JPS59500018A - 光電子増倍管検出器保護装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光電子増倍管検出器保護装置および方法本発明は、広くは光電子増倍管検出器に 関し、より詳細には、それと共に用いられる保護装置および方法に関する。本発 明は、特に、過剰な入射光束が低減あるいは除去される迄光電子増倍管検出器の 動作を安全レベルに維持しかつ過剰な入射光束の適用によってら：起こされる損 傷から前記検出器を保護するのに適する。

光電子増倍管検出器は、低いレベルの光を感知すなわぢ検出する種々の１に、用 に使用されている６そのような検出器では、光エネルギーは、入射光エネルギー に比例１．ｒ？ｆｉ了−を放出する光電子放出陰極をこぎ・ｊけられている。放 出された電Ｔは、二次電子放出として知られている過程を経て増加した多数の電 子を放出する一連のダイノーｉの第１段ダ・イノードに向けられる。各タイノー ドからの増加した多数の二次放出電子は、前記一連のダイノードのうちの次段の ダイノードに１荒れ、最終段のダイノートからの電子放出を受けるべく配属され た陽極から出力電流が起生される。各タイノードでの二次放出の結−果によって 生しる増幅は、１０６以上の高いゲインすなわち陰極電流に対する陽極電流の比 を有する極めて高感度の光電子増倍管検出器を提供する。

一連のｉｆｊ記ダイノードのそれぞれは比較的高９）電圧の電源に接続されてお り、前記一連のダイノードの内の第１段から最終段のダイ／−ドへ向けて電圧か 増大する。一般的には、高電圧電源は固定抵抗器からなる電圧分割回路網のため の高電圧源として作用し、該電圧分割回路網は前記一連のダイメートに要求され る種々の電圧を供給する。前記光電子増倍管検出器から流出する出力電流は、光 電子放出陰極に当たる入射光エネルギーと、前記電圧分割回路網に印加され続い て前記ダイノードに印加される電圧との双方に比例する。

ＡＩＪ記電圧電圧分割回路１網前記ダイノーＦに印加される電圧は、以後、総称 的に「ダイノード電圧」と称呼することがある。従って、所定の一定値の光束す なわち光度に対し、前記検出器の陽極から流出する出力電流は、前記ダイノード 電圧を変える（すなわち前記電圧分割回路網に印加される高電圧を変える）こと により、変化させることかできる。前記光電子増倍管検出器の感度は所定の一定 入射光束しこ対する出力電流量で表わすことかできることから、前記検出器感度 は前記タイノード電圧を変えることによって変化させることかできることか理解 できよう。

光電子増倍管検出器を使用するについての問題は、検出器内に破壊的な大きな電 流を生じさせる入射光束およびタイノード電圧の組合せから前記検出器を保護す ることにある。そのような事態は、前記ダイノード電圧、従って、検出器感度が 初めの比較的低い入射光束に対して初期設定されている場合に生じ得る。いずれ にせよ、前記入射光束が増大すれば、前記光電子増倍管内での電流増幅作用は、 前記検出器に損傷を与えあるいは該検出器を破壊するレベルに迄、該検出器を流 れる電流を増加することかできる。従って、前記検出器を流れる過剰電流を生じ させ得る入射光束およびタイノート電圧の組合せから光電子増倍管検出器を保護 することが必要−□となる。

光電子増倍管検出器の保護についての問題は、スペクトル分析を受けている試料 内を通過す、る光を感知すべく光電子増倍管検出器が分光光度計に広く使用され ている分光測光法の分野で生しる。

