DE102005003723A1 - Thermosäule - Google Patents
Thermosäule Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005003723A1 DE102005003723A1 DE102005003723A DE102005003723A DE102005003723A1 DE 102005003723 A1 DE102005003723 A1 DE 102005003723A1 DE 102005003723 A DE102005003723 A DE 102005003723A DE 102005003723 A DE102005003723 A DE 102005003723A DE 102005003723 A1 DE102005003723 A1 DE 102005003723A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- thermopile
- substrate
- thin
- conductor tracks
- thick
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K7/00—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
- G01K7/02—Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using thermoelectric elements, e.g. thermocouples
- G01K7/021—Particular circuit arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/10—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects
- H10N10/17—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects operating with only the Peltier or Seebeck effects characterised by the structure or configuration of the cell or thermocouple forming the device
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Thermosäule aus mehreren Thermoelementen, bei dem auf einem sich selbsttragenden, elektrisch isolierenden Substrat mehrere Leiterbahnen in Dünn- oder Dickschichttechnik aufgetragen werden, insbesondere dass in einem weiteren Schritt auf dem Substrat angeordnete Leiterbahnen mittels Resinattechnik aufgetragen werden oder Bonddrähte an die Leiterbahnen elektrisch angeschlossen werden.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft eine Thermosäule sowie Verfahren zu deren Herstellung.
-
DE 197 46 204 offenbart in12 kaskadierte Thermoelementpaare. -
DE 42 35 768 A1 offenbart die Verwendung miniaturisierter Thermoelemente für einen Laserchip. - Nach www.hplanar.de konnten durch Mikrostrukturtechnik mit Silizium auf einer freigeätzten Membran mehrere Thermopaare strahlenförmig strukturiert und zu einer Thermosäule verschaltet werden.
-
DE 100 35 343 A1 offenbart einen Detektorkopf mit sternförmig ausgebildetem Starr-Flex-Print zur berührungslosen Temperaturmessung, bei dem mindestens zwei Detektorsignale zu einem Summensignal addiert werden. Dieses Prinzip der sogenannten Thermopiles ermöglicht das Detektieren feiner Temperaturgradienten. Diese Technik ist für zentral einfallende Wärmestrahlung geeignet und beruht auf dem Prinzip der teuren Siliziumbeschichtungs-, Strukturierungs- und Ätz-Technologie. - Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Thermosäule zum Messen von Temperaturdifferenzen bereit zu stellen, die Herstellung hierfür einfach zu halten, insbesondere zu automatisieren und dabei besonderen Wert auf eine miniaturisierte und leicht anpassungsfähige Ausführung zu legen.
- Weiterhin soll die Messung nicht auf zentral einfallende Wärmestrahlung beschränkt sein.
- Zur Lösung der Aufgabe erfolgt ein Auftrag wenigstens eines Thermoelementbestandteils in Dünnschicht- oder Dickschicht-Technik auf einem elektrisch isolierenden und schlecht wärmeleitenden, selbsttragenden Substrat.
- In bevorzugten Ausführungen
- • werden streifenförmige Thermohalbelemente mit Bondpads oder Anschlusspads ausgebildet, insbesondere in einem Verfahrensschritt,
- • wird eine Vielzahl von je zwei Thermohalbelementen über Bondpads zu Thermoelementen verbunden,
- • werden mindestens zwei Thermohalbelemente mit Anschlußpads ausgebildet oder verbunden.
- • wird die Dünnschicht mittels Resinattechnik oder physikalischer Abscheideprozesse wie Aufdampfen oder Sputtern hergestellt,
- • erfolgt die Strukturierung mittels photolithografischer Abbildung der Leiterbahnen und Ätz-Technik,
- • erfolgt die Strukturierung mittels Laserstrukturierung,
- • erfolgt die Strukturierung durch Aufdrucken und Sintern von Pasten oder Resinat mittels Siebdruckverfahren,
- • werden die zweiten Thermoschenkel aus einem Bonddraht gebildet,
- • erfolgt die Verbindung zwischen Bonddrähten und Streifen durch Reibschweißen, durch Thermokompressionsschweißen oder Schmelzflussschweißen oder ähnliche Verfahren,
- • bestehen die Thermosäulen aus den Thermoelementen mit den Schenkeln der Materialkombination Platin oder Platin-Rhodium mit Aluminium, Nickel, Nickel-Chrom-Legierung, Kupfer-Nickel-Legierung, oder Halbleitern wie InSb, GaAs, Telluriden oder Metalloxiden wie Rutheniumoxid,
- • werden zusätzliche Heizelemente auf die Substrate aufgebracht,
- • werden zusätzliche Kühlelemente auf die Substrate aufgebracht.
