JPS5944754A - 荷電粒子源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 木弁明は電Ｖ？放出型イオン源、電弄放出型電子銃等の
所謂荷電粒子源の安定化にＩ’！ｌ−！Ｉ−る。

１列えは”１三ＬＩＤ（Ｉ三ｌｅｃｔｒｏｂｙｄｒｏｄ
ｙｎａｍｉｃｓ　）型フィールトイΔン源においてはイ
オンビームの安定性を高めるために帰還回路が設（プら
れている。第１図はこの種のイオン源の従来装置の電気
的構成をの示り接続図で、図におい（−１１はイオンビ
ームが放射されるエミッタで、２は引き出し電極、３は
加速電極（゛、引き出し電極２及び加速電極３にはイオ
ンビーム（Ｉ　Ｂ　）を通りＩこめの小孔が刻設されて
いる。４は］エミッタ１から放ｒ１・１されるイオンビ
ーム量を検出りるためのイオンビーム検出用アパーヂャ
、５はアパーチ＋７１で検出された検出電流を電圧に変
換りる電流−電ロー変換回路である。この変換回路５は
、演算増幅器Ｕ＋　と抵抗Ｒで構成されＣいる。６は−
ＩＪンビーム電流を設定するための設定回路Ｃ、マーｒ
ナス入力端子で変換回路５の出力を受【ノるＫ“動増幅
器ＬＪ　２ど、この差動増幅器Ｕ２のプラス入力端子に
設定電圧を与える基１１１．電源［；ＩＵ″４−１成さ
４゛；（いる。７は引き出し電極２の電位を制御りる制
御電源で、該制御電源７は、設定１ｉＩ’ｔに香しいイ
オンビーム検出量に４するよう、エミッタ′１と引き出
し電極の間の引き出し電圧を制御りる働きをでる。ここ
では図示していないが、この制ｉ１１電源７０制ｉ１１
人力と出力は、加速電仕ト２に充ｌＩ）酎える絶縁増幅
器の一種となつ又いる。第１図の装置の場合は、変換回
路５の出力電圧が基準電１１ｔｉ　ＩＴｌの段定電Ｌ「
ど等しくなるＪ、う（Ｊ変換回路５．設定回路６．制御
電源７等でなるｆＩ帰運回路が動作し、イオンビーム電
流を一定値に保つ−（いる。どころｃ１該エミッタ及び
加速電極は静電レンズを構成するが］−ミッタ、引′さ
出し電（４（７及び加速電極の（幾械的な軸が一致しＣ
い４「い場合には、該静電レンズ′は収束作用のみなら
リー偏向作用ｂ　］＋−じ、イオンビームの静電レンズ
によるりＩＮスＡ−バ点が光軸上より移動りる。該り【
１スＡ−バ点の光＋Ｉｉｈがらのずれｍは引き出し電極
２に印加される電圧に応じて変化し、従って第１図に示
した装量においては、イオンビーｌＸ電流に応じて、該
引き出し電極２に印加される電圧は変動りるにうに構成
されているため、該クロス７１一バ点の光り−１からの
ずれｍも常に変動することになる。従ってイオンじ一１
＼をこの状態で試ゎＩ十〇走査し、該試ｆｉｔから発生
した二次電子を検出し、この検出信号を図示しない陰極
線管に供給しＣ二次電子像を観察りると、試料の観察視
野が引き出し電極に印加される引き出し電圧の変動、り
なゎちクロスオーバ点の変動によって移動し、得られる
像は実際ど士人、たちのとなる。更に第１図に示した荷
電粒子厚をイオンじ−ム露光パｑの微細加Ｉ−装同に用
