DE4000301C1 - - Google Patents
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- DE4000301C1 DE4000301C1 DE4000301A DE4000301A DE4000301C1 DE 4000301 C1 DE4000301 C1 DE 4000301C1 DE 4000301 A DE4000301 A DE 4000301A DE 4000301 A DE4000301 A DE 4000301A DE 4000301 C1 DE4000301 C1 DE 4000301C1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C1/00—Details
- H01C1/14—Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors
- H01C1/142—Terminals or tapping points or electrodes specially adapted for resistors; Arrangements of terminals or tapping points or electrodes on resistors the terminals or tapping points being coated on the resistive element
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft elektrische Schichtwiderstände,
bestehend aus einer elektrischen Widerstandsstruktur,
zwei Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die
Anschlußdrähte. Ein solcher Schichtwiderstand ist
beispielsweise in der DE-OS 26 50 466 beschrieben,
wobei der elektrische Anschluß der Widerstandsschicht
über zwei Kontaktflächen für die Anschlußdrähte und
zwei Anschlußbahnen erfolgt.
Bei der Herstellung von elektrischen
Schichtwiderständen muß ein Feinabgleich des
elektrischen Widerstandes vorgenommen werden. Die
mögliche Streuung der Aufsetzpunkte von Prüfspitzen
auf die Kontaktflächen hat dabei einen Einfluß auf die
Messungen des elektrischen Widerstands.
Um die notwendigen Herstellgenauigkeiten einzuhalten,
werden vielfach sogenannte Vierpunktwiderstands
messungen durchgeführt, bei denen auf die beiden
Kontaktflächen des Meßwiderstands je zwei Prüfspitzen
aufgesetzt werden. Durch den Meßwiderstand wird ein
Meßstrom geleitet, der Spannungsabfall über den
Widerstand wird durch das verbleibende Kontaktpaar
bestimmt. Die Genauigkeit dieses Verfahrens ist groß.
Die Messung liefert den elektrischen Widerstand
zwischen den beiden Spannungsprüfspitzen.
Durch Toleranzen bei der Positionierung der Spitzen
auf den Kontaktflächen kann es deshalb zu Streuungen
der abgeglichenen Meßwiderstände um den Sollwert
kommen. Durch eine Strukturierung der Kontaktflächen
ist es möglich, die Genauigkeit der Aufsetzorte der
Prüfspitzen vollständig aus dem Abgleichvorgang zu
eliminieren. Solche Strukturierungen sind
beispielsweise beschrieben in Philips Res. Repts.
13 (1958), 1-9.
Die Kontaktflächen der Schichtwiderstände haben
normalerweise eine Größe, die für das Anschweißen oder
sonstige Befestigungen je eines Anschlußdrahtes
ausgelegt sind. Diese Flächen sind für den Platzbedarf
von Prüfspitzen überdimensioniert. Andererseits ist
der zusätzliche Platz bei einer Vierpunktmessung mit
zwei zusätzlichen Kontaktflächen der für die
Prüpfspitzen notwendigen Größe nicht vorhanden. Eine
Unterteilung der vorhandenen zwei Kontaktflächen in
kleinere Flächen ergibt Kontaktflächen, die einzeln
für eine Kontaktierung mit Anschlußdrähten zu klein
sind.
Eine Unterteilung der Kontaktflächen von metallischen
Leiterbahnen auf Substraten mittels Isolierstreifen in
kleinere Bereiche ist aus der US-PS 40 34 149 bekannt.
Dort erfolgt diese Unterteilung jedoch zwecks besserer
Haftung der Anschlußdrähte auf dem Substrat, da der
Kontakt zu den Anschlußdrähten nicht nur über mehrere
kleinere Kontaktbereiche, sondern auch über die
Isolierstreifen erfolgt.
Es war daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
elektrische Schichtwiderstände, bestehend aus einer
elektrischen Widerstandsstruktur,
zwei Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die
Anschlußdrähte, zu entwickeln, die einen genauen
Widerstandsfeinabgleich mittels einer
Vierpunktwiderstandsmessung zugänglich sind und mit
Anschlußdrähten kontaktiert werden können, ohne die
Meßgenauigkeit damit zu verschlechtern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
die Kontaktflächen durch Isolierstreifen in jeweils
zwei kleinere Kontaktflächen aufgeteilt sind, wobei
die Isolierstreifen jeweils eine Engstelle zwischen
den beiden zu einer Anschlußbahn gehörigen
kleinen Kontaktflächen ausbilden und diese kleinen Kontaktflächen
ausschließlich über diese Engstelle elektrisch
miteinander und mit der Anschlußbahn verbunden sind,
und daß die Isolierstreifen in ihrer Richtung so
angeordnet sind, daß bei der Kontaktierung mit den
Anschlußdrähten jeweils beide kleinen Kontaktflächen
mit dem Anschlußdraht elektrisch leitend verbunden
sind.
Vorzugsweise ist der vom Anschlußdraht überbrückte
Isolierstreifen senkrecht zur Drahtachse angeordnet.
Außerdem ist es vorteilhaft, wenn die Engstelle
unmittelbar am Ende des Isolierstreifens und möglichst
nahe an der durch den Anschlußdraht geschaffenen
Verbindungsstelle zwischen den jeweiligen beiden
kleinen Kontaktflächen liegt.
Diese erfindungsgemäße Einteilung der beiden
Kontaktflächen in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen
ist ohne Einfluß auf die erforderliche Genauigkeit bei
der Anbringung der Anschlußdrähte. Sollte der zu
befestigende Anschlußdraht über die Grenzen der
kleineren Kontaktflächen hinausragen,
so hat dies keinen abträglichen Einfluß auf den
Abgleichwert, weil der elektrische Anschluß auf beiden
Bereichen gegeben ist. Vorteilhaft ist auch, daß sich
eine unterschiedliche Verschiebung der Anschlußdrähte
quer zum Isolierstreifen nicht auf den elektrischen
Widerstand auswirkt,
wenn der elektrische Kontakt zu den beiden
Kontaktflächen in der Nähe des Isolierstreifens liegt.
Die erfindungsgemäße Strukturierung der Kontaktflächen
ist einsetzbar für elektrische Schichtwiderstände aus
allen bekannten Materialien (z. B. Metalle wie Platin,
Nickel; Halbleiter wie Silizium; leitende
Kunststoffe), hergestellt in Dünn- oder
Dickschichttechnik oder aus Folien. Geeignete
Verfahren zur Herstellung der Isolierstreifen sind
Laserstruktierieren, Trocken- oder Naßätzen.
Bekannte Kontaktierungsverfahren für die
Anschlußdrähte sind Thermokompressionsschweißen
-bonden, Spaltkopfschweißen, Löten oder andere
Verfahren, die eine genügend große Kontaktfläche zum
Bauelement herstellen.
Die Abbildung zeigt schematisch in beispielhafter
Ausbildungsform in Aufsicht zwei Kontaktflächen eines
elektrischen Dünnfilmwiderstands, die durch
Isolierstreifen (2) in jeweils zwei kleinere
Kontaktflächen (1) aufgeteilt sind, wobei die
Isolierstreifen (2) so gelegt sind, daß die zu einer
Anschlußbahn (3) gehörenden kleinen Kontaktflächen (1)
ausschließlich über eine Engstelle (4) elektrisch
miteinander und mit der Anschlußbahn (3) verbunden
sind. Die Kontaktierung erfolgt mit zwei
Anschlußdrähten (5) an den Kontaktstellen (6).
Claims (3)
1. Elektrische Schichtwiderstände, bestehend aus einer
elektrischen Widerstandsstruktur, zwei
Anschlußbahnen und zwei Kontaktflächen für die
Anschlußdrähte,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Kontaktflächen durch Isolierstreifen (2) in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen (1) aufgeteilt sind, wobei die Isolierstreifen (2) jeweils eine Engstelle (4) zwischen den beiden zu einer Anschlußbahn (3) gehörigen kleinen Kontaktflächen (1) ausbilden und diese kleinen Kontaktflächen (1) ausschließlich über diese Engstelle (4) elektrisch miteinander und mit der Anschlußbahn (3) verbunden sind, und
daß die Isolierstreifen (2) in ihrer Richtung so angeordnet sind, daß bei der Kontaktierung mit den Anschlußdrähten (5) jeweils beide kleinen Kontaktflächen (1) mit dem Anschlußdraht (5) elektrisch leitend verbunden sind.
daß die Kontaktflächen durch Isolierstreifen (2) in jeweils zwei kleinere Kontaktflächen (1) aufgeteilt sind, wobei die Isolierstreifen (2) jeweils eine Engstelle (4) zwischen den beiden zu einer Anschlußbahn (3) gehörigen kleinen Kontaktflächen (1) ausbilden und diese kleinen Kontaktflächen (1) ausschließlich über diese Engstelle (4) elektrisch miteinander und mit der Anschlußbahn (3) verbunden sind, und
daß die Isolierstreifen (2) in ihrer Richtung so angeordnet sind, daß bei der Kontaktierung mit den Anschlußdrähten (5) jeweils beide kleinen Kontaktflächen (1) mit dem Anschlußdraht (5) elektrisch leitend verbunden sind.
2. Schichtwiderstände nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß der vom Anschlußdraht (5) überbrückte
Isolierstreifen (2) senkrecht zur Drahtachse
angeordnet ist.
3. Schichtwiderstände nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Engstelle (4) unmittelbar am Ende des
Isolierstreifens (2) und möglichst nahe an der
durch den Anschlußdraht (5) geschaffenen
Verbindungsstelle zwischen den beiden kleinen
Kontaktflächen (1) liegt.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4000301A DE4000301C1 (de) | 1990-01-08 | 1990-01-08 | |
EP90115767A EP0436776B1 (de) | 1990-01-08 | 1990-08-17 | Kombination von Schichtwiderständen mit strukturierten Kontaktflächen und Anschlussdrähten |
DE59008198T DE59008198D1 (de) | 1990-01-08 | 1990-08-17 | Kombination von Schichtwiderständen mit strukturierten Kontaktflächen und Anschlussdrähten. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE4000301A DE4000301C1 (de) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4000301C1 true DE4000301C1 (de) | 1991-05-23 |
Family
ID=6397711
Family Applications (2)
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DE59008198T Expired - Fee Related DE59008198D1 (de) | 1990-01-08 | 1990-08-17 | Kombination von Schichtwiderständen mit strukturierten Kontaktflächen und Anschlussdrähten. |
Family Applications After (1)
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Country | Link |
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DE (2) | DE4000301C1 (de) |
Cited By (1)
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DE102007046907A1 (de) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Manteldraht und Schichtwiderstand |
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-
1990
- 1990-01-08 DE DE4000301A patent/DE4000301C1/de not_active Expired - Lifetime
- 1990-08-17 DE DE59008198T patent/DE59008198D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-08-17 EP EP90115767A patent/EP0436776B1/de not_active Expired - Lifetime
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US8138881B2 (en) | 2007-09-28 | 2012-03-20 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Coated wire and film resistor |
DE102007046907B4 (de) * | 2007-09-28 | 2015-02-26 | Heraeus Sensor Technology Gmbh | Schichtwiderstand und Verfahren zu dessen Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0436776A2 (de) | 1991-07-17 |
EP0436776A3 (en) | 1992-04-15 |
EP0436776B1 (de) | 1995-01-04 |
DE59008198D1 (de) | 1995-02-16 |
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