JPS59501338A - 電気音響変換器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 電気音響変換器 発明の分野 この発明は変換器の分野、より詳細には電気音響及び／あるいはエレクトレット 変換器に関する。

発明の背景 エレクトレット電気音響変換器は通常導電性バックプレート及び周辺スペーサに よってこのバックプレートより分離された永久荷電エレクトレット　ダイアフラ ムより構成される。エレクトレット　ダイアフラムのバックプレートより遠方の 表面は金属性化し、この金属性他面保持する。ダイアフラムを打つ音響信号から 発生する電気信号はイノピーダンス整合前置増幅器回路に送られるか、このイン ピーダンス整合前置増幅器回路は、通常バンクプレートをこの回路と電気的に接 続させるためにバックプレートに隣接して塔載される。最後に静電ｔ！蔽を提供 するために、通常これら構成要素を導電性応力部材との電気的接続及びアース端 子との接続を与る導電性ハウシング内にアセンブルする。

この基本構造は様々な異なる構成において見られるか、問題はこの構成の殆が自 動製造、アセンブリ、及びテスト手法に適さないことである。

この問題を解決するために提唱されたとみられる１つの構成か、１９７３年１１ 月２７日にイノハシ（ｌ５ｈｉｂａｓ旧）らに発行された合衆国特許第３，７７ ５，５７２に開示されている。イシバシは連続ストリップ上に形成された３個の り一ト群を使用するマイクロホンを開示している。これらリードの１つの上端に 隣接して集積回路チップを接合し、つぎにチップ上の回路とリード間にワイヤー 接続を行う。次にリードがその支持物の軸に平行にそしてその支持物の底面から 外に出るようにこのアセンブリをディスク形吠の絶縁支持物的に包囲する。次に リードを連続ストリップから切断し、リードの１つを支持物の低面と概むね水平 となるように切断する。該リードはこの支持物の上面に接近して延在するたけの 高さであり、支持物の上面をこのリードの端面を十分露出できるよう重ねる。次 にバックプレートをこの支持物の上面に取り付るか、あるいは上面に金属を蒸着 してバックプレートを形成して、バックプレートをリートの露出端面とかみ合わ せることによりリートとの電気的接続を行なう。その後、リング状絶縁スペーサ 及びリング状導電性スペーザの下側に塔載されたダイアフラムをこの支持物上に 順番に重ね、この集合体を倒立金属カップ内にアセンブルする。このアセンブリ 作業はディスク状絶縁スペーサ及び導電性遮蔽プレートを支持物の下面に重ね、 金属カップのくちびるを遮蔽プレートに対して回転させて、このアセンブリを互 いに保持することによって完成する。

この設計はその会社の所有者によっである点において満足できないものであるこ とかわかった。イノ／＜シらに１９７９年１０月９日に発行された合衆国特許第 ４，１７０，７２１の導入に、′バックプレートとして使用する導電性物質が絶 縁部材に均一にコートされないとき、あるＬ）Ｉ−１絶縁部材の上面か平坦に形 成されないときは、／＜−）クプレートとダイアフラムの距離が一定でな％Ｓ　 ｌと言己述されているごとく、それでサブアセツブＩＪ　ｊよ飽らめなくてＣｔ ならなかった。

この次の特許にて開示されてｂ）る解決策での構造では、ハックプレートを第２ の絶縁支持物的すこ包囲し、／＼、クプレートは第２の支持物の低面の丁に延在 する高さヲ有する。バックプレートとの電気的接続を達成１−るためのリードは 、第１支持物の上面と水平でｉｔなく、上面の上に延在し、また／（・ツクプレ ートの下端を収容１−るための開口部を有す追加の絶縁部材を第１と第２支持物 の間に置く。さらに電気的ゐこ互０に接続１−るためＩＪ　Ｆとバックプレート との間にコネクターを介在させる。これら構成要素は最初の構造の構成要素の追 カロであり、この解決策はこの構造をかなり複雑なものとしてｂする。

