JPS5950440A - レジスト膜の現像方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　　発（月の技術分５１ｆ 不発、１月ルジスト膜の３見イ線力法に係り、特にＬ／
シス）Ｉｔ的現像液の簡１ト方法の（攻善に関するもの
１・ｔ＝２る。

（１））拶術のｆｊ＋　Ｘｉ 精毘？ＩＩ紹１加１拶神＋　、　４Ｉ　Ｋ　’Ｉ’堺併
犯積回路の製造−１、７ｊ４ｊ　Ｔ’　ｉ　、基板にレ
ジストを塗布し、これを露光おまひル、４ｍし−こパタ
ー−・ニングするこ七が頻繁に行なわれている。同時に
経済性上高速化による特性σ〕向」を目的Ｊ：　Ｌ、　
−Ｃノ’クーンの高集積化が進行し、＋のたノア＋ｙ１
．　ｌ、フロートノのメ：、ｊ　ｆｆ１’で、均一でか
つ平滑なＩｊ’、：＋　′Ｃ１［−：　ｌ＋Ｖすること
さ同時に現像作業ｏｙにおこる現像′Ｊｔらをなぐずこ
とか要求いねている。

（ｃ）　　穿沫技術と間顯点 従才のトジスト膜現像力θ、について図面を参照してｉ
ζ）明する１、卯１１ン１け従来の現像方法に使用する
現像装置の傭２略構成図であり同図において、］ｉｔレ
ジスト現像液を滴下するノスル、　　２１ｄ基仇２・上
に塗布さ右だレジスト膜であり＋　Ｆｌ’１３已ノスル
１け基板３の回転中心の上方に位慣している。ルは前記
桿状ろを載せる載置台、５＆′：ｉ載置台４の］へ而に
配ｌｉ１゛された具至ヂャンク、６はこの油卆チャ７ノ
ク５および賊賀台４分回転させる駆動モーター。

７はｆｉ、１．細裂ｒｒｉ本体の側壁、８け飛散びハ、
た現像液を拮除するための参ト亀孔である。

上記従来の現像装置を用いてレジスト膜を現像する場合
、駆動モーター６を停Ｊ１シた状態で載置台４上に所定
のレジスト膜２が塗布された児板３を真空ブλ′ツク・
３にてａＳ固定し次いで駆’ｆｔＪ＋−ｃ−り−６に上
ｌ′１基板；・罪をｌｌ＋定の低速回転しながら基仇３
６７）回転中心−１にｄＪ　＆’、ｌ　ｌ’＋　１１だ
ノズル］より郊板：ｉ　１＋＋１１１ｃ　、ｆ見イｆ１
．（イ：　４−、　ｍ１’　ｌ　ツノｒ　ｉＪ”４”＋
　２］％ｌ　（ａ）に示すこと＜　＋、＞　ス１１１“
Ｗ”　２か’）３　、ｒｌｌ−＼！ｌ　７’ｊフｉ＋、
　、９Ｊ：ｉ　ｔｙ＞　中心ｉｆ　’ｆ’ｓ、　像液（
１か間作・」イ、　こσ）Ｊうにし“Ｃ↓（オノシ回転
による遠心力とｌす１督σ）　Ｊ［Ｊ囮γイ’ｔ　ｉｌ
：Ｃ１１−Ｆ　ｆｌ料てＪ−）て同し１（ｂ）に示４”
と、（＜　け、ｊ　（’１．　（ｆ’ｔ　ｄかし　二　
スト１１１戸２により一で中子［Ｊいｌまた１、人様、
′〉曲］に全１１１１にａ・桿１した四点１゛現仰どイ
シ尚トハひ回転に−ｆＩ：□　ｌ　Ｌ−’−Ｌｊ：定１
１４１間於オ゛何、−（世４１（ｔ・Ｉ−。

