JPS5944007A - 色分離フイルタ−の接着方法 - Google Patents
色分離フイルタ−の接着方法Info
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- JPS5944007A JPS5944007A JP57155445A JP15544582A JPS5944007A JP S5944007 A JPS5944007 A JP S5944007A JP 57155445 A JP57155445 A JP 57155445A JP 15544582 A JP15544582 A JP 15544582A JP S5944007 A JPS5944007 A JP S5944007A
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Classifications
-
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本づ６明ｔ１色分１λ進フィルターの接着方法に関する
。
。
色分〜Ｌフイルメー＃、ｔＩ＋光束制限用カラープレー
ト、ブラウン官表示用カラー７エイスプレート、す厘写
用の尤嵯変喚素子用プレート、単せ式カラーデレビカメ
ラ用フィルター、１℃晶カラー表示プレートなど広く用
いられるものである。
ト、ブラウン官表示用カラー７エイスプレート、す厘写
用の尤嵯変喚素子用プレート、単せ式カラーデレビカメ
ラ用フィルター、１℃晶カラー表示プレートなど広く用
いられるものである。
′止た、特に近年、半導体製造装置の進歩に伴い、二仄
元画保を′喧気信号に変換するだめの素子として従来の
−ｊｊ＆欽曾の代シに固体撮像索子が用いらｉするよう
になって来た。例えばＣＯＤ （チャージカップルドデ
バイス）、１ＡＯ８（メタルオキサイドセミコンダクタ
ー）あるいはＢＢＤ （パケットブリケートデバイス）
と呼ばれる固体撮像索子は、微細に分割された多欲の受
光部とこの受光部からの情報を取り出すための駆動回路
などがワンチップに収容されておυ、固体撮像素子を用
いたカラーカメラは、０ＣＡ）、ＭＯＢ、ＢＢＤ等の固
体撮１璃素子の各・画素に対向させてモザイク状あるい
はストン・ｆノ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
背の８７−（ルター素子を配置することによりカラー信
号をとり出す。現在、この色分離フィルターの大部分は
上記のような受）し素子′士だは表示暑く子などの基４
１ノ上に色分離フィルターの接着を行在っているのが一
般的である。基板、例えば固体撮ｉ＊＊素子上に色分離
フィルターを貼合せる方法として、半導体製造装置とし
て使用されているマスクアライメント（位置合せ）装置
ａを１史用【−１固１本１最葎素子と色分離フィルター
の正１歳なｆ企１ｄ倫ぜを行ない、直ちに、高圧水銀灯
からの紫り８砂により接着ヘリを硬化する方法がある。
元画保を′喧気信号に変換するだめの素子として従来の
−ｊｊ＆欽曾の代シに固体撮像索子が用いらｉするよう
になって来た。例えばＣＯＤ （チャージカップルドデ
バイス）、１ＡＯ８（メタルオキサイドセミコンダクタ
ー）あるいはＢＢＤ （パケットブリケートデバイス）
と呼ばれる固体撮像索子は、微細に分割された多欲の受
光部とこの受光部からの情報を取り出すための駆動回路
などがワンチップに収容されておυ、固体撮像素子を用
いたカラーカメラは、０ＣＡ）、ＭＯＢ、ＢＢＤ等の固
体撮１璃素子の各・画素に対向させてモザイク状あるい
はストン・ｆノ状の色分離フィルター、例えば赤、緑、
背の８７−（ルター素子を配置することによりカラー信
号をとり出す。現在、この色分離フィルターの大部分は
上記のような受）し素子′士だは表示暑く子などの基４
１ノ上に色分離フィルターの接着を行在っているのが一
般的である。基板、例えば固体撮ｉ＊＊素子上に色分離
フィルターを貼合せる方法として、半導体製造装置とし
て使用されているマスクアライメント（位置合せ）装置
ａを１史用【−１固１本１最葎素子と色分離フィルター
の正１歳なｆ企１ｄ倫ぜを行ない、直ちに、高圧水銀灯
からの紫り８砂により接着ヘリを硬化する方法がある。
このとき色分離フィルターと固体撮像素子の貼付に使用
する接着剤は、色分離フィルターと固体撮像索子の位１
ゴ合ぜの後、位置がくるわないうちに硬ｒヒできる紫外
線硬化型接着剤が使用される。しかし、色分離フィルタ