前記光電子増倍管検出器か該検出器に損傷を与える光度に晒される種／、＋の事 態が生じる。一般に、分光光度計は、分析のための試料を受入れる試料室を備え る。前記試料が前記試料室に配置されるとき、室内の周辺光が、前記試料室に差 込みまた前記光電子増倍管内（３） 高温に通じる光路に入ることかある。そのような場合の周辺光のレー・ルは、通 常の動作時に前記検出器に適用される光のレベルをがなり越えることかある。ま た、前記分光光度計内の光源から出るスペクトルエネルギー量の波長による差お よび前記分光光度計の光路内の光学的素子による光の不均一な分散のために、光 の波長の変化は入射光強度に実質的な変動をもたらす。また、入射光の波長変化 に対する光電子増倍管検出器のスペクトル感度の変動は、検出器に損傷をもたら す。さらに、前記光電子増倍管検出器は、分光光度計の使用中、例えば前記光路 が室内の周辺光を受入れているときに高い光度に晒されることがある。このよう なそれぞれの場合、前記光電子増倍管検出器は、ダイノードに印加される高電圧 と共に前記検出器に破損を与えるに充分な入射光束を受ける可能性がある。

一般に、２つのタイプの分光光度計が知られている。第１のタイプ１士複光束分 光光度計であり、第２のタイプは単光束分光光度計である。

複光束分光光度計では、光源からの光は、試料光路と基準光路との間で迅速に交 替される。試料材料および基準材料はそれぞれの前記光路に配置され、試料光束 および基準光束は光電子増倍管検出器に適用される合成単光束を形成すべく複合 される。前記光電子増倍管検出器からの出力電流は、前記基準光路゛および試料 光路におけるそれぞれの光度に対応した基準信号および試料信号を提供すべく復 調される。前記基準信号は、該基準信号を前記検出器からの所定の出力電流に関 連した所定のレベルに維持すへ〈ダイノート電圧を調整するタイノート電圧制御 回路に適用される。所定の前記出力電流は、前記検出器の正常出力範囲内にあ名 ように適切に選択される。

前記基準信号が前記所定レベルから変動すると、通常これは前記光源強度の変化 すなわち光電子増倍管検出器感度のドリフトが原因（４） となるか、前記ダイノート電圧制御回路は、ダイノート電圧を前記基準信号と前 記所定レベルとの差を修正する方向へ必要な量だけ調節する。前記タイノード電 圧制御回路は、比較的安定した基準信号を提供すべくこのようにして連続的に動 作する。当業者によく、知られているように、前記試料信号は、例えば前記基準 材料との比較により前記試料材料の透過率を決定すべく、前記基準信号と比較さ れる。

前記した基準信号調整過程は、また、前記光電子増倍管検出器を過電流破損から 保護する作用を担う。例えば、漂遊周辺光が前記検出器に当り或は前記光源の強 度が大きく変動すると、前記ダイノート電圧制御回路は、前記ダイノート電圧を 対応して変化させ、またＭ１７記光電子増倍管検出器の感度を低下させる。従っ て、ダイノード電圧の連続的な調整は、前記検出器出力電流を正常な出力電流範 囲内をこ維持し、実質的に前記検出器の損傷を排除する。この方法では、前記タ イノート電圧制御回路は、複光束分光光度計の光電子増倍管検出器に内在的な保 護を与える。

しかしなから、そのような内在的な保護は、単光束分光光度計では見られない。

このような計器では、同一光路で時間を異にして前記試料材料および基準材料が 測定される。初めに前記基準材料か単光束光路に配置され、前記検出器出力電波 が前記検出器の正常出力電流範囲内の所定の基準レベルに等しくなるように前記 ダイノード電圧か調整される。この調整が完了すると、ｉ右記ダイノード電圧が 一定に保持される。前記基準材料は前記単光束光路から取り除かれ、前記試料材 料と置き変えられ、その後、試料測定が行なわれる。当業者に知られているよう に、試料測定は、透過率のような試料の特性を決定すへ〈前記基準レベルと比較 される。試料測定段階の間に前記検出器に入射する光の束すなわち強度か増大す ると、こ（５） ０間に適用されている前記一定ダイノード電圧は、前記検出器に損傷過剰電流状 態を生じさせることが−ある。従って、入射光束の広範囲の変化か前記検出器の 損傷あるいは破壊を引起こさないように、単光束分光光度計の前記検出器に保護 を与えることが望ましい。