ハ翻・）で１１訂ｇ・を紳、マ２．／回転に−１−１，
）−てル４現像液（］′を去（仁１２７・ｉｎ　ｊ：　
、Ｌ　ｉ　１１１ｔ＋ｆｉン１４延ブ、Ｌ”Ｃ各烙・す
る。必曹に応１−．　’Ｔ　ｌ；ｉｔｌ、、−Ｔ　ｌ”
：ｊ　ｆ、（４，’ｔ＋ｉｚ　回１＋’、　ｆｌ　返ｉ
−スｌ　トＫ　、ｔ　ツ１基υ、・′・　１σ））−：
−：ノ、ト１１・＋ｌ　シ！の現像→す（、了し微細ｊ
ｚ　）＜クーノか１１成２）れる　（以」のＬｔｌｌ、
偉力法４−スヒン現（、Ｑ・力υ、と叶ふ）。尚飛酔さ
７１だ訃現像液９′に１側壁′２ｋ・て）だ−ノー（Ｉ
」１液孔８　Ｋ　、Ｌつて仙除される。

（７カしソ、か１−・−１述したノビン現像方法におい
てノイ１，４１ｚ：’＋σ・中心１１１か自・側縁部に
拡かる現像１液の萌１ハＩＫ−屋ひ中心部に供Ｈ）きれ
る現像ｒ＋ｓの新鮮度によつ−１、ｊＪ−ｔＪＪ　、’
５の中心部のレジヌレζターンと一側縁部のレジストバ
クーンの寸法楯用に多少のバを生均 １、：　Ｊ／梼・、つ全イ）の斥−な見、イｅか！ｌｌ
ｊズ・１．いという問題かンｆ７．＝−＋Ａこう （，１１発１−！１．１σ）Ｎ的 体フＣ１シｊ４斗Ｉ的はかかる問題虞を解消１７て均一
で′久）ｌニジたし・シスト）漢の３見像力ＩＪ、り）
提供に多・る。

（ｏ）　　発Ｉ叫ぬ几ＩＪ、成 本発明し」ノル板上に塗布さｔまたレジスト肚の更イｑ
１ノア・ン入−（゛あづ−（ｌｉｉ托己県伏？：　−ｌ
　！ひ、しつつ、計〕Ｉわ゛・ｌクー゛回１１．り中心
Ｊ″ｋ・ゴ〕る線」−に１１ｉ′夕１−１シだゆ数の江
゛イｉイつ簡−１臼−×（・ｊ注１’ｌ−ｉ胃より１該
現像ｒｆ＋を酪、−トして、０１］酌井Ｊｊ＋７全ｉｉ
１　＋・こ孫ｔθした少１回転を佇ｔｌＬ、１所ンｉ時
間於！？：ｉ　Ｉ−、、７尺いてい１１転し１訃（見、
イ４（本を４（作ンさする一１稈が含−！ｈ−（なるＣ
−とを稲徴とする。

（ｆ）　　４６．１１月の実施ｆ列 置＝１一本発１！１１のす施例（（ついてしｌ　ｉＲ＋
を参照・して貌ｉｉ１．ｌ　−ｉ　ル。第３　図１１−
１本発明の一実ＭＩ＋、例Ｃ〕、）　Ｌ−ジスｌ」ｊ、
’ｊの現像方法を実施するための現イ＆７・装ｖ１の秘
略イ１″（、戚。

