JPS5960329A - エネルギ−線束センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、一般にエネルギー線束の測定に関するもので
あり、特に、熱線束の１ｌｉｌＪ定、すなわち、単位時
間に壁の単位面積を；ｌｌｉる熱の量の測定並びに可視
光線又は赤外線の画定に関するものである。

本発明は、熱線束計を構成するエネルギー紐束測定装置
、すなわち、例えば、絶縁利料又は構造要素の熱伝導率
又は抵抗なΔＩＪ定するのに用いられろ熱線束６１０定
装置に関するものである。

周知のように、薄肉及び肉↓１２．のある棟の絶縁材料
の熱特性の測定には、大きな測定表面を有する上記の型
式の装置の使用が必要とされる。

このような測定を行なうのに、既に、多数の種類の熱線
束計が提案されている。例えば、ヨーロッパ特許第ｏｏ
ｏ３コア／号明細書に記述されている線束ｎ［は、電気
的に絶縁性の拐料から形成された基板を有し、この基板
内に横断穴の網及び直列に接線された複数の熱電対が形
成されている。熱電対のホット（高温側）接合点及びコ
ールド（低温側）接合点は、基板の両面にそれぞれ設け
られた銅及びニッケルのような金属被法から形成されて
おり、他方、各熱電対の導体は、基板の両面並びに基板
を貫通する隣接の穴の壁にそれぞれ付着された金属被覆
によって形成されており、コールド接合点及びホットＪ
’ｔＱ合点を相互に接続すると共に熱電対を直列にＪ２
ｅ　ｋする働きをしている。

上記の構造によれば、熱電対を直列に接続して構成され
た装置の端子に、基板の各部分における温度間の差の関
数として、すべての熱電対により発生される起電力の和
である電圧を発生することができる。

それ自体公知の仕方で、この電圧の値を利用して、線束
計を通る熱線束な測定することができる。

この線束計は、導体が基板の穴に（５人された導線片に
よって構成され、次いで、適当な場所に溶接されている
従前の線束計に対して、大きな進歩ではある。実際、実
施に肖たって正確な手作業を必要とする導線の使用及び
ろう付けは、不用となり、代わりに、正°確な作梨を必
要とせず、非常に信頼性の高いメクライゼイション（金
属付着処理）及びホトエツチング法によって自動的に、
しかも、完全に再現が可能で、製造工程を大きくするこ
となく、接合点の数を増加することができて、個別的で
はなく、全体的に実現可能な金属付着法が採用されてい
る。

その結果として、次ぎのような利点が得られる。

すなわち、 良好な幾伺学的及び電気的再現性を伴って、流れ作朶形
態で製造速度を高めつつ大きな面積及び種々ｌよ形態な
イ１する線束泪の実現が可能であること 接合点の形成が均等に（むもがなく）実現し得ること ろう付りが不用になるために、基板面上に過厚部若しく
は隆起部が存在しないこと 単位面イλ当たりの接合点の数を増加することにより、
大きな感度が得られること 表面導体を形成する金属板により、表面温度の積分若し
くは累イλが可能であること基板の高温面及び低温面を
４１゛＃−成する一個の平’ｉｉ’＋’ｉが形成され、
こ）ｔら一個の平面は良好な等温性を呈すること などである。

しかしｌＬから、１１ξ基板を横切る穴の壁の上に金属
伺着を行なうことが困難であったり、高い費用を要する
等の理由並びに印刷回路の製作が目的で設計されている
メタンイゼイション（金属付着処理）工場には、ある種
の金属の旬着用の設備が設けられていない等のＪ１１１
山がら、付着される金属の選択に制限がｎ！卜せられた
り、熱電気的効率が決して良くない金属対を選択して線
束計を製作せざるを得ないという４）態がしばしば起こ
る。

更に、上述の綜束計においては、り（の金属被覆及び熱
電対を形成する金属が別種類のものであるので、製造過
程が複雑になる。

また、単位面積当たりの接合点の数を大きくすれば、熱
短終が生ずる危険が高まり、そのために、感度を太きく
しようとする試みには、限界が課せられる。

本発明は、上に述べた従来の線束計の欠点、すなわち、
厚さの減少が困難で、そのために、熱が横方向に逃げた
り、ある種の熱慣性が斎されること、熱短絡の危険があ
るために、接合点の密度を太き（することが不可能であ
ること、熱電対を形成する金属の選択が制限されている
こと等の欠点を除去しようとするものである〇本発明は
、また、熱線束の測定ばかりではな３．５え９、Ｔ＋ｌ
４ＪＡ）’ＣＪＡヤｌＦ外＊、！（１）　ヨ５　ｔｘ％
ｃｒｖ　”！’ルギー線線束１ｌｌＩ定にも用いること
ができる線束計を提供しようとするものである。

