JPS6193544A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS6193544A JPS6193544A JP59214650A JP21465084A JPS6193544A JP S6193544 A JPS6193544 A JP S6193544A JP 59214650 A JP59214650 A JP 59214650A JP 21465084 A JP21465084 A JP 21465084A JP S6193544 A JPS6193544 A JP S6193544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- ion
- collision chamber
- mass spectrometry
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、２つの質量分析装置を結合した質量分析装置
１．所謂ＭＳ／ＭＳ装置に関する。
１．所謂ＭＳ／ＭＳ装置に関する。
［従来の技術］
近時、従来の質量分析系例えば電場と磁場を組合わせた
二重収束質量分析系の後段に、更に第２の質量分析系を
配置したＭＳ／ＭＳ装置が注目されている。このＭＳ／
ＭＳ装置では、第６図に示すように、イオン源Ｉｓで生
成され第１の質量分析系ＭＳＩで選別した特定の親イオ
ンを、イオン通路上に配置した衝突室ＣＣ内で中性ガス
分子と衝突させることにより解離させ、生じた娘イオン
を第２の質量分析系ＭＳ２へ導入し、該ＭＳ２により娘
イオンを質量及び又はエネルギーに応じて分離し、イオ
ン検出器ＩＯへ導いて検出するものである。
二重収束質量分析系の後段に、更に第２の質量分析系を
配置したＭＳ／ＭＳ装置が注目されている。このＭＳ／
ＭＳ装置では、第６図に示すように、イオン源Ｉｓで生
成され第１の質量分析系ＭＳＩで選別した特定の親イオ
ンを、イオン通路上に配置した衝突室ＣＣ内で中性ガス
分子と衝突させることにより解離させ、生じた娘イオン
を第２の質量分析系ＭＳ２へ導入し、該ＭＳ２により娘
イオンを質量及び又はエネルギーに応じて分離し、イオ
ン検出器ＩＯへ導いて検出するものである。
［発明が解決しようとする問題点］
ところが、従来のＭＳ／ＭＳ装置では、第６図に示され
るように２つの質量分析系の中間収束点に配置される中
間スリットＳによって、ＭＳｌからの親イオンを高分解
能で分離して衝突室へ送ることができるため、親イオン
を高分解能で分離することはできるものの、娘イオンは
第７図に示すように衝突室ＣＣ内の色々な場所で生じる
ため、該衝突室から第２の質量分析計ＭＳ２へ向けて出
射するイオンビーム幅はｂと大きくなってしまい、ＭＳ
２で該娘イオンを展開して得られたスペクトルは分解能
が低下してしまう結果となっていた。
るように２つの質量分析系の中間収束点に配置される中
間スリットＳによって、ＭＳｌからの親イオンを高分解
能で分離して衝突室へ送ることができるため、親イオン
を高分解能で分離することはできるものの、娘イオンは
第７図に示すように衝突室ＣＣ内の色々な場所で生じる
ため、該衝突室から第２の質量分析計ＭＳ２へ向けて出
射するイオンビーム幅はｂと大きくなってしまい、ＭＳ
２で該娘イオンを展開して得られたスペクトルは分解能
が低下してしまう結果となっていた。
娘イオンのイオンビーム幅が大ぎくても高分解能を得る
ためにはＭＳ２として大型の磁場を持つものが必要であ
り、価格の面で極めて不利になってしまう。
ためにはＭＳ２として大型の磁場を持つものが必要であ
り、価格の面で極めて不利になってしまう。
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、ＭＳ２が
小型であっても娘イオンの高分解能スペクトルを得るこ
とのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供することを目的として
いる。
小型であっても娘イオンの高分解能スペクトルを得るこ
とのできるＭＳ／ＭＳ装置を提供することを目的として
いる。
［問題点を解決するための手段］
この目的を達成するため、本発明は、イオン源と、該イ
オン源で生成されたイオンが導入される第１の質量分析
系と、該質量分析系を通過したイオンの中間集束点に配
置される中間スリットと、該中間スリットを通過してイ
オンが入射する衝突室と、該衝突室から出射したイオン
が導入される第２の質量分析系と、該第２の質量分析系
を通過したイオンを検出するためのイオン検出器とを備
えた質量分析装置において、該衝突室のイオン出射側に
第２の中間スリットを配置すると共に、第１及び第２の
中間スリットと衝突室を一体的にイオン通路に沿って移
動する機構を、設け、２つのスリットを選択的に前記中
間集束点位置に配置し得るようにしたことを特徴として
いる。
オン源で生成されたイオンが導入される第１の質量分析
系と、該質量分析系を通過したイオンの中間集束点に配
置される中間スリットと、該中間スリットを通過してイ
オンが入射する衝突室と、該衝突室から出射したイオン