発明の要約 この発明の電気音響変換器は、前述の第１の発明りこよって起きる問題及び前述 の第２発明によって開示される構造の複雑さなしに自動製造力＄可能である。

この発明による変換器は、複数の１ノード及び）（・ツクプレートの両者を提供 する単一個別導電性フレーム部材上にアセンブルする。増幅器チップをリートの １つに接着し、誘電性内部ハウジング部材をハックプレート及びこれに隣接する り−ト部の回りに鋳造する。この内部ハウジング部材はチップを包囲し、バック プレートの周辺を囲み、そしてバックプレートの各側に延在する円筒状開口部を 提供する。次に、内部ハウシング部材の周辺の回りに導電性外部ハウジング部材 を鋳造し、続いて、スペーサ、エレクトレット　ダイアフラム　アセンブリ、及 び導電性ガスケットを順番にハックプレートの片側上の開口部内に位置する。そ の後、導電性前面及び背面カバーを外部ハウジング部材に接着して開口部を閉じ 、音響的に調節された前面及び背面ヂャンパーを提供し、そして変換器に静電遮 蔽を提供する導電性包囲を完成する。

これに加えて、ガスケットによってエレクトレット　ダイアプラム上の金属性化 面と導電性包囲の間に電気的接続を提供する。

図面の簡単な説明 第１図はこの発明を具体化したエレクトレット電気音響変換器の斜視図を示し； 第２図はリード及びバンクプレートの両者を構成する個別フレーム部材を形成す るだめの導電性ストリップの平面図で、ここではり一トかこれに接合された電気 素子を仔し；　第３図はバックプレートの周辺及びリート部の回りに鋳造された 追加の誘電内部ハウジング部材を示す平面図； 第４図は第３図の線４−４に沿って切断された側面図； 第５図は内部ハウジング部材の周辺の回りに鋳造された追加の導電性外部）−ウ ジノブ部材の平面図；第６図は第５図の線６−６に沿って切断された側面図： 第７図はストリップから切断した第５及び６図のサブアセンブリ並びにリードか ら切断した／＜・ツクプレートを示す平面図； 第８図は変換器を構成する構成要素の分解斜視図；そして 第９図は第１図の線９−９に沿って切断された完成変換器の断面図を示す。

詳細な説明 第１図に示すごとく、本発明の電気音響変換器羽の一実施態様は、一端か外に延 びるリードを存す長方形の箱１大の構造から構成される。この構造の基本的な要 素むよ、第２図に示ずごとく、単一フレーム部材１００である。このフレーム部 材１００は好ましく心よ、銅などの導電物質の連続ストリップ１０の延長方向９ こ沿って反復成形１−る。これに加え、フレーム部材１００番よ、支持あるｔ′ １ムま強度を与えるための誘電性基板などの追加要素の使用力へ省けるように十 分な厚さをもつ不連続で、自体を支えることかできるような部材から構成する。

このフレーム部材１００は１個の／＜・ツクプレート１１０並びに３個のリード １２０．１３０及び１４０を含む。ハックプレート１１０は内部に一連の穴１１ ２ををし、２個の連結リンク１１４及び１１５によってスト１Ｊツブ１０に接合 する。これに加えて／Ｘ、ツクプレート１１０は、その周辺に外側に向って延在 する足１１８ををす。リート１２０−１４０の下端はストリ・ツブ１０に接合し 、一方、リードの下部は互いに接合し、ウニ・ツブ１５０によってストリップに 接合する。リード１２０の」１端はリート川３０及び１４０の上端並びに／Ｘ・ ツクプレート１１０の足１１８に隣接して延在するアーム部１２２を含む。リー ト１２０の上端はさらにとのリートを７トソクプレート１１０に接合する連結り ／り１２６を含む。

集積回路チップ２００は、好ましくは、Ｓ、Ｈ，アーリ（Ｅａｒｌｙ　）及び　 Ｒ，Ｈ，フイナ−（Ｍｒｎｅａｒ　）による共同特許出願、第３７０，４９８号 、１９８２年４月２１日出願、そして本出願として同譲受人に譲渡された明細書 に開示する回路であり、リード１２０のアーム１２２の解放端に接着する。チッ プ２００上の回路は、個々の連結線によってハックプレート１１０の足１１８、 リード１２０のアーム１２２並びにリード１３０及び１４０の上端に電気的に接 続する。また、薄膜コンデンサを備えるチップ２５０をリート１２０−１４０に 接着し、電気的に接続する。