いた場合に【、１１、数１００人相当の加土位冒ずれを
牛り゛る結果ど＜ｒる。しがし１．イオン中の一１ミツ
ター、引出し電（４１，加速電極の機械軸を完全に合り
ことは、特に畠ｍｆＣｔ部におい（は相当複雑な機構と
なり不経済となる。

本発明は以１の点に鑑みイにされたもので、１−ミッタ
から出０・１りる荷電粒子が一定となるにう」−ミッタ
の電イー〕を制ｔｉｌｌｌりるよう（１４成されＩＣ荷
電粒子源においＣ１該」−ミッタを３うつ以上のエミッ
タ部片に分割しく同−甲面１−に配置りるど共に、該エ
ミッタ部ハ間に１ト怠の電位差を与える手段を設置Ｊた
ことを特１孜としくいる、。

Ｊメト、図面を参照しく本発明を訂却口４；１明する。

第２図は本発明の一実施例ＣあるイΔン源の電気的構成
を承り接続図η゛ある。図におい゛（、第１図と同一部
分には同一７６号をｆＮＪシ（ぞの開明を省略Ｍる。１
０は、従来の引き出し電極２を４つの４！１１０ａ　、
１０ｂ　、１０ｃ　、１０ｄ　に分割シタ引さ出１・電
４西１　ｔ”　ｉｔうる。１１，１２．１３．１／Ｉは
てれぞ゛れの（１１ｉへ弓しｙ出し電１？を支圧１１Ｌ
給するための例Ａ−ＩＪボ′シ−ンシ・ｌメータで゛（
ｌろり、該ボｔンシミ１メータ１．１．１１　、　１２
の絹、ｉ３，１／Ｉの絹どｆれぞ４′目中動しＵ　１Ｆ
ＪＪ　ｆｔりるようになつ（，１３つ、接地部より絶縁
１１ツト等でｔ？　ＩＴ　’Ｃきるよう形成されている
。

１５（よ引き出し電源（本実’　／＋ＩＨ例−ｕ”　１
．１．制御電源７）のＨ１人出ツノ電圧を分圧りる分割
抵抗（′、１６（まｉｉｌ変のづ）割抵抗（−ある。

以１の様’ｒＪ、　４ｆｉ’＋成されたインン源の動１
′［を次に説明する。今、−エミッタ１に加３１ｊ７［
源［２Ｊ、り加速電圧Ｖ２が１１１加され、更にＪ−ミ
ッタ１ど引き出し電１１ｉ　ｉ　（’）どの１１１１口
Ｊは電源７　ｊ）日５引さ出し雷斤Ｖ１が印加されると
、ｊ′バーブ−１７４１ｔＪ’７ＡＥれるｒΔンビ−１
ｌ＼雷電流　定ど＜’ＬるＪ、う変換回路５．Ｈす定回
路６、制御型ｉＩ！＋！　’７で１１４成される６″！
帰）７回路が動作りる１、ど（二ろ（、引き出し電（＾
：１０の各ＩＭｉ　１０ａ。

ｉ　（Ｎ＋　、　ｉ　（Ｌｃ　、　１０（ｌに）１−目
１Ｊろど、引き出し７Ｎ　１．１＼１１が一定と仮定し
た１易合（ニーは、これら各搏の雷（＋ン＋、１ポｊン
シ三）メータ１１．’Ｉ　２，１３．−１４及び円外・
抵抗ｉ　に　ｔｉ）低１＋’ｔ　Ｉｎ’＋　ｆ、二１．
１　）ｉ：　＋７４定される３゜個含ば、Ｊｌｌｌ　ｉ
ｉし電ｊ「＼／・がｌ　（’、１　（’、）　Ｋ＼／ど
１すると、△貞（、Ｌｌｏ（〕１く＼ｌン、ｉＬ’＋　
ｌ’ｌ　１１貞は分割抵抗゛１（３とボフンシ・Ｊメー
＜ｔ　＋　１．　′＋　２．　　＋　：ｓ、　１　／１
．及び１１］変抵抗′ＩＧの８り定抵抗征１の並列合成
１１（抗艙と【４二よる引出し重重の分割顧だｔｌ　７
１１１３七電Ｉ［より低い顧となり０貞は、引出し電Ｉ
Ｆ’　ｌ１ｒｉ　／ｅ　ＬＩ　Ｊｌｌｌ　ｉ’！：　電