が導入される第２の質量分析系と、該第２の質量分析系
を通過したイオンを検出するためのイオン検出器とを備
えた質量分析装置において、該衝突室のイオン出射側に
第２の中間スリットを配置すると共に、第１及び第２の
中間スリットと衝突室を一体的にイオン通路に沿って移
動する機構を、設け、２つのスリットを選択的に前記中
間集束点位置に配置し得るようにしたことを特徴として
いる。
［実施例］
以下、図面を用いて本発明の一実施例を詳説する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成略図である。第１
図において第６図の従来例と異なるのは、衝突室ＣＣの
出射側に第２の中間スリットＳ′を設けると共に、この
第２の中間スリットＳ′と第１の中間スリットＳ及び衝
突室ＣＣとを一体で、イオン通路に沿う方向（矢印りの
方向）に移動可能に設けた点、及び２つの中間スリット
のスリット幅を変えられる構造にした点である。
図において第６図の従来例と異なるのは、衝突室ＣＣの
出射側に第２の中間スリットＳ′を設けると共に、この
第２の中間スリットＳ′と第１の中間スリットＳ及び衝
突室ＣＣとを一体で、イオン通路に沿う方向（矢印りの
方向）に移動可能に設けた点、及び２つの中間スリット
のスリット幅を変えられる構造にした点である。
このような構造において、中間スリットＳの幅を狭くし
、中間スリットＳ′の幅を広くすれば、第６図の従来例
と全く同様に、娘イオンの幅は広くなるものの、親イオ
ンを高分解能で選択した測定を行うことができる。
、中間スリットＳ′の幅を広くすれば、第６図の従来例
と全く同様に、娘イオンの幅は広くなるものの、親イオ
ンを高分解能で選択した測定を行うことができる。
そして、逆に中間スリットＳ′のスリット幅を狭くし、
中間スリットＳの幅を広くした状態で衝突室ＣＣ及びス
リットｓ、ｓ’ を一体で移動し、第２図に示すように
中間スリットＳ′が中間集束点位置に来るようにすれば
、親イオンの選択性は多少悪くなるものの、衝突室ＣＣ
内で生成された娘イオンは狭く設定された中間スリット
Ｓ′を介して取出されて第２の質量分析系４へ導入され
るため、該質量分析系が小型の質量分析系であっても娘
イオンに関する高分解能スペクトルを（ｑることができ
る。
中間スリットＳの幅を広くした状態で衝突室ＣＣ及びス
リットｓ、ｓ’ を一体で移動し、第２図に示すように
中間スリットＳ′が中間集束点位置に来るようにすれば
、親イオンの選択性は多少悪くなるものの、衝突室ＣＣ
内で生成された娘イオンは狭く設定された中間スリット
Ｓ′を介して取出されて第２の質量分析系４へ導入され
るため、該質量分析系が小型の質量分析系であっても娘
イオンに関する高分解能スペクトルを（ｑることができ
る。
ところで、この時中間スリットＳのスリット幅は広く設
定されており、ある程度の質量範囲の親イオンが衝突室
ＣＣ内へ入射する。そして、衝突全ＣＣ内での衝突によ
り親イオンビームのデフォーカス即ちブロードニングが
起こるので、親イオンの分解能が低下してしまうことは
避けられない。
定されており、ある程度の質量範囲の親イオンが衝突室
ＣＣ内へ入射する。そして、衝突全ＣＣ内での衝突によ
り親イオンビームのデフォーカス即ちブロードニングが
起こるので、親イオンの分解能が低下してしまうことは
避けられない。
換言すれば、上述の如く娘イオンに関する高分解能スペ
クトルが得られるものの、そのスペクトル中の全てのピ
ークが同一の親イオンから派生したものではないことに
なる。このように、親イオンに関する分解能が低下する
ことは避けられないのであるから、第１の質量分析系Ｍ
ＳＩを高分解能のモードで動作させる必要は無く、主ス
リットを十分量いた低分解能のモードで動作させれば良
い。
クトルが得られるものの、そのスペクトル中の全てのピ
ークが同一の親イオンから派生したものではないことに
なる。このように、親イオンに関する分解能が低下する
ことは避けられないのであるから、第１の質量分析系Ｍ
ＳＩを高分解能のモードで動作させる必要は無く、主ス
リットを十分量いた低分解能のモードで動作させれば良
い。
そうすれば、衝突室ＣＣへ入射する親イオンの量が増大
し、それに伴なって生成される娘イオンの量も増大する
ので、娘イオンの測定を高感度で行うことができる。
し、それに伴なって生成される娘イオンの量も増大する
ので、娘イオンの測定を高感度で行うことができる。
更に本発明においては、第１図のモードと第２図のモー
ドで夫々測定を行う口とにより、娘イオンスペクトル中
の各ピークの帰属の決定をも行うことができる。即ち、
第２図のモードで娘イオンの高分解能スペクトルが第３
図（ａ）に示すように得られたとする。
ドで夫々測定を行う口とにより、娘イオンスペクトル中
の各ピークの帰属の決定をも行うことができる。即ち、
第２図のモードで娘イオンの高分解能スペクトルが第３
図（ａ）に示すように得られたとする。
次に親イオンを高分解能で選択できる第１図のモードに
切換えて娘イオンスペクトルを測定すると、（７られる
娘イオンスペクトルは第３図（ｂ）。
切換えて娘イオンスペクトルを測定すると、（７られる
娘イオンスペクトルは第３図（ｂ）。