そのような計器の光電子増倍管検出器を保護するための従来の一方法は、前記試 料室の開放時に該試料室から前記光電子増倍管検出器−５の前記光路を閉鎖する 機械的な開閉装置を設けることである。

これは、前記分光光度計の正常動作中の前記問題を充分に解決するが、前記開閉 装置が前記分光光度計の機械的な複雑さを増大させる。また、開閉扉が弱りすな わち鈍くなり、例えば前記分光光度計か前記した使用中にあるときのような場合 、前記検出器をあらゆる環境下で周辺光から保護することはできない。

発明者か知る他の光電子増倍管検出器保護方式は、本願出願人により製造、販売 されているモデルＤＵ−８と呼ばれる単光束分光光度計に含まれている。ＤＵ− ８単光束分光光度計では、比較回路は、試料測定段階の間、前記光電子増倍管検 出器の出力電流を監視し、また、あるレベルであって前記出力電庶がこれを越え ると損傷を引起こすであろうレベルに前記出力電流が近づいていることを示す所 定の限界と比較する。前記した一定のダイノード電圧で過剰入射光束のために前 記出力が前記限界に達すると、前記上山器ダイノード電圧は除去される。しかし ながら、そのような装置では、前記クイノード電圧の除去によって検出器の作動 が停止することから、過剰入射光束が前記検出器から取除かれたときに測定が不 可能となる。その結果、一旦、前記過剰入射光束状態が修正されると、前記分光 光度計の作動サイクルの再開始が必要となり、特に多数の試料測定の場合に丘長 時間の浪費および不便な手順が必要となる。

従って、前記光電子増倍管検出器を保護するために過剰光束状態ガ出現を感知す るのみならず、前記光電子増倍管検出器の作動を中断させることなく継続するた めに過剰入射光束状態が終了したことを感知し得る光電子増倍管検出器保護回路 が要望されていた。

本発明は、前記した不都合を克服し、前記の要望を叶える。本発明は、光電子増 倍管検出器の感度の実質的に連続する制御を提供する装置および方法にある。過 剰入射光束の開始および終了を感知し得るように前記光電子増倍管検出器の出力 は連続して監視される。

前記光電子増倍管検出器感度は、過剰入射光束期間中、検出器の破損を防止すへ 〈制御される。前記光電子増倍管検出器′が前記した単光束分光光度計のような 計器に使用されると、該計器の作動は、過剰入射光束状態が終了すると中断する ことなく再び続く。前記計器は、過剰光束状態が感知された後にリセットすなわ ち再始動の必要かなく便利である。

前記した目的のために、本発明は、制御信号に応答して調整可能の出力電圧を起 生ずるための電源を含む検出器保護装置で具体化される。光電子増倍管検出器は 、入射光束と、該入射光束および前記電源の出力電圧の大きさに関連した出力を 起生ずるための前記電源出力電圧とに応動する。

比較器は、基準信号に応動し、また前記光電子増倍管検出器出力に応動する。前 記比較器は、前記基準信号を前記検出器出力と比較し、前記基準信号と前記光電 子増倍管検出器出力が第１の所定の関係にあるとき出力を起生ずる。ここに開示 するような好適な実施例では、前記基準信号は、前記光電子増倍管検出器のため の最大安全出力レベルを規定し、前記比較器は、前記光電子増倍管検出器出力か 前記最大安全出力レベルよりも大きいとき、出力を起生ずる。

さらに、ボ１記装置は、前記比較器出力に応動しまた所定の電源出力電圧に比例 する調整信号に応動する加算ステージを含む。前記光（７） 電子増倍管検出器出力が前記基準信号によって設定される前記限界よりも小さい と、前記電源の前記電圧は前記加算増幅器に適用される前記調整信号に従って設 定される。しかしながら、前記光電子増倍管検出器が前記最大安全出力レベルに 達すると、前記検出器出力が前記基準信号により設定される前記レベルを実質的 に越えないように、前記比較器および前記加算増幅器が前記光電子増倍管検出器 に適用される前記電圧を制御すべく作用する負帰還ループを提供する。ここに開 示する前記好適な実施例では、この帰還ループは、前記高電圧の制御のだめの線 形負帰還を提供する。