１’１．’　Ｊ：　’）　ｂ　１１１１゜いｒｉｆｆど
イｒ　Ｚ’　＋１今引出（・電メＩ　（ＩＩ　ＩＩ：’
ｒ　ｉ：’！１（１ｕ　４．１０　Ｋ＼／どし、名ボＪ
ノマノ＋　＞！−／］の重重ｉｉｌ変幅が１１＜＼／ど
（１ればボノンシ１メ　・′Ｉネル白にするＪと（ご３
１、・）（、例工ＩＪ、’　１０　ａ、　　’Ｉ　（−
）　Ｉｔの１４１は＜）　Ｉ　ＫＶ、　　１０１：　、
　　ｉ　（’）　ｔｌの皆は！、３　（’）　Ｋ＼／等
の如く、１−ミ・ツク′１０ヲ（ｌ′ｌ１１成りろＦ＜
（Ｍｉ　−１０ａ、’ｌ　Ｉ−＞　ｈ　　、　　’ｌ　
　□　ｃ　　、　　ｉ　　０（Ｉの７（ｊ　（１７をｉ
ｌｌ　ｊ／％’イするｄど／ＩＸ（−訃＼ろ。、このｌ
・＝（ν）、１−ミツ／／１．引さ出（，１わ゛（ｉｔ
に１０及び加１ｉ１１　ｒｌ？　４凭、］のｌｊ、ｊ（
械的イｒ：　ｔ１ｉ１＋が　独（７（い４ｆ＜ど１）、
引）＼出１．電忰′１０を構成？する各ｔ４（の対抗（
Ｊる搏に）尚宜イ「比キの電位を’−＋　＊、る（Ｔど
に、１、・）（、所′１１の静電１１１＋”ｌ向１ん７
１を形成し、雷６（的（、−引き出し電極、＋、　１１
１１速電（ＩＶ（どに、」、−）（構成される静電１．
ノンズに１１、るり１１λフイ一バ点の゛光１１・１１
１」、（）（））゛′ス１ノ°′を１山ｊ１でＪる（−
どがζ−゛さる。Ｊ−の浦ｉｔ　１．１、例えば阜矛１
＋電源に１の設定電圧を周期的（Ｊ′シー化、＼ｌ−１
，イれに伴−）（引き出し雷Ｉｔ−，Ｖ　ｔを周期的（
ニ二弯化さ１！、この状態Ｃイ剖ンビームを図示しくｉ
い試Ｆｌ　ｌ　’Ｑ゛走合し、該沖合（こ１゛（′つ（
弁、牛しノ、＝−次電ｒを該走査と同期した陰（船線管
に供給し、該ＭＪｌｉ　ｌｉｔ管ＩＣ゛−Ｉ次電了像を
ｎ１１察しイＶがら行うことが（きる１、りへ−ねノ）
、該、■ミツター、引出１ノ電極、加）−１セ電極の軸
が一〒９していないど、該引５＼出し電１ｉの周門的イ
１変動（５″、１、って７ｉｔ：　Ｍ′ｌ　＋のイΔン
じ−）＼のル否「・１１囲は変化し、従・ンＣ，陰極線
筐１の走査（ｌ〜ｊ　ｔ＋　ｔａｉｌ　ｌｉＩＩ　ｒｌ
’−Ｉ　に変化りる。ここＣボア−ンシ］メーｉ？＋１
．１２．１３．’Ｉ／Ｉを調撃（）、引２ぎ出し、小ｆ
　ｌｌｉ　６’　（Ｍ成１する（６（の内、夕・１抗す
る１４　ｌ　ＯＡど１０に及び１０　ＩＩど’Ｉ　Ｏｄ
に印加される重重の比；ｔシを変化さ１！れは該比率に
応じ（ち該り１」スＡ−バ点は変化し、１．“１定の比
率どイエ−）／ＪＩＩ；’ｉに該り１１−λΔ−パ貞ど
光軸とは一致する。該比率を保った状態（゛、引き出し
霜）ト１偵を変化さＩ！（し、該りＩ：］スＡ−バ点は
光軸からずれることは無い。その結果、陰極線へＬ　’
７）　；ＩＩ　ｒｒ　１ｌｌＨメｒ叫’９’４　Ｌ、、
ｌ　＜’ｒ　カｌ）、該、ｉｌ　ｉ’ｒ　ｆ（ｉ　／ｌ
＼引き出し宵月の周明的イ１変動（５よ・）に′も変１
Ｆ１１１．、イＣい状（Ｊｐ、　（、、：化ボー７ンラ
Ｉｙ・−乃を７”；ｊ、ｌｉ　’！ｉケ＋ｌ　ｌｌ’Ｌ
