JPS5944635A - 差圧検出器 - Google Patents
差圧検出器Info
- Publication number
- JPS5944635A JPS5944635A JP15537882A JP15537882A JPS5944635A JP S5944635 A JPS5944635 A JP S5944635A JP 15537882 A JP15537882 A JP 15537882A JP 15537882 A JP15537882 A JP 15537882A JP S5944635 A JPS5944635 A JP S5944635A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive element
- differential pressure
- diaphragm
- differential
- Prior art date
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L13/00—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values
- G01L13/02—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements
- G01L13/025—Devices or apparatus for measuring differences of two or more fluid pressure values using elastically-deformable members or pistons as sensing elements using diaphragms
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体感圧素子を用いさらには過大差圧に対
する装置機構を内蔵した差圧検出器に関する。
する装置機構を内蔵した差圧検出器に関する。
従来の差圧検出器の構造を示すイ０（１断面図を第１図
に表わす。
に表わす。
ｌはケーシング、２２．２″は受圧ダイアフラム、３は
センタダイアフラム、グは半導体感圧素子、ｊは感圧素
子ケからの出力信号を外部へ取出すリード、６，６′は
過大差圧が加わった時に受圧ダイアフラムλ、２′を密
着させるための受圧ダイアフラム座、７，７′は各々の
幸に歩１人さねたシリコーン油などの圧力伝達媒体、ｆ
、 ｆ’は感圧素子グに圧力を伝達するための疎通穴
、り、り“は被検出圧力流体を導入す接２１νフランジ
、１０ 、１０ ’は０１Ｊング、Ｐ工■は高圧４１！
ｌ被検出圧力、ＰＬは低圧ＩＩＩ被検出圧力である。
センタダイアフラム、グは半導体感圧素子、ｊは感圧素
子ケからの出力信号を外部へ取出すリード、６，６′は
過大差圧が加わった時に受圧ダイアフラムλ、２′を密
着させるための受圧ダイアフラム座、７，７′は各々の
幸に歩１人さねたシリコーン油などの圧力伝達媒体、ｆ
、 ｆ’は感圧素子グに圧力を伝達するための疎通穴
、り、り“は被検出圧力流体を導入す接２１νフランジ
、１０ 、１０ ’は０１Ｊング、Ｐ工■は高圧４１！
ｌ被検出圧力、ＰＬは低圧ＩＩＩ被検出圧力である。
いま、この差圧検出器の高圧ｆ（口に圧力”Ｈ−低圧側
に圧力ＰＬ（他〉ＰＬ）が加わたとずイ）と、受圧ダイ
アフラムλと圧力伝達媒体７を介して、感圧素子弘とセ
ンタダイアフラム３に圧力が伝達され、センタダイアフ
ラム３は右方（低圧側１）へたわみ感圧素子φは（”Ｊ
、ｌ −ＰＬ）の？圧に応じた出力信号を発生する。
に圧力ＰＬ（他〉ＰＬ）が加わたとずイ）と、受圧ダイ
アフラムλと圧力伝達媒体７を介して、感圧素子弘とセ
ンタダイアフラム３に圧力が伝達され、センタダイアフ