次に、第３及び４図に示すごとく、バックプレート１１０の周辺の回りに誘電性 内部ハウジング部材３００を鋳造するか、この内部ハウジング部材はバックプレ ートの両側に延在する開口部３１０を有す。第４図に示すごとく、開口部３１０ は、バックプレート１１０の一方側か他方側より高くなっている。高い方の開口 部は変換器の前面にあたり３１０Ｆで示し、一方低い方の開口部は変換器の背面 にあたり３１０Ｂで示す。

開「１部３１０は基本的に円筒形である。しがし、第３図から最も明らかな通り 、開口部３１０を定める内面は連結リック１１４．１１５及び１２６に整合する ３個の後退部３］４．３１５及び３１６を含み、これによってこれらリンクを露 出したままとする。あるいは、開口部３１０は完全に円筒形七し、それぞれこの ３個の連結リンクに整合して３個の追加の開口部を提供するこ七もてきる。

さらに内部ハウシノグ部材３００をバックプレート１１０に隣接するり一ド１２ ０−１４０の部分の回りに鋳造し、この内部ハウシング部材にて、集積回路チッ プ２００、連結線、及びコンデンサー２５０を包囲すル。第３し１に最も明らか に示すごとく、ウェッブ１５０は露出したよまとする。さらに、内部ハウシング 部材３００の／Ｌ側には後退部３２０を与えて、リード１２０の部分を露ｉ−１ ’　［、たまよとする。内部ハウシング部材３００は好ましくは、半導体等級の 鋳造化合物から鋳造する。

次に、第５及び６図に示すごとく、内部ハウジング部材３０００回りに導電性外 部ハウジング部材を鋳造する。この外部ハウジング部材４００は開口部３１０Ｆ 及び３１０Ｂより大きく、これに整合する長方形の開口部４１０Ｆ及び４１０Ｂ を含む。この開口部を除き、この外部ハウジング部材にて、リード１２０−１４ ０に直ちに隣接す終端以外の全ての内部ハウジング面を覆う。外部ハウシング部 材４００は内部ハウシノグ部材３００の縁にある後退部３２ｏ（第３図）を満ず ため、これはり−Ｆ　１２０とかみ合いリート１２０と電気的に直接接続される 。この外部ハウジング部材４００は好まルくは、導電性等級のアクリロニトリル 　ブタジェン　スチレンより鋳造する。

次に、第５及び６図に示すごとく、外部ハウジング部材４００の鋳造を終えたら 、完全にないし部分的にストリップＩＯから分離か可能なサブアセンブリ４５０ を製。

造する。完全分離は外部ハウシング部材４００の外側に延在する連結リンク１１ ４及び１１５の部分の切断、リ−Ｆ　１２０−１４０の下端の切断、並びにウェ ッブ１５０の除去によって達成する。外部ハウジング部材４００を次にリード１ ３０及び１４０がら電気的に隔離し、また同時に、サブアセンブリ４５０をスト リップ１ｏより分離し、バックプレート１１０をフレーム部材１００の残りから 分離する。とれはそれぞれ内部ハウジング部材３００の開口部３１０の後退部３ １４．３１５及び３Ｉ６内の連結リンク１１４．１１５及び１．２６を切断する ことによって達成する。次にバックプレート１１ｏを関連する連結線を経てのチ ップ２００（第２図）上の回路への接続を除き、電気的に隔離する。

連結リンク１１４．１１５及び１２Ｇは切断したらさらに」二向きに曲げること により、このリンクからのバンクプレートの電気的隔離をさらに強化する。この 連結リック１２６をさらに概むねＳ形曲線に曲げて、サブアセ／ブリ４５０の平 面に概むね平行に延在するこのリンクの解放端に接触面を提供する。

より好ましくは、サブアセンブリ４５０はストリップ１０から部分的にのみ隔離 する。第５図に示すごとく、部分的に分離するためには、リード１３０及び１４ ０の゛ド端のみを切断し、リート１２０とリート１３ｏ１　リート　１３０　と 　リ　−ド　１４０　、及　び　リ　−　ド　１４０　と　ス　ト　リ　。

プ１０の間に延在するウェッブ１５０の部分のみを除去する。完全分離の場合と 同様、同時にバックプレート１１０を」１記に説明の方法にてフレーム部材１ｏ ｏの残りより分離する。次に、リード１３０及び１４０をチップ２００（第２図 ）上の回路及びチップ２５０上のコンデンサへの接続を除き電気的に隔離する。