　ｉ−［、ソσ）段階で該り１１スＡ−バＪ：ｉｊ　”
）：、輔とが　状Ｃする。′−・（、二４ｉ′ろ。Ｊの
Ｂ５ト！、ｌｊ　（・各ボＪンシフ１ヌーｌ〕る固定１
．。

車（３′引ハ出し重重＼／１ろ所望舶に固定７１１ｆ１
．　ｉ、、ｌｉ、ｒＡＡｊｊ−／＼電）Ａｊを一５ｉ′
Ｌ−１イ）１．−め（、−引き出し７汁１′月を変化−
１！７４）、でＩＬ１５″ｌ゛ｌ’　）（り１１スΔ−
バ点が変化ｌろ・７と（，１、！Ｒ１，（、走査（′ぐ
（・−砧１察に際（７＜（，１１，１τ（の変動が１ハ
（ど／ｉ　ｋ、）、ｐＩｉｔたＰｉ’ｒ　＠、　ｉ４ｆ
る。−ど／〕＼（ζ＼、叉、露光￥ｒ　Ｇ（：、　（イ
ンじ一／、加１’　ｋ二ＪＮいては、加二１１＜／　ｉ
Ｖｉ　’ｊｌ”　４１．　＜＞防Ｊｌ　’ｌる（−と／
）＋　ｃさろ、。

尚、本発明？”　Ｃ，１，１；／、ｌの実／＋Ｉｉｉ例
装置に限定されるしので１，１．イ「り、木実ｒｌｉ＋
！１ｊＩｌｌ　１．’−，ｒｌ夕い（は、イオンヒーｌ
＼源Ｓ４直（、二、ＪＯム（（明り、　／、が、出・□
−ｆｋ　！Ｉｆ　’ｌり電子性む（におい（６名７［電
極に印加さり、る７１１月の極１′１を乃・λることｋ
Ｔ　Ｊ・）で容易１．：）白州りるこ、どｈ＼Ｃさろ１
．Ｙ、Ａ＼実施例においでは、引き出し電極を４）に分
割１、Ｉ、−実／ＩＩＨｉ　ｌｊｌ　Ｍ、−：）イ？’
、　ｉｉＪ　明１．／　／、二ｌｉ：１．７＜　−、）
　ｖｌ　ｌ：、　ｃ；：　分Ｗ’１りる（二どｋＪ、　
、１、）γ同（Ｙイ「効１１７　（覧１［Ｉることがに
ｊ（る。

Ｊｌ、　ｉ　（７）杼１：　不発１１１Ｊ　ｉＪ、Ｍ　
Ｔｉ　１１ｉ’ｌ　−ｒ　ｆ！ｉ！　源ｆｑ　ｉｆ；　
Ｃ１ル、１ミック、引ｐ、　ＩＩ　ｔノ電ｉ４ｉ及び加
速型１ｉの製１′「過稈て′牛り゛る（幾械的イ「バズ
１）″を、１ミツタを３つ以１に分割して、分割にされ
た引き出し電極間に引き出し電圧を与えることによって
電気的に補正することができる。安定した荷電粒子線源
を提供する。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置の電気的構成を示す接続図、第２図は
本発明の一実施例装置の電気的構成を示し接続図、第３
図はビーム電流と引き出し電圧の関係を示す図である。 １　：　ＩＩミッタ、２：引さ出し電極、３：加）中電
極、／Ｉニアパーブト　５　ニアｂ゛流−電圧変換回路
。 Ｃ３：　ｒＵ定開回路７：制御回路、　’＋　（１：引
ン＼出し電極、１１・〜・’Ｉ　／ｌ　：ボｉンシ］メ
ータ、　’Ｉ　５　：分、ｉ３１抵抗、　　’Ｉ　６　
：　ｉｉｌ変抵抗抵抗ｌ”　＋　　：　’ｉ”ｖ電源、
「２　：加速電源。 −２７呵 第３図 引１工し電ん（ｋし） 特８′ＩＯ艮官　４杉　和夫　ＩＦｆｔ−１，小イ１１
の表示 １１１（和Ｆｉ　７４１特ｈ′ロｒｔｒｆ１１５５６５
７号２、発明の名称 を１電訓＋−ｒ−源 ３　、　　ンｆｌｉ　　ｉＦ　　を　す　る　ｉＬ＋；
串（ｉどの関係　狛ム′Ｉ出バ・１１人イ１所　中京都
昭島市中神町１４１８番１肉（＋’ｉ二　ｌ−０４２５