ラム３は右方（低圧側１）へたわみ感圧素子φは（”Ｊ
、ｌ −ＰＬ）の？圧に応じた出力信号を発生する。
さらに検出範囲を越え２）差圧が加わると、センタダイ
アフラム３がさらに右方へたわの、その日４１利、動じ
た容積外だけ、受圧ダイアフラムコも右方へ移動し、あ
る差圧値で受圧ダイアフラム座ｔに着座する。
アフラム３がさらに右方へたわの、その日４１利、動じ
た容積外だけ、受圧ダイアフラムコも右方へ移動し、あ
る差圧値で受圧ダイアフラム座ｔに着座する。
さらに過大な差圧が加わっても受圧ダイアフラムｌはＳ
動が阻止されるので、圧力伝達媒体７にはそれ以上の差
圧が伝達されず、したがって感圧累子グは過大差圧から
促駁さノする。過大な差圧が除去されイ）どダ・圧ダイ
アフラムコ及びセンタダイアフラノ・３１元の位置に戻
る。低圧（’！ＩＩ （受圧ダイアフラム、２′）の方
が大きい差圧が加わった場合も同様である。
動が阻止されるので、圧力伝達媒体７にはそれ以上の差
圧が伝達されず、したがって感圧累子グは過大差圧から
促駁さノする。過大な差圧が除去されイ）どダ・圧ダイ
アフラムコ及びセンタダイアフラノ・３１元の位置に戻
る。低圧（’！ＩＩ （受圧ダイアフラム、２′）の方
が大きい差圧が加わった場合も同様である。
この従来例の、！？￥造は、感圧素子〃の圧力感度を上
げるために感圧素子ケの受圧部のＪＴ、′づを薄く一ヒ
ねばならず、したがって破壊圧力が低くなるので前述し
／ヒようフ、【過大圧力性：ｉ（ｐ ｌＩＪ！ｊ ４ｑ
ｌヤを付加している。
げるために感圧素子ケの受圧部のＪＴ、′づを薄く一ヒ
ねばならず、したがって破壊圧力が低くなるので前述し
／ヒようフ、【過大圧力性：ｉ（ｐ ｌＩＪ！ｊ ４ｑ
ｌヤを付加している。
それ故、どうしても感圧素子弘を絹込む７ｓｌ１分より
も過大圧力保勲ｔＪ’）構の部分の方が人きくなり、全
体どして感圧素子ψに比べて装ｆｉ’ｊ ′ｂ″−〃・
ソ、り大形になる・ １プヒ内部の圧力伝達Ｉ［古体７，７′がＩＶ旧）旧１
り１）度変化により ｇ；７服、収縮するため、受用ダ
イア７−） Ｉｓλ９．２゛ど受圧ダイアフラム座る。
も過大圧力保勲ｔＪ’）構の部分の方が人きくなり、全
体どして感圧素子ψに比べて装ｆｉ’ｊ ′ｂ″−〃・
ソ、り大形になる・ １プヒ内部の圧力伝達Ｉ［古体７，７′がＩＶ旧）旧１
り１）度変化により ｇ；７服、収縮するため、受用ダ
イア７−） Ｉｓλ９．２゛ど受圧ダイアフラム座る。
ｔｏとの間の空隙量が変化し、過大差圧時の封止圧力値
が変化する。したがって、使用〕′θ゛太差圧を低くし
て破坤圧力捷でのマージンを多くとらねばならない。
が変化する。したがって、使用〕′θ゛太差圧を低くし
て破坤圧力捷でのマージンを多くとらねばならない。
ここにおいて本発明は、従来装ド゛ｔの不具合を克服し
、感圧素子近傍に過大差圧の保酔橙イア・ソをｒ＋”ｉ
、ｌ’ｊることによシ、小形、舒μでかつ割入されてい
る圧力伝達Ｕ体のカ、゛つ脹、収縮にか＼わらず一定の
３局大差圧イｌＩｊで作間１する差圧検出器を提供する
ことを、その目的とする。
、感圧素子近傍に過大差圧の保酔橙イア・ソをｒ＋”ｉ
、ｌ’ｊることによシ、小形、舒μでかつ割入されてい
る圧力伝達Ｕ体のカ、゛つ脹、収縮にか＼わらず一定の
３局大差圧イｌＩｊで作間１する差圧検出器を提供する
ことを、その目的とする。
〔発明の１ｉ＋７戦〕
本発明は、平板状の狗の一方に不糾９・νをＪ）ｌ ？
ｔｉ＜ Ｌ。
ｔｉ＜ Ｌ。
て形成さ′ｉ’ｌ ｆｃピエゾ抵抗５：＜子をぞブＡ−
え７ｊ ｆ４Ｉ記５１′−板状の面を加圧する圧力に応
動してダイアフラム作用をする２１Ｌ導体基板からなる
感圧素子と一周辺部が前記感圧素子と気密に接合され中
央部に第７の４通孔が穿孔さノまた台座と、この台座と
前記感圧素子を外からＰｌ（む外νｆ１器とｆｑｊＩ記
台座を連絡する中空パイプと、前記外囲器に固定され前