観点を変えれば、前記光電子増倍管検出器に適用される前記電圧は、前記光電子 増倍管検出器出力が前記検出器を安全に動作させる得る一定の所定の限界よりも 低く保持されている限り、前記調整信号によって制御される。しかしながら、前 記光電子増倍管検出器出力がこの限界に達すると、次に負帰還ループは、前記光 電子増倍管検出器出力が実質的に前記所定の限界を越えて上昇しないように、前 記電圧を制御する。従って、前記光電子増倍管検出器は該光電子増倍管検出器の 前記出力が安全動作範囲にある限り開ループ方式（すなわち前記調整信号によっ て制御される）で作動されることが理解できよう。そのような作動は、前記試料 測定の間、開ループ方式で動作されねばならない前記光電子増倍管検出器、を含 む単光束分光光度計に必要な要素である。しかしながら、前記調整信号に応動す る前記検出器に適用される前記電圧に関して前記入射光束が過剰となることによ り過剰出力が検出・されると、前記光電子増倍管検出器電圧は、前記光電子増倍 管検出器を保護すべく、次に負帰還ループを経て制御ξれ、すなわち１次に閉ル ープ方式で作動される。前記閉ループ保護装置は、過剰入射光束状態が存在する 期間中、前記電圧の制御を継続する。

（８） 前記過剰入射光束状態が終了すると、前記閉ループ保護装置は、前記光電子増倍 管検出器に提供される前記電圧の制御を終え、前記電圧は、例えば分光光度計を 中断させることなくその動作を継続できるように、開ループ方式で前記調整信号 によって再び制御される。

図面の簡単な説明 図面は、本発明による光電子増倍管検出器保護装置の単純化され１こ概略図であ る。杵適〜Ｘ烏例勾議鴨図面を参照するに、本発明化具体化する光電子増倍検出 器保護装置１０は、高電圧電源１２を含む。前記電源１２は、従来通りの装置で あり、例えば切換え形の電源とすることができる。前記電源１２は、以下に説明 するようにして得られる入力信号に従って制御される負の出力電圧を生じる。前 記出力電圧は、全体的に１４で示される光電子増倍管検出器に印加される。

光電子増倍管検出器１４は、光電子放出陰極１８と、随意の制御室ｇｉ２０と、 複数のダイノード２２から成る電子増倍部分と、陽極２４とを含む従来通りの光 電子増倍管１６を含む。好適な実施例では、光電子増倍管１６として、１９７９ 年２月に改定されたハママノカタログ番号５Ｃ−１−３に記載されているような ハママッテレヒカンパニーリミテッドにより製造眼光されているタイプＲ９２８ の光電子増倍管が安価に入手できる。

高電圧電源１２の前記出力電圧は、前記陰極１８に与えられ、またアースに接続 されかつ複数の固定抵抗器２８がら成る電圧分割回路網２６に印加されている。

電圧分割回路網２６は、前記ダイノー１２２のそれぞれに前記陰極１８から前記 陽極２４へ向けて漸増する正ポテンシャルを与えるへく、前記電源１２がらの電 圧を分割す（９） 出によって前記陰極１８から電子流を生しさせる。前記電子流は、前記グイノー ト２２によって増大され、最終的に前記陽極、２４に収集される。陽極２４の出 力電論はアースおよび前置増幅器３４に接続された抵抗器３２を流れるように適 用され、前記前置増幅器の出力端子は前置増幅器出力信号を供給する。前記前置 増幅器の出力は、例えば単光束分光光度計におけるような従来よく知られて方法 で処理される。従って、前記電源１２、前記検出器１４および前記前置増幅器３ ４は光電子増倍管検出装置の従来の要素であることが理解できよう。