本発明によれば、電子産業の分野で既に製作されている
要素を用い、しかも、電子産業の分り！ｆで現在実施さ
れている方法で処μ（４ｒｌＪ能であり、且つ（又は）
現在用いられている金属被伎を使用し、収率な高め、し
かも、特殊な点検作業を必要とせず、熱電対を形成する
金属又は合金の選択の自由度が大きく、熱電対の接合点
の密度を増加することができ、更に、基板を横切って設
けられるすべての穴を同じ金属で被覆することができる
、線未計に使用可能な新規なセンサ（綜東捕捉装置）が
提案される。

この新規なセンザ若しくは線束捕捉装置は、上に述べた
線束計のセンサの利点を有すると共に付加的な利点を有
し、特に、良好な性能及び良好な感度を可能にする。

本発明のエネルギー束のセンサは、線束に対して垂直に
配置される互いに平行な面の各に第一の金属又は合金か
ら形成された板片が被株された熱的及び電気的に絶縁性
のオ］料から成る基板を有する。この基板には、それぞ
れ、一つの面の板片を他の面の接続がなされていない一
つの板片に接続する穴が厚み方向に貫通して形成されて
おり、穴の壁は、上記の第一・の金属で破缶される。上
記基板の厚みの中には、基板面に平行に、上記第一の金
属に対して熱電気的性質を有する第二の金属又は合金か
ら形成されて互いに分離された面要素が配設され、これ
ら面要素の各の一個の点が、熱１Ｌ対のホット接合点及
びコールド接合点を構成し、これら−個の点は、それぞ
れ、上記穴の壁に形成された８１′−一の金属又は合金
の被孜より基板の各面の金属板片に接続される。このよ
うにして、上記−個の板片は、あらかじめ分離されてい
る面要素を介して互いに接続される。

装置の対称性に関する理由から、基板の面に対して平行
な１個又は複数の平面に属する面要素は、それぞれ、上
記２個の面間のλ分位置に設けるか、あるいは、これら
の一個の面間のコ分位置に位置する平面に対して対称的
に配置する片から４’ｆｉｉ成するのが有利である。

また、基板の各面上の板片＆１１、それらが接続される
ポット接合点及びコールド接合点に対し垂直に配置し、
２個の板片を直接接続する穴は、基板の面に対して垂直
になるようにするのが有利である。

コールド接合点とホット接合点との間に熱橋絡が生ずる
のを回避するために、これらの接合点を有する面要素は
、−個の接合点ＩＨＪのメタライズされた路の長さが伸
長されるような形態にするのか有利である。

同じ理由から、各板片において、板片を他の面の板片に
接続する穴の端と、板片をホット又はコールド接合点に
接続する穴の端間の接続路を、この板片に形成されてジ
グザグ路をなす絶縁路により伸長するのが有利である。

一つの実施剋１様においては、各面要素は単一の片から
形成され、基板のノＩみの中に位置する単一の平面内に
配置される。

他の実施態様においては、面要素は、複数の片から４１
°ｄ成され、これら片は、基板の厚みの中に位１４する
複数の中間平面に３寸れる。このようなセンサは、直列
に接吐し、それｔこより、細束計を形成するのが有利で
ある。

この線束計を熱線束場内に配（灯すると、この熱線束を
表わす電位差が端子に現わＪしる。一つの面上で、少１
よくとも板片の上に、ｉｌＪ’　ｉ？ｌ）２光又は赤外
線を吸収する被榛及び熱変換器を設け、他方の面を一定
の温度に維持し、この線束ｈ［を可視光又は赤外線路上
に配ｆｆ２すると、このような光線を特徴的に現わす電
位差が端子に現われる。

本発明の他の特徴及び利点は、添付図面に単なる例とし
て示す本発明の好ましい実施例に関する以下の説明から
明らかとなろう。

第１図は、熱線束又は放射線束の測定に用いられる線束
計で使用可能なエネルギー束センサの部分を示す。この
センサは、剛性又はたわみ性の単一の板又は接合された
複数の板の形態にあり、例えば、エポキシ・ガラスのよ
うな温度安定性を有し、電気的及び熱的に絶縁性で、等
方性の均質な旧料から形成された基板／を有している。

矢印Ｆで示したＭ　ａ（１１定工ネルギー束に対し垂直
に配置された基板の面コＣ及び、２ｆの各には、互いに
電気的に絶縁され【並置された、例えば、銅のような第
一の金属又は合金から形成された、例えば、長方形の金
属板片３Ｃ及び、７ｆが被着されている。

基板ｌの同じ厚さレベルに位置し、面、２ｃ及び−２ｆ
に対して平行な中間平面９内には、参照数Ｓで示すよう
な互いに分離された金属面を有する要素Ｓが配置されて
いる。これら要素Ｓを形成する金属又は合金は、板片３
Ｃ及び、？　ｆの第一の金属に対し熱電気的性質を有す
るように選ばれている。例えば、第一の金属が銅である
時には、コンスタンタンから形成される。