記感圧素子の一方の面を覆うように形成さ第１中火部に
第１の丁１ ：ｉｉ！可１．を有するカバーと、 を具備し、 前記第１ｊ・・よＯ：第一の貫通孔をブ１して圧力伝達
媒体かもの前記ル°・・圧素仔の両面に加わる圧力差を
検出するとともに、 前記台座の中央部と前言已感圧素子との間の空隙ｔ１１
こと前記カバーの前記感圧素子の対向面上に６１１記Ｍ
Ｑ Ｉｆ、素子か各々の方向から過大圧力を受けて変形
しｆ−際にバックアップするように欠球状にわん曲した
形状に形成したバックアップ部材を配舊！シフＬ差圧検
出器である。
え７ｊ ｆ４Ｉ記５１′−板状の面を加圧する圧力に応
動してダイアフラム作用をする２１Ｌ導体基板からなる
感圧素子と一周辺部が前記感圧素子と気密に接合され中
央部に第７の４通孔が穿孔さノまた台座と、この台座と
前記感圧素子を外からＰｌ（む外νｆ１器とｆｑｊＩ記
台座を連絡する中空パイプと、前記外囲器に固定され前
記感圧素子の一方の面を覆うように形成さ第１中火部に
第１の丁１ ：ｉｉ！可１．を有するカバーと、 を具備し、 前記第１ｊ・・よＯ：第一の貫通孔をブ１して圧力伝達
媒体かもの前記ル°・・圧素仔の両面に加わる圧力差を
検出するとともに、 前記台座の中央部と前言已感圧素子との間の空隙ｔ１１
こと前記カバーの前記感圧素子の対向面上に６１１記Ｍ
Ｑ Ｉｆ、素子か各々の方向から過大圧力を受けて変形
しｆ−際にバックアップするように欠球状にわん曲した
形状に形成したバックアップ部材を配舊！シフＬ差圧検
出器である。
本発明になる差圧検出器の一実施例の側断面図を第２図
に示す。
に示す。
／／はシリコン単結晶で中す部が周辺部に比べて薄肉に
形成された感圧素子、／、２＋’Ｊ、感圧素子／／の一
面上に不純物を拡散して形成したピエゾ摂ＩＭ素子、／
３はピエゾ抵抗素子の一端と電９し的に導通ずるリード
、／’／はＩ（Ｎ’４圧ネ子ｌ／を固定し支持するため
の台座、１５はｒｉｂ’＜ ７．Ｅ素子ｉｉを台座／’
／に気密に固着するための接合部、ＩＡ＆″ｒ、中空パ
イプ、１７は外囲器で中空パイプ／６を介し１台１３１
Ｎｌ＊を支持している。
形成された感圧素子、／、２＋’Ｊ、感圧素子／／の一
面上に不純物を拡散して形成したピエゾ摂ＩＭ素子、／
３はピエゾ抵抗素子の一端と電９し的に導通ずるリード
、／’／はＩ（Ｎ’４圧ネ子ｌ／を固定し支持するため
の台座、１５はｒｉｂ’＜ ７．Ｅ素子ｉｉを台座／’
／に気密に固着するための接合部、ＩＡ＆″ｒ、中空パ
イプ、１７は外囲器で中空パイプ／６を介し１台１３１
Ｎｌ＊を支持している。
／ざはり−ド／３を経てピエゾ抵抗素子／２と％：気的
に導通ずるリードビン、／９は感圧素子／／をω９カ′
９−・−２０、，２０’は中央に向って欠球状にわん曲
した形状になったバックアッププレートでおの・１７の
台座ｌＩＩおよびカバー／’７に承句けられている。前
述のようにＰＨは高圧ｉｔ！＋１方向力）らの圧力、
ＰＬ＆：よ低圧側方向からの圧力を示す。
に導通ずるリードビン、／９は感圧素子／／をω９カ′
９−・−２０、，２０’は中央に向って欠球状にわん曲
した形状になったバックアッププレートでおの・１７の
台座ｌＩＩおよびカバー／’７に承句けられている。前
述のようにＰＨは高圧ｉｔ！＋１方向力）らの圧力、
ＰＬ＆：よ低圧側方向からの圧力を示す。
い′ま、高圧側方向から圧力Ｐ□が低圧Ｉ＋１１方向が
ら圧力ＰＬがそれぞノ１加わると、感圧素子／／の中央
の薄内部（以下クイ°ｒフラムと云う〕がその差圧（Ｐ
Ｈ−ＰＬ）に応じてたわみ、ピエゾ抵抗素子／、２の抵
抗値がピエゾ抵４゛へ効果により変化する。
ら圧力ＰＬがそれぞノ１加わると、感圧素子／／の中央
の薄内部（以下クイ°ｒフラムと云う〕がその差圧（Ｐ
Ｈ−ＰＬ）に応じてたわみ、ピエゾ抵抗素子／、２の抵
抗値がピエゾ抵４゛へ効果により変化する。
差圧がさらに増加し、使用限度を越えると例えハＰＨ＞