（４３）　　１１（ｉ！ｉ＞４、補正の対τミ ｔｉＩ　　　　　　　ｉｔ：　　　　　　明　　　　　
１ｆｌｌｌ　　　　　　内発明の名称 ？＋′ｉ！　？Ｔｈ粒子源 特ａ’ｌ請求の範囲 ｌミ、ツタから出射Ｊる荷電粒子線電流が一定となるＪ
、う引き出し電極の電位を制御するよう構ハされたイに
１電粒子源におい−（、該引き出１〕霜極を３つ双子の
引き出し電極部片に分割（）て同一平面１に配置−りる
ど共に、該引き出し電極部１１間に１を重の電位差を与
える手段を設（プたことを特徴とり２荷電粒子源。 発明の詳＃ＩＩＩな説明 本発明は電弄放出型イオン源、電Ｗ放出型雷ｊ銃等の所
５１″ＨＲ電粒子源の安定化に関する。 例えば［ＩＩ　ｌ）　（ＩＥ　ＩＣｅ日’０１）ｙｄｌ
’ｏｆｌｙ１１ａｍｉＣ３）　！％す。 イールドイオン源ＩＱｌ　；Ｊ−ｉいてはイオンビーム
の９升ｆ’ｌを高めるために帰還回路が設（）られでい
る１、ｑ′１図はこの種のイオン源の従来装置の電気面
構Ｕを承り接続図で、図にａ３いて、１は−ｒＪンビー
ノがｊ成用される１ミツタで゛、２は引き出し電極、３
・ハフ１１１３’Ｊ　電ｔｉ　ｒ−１引ｅ　出ｔｙ　ｌ
’ｉ　＋４ｊ　２　）Ｊ＜　ヒフ１１１　ｉｌ：　？ｔ
Ｘ　極：’Ｉ　Ｉｉはイオンビー１＼＜　＋　＋ｉ　＞
を３ｉｉ’ｌ　ｌ　／こめの小孔が穿／どれでいる。４
は１ミツタ１から飲用されるイオンビーム…を検出りる
ための、イオンヒーｌ＼検出用ノ′バー′ｆ１′７．５
はアバ−・ｆ　ｌ＋　／ｌ　’？：’検出されｌ、二検
出電流を電）［に変Ｊ％　ｌる電流−電Ｊ１変挽回路Ｃ
′ある。 この変換回路ｊ′）（よ、ｉｉ、Ｑ　Ｍｌ増幅器（１１
と抵抗Ｒ’ＣＩ？’＋成され（いる。（’ｒ　ｌｊ、イ
オンビーｉ＼゛市流を設定りるための設定回路ひ、マで
ナス入力端子で変換回路、−５３の出力久・受にるに動
増幅器０２ど、この筑動増幅器（］２の−ｆ°）ス人万
端子に設定′Ｆ′Ｘ１ｊ１を勺える基準電源ト＋　（（
Ｍ成され（いる、’、　７　ｔ、；、１．引き出し電極
２の電（ｉ７を制御りる制御電源て゛、該制御電源７は
、設定１直に等しいイオンビーム検出Φになるよう、７
　　　エミッタ１と引き出し電極２０間の引き出し電Ｉ
ｉを制御りる汗ｊ旨＼をりる３、ここ（°′は図示して
いない／ｊ＜、この制御電ｉ１１＊ｉ　７の制御人力ど
出力は、加速電之　　　圧１：２に充分耐λる絶縁１１
１幅器の一種となってい、　　　る。第１図の装置の場
合は、変換回路５の出力型１１］−がＪ：１準電源１−
：１の轟（）定電１１ど等しく４「るＪ、”＞　ｔこ変
１（／１回路ｉｊ５．設定回路６．制御゛市源７等ｃイ
する０帰］ζ”１回路が動作し、イオンビーへ電流を一
重鎖に保つ（いる。どころで、核用ぎ出し電極及び、加
速電ＪＩＩｉは静電レンズを（１１１成りるが土ミッタ
、引ぎ出ｌ〕電（１１（及び加速電極の機械的な軸が一
救し−Ｃいイ、ｉい場合には、該静電レンズは収車作用
のみならづ゛鋼面作用し牛し、イオンビームの静電レン