前置増幅器３４の前記出力端子は、抵抗器３６を介して、全体的に３８で示され る負帰還の比較器に接続されている。前記比較器は従来の演算増幅器４０を含み 、該演算増幅器の反転入力端子が前記抵抗器３６に接続されている。また前記反 転入力端子は、コンデンサー４２および抵抗器４６から成る従来の負帰還補償回 路網を経て前記増幅器４０の出力端子に接続されている。

２つの抵抗器４８および５０は、全体的に５２で示された電圧分割回路網を構成 する。抵抗器４８の一端は適切な電圧源（＋　６　Ｖ）に接続され、また抵抗器 ５０の一端はアースに接続されている。前記抵抗器４８および５０の共通接続点 は、前記増幅器４ｏの非反転入力端子に接続されている。前記回路網５２は、前 記光電子増倍管検出器１４からの所定の最大安全出力電流およびその結果として 生しる前置増幅器３４の出力に対応した所定の上方エネルギー限界を規定する。

所定の前記安全電流は前記光電子増倍管検出器１４を流れる最大許容電流よりも 幾分小さくして前記光電子増倍管検出器の安全動作範囲を定めることが好ましい 。

前記増幅器４０の出力はダイオード５４の陰極に適用され、該ダイオードの陽極 は全体的に５８で示された加算ステージに抵抗器５６を介して接続されている。

前記加算ステージ５８は、前記抵抗器５６に接続された反転入力端子を有する従 来の演算増幅器６０を含む。前記反転入力端子は、また、前記増幅器６０の出力 端子に接続されたコンデンサ−６２および抵抗器６３から成る従来通りの帰還補 償回路網に接続されている。高電圧セット信号が前記増幅器６０の非反転入力端 子に加えられている。前記高電圧信号は、前記電源１２の出力電圧を制御すべく 従って前記光電子増倍管検出器１４の感度すなわちゲインを制御すべく、開ルー プ電圧制御器６１によって起生される。前記開ループ電圧制御器６１として、前 記検出器１４の感度を制御すべく調整される従来の如何なる信号源をも用いるこ とができる。単光束分光光度計では、例えば、開ループ電圧制御器６１は、デジ タル−アナログ変換器（ＤＡＣ）６　ｌ　ｂに加えられる複数のデジタル信号を 起生する調整可能のデジタルカウンター６１ａで構成することができる。前記Ｄ Ａ、Ｃ６１ｂは、加えられる前記デジタル信号に従って高電圧セット信号を起生 ずる。前記デジタルカウンター６１　ａの出力は、従来よく知られまた後述する 基準材料のために前記ダイノード電圧の調整がなされている間、前記高圧電圧セ ット信号を変化させるべく調整される。

次に、漏記光電子増倍管検出器保護装置１０の作動を考えるに、前記高電圧セッ ト信号は、前記高電圧電源１２に加えられる高電圧調整信号を起生ずべく前記加 算ステージ５８により増幅される。前記調整（〆号の大Ｓさに応じて、前記電源 １２は光電子増倍管検出器１４に比例出力電圧を供給する。光束３０が前記検出 器１４に入射すると、光束１４の強度および前記電源１２からの印加電圧に比例 して前記検出器１４に電流が流れる。出力は前記前置増幅器により増幅され、前 記比較器３８に供給される。

前記比較器３８は、前記前置増幅器３４からの許容最大出力、（１１） 従って前記光電子増倍管検出器１４からの最大安全出方電流を規定する。特に、 入射光束３０と電源１２の電圧との組合せが前記安全動作範囲内の前記検出器１ ４出力を起生ずるとき、前記前置増幅器の出力は前記電圧分割回路網５２により 設定される上方エネルギー限界より小さい。このような状況下では、前記増幅器 ４ｏの出力は前記加算ステージ５８の出力に関して正であり、前記ダイオード５ ４は導通せず、従って前記加算ステージ５８は前記比較器３８がら遮断される。