ＰＬの場合は、ダイアフラムが第２図上で下方へたわみ
六にはバックアップ部材２ｏに密沼する。
ＰＬの場合は、ダイアフラムが第２図上で下方へたわみ
六にはバックアップ部材２ｏに密沼する。
バックアップ薄利２ｏはダイアフラムのたわム形状に合
わせて欠球状に形成する。このバックアップ部材２０は
例えば加熱硬化形のエポキシ系接着剤靜を硬化時に過大
圧力を加えてダイアフラムをたわすせたま＼硬化さぜる
方法等にょシ、欠球状に形成される。
わせて欠球状に形成する。このバックアップ部材２０は
例えば加熱硬化形のエポキシ系接着剤靜を硬化時に過大
圧力を加えてダイアフラムをたわすせたま＼硬化さぜる
方法等にょシ、欠球状に形成される。
次に、本発明の他の実施例の側断面図を第３図に示す。
この実施例は、第２図の差圧検出器をケーシング本体２
／内に組み込み、高圧側、低圧側おのおのの隔液ダイア
フラム、）、２ 、．２２′と前記差圧検出器とで仕切
られるケーシング内の、２室にそれぞれ圧カ伝遼媒体〃
、ｎ′を充プし、感圧素子／／がらの出力はハーメチッ
クシールＪを介して外部に取出せるようにした差圧Ｆ当
帰である。
／内に組み込み、高圧側、低圧側おのおのの隔液ダイア
フラム、）、２ 、．２２′と前記差圧検出器とで仕切
られるケーシング内の、２室にそれぞれ圧カ伝遼媒体〃
、ｎ′を充プし、感圧素子／／がらの出力はハーメチッ
クシールＪを介して外部に取出せるようにした差圧Ｆ当
帰である。
この碧Ｉ合、被測定流体は高圧側、低圧４ＪＩＱ各々の
フランジ３．Ｊ′内に導入される。
フランジ３．Ｊ′内に導入される。
この実施例では、被測定流体の差圧（ＰＨ−Ｐｌ、）は
、隔液ダイアフラムｕ、２２″と王カ伝達熟し体、２３
゜Ｊ′を介して、感圧素子／／に伝達さｔ１イ）。
、隔液ダイアフラムｕ、２２″と王カ伝達熟し体、２３
゜Ｊ′を介して、感圧素子／／に伝達さｔ１イ）。
このジこ施例の鍋大圧印加時の動作は第２図のそれと同
様である。
様である。
１−かして本発明の実施例では、バックアップ部材、？
、０．２０ ’の材料としてエポキシ系接熔剤を用いて
いるが、欠球わん曲状に接触面を形成で合るン、「らば
、エポキシ系以外の有（カ吃材でもよい。
、０．２０ ’の材料としてエポキシ系接熔剤を用いて
いるが、欠球わん曲状に接触面を形成で合るン、「らば
、エポキシ系以外の有（カ吃材でもよい。
また、台座／Ｑとバックアップ部材、２０お３Ｌびカバ
ーｉ’ｙとバックアップ部材、２０′を各々一体の材料
で作シ、欠球状の面を加工により形成１２てもよい。
ーｉ’ｙとバックアップ部材、２０′を各々一体の材料
で作シ、欠球状の面を加工により形成１２てもよい。
、さらには、バックアップ部材コ。２．２゜′として無
機ガラス材を用いても同様の効果を得ることができる。
機ガラス材を用いても同様の効果を得ることができる。
かくして本発明によれば、次のような効果が認めらオし
ろ。
ろ。
■ 感ＦＥ素子のたわみを抑制するような；）７＋、大
差圧保騨機構なので、感圧ミー子部ｇ１夕＋、ｖｃ ４
；材Ｊ〜的な過大差圧保護機構を設ける必要がなく、小
形、軽量。
差圧保騨機構なので、感圧ミー子部ｇ１夕＋、ｖｃ ４
；材Ｊ〜的な過大差圧保護機構を設ける必要がなく、小
形、軽量。
安価な差圧検出器を作ることができる。
＠ 圧力伝達媒体を封入ｔ２ている方式の差圧検出器で
は、圧力伝達１１１体の膨張、収＃にょって、過大差圧
保護機構の作動差圧値が変化することがないため、周囲
塩度変化に対しはソ一定の作動差圧値が得られる。
は、圧力伝達１１１体の膨張、収＃にょって、過大差圧
保護機構の作動差圧値が変化することがないため、周囲
塩度変化に対しはソ一定の作動差圧値が得られる。
θ 感圧素子のたわみを抑制（〜てぃシ）ので、差圧番
から過大差圧の状態になる寸での容精の移ｒ＃ｂ伝は椅
めて少ないため、容稍移動によイ）スパンの変化等の影