ズに、１、るりＬ１スΔ−バ点が光軸北より移動りる。 該クロスＡ−バ貞の光軸からのり゛れ争は引き出し電（
４１２に印ＩＪ１１される電圧に応じで変化し、従っ（
第１図に示した共同においては、イΔ−ンヒーｌＸ電流
に応じζ、核用き出し電極２に印加される電圧は変動り
るＪ、うに（１・１成されでいるため、該り「］スＡ−
バ点の光軸からのずれ吊も常に変動りることになる。 （＋Ｃ−、）　Ｕ　ｒ７１”：／　ｌ：ｊ’　　ｌ＼を
ｔＺ　（１）状態ｒ　ｉｉｌい：ｌ　ｔ゛ｃ走査１ノ、
該試）′ｌ　／）目ら発生した二次電子を検出１ノ、こ
の検出１バＹ；を図示しない陰極線管に供給１ノ（二次
電ｒ像を観察りるど、試料の観察視野が引き出し電極に
印加される引き出し電圧の変動、覆なわちりＩＩスＡ−
バ点の変動によって移動し、得られる像は実際と歪んｌ
ごものどイｊ・る。１．１コに第′１図に示した（ｒ：
ｊ電析Ｉ「）京をイΔン（゛゛−ム六ｉ’＋　”：’ｊ
のｉ’；（Ｑ　Ｉｌｌ　）ＩＩＩ　、’ｌ　％りｆ？”
ｌ’に用いｌ、：場合には、ν；Ｑ　１０　（’１入相
当の加工位圓づ゛れを／［テＪ“る結−ＰどイＣる。（
、かし１、イオン釘Ｃの■ミ・ンター、引出し電衿ｊ、
加ｊ虫電（市の１幾械軸を完や（、丁合りことは、ｔｉ
ｉ　Ｌこ高電位部（６おい（は相当視１“Ｉｔ　’ｒｉ
−１幾１１４幾分１４経済となる。 本発明はＪツ１の点に鑑み２１　ｉ３れ１１１）のＣ′
、Ｉミッタｆ）ｓ　６出印１りる荷電オ＼゛ｉ了が一定
と＜’にるよう引き出し電極の電位を制御り７．　Ｊ、
う）１４成された前゛市粒子源にｄ−３１ｔ）−１，、
核用（＼出し電極を３つ双子の引き出し電ＩＩｐ部１’
＋　＋、二分割しＣ１ｉｉｌ　　平面１に配１７ｑ？ｊ
るど共に、核用ぎ出し電極部片開ｔこ仔ｒ）の電位差を
与Ａる手段を設（）たことを１！１徴と１ノ（いる。。 以１・、図面を参照（、で本発明の詳細な説明りる。 第２図（，１本発明の　宇／＋ｌｉｉ例（゛ある。ｒΔ
ン源の電気的１１η成を示り１ｉ電続図ζ−゛ある。図
（こａ３い（、第１図ど同一部分に（，１，同　旬日を
ｆ・１しｌでの説明を省略りる。１０は、従来の引き出
し電（４ｉ２を１つの極１０ｎ　、　１０ｈ　、　　１
０ｃ　、　　’Ｉ　Ｏ（Ｉに分割した引さ出し電極（あ
る。１１，１２．１３，１７１は°匠れぞ′れの極へ引
き出、し電Ｊｌを分圧供給Ｍるための例２ばポテンショ
１メータであり、該ポテンショメークけ１　”ｌ　、　
１２の絹、１３．ｌ’ｌの絹とでれそれ＋Ｊ　Ｑ’ＩＩ
　Ｌ、／　（動作りるＪ、うにイＴってＪ３す、接地部
より絶縁１−１ツド等で操作できるよう形成されている
。 １５１；Ｌ引き出し電源く水実施例では制御電源７）の
最人出／Ｊ電圧を分圧づる分割抵抗Ｃ゛、１６は可変の
分割抵抗である。 ｊス土の様に構成されたイオン源の動作を次に説明りる
。今、引き出し電極１に加速電源「２より加速電圧Ｖ２
が印加され、更にエミッタ１ど引き出し電極１０どの間
には電源７から引さ出し電Ｊ、ｆｖ１が印加されると、
アパーヂｔ７／ｌに流れるイ調ンヒーム電流が一定とな
