JPS5941124U - 洗浄装置 - Google Patents

洗浄装置

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Publication number
JPS5941124U
JPS5941124U JP1982137291U JP13729182U JPS5941124U JP S5941124 U JPS5941124 U JP S5941124U JP 1982137291 U JP1982137291 U JP 1982137291U JP 13729182 U JP13729182 U JP 13729182U JP S5941124 U JPS5941124 U JP S5941124U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
cleaning equipment
cleaning device
liquid
photomasks
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1982137291U
Other languages
English (en)
Inventor
町田　光三
Original Assignee
日本ビクター株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本ビクター株式会社 filed Critical 日本ビクター株式会社
Priority to JP1982137291U priority Critical patent/JPS5941124U/ja
Publication of JPS5941124U publication Critical patent/JPS5941124U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Cleaning In General (AREA)
  • Brushes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の洗浄装置の側断面図、第２図は他の従来
の洗浄装置に用いられるブラシ部材の斜視図、第３図は
この考案になる洗浄装置の一実施例を示す側断面図、第
４図はその一部の拡大断面図、第５図〜第７図はこの考
案の他の実施例を示す斜視図である。 １・・・・・・ブラシ母体、２・・・・・・ブラシ毛、
３・・・・・・被洗浄物、６・・・・・・外側ケース、
７・・・・・・孔、８・・・・・・供給口、９・・・・
・・水または洗浄液、１０・・・・・・調整用ネジ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体および薄膜集積回路、ホトマスク、光学フィルタ
    などの作製工程中の洗浄工程に用いる洗浄装置であって
    、水または洗浄液などの液体の流路内にブラシ毛をその
    流れ方向に一致させて配列したことを特徴とする洗浄装
    置。
JP1982137291U 1982-09-10 1982-09-10 洗浄装置 Pending JPS5941124U (ja)

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JP1982137291U JPS5941124U (ja) 1982-09-10 1982-09-10 洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982137291U JPS5941124U (ja) 1982-09-10 1982-09-10 洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5941124U true JPS5941124U (ja) 1984-03-16

Family

ID=30308420

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982137291U Pending JPS5941124U (ja) 1982-09-10 1982-09-10 洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5941124U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6264606U (ja) * 1985-10-12 1987-04-22
JPH0641132U (ja) * 1993-10-01 1994-05-31 大日本スクリーン製造株式会社 基板洗浄装置
JP2011238950A (ja) * 2006-02-02 2011-11-24 Sokudo Co Ltd 基板処理装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6264606U (ja) * 1985-10-12 1987-04-22
JPH0641132U (ja) * 1993-10-01 1994-05-31 大日本スクリーン製造株式会社 基板洗浄装置
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