JPS5943523A - 半導体エツチング処理における薬液供給方法 - Google Patents
半導体エツチング処理における薬液供給方法Info
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- JPS5943523A JPS5943523A JP15370682A JP15370682A JPS5943523A JP S5943523 A JPS5943523 A JP S5943523A JP 15370682 A JP15370682 A JP 15370682A JP 15370682 A JP15370682 A JP 15370682A JP S5943523 A JPS5943523 A JP S5943523A
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- JP
- Japan
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- vessel
- etching
- chemical liquid
- buffer
- tank
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- Pending
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- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title abstract description 3
- 239000002689 soil Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、゛1′1体観造−1程において製品のエツチ
ング処]:jliに用いる基液の供給方法に関するもの
である。
ング処]:jliに用いる基液の供給方法に関するもの
である。
従来のエラチン′り装置は第1図に示すように、エツチ
ング槽1を二重t1〜造にし、ぞの内側にエツチンク処
理用薬液2を貯■(11さ−14、その外側にポンプ6
て熱媒体4を熱交換器5を通過させで循還させることに
より、薬液2を熱媒体4て冷却又は加熱し−Cイの液)
晶を二Jントロールし薬液2の温度を均一に保っていた
。しかし、従来装置では、エンチング槽1から製品を引
き」けるときに薬液2が製品にfq着したまま持ち出さ
れたり又は薬液2が蒸発するためにエツチング槽1内の
液面が下った場合には、途中で薬液を補充しなければな
らないという欠点かあった。さらに、薬液2を間接的に
冷却又は加熱するため、薬液2を交換又は補充1./た
後からエラ千/グ処理を行なうUを61□1に達するま
でに長時間を要し、また液温のバラツキが大きいという
欠点があった。
ング槽1を二重t1〜造にし、ぞの内側にエツチンク処
理用薬液2を貯■(11さ−14、その外側にポンプ6
て熱媒体4を熱交換器5を通過させで循還させることに
より、薬液2を熱媒体4て冷却又は加熱し−Cイの液)
晶を二Jントロールし薬液2の温度を均一に保っていた
。しかし、従来装置では、エンチング槽1から製品を引
き」けるときに薬液2が製品にfq着したまま持ち出さ
れたり又は薬液2が蒸発するためにエツチング槽1内の
液面が下った場合には、途中で薬液を補充しなければな
らないという欠点かあった。さらに、薬液2を間接的に
冷却又は加熱するため、薬液2を交換又は補充1./た
後からエラ千/グ処理を行なうUを61□1に達するま
でに長時間を要し、また液温のバラツキが大きいという
欠点があった。
本発明は前記間顯点を解消するもので、バッファ一槽内
の薬液をポンプて汲み−[、げ、熱交換器、フィルター
を通過させエッチ/り槽内にその1・部より供給し、薬
液をエツチング槽−15部から3−バーフローさせてバ
ッファ一槽v(=帰還させることを特徴とするものであ
る。
の薬液をポンプて汲み−[、げ、熱交換器、フィルター
を通過させエッチ/り槽内にその1・部より供給し、薬
液をエツチング槽−15部から3−バーフローさせてバ
ッファ一槽v(=帰還させることを特徴とするものであ
る。
以下、本発明の一実施例を図eこよって説明する。
第2図に示すように、エツチング槽1の(、土かにバッ
ファ一槽6を設置し、該]1ツファ一槽6(・(薬液圧
送用ポンプ7を備えイNJG′jる。また、ポンプ7ヲ
M’r 交換t’t 8及びフィルタ・−9を通してエ
ツチング槽1の下部に配管し、エツチング槽1とバッフ
ァ槽6との間を’、li[l遠用パイプ10て配管する
。
ファ一槽6を設置し、該]1ツファ一槽6(・(薬液圧
送用ポンプ7を備えイNJG′jる。また、ポンプ7ヲ
M’r 交換t’t 8及びフィルタ・−9を通してエ
ツチング槽1の下部に配管し、エツチング槽1とバッフ
ァ槽6との間を’、li[l遠用パイプ10て配管する
。
実施例において、薬液2はバッファ一槽6からポンプ7
て圧送し、熱交換器8で薬液2を直接に加熱又は冷却し
次にフィルター9を通過させて浄化し、その薬液2をエ
ツチング槽1のF部から供給してエツチング槽1の」二
部からオーバーフローさせる。エツチング槽1から副−
ハーフローした薬液2はバイブ10”Cバッファ一槽6
に帰還させ、再びポンプ7てエツチング槽1に向りで圧
送して循還させるのである。エツチング槽1ては通常の
如く半導体装置のエツチング処理を行なう。
て圧送し、熱交換器8で薬液2を直接に加熱又は冷却し
次にフィルター9を通過させて浄化し、その薬液2をエ
ツチング槽1のF部から供給してエツチング槽1の」二
部からオーバーフローさせる。エツチング槽1から副−
ハーフローした薬液2はバイブ10”Cバッファ一槽6
に帰還させ、再びポンプ7てエツチング槽1に向りで圧
送して循還させるのである。エツチング槽1ては通常の
如く半導体装置のエツチング処理を行なう。
以」−のように、本発明はバッファ一槽からポンプで薬
液を圧送してエツチング槽内にその下部から供給し、薬
液をエツチング槽上部からオーバーフローさせてバッフ
ァ一槽に1141 ’14させるため、バッファ一槽に
液の使用量及び蒸発mを見込んで十分な量の薬液を入れ
ておくことによる長時間薬液を補充する必要がなく、薬
液を交換又は補充したするため、薬液の温度を知11.
