石の磁極、Ｅはエ
ネルギー分析用電場を形成する電極で、Ｓｌは磁場Ｍと
電場Ｅとの間に配置された中間スリット、Ｓ２は二重収
束型質量分析装置の出射スリットである。中間スリット
Ｓｌ上には磁場Ｍによる質量スペクトル像が形成される
。Ｄは二重収束用イオン検出器、Ｄｌは単収束質量分析
モード用のイオン検出器で、Ｃが衝突室である。イオン
検出器ＤＩと衝突室Ｃとは一体的に結合されていて、図
示矢印のようにイオンビームと直角の方向に摺動できる
ようになっている。衝突室Ｃ及びイオン検出器Ｄ１が共
にイオンビームの通路から退避させであるときは装置は
二重収束型質量分析装置として用いられる。イオン検出
器Ｄ１をイオンビーム通路に進出させると装置は単収束
型質量分析装置として用いられる。衝突室Ｃをイオンビ
ーム通路に位置させると、イオンの衝突解離を利用した
分析モードとなる。
第２図はイオン検出器Ｄ１と衝突室Ｃとの一体結合構成
の詳細を示す。イオン衝突室Ｃは前後にイオンビームの
通過する開口りを有する箱で外部からＨｅのような衝突
ガスが供給される。このガスは質量分析装置の真空器壁
Ｗの外からガス供給管Ｔを通して行われる。衝突室Ｃは
矢印方向に移動せしめられるので、ガス供給管Ｔはこの
移動に応じられるように螺旋に巻いである。イオン検出
器Ｄ°はとの実施例では電子増倍管でその外筒が真空器
壁Ｗを貫通しておシ、真空器壁Ｗとの間にＯリングＰを
介在させて気密を保持して矢印方向に摺動可能であり、
自身が衝突室Ｃとイオン検出器Ｄ１の一体結合構成の矢
印方向の移動のガイドとなっている。
の詳細を示す。イオン衝突室Ｃは前後にイオンビームの
通過する開口りを有する箱で外部からＨｅのような衝突
ガスが供給される。このガスは質量分析装置の真空器壁
Ｗの外からガス供給管Ｔを通して行われる。衝突室Ｃは
矢印方向に移動せしめられるので、ガス供給管Ｔはこの
移動に応じられるように螺旋に巻いである。イオン検出
器Ｄ°はとの実施例では電子増倍管でその外筒が真空器
壁Ｗを貫通しておシ、真空器壁Ｗとの間にＯリングＰを
介在させて気密を保持して矢印方向に摺動可能であり、
自身が衝突室Ｃとイオン検出器Ｄ１の一体結合構成の矢
印方向の移動のガイドとなっている。
衝突解離を行う場合、衝突室Ｃを前後の開口りが中間ス
リン）８１と一直線上に並ぶように位置させる。磁場Ｍ
で質量による分散が行われてスリットＳ１を通った特定
質量のイオンが衝突室Ｃにぬ 飛び込み外から供盆されているガス分子と衝突して衝突
解離が起り、生成したイオンが電場Ｅによってエネルギ
ー分析される。なお衝突室Ｃへのガス供給管は第３図に
示すようにイオン検出器Ｄ１の外筒内を通し、真空外に
可撓部分を設けてもよい。
リン）８１と一直線上に並ぶように位置させる。磁場Ｍ
で質量による分散が行われてスリットＳ１を通った特定
質量のイオンが衝突室Ｃにぬ 飛び込み外から供盆されているガス分子と衝突して衝突
解離が起り、生成したイオンが電場Ｅによってエネルギ
ー分析される。なお衝突室Ｃへのガス供給管は第３図に
示すようにイオン検出器Ｄ１の外筒内を通し、真空外に
可撓部分を設けてもよい。
また衝突室とイオン検出器との一体構成をベローにより
真空器壁Ｗに気密かつ可動的に取付け、別に設けたガイ
ドに沿って摺動させるようにしてもよい。
真空器壁Ｗに気密かつ可動的に取付け、別に設けたガイ
ドに沿って摺動させるようにしてもよい。
本発明装置は上述したように、単収束イオン検出用のイ
オン検出器と衝突室とを一体的に結合し、この一体重結
合構成を真空器壁の外から摺動させるようにしだから、
２重収束、単収束、衝突解離の３種の測定の切換え操作
が一操作で行われ、また衝突室とイオン検出器とが一体
的に結合されて摺動するので、真空器壁の衝突室、イオ
ン検出器収納スペースをコンパクトに設計することがで
きる。
オン検出器と衝突室とを一体的に結合し、この一体重結
合構成を真空器壁の外から摺動させるようにしだから、
２重収束、単収束、衝突解離の３種の測定の切換え操作
が一操作で行われ、また衝突室とイオン検出器とが一体
的に結合されて摺動するので、真空器壁の衝突室、イオ
ン検出器収納スペースをコンパクトに設計することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例装置の平面図、第２図は同実
施例の要部拡大平面断面図、第３図は同じく要部の他の
一実施例の平面断面図である。 工・・・イオン源、Ｍ・・・質量分析用磁場、Ｓｌ・・
・中間スリット、Ｅ・・・エネルギー分析用電場、Ｓ２
・・・出射スリット、Ｄ・・・二重収束用イオン検出器
、Ｄｌ・・・単収束用イオン検出器、Ｃ・・・衝突室、
Ｔ・・・衝突ガス供給管、Ｗ・・・真空器壁。 代理人 弁理士 縣 浩 介
施例の要部拡大平面断面図、第３図は同じく要部の他の
一実施例の平面断面図である。 工・・・イオン源、Ｍ・・・質量分析用磁場、Ｓｌ・・
・中間スリット、Ｅ・・・エネルギー分析用電場、Ｓ２
・・・出射スリット、Ｄ・・・二重収束用イオン検出器
、Ｄｌ・・・単収束用イオン検出器、Ｃ・・・衝突室、
Ｔ・・・衝突ガス供給管、Ｗ・・・真空器壁。 代理人 弁理士 縣 浩 介
Claims (1)
- イオン源、質量分析用磁場、エネルギー分析用−入通路
に出入自在に単収束イオン用イオン検出器と衝突解離用
の衝突室の一体結合構成体を設け、この構成体を真空器
壁外から摺動可動にして、単収束、二重収束、衝突解離
の３種の測定モードの切換えを可能とした二重収束型質
量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172434A JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172434A JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5960855A true JPS5960855A (ja) | 1984-04-06 |
| JPH0131661B2 JPH0131661B2 (ja) | 1989-06-27 |
Family
ID=15941903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172434A Granted JPS5960855A (ja) | 1982-09-29 | 1982-09-29 | 二重収束型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5960855A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6174950U (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-21 | ||
| JPH01132037A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-24 | Japan Atom Energy Res Inst | 粒子ビーム測定装置 |
-
1982
- 1982-09-29 JP JP57172434A patent/JPS5960855A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6174950U (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-21 | ||
| JPH0342615Y2 (ja) * | 1984-10-19 | 1991-09-06 | ||
| JPH01132037A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-24 | Japan Atom Energy Res Inst | 粒子ビーム測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0131661B2 (ja) | 1989-06-27 |
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