面コＣに垂直な方向に基板／を横切って穴あけされて、
壁が金属又は合金層で被覆されている穴乙が、各面要素
Ｓの点若しくは領域りを、板片３ｃに設けられて各板片
３Ｃの中心に位置する点若しくは領域ｇに連結している
。

面コｆの方向に基板／を横切って穴あけされて、金属又
は合金層で被覆されている壁を有する穴９は、各面要素
５の他の点若しくは領域１０を、板片ＪｆｔｌＣ属し、
且つ板片３ｆのほぼ中心に位置する点若しくは領域／／
に結合している。

このようにして、一つの板片Ｊｃ、一つの金属被覆され
た（メタ２イズされた）穴６、一つの金属面要素Ｓ、一
つの金属被覆された穴９及び一つの板片３ｆかも構成さ
れた各組立体は、それに先行及び後続する同じ壓の組立
体に電気的に接続される。この目的で、各組立体の板片
Ｊｃの内側の好ましくは縁部に位置する点若しくは領域
／ダかも金属被覆された穴／−が基板ｌの全厚を横切っ
て、先行する組立体の板片３ｆの好ましくは縁部の点若
しくは領域／３で面コｆＫ達している。

穴／コを被覆する金属又は合金は、良好な導電性を有す
るように選択され、他方、穴６及びワを被覆する金属又
は合金は、特に、良好な熱伝導性を有するように選択さ
れる。

センサの製作を簡略にし、容易にするためには、すべて
の穴を被覆する金属又は合金並びにすべての板片を形成
する金属又は合金を同じ金属又は合金とするのが有利で
ある。特に、面要素５が銅から形成される場合には、銅
と比較して良好な熱電気的性質を有するコンスクンクン
を選ぶのが好ましい。しかしながら、熱電対を形成する
他の金属又は合金をも同様に用いうろことは、いうまで
もない。

異なった一個の金属又は合金の接触点に位置する各金属
面髪素、ヤの一個の点７及び／θが、熱電対の各ホット
（島温）及びコールド（低温）接合点を構成する。この
ようにして什、：成された種々の熱電動は、金！Ａ被椋
された穴６、板片３ｃ、金属被（λされた穴／、２、板
片３ｆ及び金属被覆された穴りによって互いに直列に接
続されている。

各熱電対のホット接合点７及びコー・ルド接合点ＩＯ間
に温度差か存在する時に（，１、直列接続された熱電対
の両端に電位差が現われる。例えば、ヨーロッパ４も１
ｊｌｆＥＰＯＯＯＪ、２７／号に既に記述されておって
公知であるように、直列接続の両端に至る４体も、第１
し１及び第７図に示すように、金札被Ｘｊ戦Ｉ／ｊｔ、
／ｂで形成するのが有利である。

装置の対称性を考慮もて、内部平面ダば、基板／のＪｖ
、さの中心に位置するのがイｊ利である。

上に述べた装置は、次ぎのような仕方で動作する。

各ＹＩｊ＋に板片３ｃ及びＪｆを被着され、金属被覆さ
れた穴６．９及び／コが形成され、しかも中心面に金属
面要素Ｓを有している上述の基板／を、面−ＩＣＰびＪ
ｆ並びにホット接合点７及びコールド接合点ＩＯを有す
る面ダに対し垂直なエネルギー束、例えば、外部熱線束
内に矢印Ｆで示す方向に配置すると、−個の向コＣ及び
、２ｆ間には温度こう配が生ずる。従って、面コＣ及び
、２ｆに属する各金属板片３ｃ及び３ｆには、異なった
温度Ｔｃ　及びＴｆ　が現われる。板片３Ｃにより「ホ
ット」面と称する面一〇で検出された熱は、穴６の熱伝
導性金属被機を介して中央平面内に位置している金属面
要素ｊの点７に伝達される。同様にして、板片３ｆによ
りいわゆる、コールド面−ｆで検知された「冷気」は、
中央平面ダの金属面要素Ｓの点１０に伝達される。その
結果として、種々な熱電対のホット接合点７及びコール
ド接合点７０間には電位差が生じ、この電位差は、２個
の面、２ｃ及び３１間にイト在′ｌる温度差の表示どな
る。このようにして、各熱意対は電位差を発生し、しか
も異なった熱電対は、穴Ａ、　？、　／コ並びに板片３
Ｃ及び３ｆにより電気的に直列に接続されているので、
センサ組立体の一個の端子からセンサが投入された熱線
乗場を特徴付ける電位差を収集的に得ることができる。

より良好な機能を確保するためには、各板片３ｃ又は３
ｆと、これら各板片が接続されているホット又はコール
ド接合点り又はＩＯとの間における熱伝導を良好にする
のが有利である。