るにう変換回路５．設定回路（３，制御電源７Ｃ構成さ
れる負帰還回路が動作りる。ところで、引き出し・電極
１０の６極１０ａ　、１０１＋　、１０ｃ　、１０ｄに
注目りると、引き出し電Ｌ−Ｅ　Ｖ　＋が一定と仮定し
た場合には、これら６極の電位（よポテンショメータ１
１．１２．１３゜′１／１及び＋＋）変１１Ｆ、　ｉｉ
ｉ　’ｌ　（’）の抵抗値ＩＪＪ、　）（決定される。 例えば、１１１１１！ｉ　７ノ貫１１＼／　がＩ　Ｏ０
Ｋ　Ｖど（〕るど、△吃（は１００　Ｋ　Ｖ　ｔあり’
　１３　ｆｊ、ｊは分割抵抗′１ｊ）どポランジョン（
−タｉ　１．’＋２．’１３．１／１．及びｎ］変低抵
抗１Ｇ設定抵抗値の並列合成抵抗値とにＪ、る引出し電
１Ｆの５）　Ｆｊ’ｌ俯だｔ：Ｊ　７Ｊｌ速電月、１：
り低い１１ｒ１となり０点は、引出し電ＩＴ　ｆｉ１４
／ζ士（）加ｊす１電１■、Ｊ、：りも低い市川となる
。今引出１．・電Ｉ’ｉのＪｌａ　Ｉ：°！＋　ｌｉｒ
＋を１０　ＫＶどし、各ボシーンシ＝＋　７！−夕の電
江用変幅が１１〈Ｖど４れ（、Ｕ′ボ７ンシ・１メータ
をＪＶ：作りることによって、例えＣｆ　１０　ａ　、
　’Ｉ　Ｉ’）　ｂの極は９’ｌＫＶ、１（、’）　０
　、　１０　ｄの極ｔｉｔ　９０　ｔ＜＼／ｌｑの如く
、引き出し電極１０を構成りる６極’ｌ　Ｏａ　、　　
’ｌ　□Ｉ＋　、　　１　Ｃ’ＪＣ。 １０イＩ（１）７Ｔ？位をｉｉｌ変リイすことが（さる
１、ｔ：のため、」、ミッタ１．引さ出じ電ｔｉｔ　’
Ｉ　Ｏ及び加］虫電極３　Ｑ）１幾械的イｆ軸が　′ｆ
シしくい４Ｉ−＜ど０、引さ出し電極１０を（１り成り
る６極の対抗Ｊる搏に適宜な比率の電１１′ｌを′ｊえ
る（−ど（３二、Ｉン）（、所望の静電１１−向」５．
４合一形成し、電気的に引き出し電極ど加速電極どにＪ
、−）−（構成される静電レンズにょるり１−１スＡ−
バ点の光中出、１．りの″、ズ１ノ′′をン１１ｉｊ１
りることがＣさる。 このｔｌｌｉ　ｉＬｌよ、例えば基準電＊ｉ　ＩＥ　＋
の設定電圧を周囲的に変化さけ、でれに伴つ（引き出し
電圧＼１１を周ｔｉｌｌ的に変化さ１」、この状態でイ
オンビームを図示り、ｌ；ｉい試）’ｌ−１：で走査し
、該ルー目こ伴・）て発生した二次電子を該走査と同門
した陰極線管に供給し、該陰偵ｉ　Ｉｉｌ質ｔ−７：　
’、Ｉ次電子曲を観だしながら行うことがζきる。すな
わら、該エミッタ、引出し電極、加）山山ｊｊｉの軸が
一致しくい４ｒいど、該引き出し電圧の周期的な変動に
よって試料土のイオンビームの走査９・ｉ）囲は変化し
、従・）（、陰極線質１の走査像も周囲的に変化づ゛る
。ここ℃゛ボテンシヨメ〜Ｉ’ｌ、＋２．１３．１／Ｉ
を調整し、引き出し電ＩＡｉを構成りる極の内、〕１抗
り゛る（へ１０ａと１０に及σＩ　Ｃ’、）　ｌ）とｉ
Ｑｄに印加される重重−の化率を変化さければ該比率に
応じても該り［−１スＡ−バ魚は変化し、１１ｉ定の比
率と４Ｔつたｌｌ：１ｉ（Ｊ該り１］スＡ−バ点ど光軸
どは一致する。該比率を保った状態℃、引き出し電ＩＮ
値を変化さけても、該り

