JPS5942261A - 液流と発泡とを利用した研磨方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

この発明は液１７１ｆと発泡とを・利用Ｉ７たバレル研
磨方法及び装置１りに関する。 従来、各科のバレル研磨方法及び４１）　ＩＦ！＋機が
１ノ、案されている。１ｒ１１えば従来のバレル（ＩＩ
Ｉ　Ｉｒ１７では・被研ＪＧ３物を、イ＋ｌＦ　ＪＩＶ
石、０Ｉ磨ν１１１剤、水などとともに、什器内（で投
入して７・ス器に回転又シ、ｊ振動を加えて６耳磨しで
いたが、これでし１例λ１１１’　Ｊ！７啓０．５門以
下の鉄、アルミ、省・１製などの極薄４に製品。 ゴム、均化ビニルなどの軟Ｔ１部品、ビンなどの倒伏部
品など、高度の研磨力が一装求これ、しかも比較的変形
し易い部品の研磨は必ずしも有効に行うことができなか
った。このづ６明は、従来の上記不１１αを改良したも
ので、その目的は、被４ノ］磨物、ｆｉｌＦ　＋神石、
イσ［磨媒剤及び水などを入ｔｃた容性→内に、強制的
に多方向液体を生じさせるとともに、発泡を送って研磨
”）“ることを！１ヶ徴とする、液流と発泡とを利用し
た研磨方法及び装置＾を提供しようとするものである。 この発明による研磨方法の原理としては、バレル研磨に
おける研磨力（（ｉｌｌ　ｊｆ９性）に基〈。つ寸り、
研磨力は研磨圧ブハすなわち研磨石が被研磨物へ押しつ
けらｈる接触圧力（食い込み力）と、被研磨物と研磨石
の相互移動ｆｉｔ、　（こずり川）、あるいは相ｑの接
触圧力が作用した面積と接触移動Ｍとの積であることに
基因する。 今、これを第１図について説明すると、第１Ｉゾ（Ａ）
は弔一方向の液流Ｆを示すもので、例えば被（１１１磨
物、（ｉｌｔ　Ｉｆ％’石、研磨媒剤、水などが入った
容器を回転させた場合、被？ｉ１Ｆ暦物八１とｅ１＋　
ｒｒｒｉ石ＡとはンＮ中に・竹注し４が

【り同一方向に
、移１１ｉ１１１．　、この状態によ、・いてｖ、１、
？：！ｉ　１ｉ１１磨物Ｍと研甲、・石Ａとの相ｎ間隔
が狭いのて研磨圧力は高いが、被研磨物Ｍと研１１り石
Ａとｖ、１回−ノア向に移ｊｊｌｌするため、見かけ上
、容器内の移！１ｉ１Ｊｊｊｉは大きくでも被研１＃ル
物Ｍとイ１１１１仔石Ａ間の相Ｕ移動１ｔ；（こ−１す
［、：）は小さい。そわ故、この発明では上記移動」１
１を増すため第１図（１３）に示ノ多方向の液流ｐ゛／
を採用したものである。このようにすることにより、被
研磨物ＭとｉＪｌ磨石Ａとの相η間１♀、・・１が広（
なり、拡散した被ｆ１１［磨′吻Ｍと研Ｈ’ｒ石Ａとｄ
、多方向からの液流によって上記一方向液流と比較して
液中のＪに’泳範囲と１車輛件が高くなる。すなわち、
拡散によって研汀〜月二力は低「′するが、その分だけ
相互移動ＩＡ’　（？ンすり１石）が太きく４ろのを見
出したのである。 この発明による研ＪＥ９力θての原理とし、ては、上記