従って、使用する金属又は合金の選択に当っては、穴６
及びワの内壁を非常に高い熱伝導率を有・する金属又は
合金で被覆するのが好ましい。

反対に同じ熱電対に属するホット接合点７及びコールド
接合点７０間の熱伝導は制限することが重要である。こ
の熱伝導は、上記−個の接合点間の温度差を減少し、ひ
いては、センサの感度を減少することになるからである
。同様に、金属被覆された穴ｌコを介しての熱伝達によ
り基板／のホット若しくは高温面、２ｃとコールド若し
くは低温面コでとの間の温度Ｔｃ　　及びＴｆの等化は
最大限に避けるように゛することが重要である。このよ
うな見地から、板片３ｃ及び３ｆ並びに金属表面要素Ｓ
の幾何学的形状を変形することが可能である。

上の見地から、第一図は、一個の面コＣ及び３１間並び
にホット（高温）接合点り及びコールド（低温）接合点
７０間の熱伝導を減少するための可能な形状変更の７例
を示すものである。

この変形例においては、高温面コＣに属する点から低温
面、２ｆに属する点７ノ並びにコールド接合点７からホ
ット接合点１０に延びる金属路が最大限に伸長されてい
る。この金属路の伸長は、板片３ｃ及びＪｆ内に熱的に
絶縁されて板片３ｃの点ざと、／ｌとの間並びに板片３
ｆの点ｌ／と点／Ｊとの間にジグザグ路を形成する経路
／７によって達成される。このジグザグ路の形態を変え
ることができるのは、いうまでもない。

第一図は、板片の縁／３．　／’ｌの長さを７１１１１
１の数１０倍はど長くする絶縁路／７を有し、点／３及
び／ｌ／−の反対側で板片の辺に接続されている形態の
１例を示す。面要素Ｓに関しては、当該路の伸長は、面
要素に、第一図に示すような、はぼＳ字形の形状を付与
することにより達成される。この場合、ホラ）９合点り
及びコールド接合点ＩＯは、Ｓ字状路の両端に設けられ
る。従来の線束計、特に、８２０００３２７７号明細書
に記述されているものと比較ｌ−１本発明によれば、第
三の平面、すなわち、中間平面ダがホット（熱）及びコ
ールド（冷）接合点に用いられ、そして、この中間年回
は、線束な捕捉する働きをなす板からは分離されている
。

この付加的に設けられた平面ｔにより、単位面積当たり
の接合点の密度を従来のものよりも相当に太き（するこ
とができる。

更に、線束計の感度を改良するために、板片３ｃ並び３
ｆ及び金属面５を屋根がわら状に配置することが可能で
ある。

例として、板片３Ｃを上記のように配列した実施例が、
第３図に示しである。各板片３Ｃへひし形の形状を有し
ており、実際上接続される他の板片によって取巻かれて
（・る。各板片内には、絶縁された路、すなわち、ジグ
ザグ路／りが設けられている。

各ひし形の中心には、図面に白で示した点が見られるが
、この点は、金属被榎された穴６が達する点ｔを表わす
。絶縁ジグザグ路１７によって取巻かれ、各ひし形の内
角部に設けられている円は、金属被υされた穴／、２の
到達点ｌダに対応する点である。各ひし形の外部には、
環／りにより包囲された新しい点７ｇが現われている。

これまで基板／の厚さの一分の〕の部分だけ横−ｐ７る
ものとして述べた金属被抜穴６及び９は、実際上製造を
容易にするために、基板／の厚さを完全に横断して形成
されており、他方の面に１ｇで示す個所で開口しており
、そして環ノ９は、製造時に穴の内部に金属付着が生ず
るのを保睦するための金属環を表わす。

基板の他の向上の板片も同じように配列されているが、
上記の第一の面のひし形板片に対し第二の面のひし形板
片の中心が、第一の面の環ノ９に、）、り取巻かれてい
る穴／ＩＩに対応するように位置′の偏りをもって配置
されている。このような穴６及びりの貫通部分は、第１
図及び第２図にも示されている。

更に、第ｙ図に示すように、一連の熱電対が高温面の板
ハであれ、低温面の板片であれ、１個の板片を取囲むよ
うに配列するのが有利である。図示の出力側の板片３Ｓ
は、−個の出力電気導体に接続されており、また、これ
ら一個の電気導体の軌跡は、短絡の危険χ回避するため
ｉ／Ｃ１ＩｇＪ図に示した軌跡とは若干異なった軌跡に
なっている。すなわち、絶縁路７７間に位置する板片を
縁取る縁部導体リボン及び板片の縁は、例えば、導体／
Ｓ及びｌ乙に接続されている辺と反対の辺で中断されて
いる。こｉｉ、ｒ−）−個の回路は、従つズ、板片３Ｓ
に対し分離され、導体／Ｓは領域／＋（又は／３）と接
触し、一方、他の導体／６は、領域ｔ（又は／／）と接
触する。