しかしながら、入射光束３０と電源１２の電圧との組合せが前記電圧分割回路網 ５２によって規定される上方エネルギ、−限界を越える検出器１４出力を起生ず るように前記入射光束３ｏが増大すると、前記増幅器４０からの前記比較器３８ の出力は前記増幅器６゜の出力に関して負になる。その結果、前記ダイオード５ ４は、導通して前記増幅器４０からの出力を前記ダイオード５４、抵抗器５６を 経て前記増幅器６０の前記反転入力端子に供給する。これは、次に、前記電源１ ２からの前記高電圧出力の対応した低減を引起こす（負電圧の大きさを零へ向け て低減させる）方向へ前記増幅器６゜出力をシフトさせる。低減された電源出力 電圧は、前記光電子増倍管検出器１４の感度すなわちゲインを低下させ、前記前 置増幅器３４の出力を低減させる。前記入射光束３ｏの引続く増大に伴なって電 源電圧への修正の大きさが増大すると、前記増幅器４ｏからの負の出力の大きさ が対応して増大し、これにより前記検出器１４出力が前記電圧分割回路網５２に より設定された前記上方エネルギー限界にほぼ等しく維持されるように前記電源 電圧はさらに低減される。

次に、入射（光束３０が低減したと仮定すると、結果的に前記電源電圧を増大さ せるべく前記増幅器４０の前記負出力の大きさも低減（１２） し、これにより前記検出器１４出力が前記電圧分割回路網５２により設定、され た前記上方エネルギー限界にほぼ等しく維持される。入射光束３０と前記高電圧 セット信号により規定された電源電圧との組合せが前記安全動作範囲内の検出器 出力を生じさせる程に入射光束３０の低減が継続すると、前記検出器１４出力は 前記上方エネルギー限界よりも小さくなる。そのよう゛な状況下では、前記比較 器３８は加算ステージ５８から遮断され、再び前記高電圧セット信号に前記電源 １２出力電圧を制御する。

この方法では、比較器３８および加算増幅器５８は、前記検出器１４出力を前記 電圧分割回路網５２によって規定される前記限界にほぼ等しくあるいはそれより も小さく維持すべく前記高電圧電源１２の出力を制御する負帰還ループを含む。

前記限界に達すると、前記比較器３８は、前記高電圧電源１２を対応して制御す べく前記加算増幅器５８に線形負帰還を与える。従って、本発明による前記光電 子増倍管検出器保護袋Ｗ１０は、前記検出器１４出力を連続的に制御する。前記 電源１２は、前記検出器１４従って前記前置増幅器３４からの前記出力が前記電 圧分割回路網５２によって規定される前記上方エネルギー限界よりも小さい限り 、前記高電圧セット信号によって開ループ方法で制御される。しかしながら、前 記検出器出力がこの限界を越えると、前記高電圧電源１２は前記検出器出方を制 限すへく閉ループ負帰還方法で制御される。その結果、前記検出器１イは、絶え ず、開ループあるいは閉ループのいずれかの制御下におかれる。

前記光束３０が一定でありかつ前記開ループ電°圧制御器６１が前記上方エネル ギー限界よりも大きな検出器１４出カ電若を生じさせる高電圧セット信号を起生 ずると、前記比較器３８および前記加算ステージは等しい効果で動作することが 理解できょう。前記負帰還（１３） ループは、前記検出器１４出力を安全動作範囲に維持すべく前記したように、前 記高電圧電源１２を再び制御する。

このように、本発明の光電子増倍管検出器保護装置は、前記光電子増倍管検出器 の感度の連続的な独特の制御を提供し、これにより検出器の損傷を防止する。こ の特徴は、前記高電圧電源の制御のりセントすなわち再調整をなすことなく、過 剰な入射光束の現出後に前記検出器の出力の使用を可能とする。これは、前記高 電圧電源の制御のりセラ）・なしに過剰な入射光束の現出後に分光光度計の連続 する動作が望まれる単光束分光光度計に特に有利である。

本発明の好適な実施例が図示されまた記載されたが、その主題および特許請求の 範囲から逸脱することなく種々の変更が可能なことが理解できよう。

浄書■内容に変更なし） 手　続　補　正　書 昭和５８年９月２日 特訂庁長官若杉和夫殿 １、本件の表示 国際出願番号　ＦＣＴ／ＵＳ　８２１０　ｌ　８Ｊ　０２４発明の名称 光電子増倍管検出器保護装置および方法３、補正をする者 事件との１男係　出願人 代表者　スタインメーヤー　アール　シェイ国　籍　アメリカ合衆国 ４代理人 住　所　〒１０５東京都港区虎ノ門三丁目″４番１７号６、補正の対象 図面 ７、補正の内容 墨書した図面を補正する。

８、添付書類の目録 墨書した図面　１通 国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、外部手段からの調整信号が光電子増倍管検出器の感度を調整する改良された 光電子増倍管検出器保護装置であって、制御信号に応動して調整可能の出力電圧 を起生ずる電源と、入射光束に応動し、また該入射光束と前記電源出力電圧の大 きさとに関連した出力を起生ずるための前記電源出力電圧に応動する光電子増倍 管検出器と、所定の光電子増倍管検出器出力に比例した基準信号を起生ずるだめ の基準手段と、前記基準信号に応動し、また前記基準信号と前記光電子増倍管検 出器出力とが所定の関係にあるとき出力を起生ずべく前記基準信号と前記光電子 増倍管検出器出力とを比較するために該光電子増倍管検出器出力に応動する比較 手段と、前記調整信号を受信する手ルと、該受信手段からの前記調整信号に応動 し、また前記調整信号および比較手段出力の加算による制御信号を起生ずるため に前記比較手段出力に応動する加算手段とを含むことを特徴とする光電子増倍管 検出器保護装置。 ２、前記比較手段は前記光電子増倍管検出器出力が前記基準信号よりも大きいと きに前記比較手段出力を起生ずるだめの手段を含む請求の範囲第（１）項の装置 。 ３、前記比較手段は前記光電子増倍管検出器出力を低減すべく前記比較手段出力 の極性を選択するための手段を含む請求の範囲第（２）項の装置。 ４、前記比較手段は前記基準信号と前記光電子増倍管検出器出力との差の大きさ に線形に自速した前記比較手段出力を起生ずるための手段を含む請求の範囲第（ ３）項の装置。 ５、外部手段からの調整信号が感度を調整する光電子増倍管検出器を保護する方 法であって、制御信号に応動して調整可能の電圧を起生ずること、前記光電子増 倍管検出器に入射する光束と前記調（）５） 整可能の電圧の大きさとに関連した光電子増倍管検出器出力を起生ずること、所 定の光電子増倍管検出器出力に比例した基準信号を起生ずること、前記基準信号 と前記光電子増倍管検出器出力とを比較すること、前記基準信号と前記光電子増 倍管検出器出力とが所定の関係にあるときに負帰還信号を起生ずること、前記調 整信号を受信すること、前記調整信号と前記負帰還信号との加算による前記制御 信号を起生ずることとを含む光電子増倍管検出器保護方法。 ６、負帰還信号を起生ずる前記ステップは前記光電子増倍管検出器出力が前記基 準信号によって表わされる前記所定の光電子増倍管検出器出力よりも大きいとき に前記負帰還信号を起生ずることを含む請求の範囲第（５）項の方法。 ７、前記光電子増倍管検出器出力を低減すべく前記負帰還信号の極性を選択する ステップを含む請求の範囲第（６）項の方法。 ８、負帰還信号を起生ずる前記ステップは前記基準信号と前記光電子増倍管検出 器出力との差の大きさに線形に関連する負帰還信号を起生ずることを含む請求の 範囲第（７）項の方法。 （１）