（Ｃ）に示すように分解能の低いブロードなものになる
。この第３図（ｂ）に示したスペクトルが第１の質量分
析計ＭＳ１で親イオンＡを精度良く選択した時に得られ
たものであり、第３図（Ｃ）に示したスペクトルがその
親イオン八と極めて質量電荷比の近接した親イオンＢを
第１の質量分析系で厳密に選択した時に得られたもので
あるとすれば、第３図（ａ）と同図（ｂ）、（Ｃ）を比
較することにより、第３図（ａ）の高分解能スペクトル
中のピークｐａｌ、 ｐａ２．・・・、ｐａ７は親イオ
ンＡから派生したものであり、Ｐｂ１． Ｐｂ２．・・
・、Ｐｂ５は親イオンＢから派生したものであると判別
することができ、高分解能スペクトル中のピークの帰属
をも決定することが可能である。
。この第３図（ｂ）に示したスペクトルが第１の質量分
析計ＭＳ１で親イオンＡを精度良く選択した時に得られ
たものであり、第３図（Ｃ）に示したスペクトルがその
親イオン八と極めて質量電荷比の近接した親イオンＢを
第１の質量分析系で厳密に選択した時に得られたもので
あるとすれば、第３図（ａ）と同図（ｂ）、（Ｃ）を比
較することにより、第３図（ａ）の高分解能スペクトル
中のピークｐａｌ、 ｐａ２．・・・、ｐａ７は親イオ
ンＡから派生したものであり、Ｐｂ１． Ｐｂ２．・・
・、Ｐｂ５は親イオンＢから派生したものであると判別
することができ、高分解能スペクトル中のピークの帰属
をも決定することが可能である。
第４図は上述した衝突室ＣＣ９中間スリットＳ。
Ｓ′の移動及びスリット幅の可変を行うための移動調整
機構の一例を示す平面図であり、第５図はそのＤ−Ｄ断
面図である。
機構の一例を示す平面図であり、第５図はそのＤ−Ｄ断
面図である。
第４図及び第５図において、１は真空に保たれたハウジ
ング２内に設置される移ｖノ台であり、移動台１には中
間スリットＳ、衝突室ＣＣ１中間スリットＳ′がイオン
通路１に沿ってこの順序で固定されている。この移動台
１は、ラック３及びビニオン４によりガイド５に沿って
移動可能である。
ング２内に設置される移ｖノ台であり、移動台１には中
間スリットＳ、衝突室ＣＣ１中間スリットＳ′がイオン
通路１に沿ってこの順序で固定されている。この移動台
１は、ラック３及びビニオン４によりガイド５に沿って
移動可能である。
６は真空外からビニオンを回転させるためのハンドルで
あり、このハンドルとビニオン４との間は、台の移動を
考慮して自在継手７．８及びスプライン継手９で接続さ
れている。
あり、このハンドルとビニオン４との間は、台の移動を
考慮して自在継手７．８及びスプライン継手９で接続さ
れている。
１０．１１は中間スリットｓ、ｓ’のスリット幅を可変
するスリット幅可変機構、１２．１３は真空外からスリ
ット可変機構を操作するためのハンドルであり、ハンド
ルと可変態構の間はやはり台の移動を考慮して自在継手
１４．１５，１６゜１７及びスプライン継手１８．１９
で接続されている。
するスリット幅可変機構、１２．１３は真空外からスリ
ット可変機構を操作するためのハンドルであり、ハンド
ルと可変態構の間はやはり台の移動を考慮して自在継手
１４．１５，１６゜１７及びスプライン継手１８．１９
で接続されている。
２０は衝突全ＣＣ内へヘリウム等の衝突ガスを導入する
ための導入口、２１はハウジング２を貫通するガス尋人
管、２２は両者の間を結ぶ可撓性ホースである。
ための導入口、２１はハウジング２を貫通するガス尋人
管、２２は両者の間を結ぶ可撓性ホースである。
［発明の効果］
以上詳述した如く、本発明によれば、娘イオンに関する
高分解能スペクトルを得ることが可能となり、更に該ス
ペクトル中の各ピークの帰属の決定をも行うことができ
、特に第２の質量分析系として小型のものを用いた場合
に有効である。 ′
高分解能スペクトルを得ることが可能となり、更に該ス
ペクトル中の各ピークの帰属の決定をも行うことができ
、特に第２の質量分析系として小型のものを用いた場合
に有効である。 ′
第１図は本発明の一実施例を示す図、第２図及び第３図
は第１図の実施例の動作を説明するための図、第４図及
び第５図は移動調整機構の一実施例を示す平面図及び断
面図、第６図は従来例を示ず図、第７図は衝突室内での
娘イオンの広がりを説明するだめの図である。 Ｉｓ・・・イオン源 ＭＳｌ・・・第１の質Ｍ分析系 ＭＳ２・・・第２の質量分析系 ＣＣ・・・衝突室 ＩＤ・・・イオン検出器ｓ、ｓ
’ ・・・中間スリット
は第１図の実施例の動作を説明するための図、第４図及
び第５図は移動調整機構の一実施例を示す平面図及び断
面図、第６図は従来例を示ず図、第７図は衝突室内での
娘イオンの広がりを説明するだめの図である。 Ｉｓ・・・イオン源 ＭＳｌ・・・第１の質Ｍ分析系 ＭＳ２・・・第２の質量分析系 ＣＣ・・・衝突室 ＩＤ・・・イオン検出器ｓ、ｓ
’ ・・・中間スリット
Claims (1)
- イオン源と、該イオン源で生成されたイオンが導入され
る第１の質量分析系と、該質量分析系を通過したイオン
の中間集束点に配置される中間スリットと、該中間スリ
ットを通過してイオンが入射する衝突室と、該衝突室か
ら出射したイオンが導入される第２の質量分析系と、該