さらにバックプレート１１０をデツプ２００上の回路への接続を除き電気的に隔 離する。

この結果、サブアセンブリ４５０はまたストリップ１０に物理的に支持されてい るか、このサブアセンブリにさらに追加の構成要素を加える前に、このサブアセ ンブリ４５０の回路を容易にテスト可能である。このテストはハックプレート１ １０とリード１２０あるいはストリップ１０の間に適当な信号を与え、リード１ ４０とり一ド１２０あるいはストリップ１ｏの間にバイアスを与え、そしてリー ド１３０の出力を検出することによって達成する。つまり、部分的分離の構成が 、自己自動テストの機能を提供する訳けである。　変換器のアセンブリにおける 次のステップは、第１．８及び９図に示すごとく、ストリップ１ｏがら完全に分 離する場合、部分的に分離する場合の両方とも、内部ハウジング゛部材３゜Ｏの 前面開口部３１０Ｆに誘電性環状スペーサ５００を位置することから成るが、こ のスペーサをバックプレート１１０上に置く。次に、ダイアフラム　アセンブリ ６００を前面開口部内にスペーサ５００とがみ合せて位置するか、このダイアフ ラム　アセンブリ６ｏｏは、環状エレクトレット　ダイアフラム６２５及び硬直 導電性環状支持物６５０より構成する。ダイアフラム６２５の上面は全屈性化す ることにより導電性表面を提供し、また支持物６５０をこの表面に接着して、ダ イアフラムを軸応力下に置く。とうして支持物６５０により、ダイアフラム６２ ５を応力下に保つ。

Ｈ面内部ハウシング部材３００の前面開口部３１０Ｆ内に置く最後の構成要素は 、導電圧縮性ガスケツ）７００であり、これを支持物６５０の上に置く。ガスケ ット７００は、基本的には支持物６５０と同一構成の環状部材であるか、これは 概むね内部ハウジング部材３００の開口部３１０内の後退部３１６に合うタブ部 ７１６を持つ。上記に説明したごとく、連結リンク１２６（第７図）は、後退部 内を上方向に延在し、結果的にガスケット７００のタブ部７１６とかみ合うこと となる。したかって、ダイアフラム６２５の導電性面は、支持物６５０、ガスケ ット７００、そして連結リンク１２６を経てリード１２０に電気的に接続するこ ととなるか、このリートは外部ハウシング部材４００か電気的に接続されそいる のと同一のり一ドである。ガスケット７００は好ましくは、導電性シリコンゴム 化合物より成形する。

変換器のアセンブリは、導電性前面カバー８００と導電性背面カバー９００を外 部ハウシング部材４００に接合することにより完結する。前面カバー８００と背 面カバー９００の周辺はそれぞれ、外部ハウジング部材４００内の前面開口部４ １０Ｆと背面開口部４１０Ｂに合わ（する。カバー８００及び９００は好ましく は、外部ハウシング部材４００と基本的に同一のポリマーにて成形し、また好ま しくは超音波結合により外部ハウジング部祠に接合する。

前面カバー８００は外部ハウジング部材４００に接合されると、圧縮され、これ によってガスケット７００に電気的に接続され、結果として、ガスケット７００ はダイアフラム６２５の導電性表面を連結リンク１２６（第１２６）及び外部ハ ウジング部材４００の両方を通じてリード１２０に電気的に接続することとなる 。これに加えて、圧縮されたガスケット７００は、ダイアフラムアセンブリ６０ ０をスペーサ５００に直接かみ合わせ、またスペーサをバックプレート１１０に 直接がみ合わせるためのハイアスカを提供することとなり、こうして、ダイアフ ラム６２５とバックプレート１１ｏの間に管理された空気間隙か提供される。

前面カバー８００は、これを突き抜ける敗因の穴８１０を佇するか、音響フィル ターとして機能し、電気音響周波数応答形状を提供する。好ましくはこれら穴は 、この機能を遂行させるためのスクリーンを追加せずに済むような、大きな音響 インピーダンスを提供できる非常に小さな穴とする。このような小さな穴は、好 ましくはレーザードリルによって達成する。