このようなセンサを製造するに当っては、板片３ｃ、、
？ｆの形態であれ、面要素Ｓの形態であれ、金属被接は
、半分の厚さの一枚の絶縁基板上に３個の層を形成しホ
トエツチングにより集塊することができる。

この場合、基板の一個の厚さは、例えば、コンスタンタ
ンの内部伺着Ｓが、例えば、銅から形成される板片Ｊｃ
及びｊｆに対し心出しされそれにより、対称的な糸が得
られるようにするのか有利である。

次いで、被槙が施された一個の厚さ方向に一分された基
板を貝ねて圧着し、接合し、第１図及び第一図に示した
ような構造にし、次いで、穴を形成し、例えは、銅で金
柄被わｊする。

製造効率に関連する伺料の処加性に関連して基板／の厚
さの一分のノのルさをイｊし、一つの面に銅が４１５ｕ
された亮−のエホキシ・ガンス担体を用い、それに、一
つり面にカトリが被宥され、他の面にコンスタンクンか
被着され”〔いる同じ厚さの第二の担体を組合わ姓るよ
うにして製作を単純化することができる。

ホットエツチング技術によれば、容易に、６ｍ２　　当
たり、２００のコールド接合点と、７００のホット接合
点という程度の密度を問題な（達成することができる。

このように大きな接合点密度が可能であること、すべて
の穴に同じ金属付着を非常に容易に行ない得ること並び
に実際に用いる熱電対を自由に選択し得ることにより、
ＥＰ　０００３．２７／号明細書に開示されているセン
サの性能よりも、はるかに改善された性能が得られる。

例えば、本発明によるＯ６７ｗｔｎ厚さの線束針＋２同
じ接合点密度を有するコ。ｌＩａ厚さの従来型（ＥＰ　
０００３．２７／　　に記載のもの）の線束針よりも、
ｌ。３３倍はど大きい感度を有する。

穴の壁に被着される被穏の厚さ並びに板片の厚さとして
、き裂を避けるために少１よくともＳμとし、一般には
ＳＯμとすることができ、そして、基板は、０．／ｗｍ
程度の厚さとすることができるが、基板の厚さは、もつ
と大きくし、例えば、−〜３簡あるいは１０ｘにもする
ことができる。

更に、感度を高くするために、８１↓Ｓ図、第６図、第
７図に示すセンサの変形例を採用することができる。

これらの変形例においては、基板の厚みの中に配置され
る金属面要素３は、単一の片ではなく、しかも、基板ｌ
の面、２ｃ及びコでの中間位置にある単一の中心平面ヶ
に含まれるものではなく、基板の厚みの中の異なった中
間平面に属する複数の片に分割され、また、同一の面要
素３に属する異なった片は、いずれも場合にも、電気的
に接続される。

図示の例においては、面要素Ｓは、−個の片／９及び−
〇から形成されており、６片、例えば片／デは、基板の
厚みの中で、他の片、例えば、−〇を含む中間平面ココ
とは異なった中間平面−ノ内に配置される。−個の平面
−ノ及び、２コ内に配置されたこれら分割された片／９
゜、２０は、基板に穴あけされて２個の点−ダ及び、２
Ｓを接続する穴、ＩＪの金属被覆により電気的に接続さ
れる。別法として、製造を容易にするために、基板組立
体／を横切る穴コ３に、２個の片／り及び、２０を交差
させることができる。

基板／の面、２ｃ及びコｆにおけるこの穴２３のλど 出口は、製造時に用いられる金属環↓±、−７によって
包囲される。面要素Ｓが３個以上の片から構成される事
例では１．２３で示すような複数の穴が必要である。

先に述べた実施例の場合と同様に、各面要素Ｓは、穴乙
の金属被接により、面、２ｃの−っの板片ＪｃＫ接続さ
れると共に、他方、また、穴９の金属被覆により一つの
板片３　ｆ　Ｋ　Ｊ２ｊ　ａされる。前に述べた実施例
の場合には、穴６及び９を基板／の全厚を貫通するよう
に穴あげする製造方法が採られたが、ここで述べている
変形実施例においては、穴６及びワは、もはや完全に貫
通せず、単に金属要素Ｓの一個の点若しくは領域７及び
ＩＯをそれぞれ板片３ｃ及び３ｆに接続するだけであり
、面要素若しくは金属要素！を越えて延びてはいない。