- In erfinderischer Weiterbildung erfolgt ein Aufbringen eines zweiten Thermohalbelements auf vorstrukturierte Thermohalbelemente. Als zweite Thermoschenkel eignen sich besonders dünne und leicht verarbeitungsfähige Drähte, sogenannte Bonddrähte. Diese Bonddrähte können nach den bekannten Bonding-Verfahren mit den ersten Thermoschenkeln verbunden werden, insbesondere über Bondpads vorzugsweise mittels automatisierter Verbindungstechnik. Analog sind elektrische Anschlüsse herstellbar, insbesondere über Anschlusspads.
- Im folgenden wird die Erfindung anhand von Beispielen mit Bezug auf die Figuren verdeutlicht.
-
1 zeigt eine Explosionszeichnung eines erfindungsgemäßen Thermosäulenchips. -
2 zeigt einen Chip in perspektivischer Darstellung. -
3 zeigt einen Chip in Draufsicht. - Das Substrat
1 ist als in sich stabile Platte ausgebildet. Hierzu eignen sich beispielsweise kommerziell erhältliche Objektträger aus der Mikroskopie. Neben den hierzu verwendeten Gläsern können auch Kunststoffe, insbesondere die aus der Leiterplattentechnik bekannten Epoxidharze, Polyimide oder Fluorpolymere angewendet werden. Weiterhin können schlecht wärmeleitfähige Keramiken, insbesondere mit einer Wärmeleitfähigkeit von unter 10 Watt pro Meter Kelvin oder selbsttragende, isolierte dünne Metallfolien als Substrat1 verwendet werden. Das Substrat1 ist als Platte ausgebildet und kann scheiben- oder quaderförmig ausgebildet sein. - Auf dem Substrat ist eine Thermosäule angeordnet. Die Thermosäule
6 besteht aus einer Vielzahl von Thermoelementen8 , wobei jedes Thermoelement8 aus zwei Halbelementen2 ,5 besteht. Eine Hälfte der Halbelemente ist in Form von zebrastreifenförmig angeordneten, voneinander isolierten Streifen2 ausgebildet. Die Streifen2 können als elektrische Leiter, beispielsweise als Metalle oder als Halbleiter, wie beispielsweise Indium-Antimon, Gallium-Arsen, Telluride oder Rutheniumoxid ausgebildet werden. Die Streifen2 können direkt auf dem Substrat1 aufgedruckt werden, insbesondere unter Anwendung der Resinattechnik nach der noch nicht veröffentlichtenDE 10 2004 018 050 . Die Streifen können aber auch mit anderen bekannten Resinat- oder Dickschicht-Techniken aufgedruckt werden. Weiterhin ist es auch möglich, zuerst Schichten aufzutragen und sich hierzu physikalische Abscheideprozesse wie Aufdampfen oder Sputtern zu bedienen. In diesem Falle erfolgt nach dem Auftrag der Schicht eine Strukturierung dieser Schicht. Dies kann fotolithografisch unter Anwendung von Ätztechnik gemäßDE 2706418 oder mittels Laserstrukturierung gemäßDE 3843230 geschehen. Die bevorzugte Resinattechnik eignet sich dabei sowohl für den direkten Auftrag von Streifen als auch für die indirekte Strukturierung. Die Metallstreifen2 weisen an ihren beiden Enden jeweils Bondpads3 für das zweite Halbelement5 auf. Die Bondpads3 und Anschlusspads4 können dabei im gleichen Vorgang mit dem Leitermuster2 erzeugt werden. Weiterhin können die Bondpads3 