図である。ｆ、″ａ前図％ｊｉｉ１吋のバト多〕に−）
いでに同−勾すを１・ＩＬｔいる。回図例おいて駆動９
−−−クーロを９、ＬＩｔ’　Ｌ、　；’ｃ′１．Ｉ；
　ＩＪ？’ｔ　＋％　’ｇ（召４　）、Ｋ　所定ノＬ／
　シストｌｌ’ｚｊ　２かみ）′！在さｔ）たノ１１、
法３を↓゛ｌ草チー＼ンク５にて吸着固定し、（”くし
）でＷく小トコ−タ　　６によ１）ノ、（板３を早′す
５０１）・川で低速回転し／・か１、基υバうの回１、
中心４ｊ、ｉｌ−［に１１９（・（Ｃ１］）た杉・発、
の規１；０□−１イ葵が１ｉ１１　　イ（、ｔ　］　４
０具イＩｉｌ：　ｌ−、−＋、　なル１μイ＊　／？＋
　’０１、ｆｆ１Ｑ’ｔ１２　％：Ｍｎ　Ｌ　Ｔ、　Ｘ
’＜ｉｔ＞ｌ−Ｆ孔１．１　’Ｊ、　リｌＩ＋１転Ｊ＋
（’　ｉｉ、ス山・土に規（１，・液を滴下ずれ一″第
４図に示ｒことく、基板３全面上に略同時に現像液１．
３によで１て被覆さｔＬ、　Ｉｋい−Ｃ現像液の絽１−
１及（］回転を停Ｊしする。この、）、うにし−（約］
０秒聞ｈ９枦１［２塗２１Ｉき７１にレジスト脆２を該
現像液１３によって現イψし。

次Ｕ・で回転によって該現イ象沼−１３を＾（板７・向
上」二りｆｉｌｆ４ｊ除夫１−Ｃ除煙１回転を停止する
１　引き続い１円用計浩Ｊ］（１，１］より回転基鈑ｈ
　１ｆ１ｉ−，１に現像液をＩＭ　１−　Ｌ、　Ｔ現像
をくりかλ−ゼけ、所望の均一なバクーシの形成かｒｌ
、Ｉ能、と々る。ｆｌ、］　Ｔｈ’＋ト孔の代りに中心
練土に細長い崗ト溝を設り−Ｃも同情の効果を得るこＬ
が−Ｃきる。

（ｇ）　　発１力の効果 すなわち基板の回転中心さ交わる線」−（・４６１１列
したＧ数の現イ（１液滴１・孔より該現像液を朗記基板
全曲に滴下して略同時に彼値されるこ吉により現像の１
１４１問３：（’、　（フ・よ０液の現悼を力か全面に
わたって均一となり、したがニー・て均一で安定１．た
レジスミ−膜の現（引力法か可能とカリ、高配９品の取
得率ｆｆ１ｌＪ：りｒ、　ＩＬ′ｉ’ｊ’ｃ＋慴１歩留
向−■で大きな効牙を得ることがＣきる４ ４　し！＋ｉＴｉ＋の簡１＋々；悦り］ζ゛１５１し１
ｆｄｆｒ来の現像方法（てイｄ、用する現像装置の）：
：を略イ１４成し１．第２−ｋＬにｆ：沫の現像方法を
説明するｉ’ｊ　＆’）　（Ｑ　、９ｙ　＋’：ｊ”　
ｌ’ｊｌ　１ｆｌｌ　［”、第３図ｖ１木発Ｅ３Ｊｊｔ
７）一実施例のレゾノド１トさの現像方法を実１ｉｉＩ
ｉするだめの現像装置σ）概ｌ□ｉ；彊、％Ｄ’ｊ　ｌ
ｒｌ　、第４図１Ｊ木発明の一実施例を脱明するだめＵ
）要部断１Ｔｉｉ図である。

図におい−Ｃ，２ルジメ１−１１桑、３１づ基イ丸　コ
］ｉ、Ｉ　現（４Ｒ＃ｌｌ＆ｌ下孔、　　１３１１」現
像？ｉＶｋ示ｆ。

第１図 第２図 （ＣＩ） 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 厚板上に塗布孕れたレジスト膜の世、偉力法であって、
   前記基板を１９ｊ転しつつ、該第Ｕｊの回転中心（！：
   交わる線上に配列した複数の」ν１便Ｗ号滴下孔りは簡
   （ζ溝より該現像液を滴１し一τ、　ＩＩＩＦ、ｅ、基
   板全面に被ツした後、　ｌｉ；１転を停止して所定時間
   放置し９次いで回転し、て該現像液を飛散させる寸、稈
   が茗１ねてなるζ々を特？Ｌ！ｌる【／ジフト１１Ｑの
   現像方法。