ＱＩ＋Ｉがない。
から過大差圧の状態になる寸での容精の移ｒ＃ｂ伝は椅
めて少ないため、容稍移動によイ）スパンの変化等の影
ＱＩ＋Ｉがない。
第１ツ１は従来装動の４１［＋、１１断面図、第β図は
本発明の一実施例の構成を示す側断面図、第３図は本発
明の仙１の実施例の１則断面図である。 ハ・・ケーシング、）、２′・・・受圧ダイアフラム、
３・・・センタダイアフラム、ｆ・・・感圧；；ス子、
！・・・リード、＋ 、 ＋’・・・グ圧ダイアフラム
座、７，７°・・・圧力伝送桿体、ｇ、ｔｒ”・・・連
通穴、夕、９′・・・接液フランジ、ＩＯ、１０’・・
・０リング、／／・・・感圧素子、／、２・・・ピエゾ
祇抗素子、／３・・・リード、／ケ・・・台座、／Ｓ・
・・接合部、／６・・・中空パイプ、１７・・・外囲器
、７ｇ・・・リードビン、１９・・・カバー、２０ 、
２０ ’・・・バックアップ部材１．２／・・・ケーシ
ング本体、Ｕ・・・高圧（Ｉ′ＩＩｆ Ｒ液ダイアフラ
ム、２．２ ’・・・低圧側隔液ダイアフラム１．２３
・・・訂正側圧力伝達力が体、２３′・・・低圧１１１
■圧力伝達媒体１．２１／−・・・ハーメチックシール
、２！；・・・高圧ｆ！Ｉ＋フランジ５．２３“・・・
低圧側７ランジ。 出願人代理人 猪 股 消第１ 図 ） 第２図 第３ 口
本発明の一実施例の構成を示す側断面図、第３図は本発
明の仙１の実施例の１則断面図である。 ハ・・ケーシング、）、２′・・・受圧ダイアフラム、
３・・・センタダイアフラム、ｆ・・・感圧；；ス子、
！・・・リード、＋ 、 ＋’・・・グ圧ダイアフラム
座、７，７°・・・圧力伝送桿体、ｇ、ｔｒ”・・・連
通穴、夕、９′・・・接液フランジ、ＩＯ、１０’・・
・０リング、／／・・・感圧素子、／、２・・・ピエゾ
祇抗素子、／３・・・リード、／ケ・・・台座、／Ｓ・
・・接合部、／６・・・中空パイプ、１７・・・外囲器
、７ｇ・・・リードビン、１９・・・カバー、２０ 、
２０ ’・・・バックアップ部材１．２／・・・ケーシ
ング本体、Ｕ・・・高圧（Ｉ′ＩＩｆ Ｒ液ダイアフラ
ム、２．２ ’・・・低圧側隔液ダイアフラム１．２３
・・・訂正側圧力伝達力が体、２３′・・・低圧１１１
■圧力伝達媒体１．２１／−・・・ハーメチックシール
、２！；・・・高圧ｆ！Ｉ＋フランジ５．２３“・・・
低圧側７ランジ。 出願人代理人 猪 股 消第１ 図 ） 第２図 第３ 口
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ／、平板状の面の一方に不純物を拡散して形成されたピ
エゾ抵抗素子をそなえ、前記平板状の面を加圧する圧力
に応動してダイアフラム作用をする生導体基板からなる
感圧素子と、周辺部が前記感圧素子と気密に接合され、
中央部に少くとも１個の第１の貫通孔が穿孔された台１
３１３と、この台座と前記感圧素子を外から囲む外囲器
と前記台座を連絡する中空パイプと、前記外ＩＵＩ器に
固定され前記感圧素子の一方の面を芭うユつに形成され
中央部に少くとも１個の第２の貫通孔を有するカバーと
を具備し、前記第１および第２の貫通孔を介して圧力伝
達〃す、体からの前記感圧素子の両面に加わる圧力差を
検出するとともに、前記台座の中央部と前記感圧素子と
の間の空１１；＆、部と前記カバーの前記感圧素子の対
向面上に前記感圧素子が各々の方向から過大圧力を受り
て変形した際にバックアップするように欠球状にわん曲
した形状に形成したバックアップ部材を配置したことを
特徴とする差圧検出器、２．ｌ対の受圧ダイアフラムに
よりケーシング内に形成された第１および第２の圧力室
と、こノ′シらの圧力室にそれぞれ封入された圧カ伝達
妨体とをぞなえ、前記第１および第２の圧力室の間に配
設され前記第１および第２の受圧ダイアフラムの外側に
導入された被測定流体間の差を検出するようにした特許