und Anschlusspads4 nach ihrer Erzeugung verstärkt werden, beispielsweise durch Pastenauftrag gemäß Dickschichttechnik. Alternativ können die Bondpads3 und Anschlusspads4 auch nach der Erzeugung des streifenförmigen Musters2 erzeugt werden. Über die Bondpads3 werden die ersten Halbelemente2 mit den zweiten Halbelementen5 verbunden. Dies kann durch Reibschweißen, Thermokompressionsschweißen, Schmelzflussschweißen oder ähnliche Verfahren geschehen. Alternativ können die zweiten Halbelemente5 analog den ersten Halbelementen2 aufgetragen werden. - Beim Schweißverfahren haben sich sogenannte Bonddrähte
5 bewährt. Diese sehr dünnen leicht verarbeitungsfähigen Drähte aus Metall, Legierungs-oder Halbleitermaterial unterscheiden sich vorzugsweise deutlich in der thermoelektrischen Wertigkeit von den ersten Thermohalbelementen2 . Beim Bonden entstehen über die Bondpads3 vollständige Thermoelemente8 , deren Verkettung wiederum zu Thermosäulen6 führt. Für das serienmäßige Bonden werden vorzugsweise automatisierte Verbindungstechniken angewendet. Hierzu eignet sich beispielsweise ein Dünndrahtbonder gemäß http://www.hesse-knipps.com/bonder-dispenser/de/products/automatic-ultrasonic-thin-wire-bonder/. Mehr zu dieser Technik findet sich unter http://www.tzm.de. - Die Art der Bonddrähte
5 , die Länge der Verkettung und die Abstände zwischen den Elementen lassen sich in Abhängigkeit von der spezifischen Anwendung variieren. - Zusätzliche Heizelemente können gleichzeitig mit den ersten Halbelementen
2 aufgetragen werden. Zusätzliche Heizmuster können auf den Substraten1 auch rückseitig zu den Thermosäulen6 angeordnet werden. Heizleiter können auch auf Zwischenschichten über den Thermosäulen angeordnet werden. - Dadurch lassen sich Temperaturdifferenzen beeinflussen oder aktiv herbeiführen und die Lehre gemäß
DE 19846970 C1 nutzen. - Ein auf diese Weise hergestellter Chip
7 wird vorzugsweise noch mit einer Schutzschicht versehen. Beispielsweise wird hierzu eine dünne Glasschicht per Dünnschichttechnik oder Dickschichttechnik aufgetragen. Eine derart dünn aufgetragene Membranschicht ist im Gegensatz zum Substrat1 nicht selbsttragend.
Claims (12)
- Verfahren zur Herstellung einer Thermosäule (
6 ) aus mehreren Thermoelementen (8 ), dadurch gekennzeichnet, dass auf einem sich selbsttragenden, elektrisch isolierenden Substrat (1 ) mehrere Leiterbahnen (2 ) in Dünn- oder Dickschichttechnik aufgetragen werden. - Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine dünne Schicht mittels Resinattechnik oder physikalischer Abscheideprozesse, insbesondere Sputtern oder Dampfen hergestellt wird.
- Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Strukturierung der dünnen Schicht mittels fotolithografischer Abbildung der Leiterbahnen und Ätztechnik oder mittels Laserstrukturierung erfolgt.
- Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Schicht als Paste oder Resinat mittels Siebdruckverfahren aufgedruckt wird.
- Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in einem ersten Schritt mehrere voneinander isolierte Leiter (
2 ) auf dem Substrat angeordnet werden, insbesondere zebrastreifenförmig. - Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass in einem zweiten Schritt Leiter (
5 ) aus einem anderen Material als dem im ersten Schritt verwendeten, auf dem Substrat (1 ) aufgetragen und mit den im ersten Schritt hergestellten Leiterbahnen (2 ) elektrisch kontaktiert werden. - Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die im zweiten Schritt auf dem Substrat (
1 ) angeordneten Leiterbahnen (5 ) mittels Resinattechnik aufgetragen werden oder Bonddrähte (5 ) an die Leiterbahnen (2 ) elektrisch angeschlossen werden. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Bonddrähte (
5 ) durch Reibschweißen, Thermokompressionsschweißen oder Schmelzflussschweißen mit den Leiterbahnen (2 ) verbunden werden. - Thermosäulenrohling mit mindestens einer Dünn- oder Dickschichtbeschichtung auf einem elektrisch isolierenden Substrat (
1 ), dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Leiterbahnen (2 ) elektrisch isoliert nebeneinander angeordnet sind. - Thermosäulenrohling nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen (
2 ) als parallel nebeneinander angeordnete Streifen angeordnet sind. - Thermosäulenrohling nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Leiterbahnen (
2 ) an ihren Enden mit Anschlusspads begrenzt sind. - Thermosäulenchip (
7 ), umfassend eine Vielzahl von Thermoelementen, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Thermoelemente (8 ) eine auf einem elektrisch isolierenden, selbsttragenden Substrat (1 ) angeordnete dünne Leiterbahnen (2 ) aufweisen, die jeweils mit einem Bonddraht (5 ) oder einer weiteren dünnen auf dem Substrat aufgebrachten Leiterbahn (5 ) verbunden sind.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005003723A DE102005003723A1 (de) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | Thermosäule |
PCT/EP2006/000548 WO2006079488A2 (de) | 2005-01-26 | 2006-01-23 | Thermosäule |
EP06706353A EP1842245A2 (de) | 2005-01-26 | 2006-01-23 | Thermosäule |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005003723A DE102005003723A1 (de) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | Thermosäule |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005003723A1 true DE102005003723A1 (de) | 2006-07-27 |
Family
ID=36096340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102005003723A Withdrawn DE102005003723A1 (de) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | Thermosäule |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1842245A2 (de) |
DE (1) | DE102005003723A1 (de) |
WO (1) | WO2006079488A2 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006007801A1 (de) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Isabellenhütte Heusler Gmbh & Co. Kg | Füllstandssensor und zugehöriges Betriebs- und Herstellungsverfahren sowie entsprechende Verwendung |
ITMI20101552A1 (it) * | 2010-08-13 | 2012-02-14 | Isanik S R L | Misuratore del livello e/o flusso di un fluido |
DE102015113088A1 (de) * | 2015-08-07 | 2017-02-09 | Neuschäfer Elektronik GmbH | Thermoelementvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen |
WO2020221680A1 (de) * | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Linseis Messgeräte GmbH | Differentialkalorimeter mit hoher sensitivität |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4217783A (en) * | 1978-02-23 | 1980-08-19 | Nippon Electric Company, Ltd. | Magnetoresistive pressure-sensing device for automotive electronic engine control systems |
US4444991A (en) * | 1982-03-15 | 1984-04-24 | Omnimax Energy Corporation | High-efficiency thermopile |
DE4022845C2 (de) * | 1990-07-18 | 1992-11-26 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De | |
EP0408572B1 (de) * | 1988-02-22 | 1993-06-02 | Friedrich-Karl Migowski | Thermogenerator |
DE4227085A1 (de) * | 1992-08-17 | 1994-02-24 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung fein strukturierter elektrisch leitfähiger Schichten |
DE4316781A1 (de) * | 1993-05-19 | 1994-11-24 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Vielfachthermokonverter in Dünnschichtausführung |
US6013935A (en) * | 1997-08-10 | 2000-01-11 | Shie; Jin-Shown | Solid-state switch driven by thermovoltaic generator |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4938244A (en) * | 1987-10-05 | 1990-07-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Temperature difference detecting element using semiconductive ceramic material |
