JPS58196841U - 異形ウエハ−用ホルダ− - Google Patents

異形ウエハ−用ホルダ−

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Publication number
JPS58196841U
JPS58196841U JP9554182U JP9554182U JPS58196841U JP S58196841 U JPS58196841 U JP S58196841U JP 9554182 U JP9554182 U JP 9554182U JP 9554182 U JP9554182 U JP 9554182U JP S58196841 U JPS58196841 U JP S58196841U
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JP
Japan
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holder
irregularly shaped
shaped wafers
view
wafers
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Pending
Application number
JP9554182U
Other languages
English (en)
Inventor
石垣　秀樹
鈴木　麗二
Original Assignee
東京エレクトロン株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 東京エレクトロン株式会社 filed Critical 東京エレクトロン株式会社
Priority to JP9554182U priority Critical patent/JPS58196841U/ja
Publication of JPS58196841U publication Critical patent/JPS58196841U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
゛　　第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図
は第１図の側面断面図、第３図は第１図のホルダ一本体
に異形ウェハーを取り付けた状態を示す正面図、第４図
は第３図の■−■線断面図、第５図は本考案の他の実施
例を示す正面図、第６図は第５図の側面断面図、第７図
は本考案の他の実施例を示す正面図、第８図は第７図の
■−■線拡線断大断面図９図は本考案の他の実施例を挙
す正面図、第１０図は第１９図の側面断面図、第１１図
は本考案の他の実施例を示す正面図、第１２図は本考案
の他の実施例を示す正面図、第１３図は第１２図のｘｍ
−ｘｍ線拡大断面図、第１４図は本考案の他の実施例を
示す正面図、第１５図は第１４図の要部の斜視図である
。 １・・・・・・ホルダ一本体、２・・・・・・異形ウェ
ハー。 第３図 −］ｗ 第５図 第１１図　　　− 第１２図

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一定の外径を有するホルダ一本体に着脱自在に異形ウェ
    ハーを保持せしめてなる異形ウェハー用ホルダー。
JP9554182U 1982-06-25 1982-06-25 異形ウエハ−用ホルダ− Pending JPS58196841U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9554182U JPS58196841U (ja) 1982-06-25 1982-06-25 異形ウエハ−用ホルダ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9554182U JPS58196841U (ja) 1982-06-25 1982-06-25 異形ウエハ−用ホルダ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58196841U true JPS58196841U (ja) 1983-12-27

Family

ID=30228112

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9554182U Pending JPS58196841U (ja) 1982-06-25 1982-06-25 異形ウエハ−用ホルダ−

Country Status (1)

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JP (1) JPS58196841U (ja)

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