ーと固体撮像索子を紫外線硬化型接着剤をもって貼付け
る方法は色分離フィルターの紫外縁透過率が色によって
異Ａることから、紫外Ｍ ｔｌｌ射による紫外線硬化型
接着剤の硬化に差が生じてしまう。この７−ｆルター間
の硬化の差をなくす為に、紫外縁照射の後、加熱硬化を
行い、紫夕１線の１１１射不足による未硬化を補い、紫
外線硬化型接着剤を均一硬化させ、色分離フィルターと
固体撮像索子を貼付ける方法も考えられるが色分離フィ
ルターと固体撮１象索子の貼付に紫外線硬化型接着剤を
用い、全面に紫外線；ｌに射を行った後、加熱により、
紫外線硬化型接着剤を加熱硬化させると色分ト、成フィ
ルターの中で赤色部、緑色部などの紫夕１綜透過率の低
い部分は信頼性テストではくりが生じて、色による紫外
線照射雇歴の差がその盪壕加熱硬化後も残ってしまう欠
点がある。而して本発明は、色分離フィルターの」υ所
的な紮夕１綜透過率の相違の影響を受けないで色分ｈｌ
７−イルターを基板に均一に接着できる方法を提供す
ることを主たる目的とする。
する接着剤は、色分離フィルターと固体撮像索子の位１
ゴ合ぜの後、位置がくるわないうちに硬ｒヒできる紫外
線硬化型接着剤が使用される。しかし、色分離フィルタ
ーと固体撮像索子を紫外線硬化型接着剤をもって貼付け
る方法は色分離フィルターの紫外縁透過率が色によって
異Ａることから、紫外Ｍ ｔｌｌ射による紫外線硬化型
接着剤の硬化に差が生じてしまう。この７−ｆルター間
の硬化の差をなくす為に、紫外縁照射の後、加熱硬化を
行い、紫夕１線の１１１射不足による未硬化を補い、紫
外線硬化型接着剤を均一硬化させ、色分離フィルターと
固体撮像索子を貼付ける方法も考えられるが色分離フィ
ルターと固体撮１象索子の貼付に紫外線硬化型接着剤を
用い、全面に紫外線；ｌに射を行った後、加熱により、
紫外線硬化型接着剤を加熱硬化させると色分ト、成フィ
ルターの中で赤色部、緑色部などの紫夕１綜透過率の低
い部分は信頼性テストではくりが生じて、色による紫外
線照射雇歴の差がその盪壕加熱硬化後も残ってしまう欠
点がある。而して本発明は、色分離フィルターの」υ所
的な紮夕１綜透過率の相違の影響を受けないで色分ｈｌ
７−イルターを基板に均一に接着できる方法を提供す
ることを主たる目的とする。
本発明による色分離フィルターの接着方法は１、Ｗ板上
に接７Ｉ−１層を介して色分離フィルターを設置ａ ｔ
、 、紫外縁を照射して接着！−の一部を硬化させた後
、加熱により接１１層全体を硬化させる仁とを特徴とす
る。即ち、本発明け、紫外線による接着ｌ−の接骨硬化
を接着層の一部に止める也とによって、事実上紫外曽照
射／７鯖の影響を残さないで引続く加熱によ抄接看ノー
の全面硬化を行うことによって、色分離フィルターと基
板との均−且つ良好な接着を達成するものである。
に接７Ｉ−１層を介して色分離フィルターを設置ａ ｔ
、 、紫外縁を照射して接着！−の一部を硬化させた後
、加熱により接１１層全体を硬化させる仁とを特徴とす
る。即ち、本発明け、紫外線による接着ｌ−の接骨硬化
を接着層の一部に止める也とによって、事実上紫外曽照
射／７鯖の影響を残さないで引続く加熱によ抄接看ノー
の全面硬化を行うことによって、色分離フィルターと基
板との均−且つ良好な接着を達成するものである。
紫外縁の照射＃」、色分離フィルターの非有効部、例え
ばモザイクやストライプなどのカラーパターン以外の部
位や基板の受光部以外の部位に対ＥＣ；する色分離フィ
ルターの部位を通して行われるのが好適である。
ばモザイクやストライプなどのカラーパターン以外の部
位や基板の受光部以外の部位に対ＥＣ；する色分離フィ
ルターの部位を通して行われるのが好適である。
本発明において用いられる紫外縁および熱硬化！すの接
着剤としてｔ′支、例えば、市販品としてロックタイト
５５４および３５８（日本ロックタイト社製）、レンズ
ボンドＵＶ７１およびＵＶ ７４−（′−ナマーズラボ
ラトリー社製）、フォトボンド１００および５ ｕ Ｏ
（明樋チャーチル社製）、１１１（０１００５，１０１
４および１５５（ローム−ｒンドハウス？！：製）、ス
リーボンド５０１３Ｂおよび６０６０（スリーボンド社
製）（いずれも商品名）などが挙げられる。
着剤としてｔ′支、例えば、市販品としてロックタイト
５５４および３５８（日本ロックタイト社製）、レンズ
ボンドＵＶ７１およびＵＶ ７４−（′−ナマーズラボ
ラトリー社製）、フォトボンド１００および５ ｕ Ｏ