US5055140A (en) * | 1987-10-05 | 1991-10-08 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Thermoelectric element using semiconductive ceramic material |
DE4300084C2 (de) * | 1993-01-06 | 1995-07-27 | Heraeus Sensor Gmbh | Widerstandsthermometer mit einem Meßwiderstand |
DE29723309U1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-09-10 | D.T.S. Gesellschaft zur Fertigung von Dünnschicht-Thermogenerator-Systemen mbH, 06118 Halle | Kompakter Niederleistungs-Thermogenerator |
-
2005
- 2005-01-26 DE DE102005003723A patent/DE102005003723A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-01-23 WO PCT/EP2006/000548 patent/WO2006079488A2/de active Application Filing
- 2006-01-23 EP EP06706353A patent/EP1842245A2/de not_active Withdrawn
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4217783A (en) * | 1978-02-23 | 1980-08-19 | Nippon Electric Company, Ltd. | Magnetoresistive pressure-sensing device for automotive electronic engine control systems |
US4444991A (en) * | 1982-03-15 | 1984-04-24 | Omnimax Energy Corporation | High-efficiency thermopile |
EP0408572B1 (de) * | 1988-02-22 | 1993-06-02 | Friedrich-Karl Migowski | Thermogenerator |
DE4022845C2 (de) * | 1990-07-18 | 1992-11-26 | Schott Glaswerke, 6500 Mainz, De | |
DE4227085A1 (de) * | 1992-08-17 | 1994-02-24 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Herstellung fein strukturierter elektrisch leitfähiger Schichten |
DE4316781A1 (de) * | 1993-05-19 | 1994-11-24 | Inst Physikalische Hochtech Ev | Vielfachthermokonverter in Dünnschichtausführung |
US6013935A (en) * | 1997-08-10 | 2000-01-11 | Shie; Jin-Shown | Solid-state switch driven by thermovoltaic generator |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006007801A1 (de) * | 2006-02-20 | 2007-08-30 | Isabellenhütte Heusler Gmbh & Co. Kg | Füllstandssensor und zugehöriges Betriebs- und Herstellungsverfahren sowie entsprechende Verwendung |
ITMI20101552A1 (it) * | 2010-08-13 | 2012-02-14 | Isanik S R L | Misuratore del livello e/o flusso di un fluido |
DE102015113088A1 (de) * | 2015-08-07 | 2017-02-09 | Neuschäfer Elektronik GmbH | Thermoelementvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen |
DE102015113088B4 (de) * | 2015-08-07 | 2018-01-04 | Neuschäfer Elektronik GmbH | Verfahren zur Herstellung einer Thermoelementvorrichtung |
WO2020221680A1 (de) * | 2019-04-30 | 2020-11-05 | Linseis Messgeräte GmbH | Differentialkalorimeter mit hoher sensitivität |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1842245A2 (de) | 2007-10-10 |
WO2006079488A2 (de) | 2006-08-03 |
WO2006079488A3 (de) | 2007-01-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1279008B1 (de) | Flusssensor für flüssigkeiten | |
DE69535235T2 (de) | Thermoelektrische Vorrichtung | |
EP1756537B1 (de) | Temperaturfühler und verfahren zu dessen herstellung | |
DE3628017A1 (de) | Thermischer durchflusssensor | |
EP2542902A1 (de) | Elektronisches bauelement, insbesondere stromsensor | |
DE4408270C2 (de) | Zweirichtungsluftstromdetektor | |
DE102005003723A1 (de) | Thermosäule | |
DE19742236C2 (de) | Elektrischer Sensor, insbesondere Temperatur-Sensor, mit Leiterplatte | |
DE19932308C2 (de) | Sensor, insbesondere Thermosensor | |
DE19633486C1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte mit dünnen Leiterbahnen und Anschluß-Kontaktierungsbereichen sowie deren Verwendung | |
EP2327284B1 (de) | Sensorvorrichtung und verfahren zur herstellung | |
EP1248968B1 (de) | Anordnung zur temperaturmessung und -regelung | |
EP1021704B1 (de) | Verfahren zur detektion von kondensationen an oberflächen | |
DE19843471A1 (de) | Druckerkennungsvorrichtung | |
DE102013206406B4 (de) | Raumklimamessgerät und Regelungseinrichtung | |
DE10333084A1 (de) | Thermogenerator und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE10211551B4 (de) | Flußsensor auf Substrat | |
DE102006031164B4 (de) | Thermoelektrisches Dünnschichtelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE3802225A1 (de) | Fluessigkeitsstandmessanordnung | |
AT511506B1 (de) | Temperatursensor als Flip-Chip auf Leiterplatte | |
WO2001084099A1 (de) | Sensorbaustein und ein verfahren zu dessen herstellung | |
DE102018130547A1 (de) | Sensorelement, Verfahren zu dessen Herstellung und thermischer Strömungssensor | |
DE4000301C1 (de) | ||
DE19715080C1 (de) | Thermometeranordnung mit einem Thermoelement | |
DE20122320U1 (de) | Flußsensor für Flüssigkeiten |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |