JPS5952822A - 永久磁石の製造法 - Google Patents
永久磁石の製造法Info
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- JPS5952822A JPS5952822A JP57163091A JP16309182A JPS5952822A JP S5952822 A JPS5952822 A JP S5952822A JP 57163091 A JP57163091 A JP 57163091A JP 16309182 A JP16309182 A JP 16309182A JP S5952822 A JPS5952822 A JP S5952822A
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
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- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
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- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/047—Alloys characterised by their composition
- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/0555—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 pressed, sintered or bonded together
- H01F1/0557—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 pressed, sintered or bonded together sintered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本つチ明はサマリウム（Ｓｍ ）−コバルト（Ｃ０）糸
永久磁石、とりわけＳｍ２Ｃｏ １７系永久磁石の製造
法に関し、更に詳しくは残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力
（ＩＨｃ）、最大エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ ）な
どの磁気特性に優れ、また、耐酸化性にも優れた永久磁
石の製造法に関する。
永久磁石、とりわけＳｍ２Ｃｏ １７系永久磁石の製造
法に関し、更に詳しくは残留磁束密度（Ｂｒ）、保磁力
（ＩＨｃ）、最大エネルギー積（（ＢＨ）ｍａｘ ）な
どの磁気特性に優れ、また、耐酸化性にも優れた永久磁
石の製造法に関する。
従来から、Ｒ−Ｍ系（ＲはＳｍ 、 Ｃｅ 、 Ｙなど
の希土類元素、ＭはＣｏ及びＣｏとともにＣｕ ｇ Ｆ
ｅなとの金属元素）永久磁石に関しては各種組成のもの
が提案されている。
の希土類元素、ＭはＣｏ及びＣｏとともにＣｕ ｇ Ｆ
ｅなとの金属元素）永久磁石に関しては各種組成のもの
が提案されている。
これら永久磁石にあっては、最大エネルギー積（（ＢＨ
）ｍａｘ ）及び残留磁束密度（Ｂｒ）がモーター等の
用途においては特に重装な特性であシ、その値は可能な
限シ大きいことが望ましい。しかしながら、これらの値
も該磁石の保磁力（ｔＨｃ ）がある一定値以上でない
と高めることは困餘である。
）ｍａｘ ）及び残留磁束密度（Ｂｒ）がモーター等の
用途においては特に重装な特性であシ、その値は可能な
限シ大きいことが望ましい。しかしながら、これらの値
も該磁石の保磁力（ｔＨｃ ）がある一定値以上でない
と高めることは困餘である。
したがって、（ＢＩＩ）ｍ、、 、 Ｂｒの大きい永久
磁石を得るだめにはｒｌ（ｃを大きくすることが必要と
なる。
磁石を得るだめにはｒｌ（ｃを大きくすることが必要と
なる。
ところで、Ｓｍ２ （Ｃｏ 、 Ｃｕ 、 Ｆｅ 、
ＴＩ ）１７系の磁石では、Ｆｅ含茄を増したり、Ｃｕ
含−を減らすとＢｒを増加させ得ることが知られている
。しかし、Ｆｅ含閂を増したｆｉ、Ｃｕ含ｌ、を減らす
と、Ｈｃが低下して来るため、単純にＦ＠含量を増しＣ
ｕ含箪を減らすことによってＢｒや（ＢＨ）ｍａｘの向
上を図ることはできない。そのため、従来のＳｍ２ （
Ｃｏ ＋ Ｃｕ ＃ Ｆｅ ｐＴＩ ）＋７系の磁石１
ｊ、ｓ ＩＩｃをある値以上に維持しながら、Ｂｒを可
能な限シ大きくすることを目的としてその組成が決定さ
れてきた。例えば、特公昭５５−１５０９６号公報には
、Ｙ及び他の希土類元素１０〜３０重量％と、Ｔｉ０．
２〜７重量％と、Ｃ１１５〜２０市量チと、Ｆｅ２〜１
５重Ｍ％とを含み、残部がＣｏを主成分とする金属粉末
を磁界中で成形した後焼結して成る永久磁石は、耐酸化
性及び■ｉｌｅ ｒ （ＢＨ）ｍａｘなどの磁気特性に
優れることが開示されている。また、特開昭５２−１０
９１９１号公報には、Ｓｍ ２３〜３ （ｌ Ｍ 量％
と、Ｔ１０．２〜１．５重量％と、Ｃｕ９〜１３重Ｍｑ
ｂと、Ｆｅ３〜１２重−１４％とを含み、残部がＣＧを
主成分とする金属粉末を磁界中で成形した後、焼結して
成る永久磁石が開示されている。
ＴＩ ）１７系の磁石では、Ｆｅ含茄を増したり、Ｃｕ
含−を減らすとＢｒを増加させ得ることが知られている
。しかし、Ｆｅ含閂を増したｆｉ、Ｃｕ含ｌ、を減らす
と、Ｈｃが低下して来るため、単純にＦ＠含量を増しＣ
ｕ含箪を減らすことによってＢｒや（ＢＨ）ｍａｘの向
上を図ることはできない。そのため、従来のＳｍ２ （
Ｃｏ ＋ Ｃｕ ＃ Ｆｅ ｐＴＩ ）＋７系の磁石１
ｊ、ｓ ＩＩｃをある値以上に維持しながら、Ｂｒを可
能な限シ大きくすることを目的としてその組成が決定さ
れてきた。例えば、特公昭５５−１５０９６号公報には
、Ｙ及び他の希土類元素１０〜３０重量％と、Ｔｉ０．
２〜７重量％と、Ｃ１１５〜２０市量チと、Ｆｅ２〜１
５重Ｍ％とを含み、残部がＣｏを主成分とする金属粉末
を磁界中で成形した後焼結して成る永久磁石は、耐酸化
性及び■ｉｌｅ ｒ （ＢＨ）ｍａｘなどの磁気特性に
優れることが開示されている。また、特開昭５２−１０
９１９１号公報には、Ｓｍ ２３〜３ （ｌ Ｍ 量％
と、Ｔ１０．２〜１．５重量％と、Ｃｕ９〜１３重Ｍｑ
ｂと、Ｆｅ３〜１２重−１４％とを含み、残部がＣＧを
主成分とする金属粉末を磁界中で成形した後、焼結して
成る永久磁石が開示されている。
しかしながら、これらの組成Ｕ、Ｃ１１含量及びＦ＠含
知の変動に伴って起る、残留磁束密度（Ｂｒ ）と保峰
力（ｘＨｃ ）の変化を妥協的に適合させた結果である
から、必ずしも充分なものとは言えないものであった。
知の変動に伴って起る、残留磁束密度（Ｂｒ ）と保峰
力（ｘＨｃ ）の変化を妥協的に適合させた結果である
から、必ずしも充分なものとは言えないものであった。
本発明は、前述した従来の永久磁石の製造法の欠点を解
消したもので、Ｈｒ Ｈ（ＢＦ（）ｒｌａｘ＋ ＨＨｃ
などの磁気特性に優れ、また耐酸化性も優れたＳｍ２Ｃ
ｏ１７系永久磁石の製造法を提供することを目的とする
。
消したもので、Ｈｒ Ｈ（ＢＦ（）ｒｌａｘ＋ ＨＨｃ
などの磁気特性に優れ、また耐酸化性も優れたＳｍ２Ｃ
ｏ１７系永久磁石の製造法を提供することを目的とする
。
Ｂｒを低下させるＣｕ分を減らし、Ｂｒを向上させるＦ
ｅ分を増加させ、同時にＩＨＣを一定値以上に保持する
ことができれば、Ｂｒ及び（ＢＨ）ｍａＸの大きい優れ
た磁気特性を有する永久磁石を得ることができる。
ｅ分を増加させ、同時にＩＨＣを一定値以上に保持する
ことができれば、Ｂｒ及び（ＢＨ）ｍａＸの大きい優れ
た磁気特性を有する永久磁石を得ることができる。
本発明者らは、上記の課題を達成すべく永久磁石を構成
する合金の組成及び熱処理過程に関し鋭意研究を重ねた
結果、該合金の組成をＳｍ （Ｃｏ ＋Ｃｕ ＃ Ｆｅ
ｔ Ｔｉ ）４の式で表した場合、ｚ〉６９で１〜か
。
する合金の組成及び熱処理過程に関し鋭意研究を重ねた
結果、該合金の組成をＳｍ （Ｃｏ ＋Ｃｕ ＃ Ｆｅ
ｔ Ｔｉ ）４の式で表した場合、ｚ〉６９で１〜か
。
も焼結後に特定の時効処理を施すと、Ｆｅ駄を」〜ＪＬ
Ｃｕ量を減らすことによっても従来の知見とは全く逆に
ＩＨＣを増加させイＨるとの事実を見出し、該知見に基
づいてＢｒ及び（ＢＨ）ｍａＸを著しく高めた永久磁石
を開うらし、既に特願昭５６−１０３４３４号とじて特
許出願した。
Ｃｕ量を減らすことによっても従来の知見とは全く逆に
ＩＨＣを増加させイＨるとの事実を見出し、該知見に基
づいてＢｒ及び（ＢＨ）ｍａＸを著しく高めた永久磁石
を開うらし、既に特願昭５６−１０３４３４号とじて特
許出願した。
本発明者らは、Ｓｍ２Ｃｏ１７系永久磁石の磁気特性及
び耐酸化性をよシ改善すべく、該永久磁石の組成及び処
理過程に関し更に研究を重ねた結果、ある組成の金属粉
末を焼結した後、該焼結体を６００℃以上７００℃未満
の温度で所定時間保持し、５Ｃ／ｌ＝−以一トの冷却速
度で徐冷すると得られた永久磁石のｌｌＩｃが著しく増
大するとの事実を見出し本発明を完成するに至った。
び耐酸化性をよシ改善すべく、該永久磁石の組成及び処
理過程に関し更に研究を重ねた結果、ある組成の金属粉
末を焼結した後、該焼結体を６００℃以上７００℃未満
の温度で所定時間保持し、５Ｃ／ｌ＝−以一トの冷却速
度で徐冷すると得られた永久磁石のｌｌＩｃが著しく増
大するとの事実を見出し本発明を完成するに至った。
即ち、本発明の永久磁石の製造法は、Ｓｍ２６〜２９重
ｋｋ ％と、Ｔｉ０．２〜３重量％と、Ｃｕ３〜９？＜
ｌ： ％と、Ｆｅ１４〜２０重量％（但し、１４車量
チを含まない。）とを含み、残部が主としてＣｏである
金属粉末を磁界中で成形し、次いで得られた成形体を焼
結し、６００℃以上７００℃未満の温度範囲において０
．１秒〜２時間保持した後、毎分５℃以下の冷却速度で
徐冷することを特徴とする。
ｋｋ ％と、Ｔｉ０．２〜３重量％と、Ｃｕ３〜９？＜
ｌ： ％と、Ｆｅ１４〜２０重量％（但し、１４車量
チを含まない。）とを含み、残部が主としてＣｏである
金属粉末を磁界中で成形し、次いで得られた成形体を焼
結し、６００℃以上７００℃未満の温度範囲において０
．１秒〜２時間保持した後、毎分５℃以下の冷却速度で
徐冷することを特徴とする。
原料の金属粉末においてｓ、 Ｓｍの含量は２６〜２９
重ｔムチであって、２６車量チ未満の場合にはｔ）Ｉｃ
の増大はなく、ｔた、２９重彊チを超えるとＩＨＣは減
少すると同時にＢｒも減少して（ＢＨ）ｍａｘの増大が
はかれない。Ｔ１は０．２〜３重量％であって、Ｔｌが
０．２重量％未満の場合にはｒＨｃが顕著には増大せず
、３型皿チを超えるとＢｒが減少する。Ｃｕは３〜９重
量％であって、３重量％未満の場合にはＩＨＣの増大が
はかれず、９重量％を超えるとＢｒが減少すると同時に
後述する熱処理効果が小さくなシ、結果として（ＢＨ）
ｍａｘも特に増大することがない。Ｆｅは１４重Ｍチを
超えるが２０重量％以下であって、１４重月−以下では
熱処理効果が小さく、また２０重量％を超えるとｒＨｃ
が減少し、熱処理効果も小さく、シたがって（Ｂｌ（）
ｍａｘが減少する。
重ｔムチであって、２６車量チ未満の場合にはｔ）Ｉｃ
の増大はなく、ｔた、２９重彊チを超えるとＩＨＣは減
少すると同時にＢｒも減少して（ＢＨ）ｍａｘの増大が
はかれない。Ｔ１は０．２〜３重量％であって、Ｔｌが
０．２重量％未満の場合にはｒＨｃが顕著には増大せず
、３型皿チを超えるとＢｒが減少する。Ｃｕは３〜９重
量％であって、３重量％未満の場合にはＩＨＣの増大が
はかれず、９重量％を超えるとＢｒが減少すると同時に
後述する熱処理効果が小さくなシ、結果として（ＢＨ）
ｍａｘも特に増大することがない。Ｆｅは１４重Ｍチを
超えるが２０重量％以下であって、１４重月−以下では
熱処理効果が小さく、また２０重量％を超えるとｒＨｃ
が減少し、熱処理効果も小さく、シたがって（Ｂｌ（）
ｍａｘが減少する。
原料の金属粉末の残部は主としてＣｏである。
本発明の永久磁石の製造法は次のようにして行なわれる
。即ち、まず、上記した配合比の金属粉末を、所定の押
し型に充填した後、磁界中で圧ｔｈ成形して成形体とし
、該成形体を、真空、窒素、希ガス等の不活性雰囲気中
で焼結する。焼結温度は通常１０５０〜１２５０℃の温
度が適用される。
。即ち、まず、上記した配合比の金属粉末を、所定の押
し型に充填した後、磁界中で圧ｔｈ成形して成形体とし
、該成形体を、真空、窒素、希ガス等の不活性雰囲気中
で焼結する。焼結温度は通常１０５０〜１２５０℃の温
度が適用される。
得られた焼結体は、次に、本発明における第２の特徴で
ある所定の熱処理が施される。す々わち、まず、焼結体
は上記したような不活性雰囲気中で、６０ （１℃以上
７００℃未満の温度で所定時間保持される。処理温１ｉ
１ｘがこの範囲を外れると、得られた永久磁石のｌｌＩ
ｃ及び（ＢＨ）ｍａｘが著しく減少する。
ある所定の熱処理が施される。す々わち、まず、焼結体
は上記したような不活性雰囲気中で、６０ （１℃以上
７００℃未満の温度で所定時間保持される。処理温１ｉ
１ｘがこの範囲を外れると、得られた永久磁石のｌｌＩ
ｃ及び（ＢＨ）ｍａｘが著しく減少する。
また、このとき、処理時間は、通常０．１秒・〜２時間
で充分である。
で充分である。
その後、焼結体を５℃／ｉ以下の冷却速度で徐冷するこ
とによυ目的とする永久磁石を得ることができる。
とによυ目的とする永久磁石を得ることができる。
このとき、冷却速度が５℃／厭よυ大きいときには、ｌ
ｌＩｃの増大は充分でない。
ｌＩｃの増大は充分でない。
以下、実施例によυ本発明を更に詳細に説明する０
まず、永久磁石は次のようにして製造した。
ＩＪＩｉ定の組成比で名金属元素を配合しで、その約４
ｋｇを真空篩周波誘導加熱炉で溶融後冷却し、得られ
たインゴットを粗粉砕後、ジェットミルで粉砕して微粉
末とした。この微粉末を所定の押し型に充填し、２０，
０００エルステツドの磁界をかけながら２ ｔｏｎ／ｃ
Ｉｎ”の圧力で圧縮成形した。得られた成形体にアルが
ン雰囲気中で所定温度、所定時間の焼結処理を施した後
、直ちに室温まで一旦冷却し、ついで再び所定温度で所
定時間保持した後、徐冷処理を施した。以下にチは重ｉ
チを表わす。
ｋｇを真空篩周波誘導加熱炉で溶融後冷却し、得られ
たインゴットを粗粉砕後、ジェットミルで粉砕して微粉
末とした。この微粉末を所定の押し型に充填し、２０，
０００エルステツドの磁界をかけながら２ ｔｏｎ／ｃ
Ｉｎ”の圧力で圧縮成形した。得られた成形体にアルが
ン雰囲気中で所定温度、所定時間の焼結処理を施した後
、直ちに室温まで一旦冷却し、ついで再び所定温度で所
定時間保持した後、徐冷処理を施した。以下にチは重ｉ
チを表わす。
組 成： Ｓｍ ２７．６％、Ｔｉ１．１％、Ｆ
ｅ１５．５ ％、Ｃｕ２〜１１．５％、Ｃｏ残部 焼結条件：１１６５℃Ｘ１時間 熱処理＝６５０℃で１時間保持した後、２℃／−’＝の
冷却速度で徐冷。
ｅ１５．５ ％、Ｃｕ２〜１１．５％、Ｃｏ残部 焼結条件：１１６５℃Ｘ１時間 熱処理＝６５０℃で１時間保持した後、２℃／−’＝の
冷却速度で徐冷。
比較のために、熱処理を行なわない外は、実施例１と同
様にして別の永久研石（比較例１）を製造した。
様にして別の永久研石（比較例１）を製造した。
得られた永久磁石のＣｕ含鼠と、ＩＨｃ ＋ （ＢＨ）
ｍａｘとの関係を第１図に示した。図において、曲線Ａ
：実施例１のＩＨＣ％曲線＆：比較例１のｔ）Ｉｃ ％
曲線Ｂ：実施例１の（ＢＩＩ ）ｍｌｌＸ ％曲線ｂ：
比較例１の（Ｂｌｌ ）ｒｎａｘを表わす。
ｍａｘとの関係を第１図に示した。図において、曲線Ａ
：実施例１のＩＨＣ％曲線＆：比較例１のｔ）Ｉｃ ％
曲線Ｂ：実施例１の（ＢＩＩ ）ｍｌｌＸ ％曲線ｂ：
比較例１の（Ｂｌｌ ）ｒｎａｘを表わす。
図から明らかなように、本発明の製造法により製造した
永久磁石は、Ｃｕ９％以下でもＩＨＣが大きく、１だ、
（ＢＨ）ｍａＸのピークも熱処理前にはＣｕ：１０〜１
１％であったものが、７〜８チ以下のところにシフトし
、かつ、（ＢＨ）ｍａｘＯ値も可成り増大している。
永久磁石は、Ｃｕ９％以下でもＩＨＣが大きく、１だ、
（ＢＨ）ｍａＸのピークも熱処理前にはＣｕ：１０〜１
１％であったものが、７〜８チ以下のところにシフトし
、かつ、（ＢＨ）ｍａｘＯ値も可成り増大している。
実施例２
実施例にかかる試料２１〜２３と比較試料２１〜３１を
製造した。各試料の組成、焼結条件を表に示した。熱処
理の条件は、次のとおりであった。
製造した。各試料の組成、焼結条件を表に示した。熱処
理の条件は、次のとおりであった。
表中、査号で示した熱処理のパターンはそれぞれ以下の
とおシである。
とおシである。
１：６５０℃で１時間＋ ２℃／閣で徐冷。
２ ： ６００ ℃で１時間＋１０℃／順で徐冷。
３ニア５０℃で１時間＋ ２℃／顛で徐冷。
４ ： ５５００で１時間＋ ２℃／ｉで徐冷。
比較例は、組成又は熱処理が本発明の範囲外にあるもの
である。製造した永久磁石のＢｒ ＋ ｔＨｃ ｒ（Ｂ
” ）ｒｎａ’ｘを第１表に併記した。
である。製造した永久磁石のＢｒ ＋ ｔＨｃ ｒ（Ｂ
” ）ｒｎａ’ｘを第１表に併記した。
組 成： Ｓｍ ２７．６％、’１’ｉ１．１％、Ｃｕ
８．０％、Ｆｅ１５．０％、ｃｏ残部 焼結条例べ１１６５℃×１時間 熱処理二６５０℃で１時間保持した後、各棟の冷却速度
で徐冷。
８．０％、Ｆｅ１５．０％、ｃｏ残部 焼結条例べ１１６５℃×１時間 熱処理二６５０℃で１時間保持した後、各棟の冷却速度
で徐冷。
得られた永久磁石の（ＢＨ）ｍａｘと冷却速度との関係
を第２図に示した。
を第２図に示した。
図から明らかなように、冷却速度が５℃／ｉ以１におい
て（ＢＨ）ｍａｘの増大することがわかる。
て（ＢＨ）ｍａｘの増大することがわかる。
以上説明したように、本発明の製造法により製造した永
久磁石はその磁気特性が大幅に向上する。
久磁石はその磁気特性が大幅に向上する。
これは、Ｓｍ２Ｃｏ１７系永久磁石にあっては、Ｒ２Ｃ
ｏ１７相及びＲＣｏ５相から成る２相分離型のセル１１
４造を有する組織になるが、これらの組織形態及び両相
の磁気特性の改善がなされたためであると考えられる。
ｏ１７相及びＲＣｏ５相から成る２相分離型のセル１１
４造を有する組織になるが、これらの組織形態及び両相
の磁気特性の改善がなされたためであると考えられる。
なお、本発明の製造法により製造した永久磁石は、ＴＩ
が含有されていることによシ、その耐酸化性も向上する
。
が含有されていることによシ、その耐酸化性も向上する
。
第１図はＩＨｃ ｒ （ＢＨ）ｍａｘのＣｕ含有依存性
と熱処理の効果を表わす図であり、第２図は実施例３で
示しだ組成の永久磁石の（Ｂｆｌ ）ｍａｘと冷却速度
との関係図である。
と熱処理の効果を表わす図であり、第２図は実施例３で
示しだ組成の永久磁石の（Ｂｆｌ ）ｍａｘと冷却速度
との関係図である。
Claims (1)
- サマリウム２６〜２９ｆｆｉＪｔ％と、チタン０．２〜
３重址チと、銅３〜９重ｌチと、鉄１４〜２０重量％（
但し、１４重量％を含まない。）とを含み、残部が主と
してコバルトである金属粉末を磁界中で成形し、次いで
得られた成形体を焼結し、６００℃以上７００℃未満の
温度範囲において０．１秒〜２時間保持した後、毎分５
℃以下の冷却速度で徐冷することを特徴とする永久磁石
の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163091A JPS5952822A (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 永久磁石の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57163091A JPS5952822A (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 永久磁石の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952822A true JPS5952822A (ja) | 1984-03-27 |
| JPS639733B2 JPS639733B2 (ja) | 1988-03-01 |
Family
ID=15767011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57163091A Granted JPS5952822A (ja) | 1982-09-21 | 1982-09-21 | 永久磁石の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952822A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59160140A (ja) * | 1983-03-03 | 1984-09-10 | Toray Ind Inc | 化学線感応性重合体組成物 |
| JPS6399235A (ja) * | 1986-06-02 | 1988-04-30 | Toray Ind Inc | 感光性ポリイミド組成物 |
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| US6686106B2 (en) | 2000-06-26 | 2004-02-03 | Ube Industries, Ltd. | Photosensitive resin compositions, insulating films, and processes for formation of the films |
-
1982
- 1982-09-21 JP JP57163091A patent/JPS5952822A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS639733B2 (ja) | 1988-03-01 |
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