面要素３０片に形成される穴６及び？の端は、環２ｇ、
　、２９にまり縁取るのが有利である。

先に述べた実施例の場合のように、面要素Ｓが複数の片
から構成される場合でも、同じ面要素！の点７と１０と
の間における熱伝導は、減少するようにすべきである。

既に述べたよう一一個の点７及び７０間の距離を伸長す
る形状、例えば８字形状を与えるのが有利であり、この
変形例においては、６片が８字の一部分を構成するよう
になっている。特に、−個の片／９゜−〇の場合には、
それぞれが半Ｓ字形に形成される。複数の面要素片Ｓを
それぞれ含む複数の中間平面を用いることが可能である
ので、この形状の選択及び表面要素片の配置の選択にお
ける自由度は先に述べた実施例よりも相当に大きい０ この変形例によるセンサの製造に当たって國例えば−個
の片から成る面要素Ｓを用いる場合−個の同じ厚さの基
板を用いて、その−個の面にそれぞれ熱電対な構成する
ように適応された一個の金属、例えばＣｕ　及びＣｔ　
　の各で同様にメタライズする。そして各基板−分体を
横切って穴６及びワを穴あけし、穴６及び９の中に、例
えば、銅の第一の金属被接を設け、そして、環、２ｇ及
び、２９を形成する。

例えば、Ｃｔ　　で被接された面に、ホトエツチングに
よって、金属要素！に属する片の輪郭を形成する。そこ
で、電気的及び熱的に絶縁性の接合剤を用いて一個の基
板要素を結合し、その場合、Ｃ１で恍われた一個の面、
若しくは、Ｃｕ　／　Ｃｔ以外の熱電対を選択した場合
には、同じ働きをなす金属又は合金で榎われた一個の面
を向かい合わせに配置する。次いで、基板／を構成する
一個の基板要素を横切って穴あけすることにより、２個
の他の穴を形成する。これらの内の一方の穴ノ設は、面
ＪＣ及び、２ｆを績む穴であり、他方の穴ココ３は、同
じ要素Ｓの一個の片ｌ？及び、２０を横切る穴である。

熱電対Ｃｕ　／　Ｃｔを選択した場合には、これらの穴
あけされた穴をＣｕでメタライズし、同時に、面２ｃ及
びλｆにＣｕ　を被着し、そして、板片３ｃ及び３ｆを
画定する輪郭を形成するように上記面をエツチングする
。

金属製ＸＳを形成する一個の片は、対称形状とし、６片
を半Ｓ字形状とした場合に組立て後に第左図及び＠６図
に示したのと同様に、Ｓ字を構成するようにすることが
できる。また、全く同じ形にし°Ｃ組立て稜妬、第７図
に示すような形状、すなわち、上から見てオメガ（ω）
形状を有する金々１要素Ｓが構成されるようにしても良
イ０ω形状の金ＰＡ要素３を有するとのセンサには、同
じ被覆を有し且つ同じ形態を有する一個の同じ基板要素
から出発して製造を簡単圧することができるという利点
が得られる。

この変形例においては、電気的伝導を確保する付着若し
くは被覆及び熱伝導をＨ（＃保する付着では、別々の段
階で形成される。従って、熱伝達及び電気伝導の各機能
ごとに、付着若しくは被捷Ｏ厚さを対応の機能に適応さ
せて、熱短絡回路を形成するような無用な過厚部を無く
すことができる。

被覆の厚さ及びノイ（、板の厚さの範囲は、第一番目の
実施例について述べたのと同じ程度とすることができる
。

センサの接ｉ：も、前の実施例と同様に行なうことがで
きる。

周知のように、特に、中間平面ｌの中又は複数の中間平
面の中あるいは、また、伺加的に設けられた平面内に、
例゛えば、熱電対を形成する金属又は合金の付加的な付
着によって実現される温度センサを配設することも可能
である。

熱ｆｌ）′４束に対して垂直に配置ｄさ臂またこれらの
センサ又１ｌ−１：線束計により、熱線束を表わす１１
工位差が発生されろ。

壁又は管に並設されてそれぞれ上記のような一つの表示
を発生するこれらセンザ若しくＶよ線束計は、特に、起
こり得る熱の漏ｉ上を検出し、その位置を探知する目的
で上記壁又は−］二市Ｊ管の種々な領域を横切る熱線束
の測定に用いることができる。

また、このようなセンサ又は線束計は、放射若しくは光
エネルギーを熱エネルギーに変換する変換器と組合わせ
、他のエネルギー束、％に、可視光線又は赤外線束の測
定に用いることかで　・き、エネルギー変換により発生
された熱は、既に述べたのと同じ仕方で、センサ又に１
゛線束劃により感知され処１１＋１される。

エネルギー変換器は、可視光線又は赤外線の場合、単に
、このような光線を吸収して加熱する既述の線束計の面
の一つの被色とすることができる。例えば、高温面の少
なくとも板片３ｃの」二に、黒色被覆を設け、それによ
り板片Ｊｃを加熱し、板片３Ｃでセンサ又は線束側のり
１４子に電位差の発生を行なうようにすることができる
。

センサ又は線！Ａ１４泪の他方の面、例えば、低温面は
、このＪｄ、５合、一定の温度に糾持するのが好ましい
。慣に、この低温面は、一定の温度を有する物体と接触
しておくことができる。