（明樋チャーチル社製）、１１１（０１００５，１０１
４および１５５（ローム−ｒンドハウス？！：製）、ス
リーボンド５０１３Ｂおよび６０６０（スリーボンド社
製）（いずれも商品名）などが挙げられる。
色分離フィルターが接着される基板向け、例えば、ブシ
ウン・Ｕ表示用カシ−７エイスプレートの場合にｔＪ支
持体はブラウン前表示面であり、また、単管式カラーテ
レビカメラの場合には、撮１氷管の受光面であり、欣謹
Ｉ、を利用したカラーディスプレイのｌｄ合には、マト
リックス化された液晶セルを形成するガラス基＆ｌ１１
１′ｔ′あり、また、カラー複写用箪子写ｊｉｃ感元体
く例えば、基体上に光導’ｔ４（層を有する電子写戒感
光体の光導゛畦層表面に絶縁層としてさらに色分離フィ
ルターを設けた感光体にカラー画像Ｉぎ元を含む所定の
′−子写真プロセスを施して靜’１を像を形成し、これ
を現像するヒとによってカラー画像が形成される。例え
ば特公昭５２−５６０１９号公報に記載されているよう
にカラー原画像の露光によシ赤色（Ｒ）′ｙｔｉ、緑色
（Ｇ）元およびｗ色（Ｂ）光は各々色分ｐｉ４ フィル
ターのＲ部、０部およびＢ部だけを透ｉ／４し゛Ｃ透１
邑元１、目Ｃ応じて光導電１−の抵抗を下げてぞのＴ’
＋（１：５）に・ｉｔｆ ’ｔｔｆされていた静電荷が
消失する。色り）離フィルターを透過する光がない部分
の光導′嵯層に１．１師’ｔｄ ’ｎｒｊ Ｈ：消失さ
れず靜′＃を葎が形成され、こＪＬをｈ’＋ν元作用の
あるトナーで現１１することによって、静′−荷がＪＡ
ＷＩシている部分にトナーを付性１さＵ゛て、その部分
の色分離フィルターのｌ（部、０部および／またはＢ部
を遮蔽させてトナーが付−・１Ｊシない色分離フィルタ
ーの部分をもつでカラー画像が形成される）の場自・に
）Ｊ： ′Ｎｉ子写東ｈＬ％ ｉＹ；体面であり、また
、固体撮像索子の場合にｔｌｌ、シリコン基板面である
。
ウン・Ｕ表示用カシ−７エイスプレートの場合にｔＪ支
持体はブラウン前表示面であり、また、単管式カラーテ
レビカメラの場合には、撮１氷管の受光面であり、欣謹
Ｉ、を利用したカラーディスプレイのｌｄ合には、マト
リックス化された液晶セルを形成するガラス基＆ｌ１１
１′ｔ′あり、また、カラー複写用箪子写ｊｉｃ感元体
く例えば、基体上に光導’ｔ４（層を有する電子写戒感
光体の光導゛畦層表面に絶縁層としてさらに色分離フィ
ルターを設けた感光体にカラー画像Ｉぎ元を含む所定の
′−子写真プロセスを施して靜’１を像を形成し、これ
を現像するヒとによってカラー画像が形成される。例え
ば特公昭５２−５６０１９号公報に記載されているよう
にカラー原画像の露光によシ赤色（Ｒ）′ｙｔｉ、緑色
（Ｇ）元およびｗ色（Ｂ）光は各々色分ｐｉ４ フィル
ターのＲ部、０部およびＢ部だけを透ｉ／４し゛Ｃ透１
邑元１、目Ｃ応じて光導電１−の抵抗を下げてぞのＴ’
＋（１：５）に・ｉｔｆ ’ｔｔｆされていた静電荷が
消失する。色り）離フィルターを透過する光がない部分
の光導′嵯層に１．１師’ｔｄ ’ｎｒｊ Ｈ：消失さ
れず靜′＃を葎が形成され、こＪＬをｈ’＋ν元作用の
あるトナーで現１１することによって、静′−荷がＪＡ
ＷＩシている部分にトナーを付性１さＵ゛て、その部分
の色分離フィルターのｌ（部、０部および／またはＢ部
を遮蔽させてトナーが付−・１Ｊシない色分離フィルタ
ーの部分をもつでカラー画像が形成される）の場自・に
）Ｊ： ′Ｎｉ子写東ｈＬ％ ｉＹ；体面であり、また
、固体撮像索子の場合にｔｌｌ、シリコン基板面である
。
実施例
固体撮像素子と色分離フィルターとの位置合せ、及び仮
硬化は市販のマスクアライメント装置を改造したものを
使用する。
硬化は市販のマスクアライメント装置を改造したものを
使用する。
まず色分離フ・ｆルターをセットし、真空吸着で固定す
る。次に固体撮像索子をセットし、真空吸＋ｉで固定す
る。仄に、紫夕８線硬化型接着削をディスペンサーで滴
下する。次に固体撮像索子を色分離フィルターの真下に
動かす。次に固体撮像素子と色５） ｊａｉ！フィルタ
ーの間隔を狭くするように固体撮像素子を徐々に持ち上
げる。このＲｉｂ作により固体撮像索子と色分離フ・ｆ
ルターとの間に接着層ができる。色分離フィルターと固
体撮像索子との位ｌＬｔ合）Ｖをアライメント光学系を
使用して行う。色分離フ・ｆルターの非有効部にはスポ
ット状の仮止め用窓を明ヲ１、クロムマスクを通して、
そのｅＪｌｌ ｆｔＪのみ紫外縁をｊ！６射し仮止めを