請求の範囲第１．ＬＪ′４記Ｉｆ’ンの差圧検出器。 ３、前記バックアップ部材として一方もしくは両方とも
有機材を充填形成した特￥ｆ酊１求の節、間第１項ある
いは第一項記載の差圧検出器。 ｔ、前記有機材として一方もしくは両方ともエポキシ系
ｖ着剤を適用した特許ｔｉＦｔ求の範囲第３項記載の差
圧検出器。 よ前記バックアップ部イ１のうち一方もしくは両方とも
それぞれが接着する前記カバーもしくは前記台座と一体
に形成された弘許市求の範囲８５７項あるいは第２項記
載の差圧検出器。 ｔ、前記バックアップ部材の桐材として一方もしくは両
方とも無機ガラスを用いた特許請求の範囲第１項あるい
は第、２項記載の差圧検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537882A JPS5944635A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 差圧検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15537882A JPS5944635A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 差圧検出器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944635A true JPS5944635A (ja) | 1984-03-13 |
Family
ID=15604629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15537882A Pending JPS5944635A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 差圧検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944635A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0316343A1 (en) * | 1986-07-28 | 1989-05-24 | Rosemount Inc | PRESSURE SENSORS ISOLATED FROM THE PRESSURE MEDIUM. |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5243474A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-05 | Fuji Electric Co Ltd | Differential pressure measuring device |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP15537882A patent/JPS5944635A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5243474A (en) * | 1975-10-02 | 1977-04-05 | Fuji Electric Co Ltd | Differential pressure measuring device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0316343A1 (en) * | 1986-07-28 | 1989-05-24 | Rosemount Inc | PRESSURE SENSORS ISOLATED FROM THE PRESSURE MEDIUM. |
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