板片の１（ｉ稍と比較して細線部／９の面積が小さいこ
とを考慮ｔ７、環の一方の面の面積全体に、例えば、黒
色金属被覆、特に、金の黒色被覆又は黒色の塗料を塗布
することができる。

【図面の簡単な説明】

第７図は、線束計で用いられるセンソの種々な要素の槻
能を図解する原理的斜視図、第一図は金属被覆の好まし
い実施態様を示す略図、第３図は一つの面上の被覆の配
列を示すセンサの頂面図、第９図は線束計の端子への電
気接続導体を取出す構成を示す略図、第３図はセンサの
変形実施例を示す略図、第６図は第５図の変形実施例に
おける被覆の形朗を示す略図、第７図は第Ｓ図の変形実
施例において用いられる他の被覆の形状を示す略図であ
る。 ノ・・・基板、２ｃ・・・高温側基板面１．７ｆ・・・
低温側基板面１．ｊｃ、Ｊｆ・・・金属板片、ｔ・・・
中間平面、３°°°導電性面要素、Ａ、　？、　／り・
・・メタライズした穴、７・・・ホット接合点、ｌθ・
・・コールド接合点０ ＦＩＧ−３ ＦＩＧ−４

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／　熱的及び電気的に絶縁性の祠料がも形成された基板
   （１）を有し、基板の線束に対して垂直な相互に平行な
   面（−Ｃ−コｆ）の各は、第一の金属又は合金から成る
   板片（Ｊｃ、Ｊｆ）を被着され、更に、基板は、それぞ
   れ−っの面の−っの板片（Ｊｃ、Ｊｆ）から他の面のま
   だ接続されていない一つの板片（、ｚｆ、　ＪＣ）にｈ
   す続を行なう八（／コ）によって貫通されており、穴の
   壁も同じ第一の金属で被しされているｌｌｉｌＨ式のエ
   ネルギー線束センサにおいて、前記基板の厚みの中に前
   記面（２ｃ、コｆ）に対して平行に、前Ｈ［シ第一の金
   属若しくは合金に対し熱電気的性質を有する第二の金属
   又は合金から形成されて分離された面要素（Ｓ）を有し
   、熱を対のホット接合及びコールド接合を構成する前記
   面要素０＞の各の一個の点（７，／の　は、前記２個の
   点（７，／の　を前記板片（、？Ｃ，Ｊｆ）に結合する
   穴（’ｔ’）の壁に前記第一の金属又は合金の被覆を設
   けることにより、前記基板（１）の各面（、ｙｃ、　、
   ２ｆ）の一つの金Ｒｒ４板片（，７ｃ、、Ｊｆ）に電気
   的に＆：続され、それにより、前記２個の板片（Ｊｃ、
   、Ｊｆ）が、ル）らかじめ分割されている前記面要素（
   ３つな介して接続されることを特徴とすルエネルギー線
   束センツー。 、２　基板の各向上の板片（Ｊｃ、　３ｆ）は、板片が
   接続されている各ホット及びコールド接合点（７，／の
   　に対し垂直に配甑され又いる特許請求の範囲第１δ゛
   ｊ記載のエネルギー線束センサ。 ３　対向する一個の板片（、ｙｃ、Ｊｆ）を直接接続す
   る穴（７，２）　　が、基板（１）の面（，２ｃ、Ｊｆ
   ）に対して垂直に延びている特ｔ′Ｆ　ｎｉ４求の範囲
   第一項記載のエネルギー線束センザ。 タ　各板片（Ｊｃ、、Ｊｆ）において、板片を他の面の
   板片（、？ｃ、、？ｆ）に結合する大の端（／ｙ、／３
   ）と、前記板片をホット接合点（７）又はコールド接合
   点（／の　に結合する穴のψｌｌ：ｉ　Ｕ　／））　　
   との間の径路が、板片（Ｊｃ、Ｊｆ）の中罠形成されて
   ジグザグ路を成す絶縁路（１７）により伸長されている
   特ｉｉｉ′ＦｉｉＩＩＪ求の範囲第７項ないし第３項の
   いずれかに記載のエネルギー線束センザ。 ｓ　板片（Ｊｃ、Ｊｆ）に形成された絶縁路が第２図に
   示す形状を有している特許請求の範囲第Ｖ項記載のエネ
   ルギー線束センサ。 ム　各面（２ｃ、　Ｊｆ）上の板片（Ｊｃ、、７ｆ）が
   、対向面（２で、コＣ）の板片（Ｊｆ、　Ｊｃ）に対し
   位ｊＥｉ、が互い違いにずれている特許請求の範囲ｇＢ
   　／項ないし第５項のいう゛れかに記載のエネルギー瞭
   束センサ。 ２　板片（、？ｃ、、７ｆ）が、各面上で辺を１４４’
   ＆して配置され、それにより、板片が関連の面の表面全