II間て[」ゎV’: l’+fA度に達成させること
ができ、液温のハラツギを小さく −cきる。また、薬
液をフィルターで浄化するため、エツチング槽内の薬液
の清ai度を白子できる効果を有するものである。
液を圧送してエツチング槽内にその下部から供給し、薬
液をエツチング槽上部からオーバーフローさせてバッフ
ァ一槽に1141 ’14させるため、バッファ一槽に
液の使用量及び蒸発mを見込んで十分な量の薬液を入れ
ておくことによる長時間薬液を補充する必要がなく、薬
液を交換又は補充したするため、薬液の温度を知11.
II間て[」ゎV’: l’+fA度に達成させること
ができ、液温のハラツギを小さく −cきる。また、薬
液をフィルターで浄化するため、エツチング槽内の薬液
の清ai度を白子できる効果を有するものである。
第1図は従来のエツチング処理の)【J−シート、第2
図は本発明のフロータ・−1・である。 1・・・エツチング槽 2・・・薬液6°′°バツフ
ア一槽 7・・・ボ/ブ8・・・熱交換器 9
・・・フィルター特許出願人 山形1ヨ本電気株式
会社・11 □゛・“− 代理人弁理L 菅 野 中:・ IF、。 ・、1−1・:
図は本発明のフロータ・−1・である。 1・・・エツチング槽 2・・・薬液6°′°バツフ
ア一槽 7・・・ボ/ブ8・・・熱交換器 9
・・・フィルター特許出願人 山形1ヨ本電気株式
会社・11 □゛・“− 代理人弁理L 菅 野 中:・ IF、。 ・、1−1・:
Claims (1)
- (1) バッファ一槽内の薬液をポツプて汲み上げ熱
交換器、フ・イルタ〜を通過さぜエツチング槽内にその
ト″部より供給し、薬液をコーラ千ング槽上部から珂・
−バー7「1さゼて前記バッファ一槽に帰j買さセるこ
とを特徴ど−する土導体エソ千ング処理における蓄液供
給Jj法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15370682A JPS5943523A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 半導体エツチング処理における薬液供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15370682A JPS5943523A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 半導体エツチング処理における薬液供給方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5943523A true JPS5943523A (ja) | 1984-03-10 |
Family
ID=15568319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15370682A Pending JPS5943523A (ja) | 1982-09-03 | 1982-09-03 | 半導体エツチング処理における薬液供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5943523A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6122340U (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-08 | 小松エレクトロニクス株式会社 | 半導体処理液の熱交換装置 |
JPS6183033U (ja) * | 1984-11-06 | 1986-06-02 | ||
CN111180364A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-05-19 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 湿法刻蚀装置及硅片生产系统 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5721672B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1982-05-08 |
-
1982
- 1982-09-03 JP JP15370682A patent/JPS5943523A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5721672B2 (ja) * | 1974-10-03 | 1982-05-08 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6122340U (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-08 | 小松エレクトロニクス株式会社 | 半導体処理液の熱交換装置 |
JPH0442915Y2 (ja) * | 1984-07-16 | 1992-10-12 | ||
JPS6183033U (ja) * | 1984-11-06 | 1986-06-02 | ||
JPH0217477Y2 (ja) * | 1984-11-06 | 1990-05-16 | ||
CN111180364A (zh) * | 2020-01-02 | 2020-05-19 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | 湿法刻蚀装置及硅片生产系统 |
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