最後に、前面カバー８００及び背面カバー９００はそれぞれ、開口部３１０Ｆ及 び３１０Ｂに延在する突起部８２０及び９２０を佇ず。突起部８２０及び９２０ は、特定の用途のための所望の周波数応答形状を得るために前面及び背面音響チ ャツバ−容積を調節するための便利な手段となる。

変換器は背面チャンバーに通じる外部開口部を提供することにより、接話形式に 変更することも可能である。

これは内部ハウジング部材３００の開口部３１０内の後退部３１４及び３１５（ 第７図）に通じる穴を背面カバー９００に提供するか、あるいは前面カバー８０ ０にこの追加の穴を提供するかによって達成できる。

変換器はまたダイアフラム６２５にエレクトレットの代わりに圧電ポリマーを使 用することもてきる。この構成においては、ダイアフラム６２５は上面及び下面 の両方を金属性化し、スペーサは５００は導電性でなく誘電性物質にて構成する 。

これら及び他の変更かこの発明の精神及び範囲にそむくことなく実行できること は当業者にとって容易に了承されよう。

ＦＩＧ、／ ＦＩＧ、　２　ＦＩＧ　３ ＦＩＧ、　５ ＦＩＧ、θ 国際調査報告 Ｉｎ＋＋＋ｍｓ＋１ｏｎｓｌ＾”””ｊｔ””０ＰＣＴ／ＵＳ８３１００１１９ −２−ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　Ｔｌ−ＺＮＴＥ助ＩＡＴ工ＯＮＡ、Ｌ　ＳＥＡへ（： ：（ＲＥＰＯＲＴ転４ＩＮＴＥＲＤＩＡＴＩＯＮＡＬ　ＡＰＰＬＩＣＡＴＩＱＮ 　Ｎｏ、　ＰＣＴ／ｌｌｓ　８３１０Ｃ１１１９（ＳＡ　４７１０）Ｐａ七ｅｎ 　ｔ　ｄｏｃｕｍｅｎｔ　ＰｕｂｌｌＣａｔｌＯｎ　Ｐａｔｅｎｔ　ｆａｍｚｌ ｙ　Ｐ　ｕｂＩＬＣａＥ”＋ａｎｃｉｔｅｄ　ｉｎ　５ｅａｒｃｈ　ｄａｔｅ　 ｍｅｍｌ虎ｒ（ｓ）　ｄａｔａｅｐｏｒｔ 第１頁の続き