第２の質量分析系を通過したイオンを検出するためのイ
オン検出器とを備えた質量分析装置において、該衝突室
のイオン出射側に第２の中間スリットを配置すると共に
、第１及び第２の中間スリットと衝突室を一体的にイオ
ン通路に沿って移動する機構を設け、２つのスリットを
選択的に前記中間集束点位置に配置し得るようにしたこ
とを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214650A JPS6193544A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59214650A JPS6193544A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6193544A true JPS6193544A (ja) | 1986-05-12 |
Family
ID=16659275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59214650A Pending JPS6193544A (ja) | 1984-10-13 | 1984-10-13 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6193544A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4861987A (en) * | 1987-11-03 | 1989-08-29 | Devienne Fernand Marcel | Process for the detection of a chemical substance of known mass M |
| US5097124A (en) * | 1989-11-24 | 1992-03-17 | Devienne Fernand Marcel | Apparatus and process for the detection in an atmosphere to be monitored of a chemical substance of known mass m and whereof the dissociation fragments are known |
| US5101105A (en) * | 1990-11-02 | 1992-03-31 | Univeristy Of Maryland, Baltimore County | Neutralization/chemical reionization tandem mass spectrometry method and apparatus therefor |
| GB2394290A (en) * | 2002-10-14 | 2004-04-21 | Boris Zachar Gorbunov | Method and apparatus for counting ions in a sample |
-
1984
- 1984-10-13 JP JP59214650A patent/JPS6193544A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4861987A (en) * | 1987-11-03 | 1989-08-29 | Devienne Fernand Marcel | Process for the detection of a chemical substance of known mass M |
| US5097124A (en) * | 1989-11-24 | 1992-03-17 | Devienne Fernand Marcel | Apparatus and process for the detection in an atmosphere to be monitored of a chemical substance of known mass m and whereof the dissociation fragments are known |
| US5101105A (en) * | 1990-11-02 | 1992-03-31 | Univeristy Of Maryland, Baltimore County | Neutralization/chemical reionization tandem mass spectrometry method and apparatus therefor |
| GB2394290A (en) * | 2002-10-14 | 2004-04-21 | Boris Zachar Gorbunov | Method and apparatus for counting ions in a sample |
| US7372020B2 (en) * | 2002-10-14 | 2008-05-13 | Boris Zachar Gorbunov | Ion counter |
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