   体を占有している特許請求の範囲第１項ないし第６項の
   いずれかに記載のエネルギー線束センサ。 ｌ　板片（Ｊｃ、　Ｊｆ）が、ひし形の形状を有し、板
   片に所属する絶縁路が板片を対向向の板片（Ｊｒ、Ｊｃ
   ）Ｋ連結する穴（／、？、／りの端の周囲に環を形成し
   ており、環は前記ひし形の一つの内角部に位１ａ、シて
   いる特許請求の範囲第７項に記載のエネルギー線束セン
   サ。 タ　ホット接合点（７）又はコールド接合点（ｌｏ）か
   らの穴に、／／）　　の端が、板片（、？（！、Ｊｆ）
   に心出しされている特許請求の範囲第１項ないし第ｔ１
   ｆＪのいずれかに記載のエネルギー線束センサ。 ７０　選ばれた金１６対が、銅−コンスタンクンであり
   、コンスタンクンが分離された面要素（３）を形成し、
   銅は他の部分に被％ｆされている特許請求の範囲第１項
   ないし第９項のいずれかに記載のエネルギー脚束センナ
   。 ｌｌ　熱１ｂ；対のホット接合点（ワ）及びコールド接
   合点（１０）間のメタライズされた往路の長さを大きく
   するために細く伸長されている特許請求の範囲第１項な
   いし第７０項のいずれかに記載のＪ、ネルギー島！束セ
   ンサ。 ／ユ　ホット居合点（７）及びコールド接合点（／のを
   イラするメタライズされた面要素（３）が、Ｓ字形状を
   有しており、前記ホット接合点（７）及びコールド接合
   点（／の　は、Ｓ字形の両端に位置する特許請求の範囲
   第１）項記載のエネルギー線束センサ。 ７３　面要素（Ｓ）が、一つの平面（りにＨシている特
   許請求の範囲第７項ないし第１．２項のいずれかに記載
   のエネルギー線束センサ。 ｌｌＡ　　面要素（Ｓ）を含む一つの平面（りが、基板
   （１）の−個の面（コＣ，コｆ）間の中心距離に位置し
   ている特許請求の範囲第１３′ｆＡ記載のエネルギー線
   束センザ。 ／、１　　一つのホラ）Ｍ合Ａ（り）又は−っのコール
   ド接合点（１０）を、一つの板片（３ｅ、、ｙｆ）に結
   合する穴（６，９）が、基板（１）を完全に貫通してお
   り、また、穴（Ａ、？）の他方の１ｒｉｉにおける端は
   、板（ｊｃ、Ｊｆ）の面積と比較して非常に小さい面積
   のメタライズされた環により包囲されている特許請求の
   範囲第１３項又はｆＪ”、’　／　４’項に記載のエネ
   ルギー線束センサ〇 ／６　面要素（Ｓ）が、基板（１）の厚さ方向の複数の
   中間３１４面に含まれる複数の片から構成され、また、
   　ｌｎＪじ面費素（Ｓ）に属する異なった片を電気的に
   ４ｊ：：続［２、特許請求の範囲第１項ないし＠　／　
   ／　Ｊｌ’（のいずれかに記載のエネルギー線束七ン１
   ゜ ／７　面要素Ｏ）か、゛基板（１）の厚さ方向のλ個の
   中間半面（，２／、２．２）に属する一個の片（ｉｔ、
   、２のに分割されている特許請求の範囲第１６項記載の
   エネルギー細東センサ。 ７ｇ　、２個の中間平面（−／、コ２）が、２個の而（
   ，２ｃ。 コｆ）間の中間距離に位置する平面に対し対称的に配置
   されて（・る特許請求の範囲第７７項記載のエネルギー
   線束センサ〇 ／’Ｚ　　同じ面懺素０＞に属する一個の片（ｌデーの
   間の電気接続が、基板（）に穴あけされて接続すべき片
   （／９．Ｊのを横切っている穴（コ３）の金属被覆によ
   って達成される％許請求の範囲第１７項又は第７を項の
   いずれかに記載のエネルギー線束センザ〇 コａ　面要素＜Ｓ＞の６片（／テ、コのが、半Ｓ字形状
   にあり、−個の片（／９．−のが−緒になつ′Ｃ８字又
   はω字状の輪郭を形成している特ｇ’ｌ’　請求の範囲
   第１り項ないし第１９項のいずれかに記載のエネルギー
   絆東センサ。 コｌ　金属被着が５ないしＳＯμの厚さである特許請求
   の範囲第１項ないし第、２０項のいずれかに記載のエネ
   ルギー線束センサ。 −ユ　基板（１）が少なくともＯ０／輝の厚さを有して
   いる特許請求の範囲第１項ないし第２１項のいずれかに
   ８８載のエネルギー線束−ヒンサ。