行えるようにさｉしている。次に上記クロムマスクをセ
ットする。クロムマスクの付随と色分離フィルターとの
位１ｄ関係はセットしただけで一定になるように、々、
らかしめ設計しておく。
る。次に固体撮像索子をセットし、真空吸＋ｉで固定す
る。仄に、紫夕８線硬化型接着削をディスペンサーで滴
下する。次に固体撮像索子を色分離フィルターの真下に
動かす。次に固体撮像素子と色５） ｊａｉ！フィルタ
ーの間隔を狭くするように固体撮像素子を徐々に持ち上
げる。このＲｉｂ作により固体撮像索子と色分離フ・ｆ
ルターとの間に接着層ができる。色分離フィルターと固
体撮像索子との位ｌＬｔ合）Ｖをアライメント光学系を
使用して行う。色分離フ・ｆルターの非有効部にはスポ
ット状の仮止め用窓を明ヲ１、クロムマスクを通して、
そのｅＪｌｌ ｆｔＪのみ紫外縁をｊ！６射し仮止めを
行えるようにさｉしている。次に上記クロムマスクをセ
ットする。クロムマスクの付随と色分離フィルターとの
位１ｄ関係はセットしただけで一定になるように、々、
らかしめ設計しておく。
次に、シャッターをオープンして、紫外線照射を行い、
紮夕”１線硬化型接フ１゛ン削の一部を硬化する。ζＫ
に色分ｐ＋＃フィルターと固体撮ｆ・ｙ索子を取り出し
、オーブンに入れて、紫外線硬化型接着剤を加−２＾硬
化する。
紮夕”１線硬化型接フ１゛ン削の一部を硬化する。ζＫ
に色分ｐ＋＃フィルターと固体撮ｆ・ｙ索子を取り出し
、オーブンに入れて、紫外線硬化型接着剤を加−２＾硬
化する。
このようにＬ７て摘蕾された色分離フーイルターの接治
性能は次の表に示される。同、接７１７削として番ｔ１
ロックタイト３５４、フォトボンド１００およびフ
ォトボンド３０００３種類を用いたがいずれも同じ結果
であった。
性能は次の表に示される。同、接７１７削として番ｔ１
ロックタイト３５４、フォトボンド１００およびフ
ォトボンド３０００３種類を用いたがいずれも同じ結果
であった。
上記表に示されるように、紫外υによる仮止後の加熱に
よって色分離フィルターと固体撮像索子との接着は非゛
ポに良好であった。
よって色分離フィルターと固体撮像索子との接着は非゛
ポに良好であった。
出願人 キャノン株式会社
Claims (1)
- １ 基板上に接着層を介して色分離フィルターを設置し
、帖外綜を照射して接着層の一部を硬化させた償、加熱
により接着層全体を硬化させることを特徴とする色分離
７−イルターの接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155445A JPS5944007A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57155445A JPS5944007A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5944007A true JPS5944007A (ja) | 1984-03-12 |
Family
ID=15606189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57155445A Pending JPS5944007A (ja) | 1982-09-07 | 1982-09-07 | 色分離フイルタ−の接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944007A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102744954A (zh) * | 2012-05-11 | 2012-10-24 | 友达光电股份有限公司 | 基板制造方法及多层堆叠结构 |
-
1982
- 1982-09-07 JP JP57155445A patent/JPS5944007A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102744954A (zh) * | 2012-05-11 | 2012-10-24 | 友达光电股份有限公司 | 基板制造方法及多层堆叠结构 |
| CN102744954B (zh) * | 2012-05-11 | 2015-01-07 | 友达光电股份有限公司 | 基板制造方法及多层堆叠结构 |
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