バレル研磨におけるωｔ　ＩＦシカの外に％　？ｉ’ｉ
流に空気を導入して発泡手段を加味ｉたものである。 今、こノ１．を第２図を７一ついてｉｉｆ＋：明すると
、第２図（Ａ）はｆ（Ｖ、　３１ｒ、が発泡しない場合
の液中の被研磨物Ｍと６１１パリ石Ａとの浮遊状態を示
１゜この場合は、カシ研磨物Ｍと一研ＩＰ：石Ａとｔま
外部からの回転慣性ブハ振１１１ｊｌ　ｂ液流などによ
って伺ｆｆ４７圧力が生じで、相互の接触面積と研磨力
は増加するが、破細／＋’ｆｆ物Ｍ　、　Ａｌｌ　ＪＩ
Ｑ１９パリｊ７１１性は低い。それ故、この発明では、
研磨圧力を低くし、接触面積と研１１（力とをも低下ζ
せ、その低下分を発泡気泡による被研１１・ｙ物Ｍ％４
７１７１ｉ石Ａへの運動性の向上によって補うものであ
る。しかしで、上記発泡Ｂは第２図（１３）において被
研７８”’物ＭとｆｉｌＦ　ＩＩＶ石Ａの間に１４人し
て両者間に「すき間」を生じζせ、その１ｔき間Ｊ　ｋ
ｌ被破細１ル物Ｍと研１１１１石Ａとの相方゛の密集状
態を拡散づせるとともに、気泡Ｂが被（Ｉ１１磨物Ｍ　
、　？＋、ｌ）　１ｔ９石Ａとにデ（（動力をイーＪ力
するのである。 （ｉＹＸつて、この発明は、破細１１１物及びｉｄｆ尼
石を収容した多孔状筆体を液体内で回転ネせて室体内に
内外部から強制的に多方向液流を発生源せ°Ｃ被破細１
ν物と４ｊｆ　＃’；’石相互の密集状態を分散さぜる
とともに、１該；・へＩトのｌ、（ｉｊにから気７；・
ジ合一・送つ−Ｌ前ｉｉｔ’、：　＋、贋隼状伸の”ｙ
＞　ｆｊ（ｔ、　　仲・１ｉイＩＩ）　ＩＩ−’ｌりＪ
及びイ１１［ハ九　イ１　の１軍１１１１件を畠め−こ
、−Ｌ　口１：　ｆ、Ｖ、　ｉｉ；ｆ、　１１１１１ｊ
ｌｌｌとの相乗力によって？＋Ｉｆ　Ｉｉ”ｊ力を・同
上゛Ｊ−るこ）゛をノ１°百１゛（とする、計か１．と
発泡とを利用し７／と６ＪＩ　ＩＩ・Ａ方法をＩ！ｌ’
　（ＩＬ−Ｊ−るものである。 この発明によ〕１−ば次の伺１１量、・（・ｌ−Ｉ＋’
１が提供Δれる。 ずなわら、架台上に設置ｆ”ｉ、　Ｌ　ｌζ’ｆＦ器の
１氏都に−・又は複数の発泡器を設け、該’ｊｂ　ｆ：
’ｌ器の上方にに１゜多孔状電体をターンテーブル士に
ＪＩＶ付けてターンテーブル士を・回転できるようにし
％Ｍｌ（ターン゛〕−−プル上の、前ｈ１゛１篭体の外
周仙に、中空筒形の多孔状のｉ”；（カバーを！ｆｕ　
ｌｌ’７．　Ｌ　、該１・：′フカバーの枚数話１７１
ｉに細面ｊ１δηＩセＪを、又ｉｆｆｆｆ−ンデープル
の十字形リブの裏側に各）川面整流板を−それぞれ固着
し、前ＭＬ　ｈ器の９１周１＋１１１にｔｉｔ、給水〒
１・、制御ボックス、モータカバー、消泡クンクを、又
外底部には排水管を併設］７たイ１１１ハ９装置ｉ’＋
゛が提供これる。 この発明に使用′Ｊる容器、多孔状１・、を体及び多孔
状Ｓ：λカバー、ｌｉｉ面及びＪ【“Ｘ二聞整流機ｖＪ
鉄１ステンレス、プラスチックス々どの不銹性、耐薬品
＋１の（−（料でｆｒら〕１．発泡体は例えば発泡孔数
１（）０イ固１．化７ｊ−０，５ｒｎｍ　、　’ｒ＋’
３１包月力（１，５ｋｇ／ｃｍ２が好コ尚に′Ｉ″）！
ｆ１１貞ノ１．る。 また、この発明は破細ｊ持物ノロびイ１１［助石が投入
ζ）また後に、研磨洗浄、水洗及び乾ヅ・ｙ−＝ｔでの
処Ｊｌｌ！　Ｉ　４°ｔを−Ｊべて制御ボックスを使用
１−で自動的に実／イ＋ｉすＲ（１，ｌｉ　Ｉｌ（方法
及び装＋１７でであＡ、、すなわち、クー／デープルを
回転させるモータ、各給排水弁ツクび発泡りと気弁に電
磁弁を使用１．てタイマーをｊｊ’３１＋’１′ず２．
こと、容器内の水イ１′ｌを設定する水位泪の制？１１
１１などが自動処理で行わＩＬ、加乏、て水洗後は発泡
り）２気弁より発ｌ；ル器を介（７て温１戦又は冷用、
を吹出１．てイ１＋がり破細甲１．物の乾燥処理をも自
ｉｉ目的に行うことができる。 なお、この発明によ）ｔ　Ｂ・、ｔ　ｉ容器内に発泡器
を用いて液中に発泡することに１１）、６１ｆ　Ｉ！ν
処理中（て生ずる研７１’９微粒物、表面（ｚＪＡ物な
どを分離除去１７て破細１１９物の仕上が）７効果を一
層Ｐｚめることができる。この、）Ｌ３合、液シて界面
活性剤を添加すると気〆１ｑの１１７１”７１圭／バ」
１１１ノ川ず、イ、ことが（ｉｌｌ’　１’；’３″シ
さＪ＋。 ／こ。 さらに、このう龜１月の１ｉｌｆ　１１堅（こよｒいて
（、［、祁シイｉ、１ｌｊｉｔｉ物、研Ｊｉ’Ｑ石、イ
ｉｌｌ　１１ηθ・）、剤のら１７′ｉ−ど、総研ハ１
？処工ψｌｌｉによって研１角力の差が生ずるが、−１
，記＋ｒ＋ｒ　＋ｔす条件を同一にしｋ　１’Ｊ合、Ｙ
・Ｊｊ向ｙｆ（流）ｉＡＣ，１’Ｊｇ、１ｌｉｃ　ｔｉ
：、発泡器／ｉ’Ｊの、’ｒｌ’３　’−Ｉｔ　ＩＩ；
　（気１ｊす１元止「１．数）！・′１−びイｌ）ン′
Ｌ１；加圧力（気ｉ：）噴射用−力）の四゛：ｌ、＋件
のｉｕＪ　７（、かを変化式−ＩＩ−ることによりイｉ
ｆ１肋カイＣ；１１制御゛Ｊ″ることかできる。 １）、１・、務ｌ・１１ツ１１自ｌ肴ブ′−１！・ｉ　
Ｌこ′、この≦ｉ′；　Ｌｉ月にょる（１１１　　ハ゛
ｆン　′ＳＳモモ：１″〆ｌ　の　”／１７１号　１）
１１　　を　Ｆ！（７，ＩＩ月　　ジ′　る　。 第３１）Ｉ’／ｃ参ｌｉｔ　１．こ、架台Ｉ十にｌＦｒ
、　Ｉｃ　ｕ′１力形の容器２を・載１ｉ’ｆ、　ｌ、
、１啓容２：→２　（＜）−１１ｉ　ｆ、Ｂ　４（醤［
内部にモータ３及び壬−り；３側のプーリ４を収容した
モータカバー　６を（ｌｉｉ　、Ｑ−、又該容器２０内
部にシま容器２の１ｊ°（部にｌ）’ｌ　ｌｉｌ’、：
プーリ４とベルト５を介して連１１ｉ１＋するターンデ
ープル８川σ〕グーリ１（）が十字形のリブフイ：］ク
ーンｊ−−プル８の回転１１１１１１２に設けである。 旧カーンう°゛−フ゛ル８ｏ　ｌ’　ｆｉｌｌの若器２
のＪｊＴ、）η１（にけ、発泡器１４（図の場合は４個
）を設置（７、その上部に気泡を調整する金網カバー１
６が設けである。前記発泡器Ｉ４け第４図を参照して発
泡配管１８及び発泡空気管側を経て発泡空気弁２］Ｃ接
続する。 前記ターンテーブル８の上方には、外壁が多孔状に形成
きれた中空筒形の洗浄篭カバー２４を配Ｉｆ’（１，、
該カバー別の内部には同じく外壁が多孔篭目状に形成し
た上方が開放した断面Ｕ型の洗浄篭体２６を上部の杷千
四を持って上方より入）１．てターンテーブル８土に設
置Ｎする。一方、前記洗浄篭カバー２４の外周には適当
数（図の場合し１４個）の１１１１面整流板：（０を外
周部の−・箇所から外方に開いて取付ける。又、前記タ
ーンテーブル８の十字形リブ７の裏側にも適当数（図の
場合１ｄ：４個）の底面整流板３２をターンデープル８
の裏側より下方に開いて取イ；Ｊける。 第３図において、符号３１は前記容器２の土部舊、３Ｇ
は給水管、３８は自動操作のためのｆｌ制御ボックスで
、モータ３の一１転タイマー、吸排水の制御、エアバル
フの開閉などの制御操作を行う。 符号４（）は容器２」：りの、７２椋り入孔、４１は消
／ｌｑタンク、４２）ま消泡フィルタ、４：３　ｉ＃：
Ｌ　？ｉ’ｉ泡液投入孔、４４ｔ；１消泡フイルタ／＋
２の押え金網、　−＋５　ｉｃｉ　４１ｊｌ水タンク、
／Ｉ６）ま排水管１．１’ｌｌ水位ｎｌ肴−小−Ｊ”　
ｏ又２１５４図において、４８ｉ給水弁、５りはＪ（１
水孔、５２は）ｕｌ水弁を示す。 次に、この発明に、Ｌる研１＋＋；装置西゛の作用状ル
リを説明すると、この元１ノ１１の宕シ：に２内に結水
弁４８を備えた和水′１″ｉ’　、ｉｆｉより、水も゛
ｌｌｉ１７が示ず一５ｐ’、の水位Ｌｒ鼾で給水□し、
その後、洗ｒｆ’　＋’：１体２ｆｉ内に、所５ｒ、　
ノｔｌｌｉ　ｉｌＦ　磨’４ｊａ、？＋＋＋　ｒ＋４：
石、研磨媒剤、洗ｒｆＩ剤、防錆剤などを投入して柏手
２８を持って若器２内に沈める。すると、水に（ｖ［ｒ
＋で媒剤、洗浄剤、防錆剤などか浴ｊ・）ｔ　−Ｊ　ｈ
る一方、該洗浄篭体２ｆｉ　ｉｆ、　Ｚｌ：浄篭カバー
２４内においてターンテーブル８に掘屑さノ１．るので
該電体２（ｉをモータ３の原動力によってプーリ４、ベ
ルト５及び）−リ】（）を介し、回転Ｎｉｂ　１２の回
転によって回転す／）（例えば回転数６　ＯＲ，Ｐ、Ｍ
、　）　。すルト、被イＩＪ）　ｔ＋ｖ物及び研１ｆ−
Ｄ石は回転に、しる遠心力に、Ｌつて電体２６の内周１
１１９面に寄るが、その場合、ｉ″＋１１記洗浄篭ノ）
　ノ：　　２４の外周仰１面（こけ千〜１数個の側面整
ｆｉｉｉ、　Ｄｉ　：力ケ、及びターンデープル８の底
面には底面整流扱３２がそれぞ）１゜設けであるから、
ｊＪ”　６　［ツ１（Ａ）　、　（＋３）に示すように
該ターンテーブル８の回転（回Φを一方向１も）によっ
て１ツ）、節電カバー２４の１ｊ１１面からは中心方向
に、又ターンデープル８のＪｊ’ｔｇ面からｉ（ｔ：　
、１１’（、面、しり−に方向−＼向り液流が発生（７
、ｌ／為浄？１′（体心の内外（Ｃ乱流苓発／ｌ：、　
ｌ、て神仙１１（、物及び仙ハｔ、イ１が電体２（、内
に１．−いて−・方向の（１１１１面に片寄ることをＩ
Ｉｊｊ市すＡＪ＝ともに、１１へ体２６内に電体７＋＋
及び洗浄？：１カバー２・１（７）Ｐ；へ［１をｊ山つ
１３！、−、ｌｉ向からの贅’ｉ　ｉ’ｉｊ７によって
嗜し伺１）勺物及び研磨石が遊泳する作用を生じさせる
。このｎｌ−中白のｊゲｉ汁作用（弓、荊中白で被他ハ
シ′向と仙磨石とが接触ｂ　（ｔ’）ハなする際の何ハ
リ性が弱するが、回１１冒Ｌ　ターンテーブル８の−Ｆ
方に設置ｉ’Ｉ′Ｌ、た発？ｊｉ器１４を作「山ずＺｌ
と１発汁ジンＨ４＋−＋から出た（（泡を：ｌ々−ン・
ア°−ブノ」・８土に据ｆｆ’ｊ　ｌ、ンｔｂ１浄電体
２Ｃ１内の沿が１と吉もに拡散１−１て’＄　ｆｉｌｌ
　７！“可動とイ旧「（石の相互間に緩ｆＡｉｉ　（ク
ツンヨン）作用を−りえで、上記＋！、＋１磨性を開側
１するとともに、被？ｉ１１７１’￥物及びイ１１［助
イ１の遊泳作用を増大い弱い（ｉｌｌ　ＩＩ”；性を呈
しながら神仙屑物と研ＪＦ９石との接ｆ’＋“１！回数
を増やし、　（ｌＩＩＪＩ’９効率が低下するのを防＋
１−．−する。又、前記発泡器Ｉ４より出る気泡は神仙
１１す物に付＞ｌＬｒシた（ｉｌｌ磨微粒物、表面（・
Ｉ’　Ｍ物、スクールなどのわｊ、浄、分ト１（（除去
する１′［匍１１をも行う。このように、ｆｉｌｌ　Ｉ
Ｆ＜洗浄１’＋用によって生じた気泡ｔｉｔ容器２上部
の泡導入孔／ＩＯを経て消泡タンク４１内にｉＱ人ジノ
し、消り；ル液を浸漬した消泡フィルタ４２を通過させ
て消泡ζに排水タンク・１５の排水管４６．しり装置ｉ
’７外に排出さｉｌ。 又、容器２のｒｙ１浄液も底部の排水管／Ｉ（ｉから排
出される。 十Ｎ＋、操作におい一〇制御ボックス３８を月Ｉい自動
操作を行うことができる。例に−は、（１）容？＞；２
内に給水する給水弁４Ｈの開閉の作動；（２）洗浄篭体
２（ｉ内に神仙１１１物、看ＩＩ　ＩＩ”７石、看１　
ｇｉ　ａν、剤庁どの投入後、佑ｌ１ｔｔ、洗浄の（１
：１閉を行う発ｉｊｕ器１４〕作動；（３）消泡タンク
４１のｉｌｌ水弁５２を開放し−Ｃ容器２内の水イ”／
　Ｍｌ’　／＋７の液位が下った（！：き、該排水弁５
２を閉じて１１）び始めの自動給水が？Ｊわれてメ）「
定の水付に達したら給水弁４８を自ル目的に閉とし、て
水６゜い処理を行う作ｉ「ｌ＋などがそうである。 」ニ記水６゛（−処理が行わ第１．た後、前記梵２ｉ：
Ｊ、器］４より流風又は冷風を吹出させて被何１ｊｖ物
を把手２８を持って融体２ｆｉより取出すことができる
。 この発明りｉ、以上のように被（ＩＩＩ磨物及び？ＩＪ
１助石の？ｉｌｆ磨１トカと接ｈ・ｋ１多動Ｊ４ｉとを
液汁状態と発泡状す、Ｎとを開側１することによってに
１１Ｍ整できるから。 被６）ｆ助物の荒研１１！から仕上は研肋捷でを一個の
容器内で処理できるとともに、発泡による二次効果とし
て被（ｉｔｔ　磨物の洗浄処理を自動的（［行うことが
でき有効である。従って、薄肉物（例え＆、１７１〕協
（１，５ｍｍ以下の鉄、アルミ、■製品）％変形し易い
物（例えば塩化ビニル、軟質プラスチック製品）、脆性
物（例えば、カラス、セラミックス製品）、針、紳形物
などの研１Ｋが研磨力を恐整すること（てより可能であ
る。 使用例 アルミダ・ｆキャスト品のｉｔ！ｆ　ＩＦ９処理１、　
テスト品形状　（Ｕシフ１ソＩ）テスト状ＲＩ４　：表
面酸化物、油ｉすｉｌ、（の他（＝Ｊ７へｆ′向の処理
。 ２、　看Ｊ［１１整テス］・条件 （１）　　二重円部容器゛ｅＡ体ノツシコー　スｉンレ
スナ３（１（金用１賓） 電体箸１＋’ｊ　　Ｉｆｆ　／　。 容器容（ｌ’ｌ　　！’ｉ５　、／ （２）　　水がｊ状態：電体の回転７ｋ　７４ｊ　（回
転計度１ｉ０　ｒ、　ｐ、　ｍ、　） ターンテーブルσ）Ｆ部、Ｌり土 ノｉへの土！ｌ液Ｉｔ及び１゛（（カバーの１ｌ１１方
から中〕１？への液流ｔｉｔ各ｆＴＩｒ　ｉｔ　　Ｉ）
（／、Ａｎｌｓ（３）　　発泡器、　底部光１’＋’団
力　（１，５ｋ１７ｃｍ２；うれ泡孔数　　　１００個
　； ４１　　　　　　径　　　　　　　　　（）、　５　關
（４）研１１石°　海砂（イ’ｒ　ｔ、’；　３　ｐ　
）：Ｓ　その他 Ｉｌｌ　　Ｉｔ’ｌｌ島前の容重＋Ｊ）　ＩＪν′１′
ＪＪ先Ｒ中：＋ｆ’　　１２８０り（′、）ｌ　　ｌ＋
’（Ｉｉ’；’　？ｉ′、（（ｉ　Ｉｌ、’Ｉ”　ｌｉ
！ｌ　）の被イｉ、ｌｌ　ＩＦす物総重拓１１２ｇ （、ｉｌ　　　イｉ／ｌ　１１％　ＴＪｅ　（１）　被
（ｊｌｆ　／Ｉ！　！Ｔｏｔ　）状Ｋｉ、！１ｒｌｒ化
物などのイ・ｊ尤物なし。 ！・；面状態白灯　１〜２Ｓ。 ４．１′ノ１　血　の　介す　−リ１　Ｚン　ＭＳ？、
　　リリ１゛イ１にツ、・い−（、第１しｌ　（Ａ）（
ｌ（）及び第２図（Ａ）（Ｂ）Ｑ、１こ（７）　′ＪＨ
，明を創り出−すためのＨ（？、四図で、第１図Ｌ１窪
方向面流の脱ＩＪＪＩ図、第２図は気泡の説明図、即＋
ａ図はこの発明による研磨力法を実施するための−ｌム
１ｉ′の略＃？う断側面図、第４図は第３図の糾ｉｖ　
−＋ｖ断面図、第５図はターンテーブル８土の、篭１本
２０、篭カバー２４及び１１１１１面？流板：（０の関
イ糸を示す平面図、第６図は整流板による液流の制御を
示−Ｊ説明図で、第６図（Ａ）は１１１１面整流板３０
による液流状態を示し、第６図（ｊ３）は底面整ＤＩＥ
板：３２による液流、状態を示し、第７図はこの発明に
よる使用例に示す試オ゛１の平向図である。 Ｍ　　　・・　被（ｉ）Ｉ　Ｊｊ’：　’Ｉ’ｌ　ｂ　
　　　　　　　Ａ　　−−−Ｉ’ｌｌ　Ｊｌ、”　イ］
。 Ｂ・・・気泡、　　　　ド、■パ′・・・・液ｂ１ｉ′
、Ｊ・・・・・架台、　　　　　２・・・容器、３・・
・・・・モータ、　　　　４．川・・山プーリ。 ５・・・・・・ベルト、　　　　６・・曲モータカバー
、７・・・・・十字形のリブ、８・・・・・・ターンデ
ープル、】２・・・・・回転１１＋、　　　Ｉ／ｌ・・
・・発１１す器、１６・・・・・金網カバー、　１８・
・・・・発泡配管、Ａ）・・・・・・発泡？と気層、　
２２・・・・発泡空気弁、２４・・・・・・多孔状洗浄
電力バー、２６・・・・・多孔状のン′ノシ浄電体、　
２８・・・・・・４１２手、ぶ）・・・側面Ｊｌ！１−
流イ反、：３２・・・・・底面整流４ｔへ３４・・・・
・・土部鈴、　　　；う６・・・・給水管、詣・・・・
・制御ボックス、　４０・・・・泡ｉ７ｊ人孔、４Ｉ・
・・・・ｒ肖ｆ包タンク、４２・・・消ン説フィルり、
４３・・・・・・消泡液投入荘、４４・面押え金網、／
Ｉ５・・・・排水タンク、４６・・・・・・刊水管、４
７・・・・・・水位削、／Ｉ８・・曲給水ｊｒ。 ５０・・・・・・排水孔、　５２・・・・排水弁、　　
Ｌ・・・・水位。 第　２　図 （Ａ）　　　　　　　（Ｂ） 第５１１ 第３図 第４図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　被？ｉＪＦ　Ｊｆ’ｊ物及び研ＩＰ１・石を
   Ｉ１ｇ容した多孔状箔体を液体内で回転させて室体内に
   内外部から強制的に多方向液流を発生きせて被研磨物と
   何１１９石相互の密集状態を分散をせるとともに、該室
   体の底部から気泡を送って前記密集状態の分１１女、被
   研磨物及び研Ｉｒす石の運１ｕｌｌ性を、ｊ’：、めで
   、−１：　ＨＬ：液流制御との相乗力によって研）１−
   力を・白土することを特徴とする、液流と発泡とを利用
   した研／ｒを方法。
2. （２）架台上に設置Ｅまた容器の底部に−又は複数の発
   泡器を設け、該発泡器の上方にｔま、多孔状箔体をター
   ンデープル士に取（；Ｊけて回転できるようしこし、前
   記容器の外周１１川に仁１給水管、制作１ｊボックス、
   ゛［−一タカバー、消Ｃ庖タンクを、外底部にシ１排水
   管をｆＪ１設し２／ｙ、′ｌ！Ｉ”　ｉ！’ｌ’　７１
   ’ｌ求の９・１＼囲第１１ｒＪのイｉｌｆ　Ｉｌ’Ｑ力
   法を実／１ｉｌｉ−Ｊるｋ　ｌ＋’＋、　。
3. （３）　前６己ターン’７−−−プル十の＊　ｌ’ｌｆ
   ｌ　１ｆＮ−１’（体の外周側に、中空筒形の多几状の
   電力バー４ｃ設置ｉ’ｉ°し、該１■カバーの複数ｉ：
   ｉ）７ブ１に側面整ｊｆ、　４１シロ１、又前；１］シ
   ターンテーブルの十字形リブの外側に各底面整流板をそ
   ノ１．ソ′れ固／？ローフた、７１°ｒ　ｉｆ’ｌ請求
   の１１１１）囲２１）７２Ｊ、Ｉ′Ｊ記載のｔ々１１゛
   °“（゛。