【−１スＡ−バｓ；、柑；Ｌ　
）’１′、　’ｌ’ｌｌｌか１うすれることは無い。そ
の結果、陰極わｉ（色１−の走査像を観察し泡゛が１−
）、該ｉ１−杏１τ；が引き出し電ｆ１の周囲的４「変
動に、１、−）？’ｂンＦ動しない状態に各ボデｉシ・
１メーク４調゛ハｌりれば、この段階で該り１１スＡ〜
バｊ１°、ｌと光軸どが−ｆ！＜　７Ｊる（二）・にな
る。この「（１階（゛各ボテシショメータを固定１−７
、更に引き出し雷ＴＶ　Ｖ　＋を所′−１１（ｌｌ′ｌ
に固定りれば、イオンじ−ノ、電ｆ７ｆを〜定にりるた
め（こ引き出（Ｊ電１１：を変化さｔ！’ｌ　ｔ＞、さ
れ（こ１゛１［っ（り１４１スＡ−バ１ｌｌｊが変化す
ることは５１ｊ　（、ルｒ目へ）の観察に際しＣ（，４
１，１（１の空手ＩＩ　／ＪＸ〕ＨＢＨ（＜、：　ｊ）
、ｌ：’ｊ　ｔ＋ノ、二（′（を１１することが（き、
■、露光等の／　′Ａ：／　ｔニーＪ−＼加［−におイ
クハ、１１１１　Ｉ位Ｆ゛イリーれを防ｌＩりるｊｌど
がてさイ）。 尚、本発明Ｃｌ；Ｌ　ｊ、ス１−の実施例装量に限定さ
れるものｃ（、、＋、　ｉ、τく、本実ｆＩＩｊｉ　Ｉ
ｔ／Ｉ＋におい（【、Ｌ、イオン１ゲーム源装置によ０
説明したが、電讐敢出型電了銃にｉｌＪい（ｂ音電Ｑｉ
に印加さ１する重重−の極１］１を変えることにＪ、っ
て容易（、二適用りることができる。又、木実が１例に
おい（は、引き出し７電極を４゛）に分割（）た実施例
につい（説明しｌ、二が、３つ以１に分割（Ｊることに
よ）（同様イ１効ｊ１３　’ｉ１！７ることがでさる１
゜ｊｌ１の様に木花明は、ｎＴ＋電粒子粒子線源ｌＵｌ
プる一Ｌミッタ、引き出し電極及び加速型（屯の製１′
［過程でイ１す′る１ｔ（械的ン」パ′ス１〕′′を、
引き出し電極を３３つ以］−に分割しテ１、分割された
引き出し電極間に所ｎ】の引（キ゛出し電１１を与える
ことにょっ−Ｃ電気的に補ｉＩすることができ、室間し
た荷電粒子線源を提供する。 図面の簡単な説明 第′１図は従来装盾の電気的構成を承り接続図、）〕２
図は本発明の一実施例装置の電気的構成を承り接続図、
第ご〕図はビーム電流と引き出し電Ｌ［の関係を承り図
（ある。 ′１：ｊミッタ、２：引ｅ　出Ｌ／　７ｉ　１１Ｔ］、
　Ｊ　：　加速ｍ極、／ｌ：アパーヂｒ’　＋　５　：
電流−電圧変換回路。 ６　：　ｉｉシ定開回路７：制御回路、１（’）：引込
出し電極、１１へ・１／Ｉ：ポテンショメータ、１５ご
分割抵抗、　’Ｉ　６　：　’ｎｆ　ｇ’ｊ　Ｊ１℃抗
、１三！：Ｊ７０１（電源＋　１−２　：加速型；Ｄ；
；。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ミツタから出射覆る荷電粒子線電流が一定又はプロー
   ブ電流が一定となるようエミッタの電位を制御するよう
   ４ｔｉ成された荷電粒子源において、該エミッタを３つ
   以上のエミッタ部片に分割して同−甲面」−に配「１り
   ると共に、該土ミッタ部ハ間にｆｆ意の電位差を与える
   手段を設りたことを特徴どＪる荷電粒子源。