JPS5940226A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5940226A JPS5940226A JP15219082A JP15219082A JPS5940226A JP S5940226 A JPS5940226 A JP S5940226A JP 15219082 A JP15219082 A JP 15219082A JP 15219082 A JP15219082 A JP 15219082A JP S5940226 A JPS5940226 A JP S5940226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic body
- soft magnetic
- lid
- lid part
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は磁歪を利用したダイヤフラム型の圧力センサに
関する。
関する。
従来例の構成とその問題点
磁性体たとえば非晶質磁性合金の磁歪を応用した圧力セ
ンサに、第１図に示す構造のものがある。
ンサに、第１図に示す構造のものがある。
図において、１は非晶質磁性合金薄板、２は底部支持具
、３は励磁用コイル、３ａはコイル端子である。４はつ
ぼ形をなす軟磁性部たとえばフェライト部、５は圧力伝
達透孔６ａを有する蓋部である。底部２および蓋部５は
坏ジ部２ａにおいて、しめ合わされている。
、３は励磁用コイル、３ａはコイル端子である。４はつ
ぼ形をなす軟磁性部たとえばフェライト部、５は圧力伝
達透孔６ａを有する蓋部である。底部２および蓋部５は
坏ジ部２ａにおいて、しめ合わされている。
この構造において、フェライト部４と蓋部５の非晶質磁
性合金薄板１に接する面が厳密に平行に接近することは
不可能で、かつ非晶質磁性合金薄板１も厳密に均一の厚
みではない。そのためフェライト部４ならびに蓋部５と
非晶質磁性合金薄板１との接する部分はその面内で多く
の不均一さをもつことになる。このような状況で、非晶
質磁性合金薄板１を固定するだめ、底部２と蓋部５とを
３ベー・ジ しめ合せていくと、つぼ形フェライト部４と蓋部５は回
転し々から非晶質磁性合金薄板１の特定の場所、たとえ
ばつぼ形フェライト部４に凸部のある場所や、非晶質磁
性合金薄板１の厚いところなどに当接する。しかし、全
体としては丑だ完全には坏ジ２ａが締捷らないため、さ
らにねじりの力が上述の特定部分に加わりながら固定が
完了する。
性合金薄板１に接する面が厳密に平行に接近することは
不可能で、かつ非晶質磁性合金薄板１も厳密に均一の厚
みではない。そのためフェライト部４ならびに蓋部５と
非晶質磁性合金薄板１との接する部分はその面内で多く
の不均一さをもつことになる。このような状況で、非晶
質磁性合金薄板１を固定するだめ、底部２と蓋部５とを
３ベー・ジ しめ合せていくと、つぼ形フェライト部４と蓋部５は回
転し々から非晶質磁性合金薄板１の特定の場所、たとえ
ばつぼ形フェライト部４に凸部のある場所や、非晶質磁
性合金薄板１の厚いところなどに当接する。しかし、全
体としては丑だ完全には坏ジ２ａが締捷らないため、さ
らにねじりの力が上述の特定部分に加わりながら固定が
完了する。
すなわち、非晶質磁性合金薄板１に不均一なねじれの応
力が加わることに々る。
力が加わることに々る。
その結果第１図のような構造のセンサにおいてｄ：、初
期のインダクタンス値にばらつきが生じ、かつ磁歪効果
を応用しているため、不均一な初期内部応力による出力
のばらつきが発生していた。
期のインダクタンス値にばらつきが生じ、かつ磁歪効果
を応用しているため、不均一な初期内部応力による出力
のばらつきが発生していた。
発明の目的
本発明は」−述のような大きな不均一初期内部応力を解
消し、初期インダクタンス値のばらつきと出力のばらつ
きを抑制する手段を有する圧カセンザを提供することを
目的とする。
消し、初期インダクタンス値のばらつきと出力のばらつ
きを抑制する手段を有する圧カセンザを提供することを
目的とする。
発明の構成
本発明による圧カセンザでは、底部と蓋部とがしめ合わ
されるとき、磁性体板にねじりの力が加わることのない
ように、つぼ膨軟磁性体部と蓋部との間にスラスト玉軸
受を設けている。
されるとき、磁性体板にねじりの力が加わることのない
ように、つぼ膨軟磁性体部と蓋部との間にスラスト玉軸
受を設けている。
実施例の説明
第２図は本発明の一実施例の圧力センサの断面図である
。図において、６は非晶質磁性合金からなる磁性体板、
７は底部支持具、８は励磁用コイｖ ル、８ｄはコイル端子である。９はつ→膨軟磁性体部で
、１０は圧力伝達孔１０ａを有する蓋部である。底部７
と蓋部１０とは、ネジ部７ａでしめ合されている。１１
はスラスト玉りク１１受であり、ボール１１ａと円板部
１１ｂにより構成されている。
。図において、６は非晶質磁性合金からなる磁性体板、
７は底部支持具、８は励磁用コイｖ ル、８ｄはコイル端子である。９はつ→膨軟磁性体部で
、１０は圧力伝達孔１０ａを有する蓋部である。底部７
と蓋部１０とは、ネジ部７ａでしめ合されている。１１
はスラスト玉りク１１受であり、ボール１１ａと円板部
１１ｂにより構成されている。
この構造において、磁性体板６をつぼ膨軟磁性体部９、
蓋部１ｏに対して圧着固定する場合にｋｉ、先に述べた
つぼ膨軟磁性体９と蓋部１ｏとが磁性体板６に接する面
の不均一さや磁性体板６そのものの厚みの不均一さによ
り特定の場所が初めに接するという事態が生じても、ス
ラスト玉軸受１１により、軟磁性体部９は蓋部１０にあ
わせて回転し、磁性体板６にねじれ応力が発生しない。
蓋部１ｏに対して圧着固定する場合にｋｉ、先に述べた
つぼ膨軟磁性体９と蓋部１ｏとが磁性体板６に接する面
の不均一さや磁性体板６そのものの厚みの不均一さによ
り特定の場所が初めに接するという事態が生じても、ス
ラスト玉軸受１１により、軟磁性体部９は蓋部１０にあ
わせて回転し、磁性体板６にねじれ応力が発生しない。
その５ ／ｊ、、、 ：、＋
結果、磁性体板６は厚み方向にのみ力を受け、余分な内
部応力の発生がなくなる。
部応力の発生がなくなる。
発明の効果
」二連したように、本発明によれば、磁性体板に余分な
力が印加されるようなことはなくなり、初期のインダク
タンス値のばらつきが低減され、さらに余分な応力が実
質的に発生しないため初期出力が増加し、圧力測定範囲
が増大するという効果がある。また、磁性体板の固定の
だめの力はネジ１１−めにＪ：り得られるので、固定力
を大きな力で固定することができる。
力が印加されるようなことはなくなり、初期のインダク
タンス値のばらつきが低減され、さらに余分な応力が実
質的に発生しないため初期出力が増加し、圧力測定範囲
が増大するという効果がある。また、磁性体板の固定の
だめの力はネジ１１−めにＪ：り得られるので、固定力
を大きな力で固定することができる。
第１図は従来の圧力センサの断面図、第２図は本発明の
一実施例の圧力センサの断面図である。 ６・・・・・磁性体板、７・・・・・底部支持部、８・
・・・・・励磁用コイル、９・・・・・・軟磁性体、１
ｏ・・・・・・蓋部、１１・・・・・スラスト玉軸受。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
一実施例の圧力センサの断面図である。 ６・・・・・磁性体板、７・・・・・底部支持部、８・
・・・・・励磁用コイル、９・・・・・・軟磁性体、１
ｏ・・・・・・蓋部、１１・・・・・スラスト玉軸受。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (2)
- （１）外内壁、円形底部、々らびに前記外内壁中心に設
けられ前記外内壁の上端面と端面が同じ高さの円柱部を
有する軟磁性体、前記軟磁性体に蓋をし磁気回路を構成
する磁歪を有する磁性体板、前記軟磁性体中心部円柱に
巻かれた、前記磁気回路を励磁するだめのコイル、前記
磁性体板に圧力を伝達する透孔を有し、かつ前記磁性体
板上に配置されている蓋部、前記蓋部とネジ止めされ、
前記軟磁性体を前記非晶質磁性合金に圧接する底部支持
具、および、前記軟磁性体と底部支持具間に設けられた
スラスト軸受けを有することを特徴とする圧力センサ。 - （２）磁性体板と蓋部の間に圧力伝達媒質の漏出を阻止
する手段を有することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15219082A JPS5940226A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15219082A JPS5940226A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5940226A true JPS5940226A (ja) | 1984-03-05 |
Family
ID=15535025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15219082A Pending JPS5940226A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940226A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483656A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-29 | Balzers Hochvakuum | Method and vacuum painting machine for applying film to base layer |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP15219082A patent/JPS5940226A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483656A (en) * | 1987-08-26 | 1989-03-29 | Balzers Hochvakuum | Method and vacuum painting machine for applying film to base layer |
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