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．複数のリード及び１個の／＜・ツクプレートの両者を成形する単一個別導電 性部材； ハックプレートに隣接して位置するダイアフラム；及び ／シックプレートと少なくとも１個のリードの間に電気的接続を提供するための 装置より構成される電気音響変換器。 ２、電気接続装置が集積回路並びに該回路とノ（・ツクプレート間及び該回路と 少なくとも１個のリードの間に延在する連結線より構成されることを特徴とする 請求の範囲第１項に記載の電気音響変換器。 ３　回路がリードの１個の上に支持されており、誘電性ハウジングがバックプレ ートの周辺並びるこｌ＜、ツクプレートに隣接するり一ト部に鋳造されており、 該誘電性／Ｘウシングか回路及び連結線を包囲し、また）（、ツクプレートの片 側に開口部を有し、この中にダイアフラムカム位置されることを特徴とする請求 の範囲第２項に記載の電気音響変換器。 ４、コンデンサがリード上に支持及び電気的に接続されており、また誘電性／１ ウシングが該コンデンサを包囲していることを特徴とする請求の範囲第３項に記 載の電気音響変換器。 ５、バックプレートの周辺及びバックプレートに隣接するり一ド部に鋳造された 誘電性ｌ＼ウジングをさらに含み、該誘電性ハウジングがハックプレートの片側 に開口部を有し、この中にダイアフラムが位置することを特徴とする請求の範囲 第１項に記載の電気音響変換器。 ６、誘電性ハウジングが内部ハウジング部材であり、該内部ハウジング部材の回 りに導電性外部ハウジング部材か鋳造されており、これがリートの１つとかみ合 うと七を特徴とする請求の範囲第３項ないし第５項に記載の電気音響変換器。 ７、ダイアフラムか、エレクトレット及び導電性環状ガスケットより構成され、 バックプレートに対して遠い方のダイアフラムの表面が導電性であり、該ダイア フラムか該ダイアフラムを応力下に保つための導電性環状支持物に接合されてお り、そして導電性環状ガスケットが支持物とかみ合い外部ハウジング部材とかみ 合うのと同一のり−トに電気的接続を提供することを特徴とする請求の範囲第６ 項に記載の電気音響変換器。 ８　内部ハウジング部材内の開口部の上に導電性ガスケットとかみ合うように位 置されており、外部ハウジング部材に接合されている導電性カバーをさらに含む ことを特徴とする請求の範囲第７項に記載の電気音響変換器。 ９．１つの導電性部材； 導電性部材の周辺に鋳造された導電性部材の少なくとも片側に開口部を持つ誘電 性ハウジング；及び該導電性部材に隣接して開口部内に位置されるダイアフラム から構成される電気音響変換器。 １０．誘電性ハウジングが内部ハウジング部材であり、該内部ハウジング部材の 回りに導電性外部ハウジング部材か鋳造されていることを特徴とする請求の範囲 第９項に記載の電気音響変換器。 １１、ダイアフラムが圧電ポリマーより構成されており、これか導電性部材に隣 接する面と遠方の面の両方に導電性面ををし、導電性部材に隣接する導電性面が 導電性部材と電気的に接続されており、導電性部材の遠方側の導電性面か導電性 ハウジングと電気的に接続されていることを特徴とする請求の範囲第１０項に記 載の電気音響変換器。 １２、内部ハウジング部材内の開口部に位置し、外部ハウシノグ部材に接合され る導電性カバーをさらに有すことを特徴とする請求の範囲第１０項に記載の電気 音響変換器。 １３、互いに分離された複数のり一ド；リートの回りに鋳造された誘電性部材： 誘電性部材に支持された導電性部材； 導電性部材に隣接して位置されるダイアフラム；及び誘電性部材の回りに鋳造さ れた導電性ハウジングから構成される電気音響変換器。 １４、ｓ電性部材かバックプレートであり、ダイアプラムかバックプレートの遠 方側に導電性面を有し、そして変換器がさらにダイアフラムの導電性面と導電性 ハウシングの間に電気的接続を提供する装置を含むことを特徴とする請求の範囲 第１３項に記載の電気音響変換器。 １５、接続装置かダイアフラムの導電性面とがみ合う硬直導電性部材及び該硬直 部材とかろ合う圧縮導電性部材を含むことを特徴とする請求の範囲第１４項に記 載の電気音響変換器。 １６、Ｒ電性ハウジングかり−トの１つとがみ合うことを特徴とする請求の範囲 第１３項に記載の電気音響変換器。 １７、導電性ハウジングか導電性部材と整合、する開口部を含み、該開口部内に 導電性包囲部材が位置し、これか該ハウシングに接合されていることを特徴とす る請求の範囲第１３項に記載の電気音響変換器。 １８１つの硬直導電性フレーム部材： フレーム部材の回りに鋳造されたフレーム部材の少なくとも片側に開口部を佇す る誘電性部材：開口部内に支持されるバンクプレート：及びバンクフレートに隣 接して開口部内に位置する工１／’／トレッドダイアフラムから構成されるエレ クトレット変換器。 １９、フレーム部材か複数のり一ト及び１つのハックプレートを含むことを特徴 とする請求の範囲第１６項に記載のエレクトレット変換器。 ２０、誘電性部材の回りに鋳造された導電性ハウジングをさらに含むことを特徴 とする請求の範囲第１８項に記載のエレクトレット変換器。 ２１．１つの導電性フレーム部材； フレーム部材の回りに鋳造された少なくとも１つの音舌チャンバーををする誘電 性内部ハウシング部材；及び誘電性内部ハウジング部材の回りに鋳造された専電 性外部ハウジング部材から構成される電気合口変換器。 ２２、複数のリード及び１つのバックプレートを形成する単一導電性フレーム部 材； バックプレートの周辺及びバックプレー１・に隣接するリード部の回りに鋳造さ れた、バックプレートの各側に延在する開口部ををする誘電性内部ハウジング部 材；内部ハウジング部材の回りに鋳造された、リードの１つとかみ合いまた内部 ハウジング部材の開口部と整合する開口部を含む導電性外部ハウシング部材：内 部ハウジング部材内にバックプレートの片側上に位置し、バンクプレートの遠方 側に導電性面を有すエレクトレット・ダイアフラム； ダイアフラムの導電性面に接合されたダイアフラムを応力下に保持する環状硬直 導電性支持部材支持部材と整合して位置し、外部ハウジングがかみ合うリードに 電気的接続を与える圧縮導電性環状部材；及び 外部ハウジング部材の開口部内に位置し、外部ハウジング部材に接合されており 、前面カバ一部材が圧縮部材とかみ合う前面及び背面導電性カバ一部材工り構成 される電気音響変換器。 ２３、カバ一部材が圧縮部材を圧縮することによって圧縮部材か支持部材及びダ イアフラムをバックプレートに対してバイアスして位置させることを特徴とする 請求の範囲第２２項に記載の電気音響変換器。 ２４、カバ一部材の外部ハウジング部材への接合が前面及び背面の音響チャンバ ーを提供し、カバ一部材が各チャンバーに延在する突起部を有し、該突起部が該 前面及び背面の音響チャンバー容積の調節機能を提供することを特徴とする請求 の範囲第２２項に記載の電、電音グ変換器。 ２５、導電性物質のストリップより複数のり−トを含むフレーム部材を成形し： 該フレーム部材の回りに少なくとも１つの音響チャンバーを含む誘電性内部ハウ ジング部材を鋳造し；そして”該内部ハウジング部材の回りに導電性外部ハウジ ング部材を鋳造するステップよりｆ＋Ｗ成される電気音響変換器の製造方法。 ２６、導電性物質のストリップより、複数のリード及びストリップに接合する１ つのバックプレートを含むフレーム部材を成形し；そして バックプレート及びリード部の回りにバックプレートの少なくとも片側に開口部 を有する誘電性ハウジング部材を鋳造するステップより構成される電気音響変換 器の製造方法。 ２７、誘電性ハウジング部材の回りに誘電性ハウジング部材内の開口部と整合す る開口部を仔する導電性外部ハウジング部材を鋳造するステップをさらに含むこ とを特徴とする請求の範囲第２６項に記載の電気音響変換器の製造方法。 ２８、バックプレートをハウジング部材を貫通して外部に延在する連結リンクに よってストリップに接合した後、連結リンクよりバックプレートを切断するステ ップをさらに含むことを特徴とする請求の範囲第２３項に記載の電気音響変換器 の製造方法。 ２９、バックプレートを連結リンクによって最初のリードに接合し、バックプレ ートを他の連結リンクより切断するのと同時に該連結リンクより切断した後、最 初のリードの切断した連結リンクを曲げて上昇接触面を形成するステップをさら に含むことを特徴とする請求の範囲第２４項に記載の電気音響変換器の製造方法 。 ３０、バックプレート上に誘電性スペーサを位置し：該スペーサ上にバックプレ ートの遠方側に導電性面を仔ずエレクトレット−ダイアフラム及び該ダイアフラ ムの導電性面に接合された導電性支持物から構成されるダイアフラム・アセンブ リを置き： 該ダイア７ラムーアセンブリの支持物上に４電性圧縮ガスケツトを置いて、該ガ スケットをリードの最初の連結リンクとかみ合せ；そして 導電性カバーをガスケットとかみ合うように外部ハウジング部材の開口部内に置 き、該カバーを該外部ハウジング部材と接合するステップをさらに含むことを特 徴とする請求の範囲第２９項に記αの電気音響変換器の製造方法。 ３１、最初のリード以外をストリップより切断し、そして他のリードと最初のリ ードの間、他のリード間、及び他のリードとストリップ間の物理的接続を断つス テップをさらに含むことを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の電気音響変換 器の製造方法。 ３２、リードの１つの上に集積回路を支持し・、これを各リート及びバックプレ ートに電気的に接続し、そしてこれを誘電性ハウジング部材にて包囲した後、適 当な信号をバックプレートと最初のリードあるいはストリップ間に与えて、また 他のリードの最初と最初のリードあるいはストリップの間にバイアスを与え、そ して他のり−”トの２番目のリードからの出力を検出することにより該回路をテ ストするステップをさらに含むことを特徴とする請求の範囲第３１項に記載の電 気音響変換器の製造方法。