JPS5918430A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS5918430A JPS5918430A JP12878082A JP12878082A JPS5918430A JP S5918430 A JPS5918430 A JP S5918430A JP 12878082 A JP12878082 A JP 12878082A JP 12878082 A JP12878082 A JP 12878082A JP S5918430 A JPS5918430 A JP S5918430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- thin plate
- coil
- magnetic body
- magnetic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/007—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in inductance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、非晶質磁性合金の磁歪効果を応用した圧力セ
ンサに関するものである。
ンサに関するものである。
現在、圧カセンザは、熱、光、変位センサと同様に市場
から要望の高いセンサであり、小型軽量かつ安価なもの
が強く望まれ、各方面で開発が試みられている。このよ
うな状況の中で、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧
力センサが提案されている。
から要望の高いセンサであり、小型軽量かつ安価なもの
が強く望まれ、各方面で開発が試みられている。このよ
うな状況の中で、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧
力センサが提案されている。
上記圧力センサは、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いる
ため、圧力−電気量変換が直接的に行なえ、その結果、
構造が簡単で小型かつ軽量なものとなる。
ため、圧力−電気量変換が直接的に行なえ、その結果、
構造が簡単で小型かつ軽量なものとなる。
しかしながら、一方、この種圧カセンサでは磁歪効果を
用いるだめ、非晶質磁性合金の初期取りつけによる応力
に問題が発生している。すなわち、初期応力の加わり方
により、低圧部分で非晶質磁性合金の応力解放が行なわ
れ、出力の一意性を確保することができない。そこで、
との一意性の崩れを回避することが要求されている。
用いるだめ、非晶質磁性合金の初期取りつけによる応力
に問題が発生している。すなわち、初期応力の加わり方
により、低圧部分で非晶質磁性合金の応力解放が行なわ
れ、出力の一意性を確保することができない。そこで、
との一意性の崩れを回避することが要求されている。
本発明は、本質的に小型軽量な非晶質磁性合金応用圧力
センサの、この一意性の崩れを回避する手段を提供する
ものである。
センサの、この一意性の崩れを回避する手段を提供する
ものである。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。非晶質磁性
合金薄板１は、外内壁、円形底部、ならびに端面が前記
外内壁のそれと同じ高さになるよう底部中央に設けられ
だ円柱状部を有する軟磁性体２の開口部側に配置され、
圧力伝達孔３１を有する蓋部押え具３により軟磁性体２
側に歪まされている。非晶質磁性合金薄板１と軟磁性体
２からなる磁気回路は、軟磁性体２の円柱状部に巻装さ
れているコイル４により励磁される。コイル４には軟磁
性体２に設けられた孔４１を通じて取り出されたコイル
端子４２から給電される。このとき、非晶質磁性合金薄
板１の軟磁性体２の溝部に対応する部分には大きな歪す
なわち応力が加わっている。
合金薄板１は、外内壁、円形底部、ならびに端面が前記
外内壁のそれと同じ高さになるよう底部中央に設けられ
だ円柱状部を有する軟磁性体２の開口部側に配置され、
圧力伝達孔３１を有する蓋部押え具３により軟磁性体２
側に歪まされている。非晶質磁性合金薄板１と軟磁性体
２からなる磁気回路は、軟磁性体２の円柱状部に巻装さ
れているコイル４により励磁される。コイル４には軟磁
性体２に設けられた孔４１を通じて取り出されたコイル
端子４２から給電される。このとき、非晶質磁性合金薄
板１の軟磁性体２の溝部に対応する部分には大きな歪す
なわち応力が加わっている。
第２図は、非晶質磁性合金薄板１の軟磁性体２の溝部の
拡大図である。非晶質磁性合金薄板１は下方に歪まされ
ているため、内部応力が大きく発生し、全体として、非
晶質磁性合金薄板１にはヅ板にもどろうとする力Ｆが発
生している。このとき、図に示すＰの圧力が上方より非
晶質磁性合金薄板１に加わると、内部応力が低減される
ことになる。このとき、歪を十分大きくとれば、圧力Ｐ
による内部応力の減少は圧力Ｐの大きさにより一意的に
決定され、その結果周囲圧力に応じて端子４２より検出
される出力の一意性が確保される。
拡大図である。非晶質磁性合金薄板１は下方に歪まされ
ているため、内部応力が大きく発生し、全体として、非
晶質磁性合金薄板１にはヅ板にもどろうとする力Ｆが発
生している。このとき、図に示すＰの圧力が上方より非
晶質磁性合金薄板１に加わると、内部応力が低減される
ことになる。このとき、歪を十分大きくとれば、圧力Ｐ
による内部応力の減少は圧力Ｐの大きさにより一意的に
決定され、その結果周囲圧力に応じて端子４２より検出
される出力の一意性が確保される。
また、初期の非晶質磁性合金薄板１の内部応力の制御は
歪が十分太きいだめに簡単で、そのだめ圧力が加わらな
いときの初期出力のばらつきも小さく抑制することがで
きる。
歪が十分太きいだめに簡単で、そのだめ圧力が加わらな
いときの初期出力のばらつきも小さく抑制することがで
きる。
なお、非晶質磁性合金薄板１と軟磁性体２とで囲まれる
空間を真空に保持したり、あるいは一定の圧力の気体を
封入しておいたりしてもよい。この場合には、絶対圧を
測定することができる。
空間を真空に保持したり、あるいは一定の圧力の気体を
封入しておいたりしてもよい。この場合には、絶対圧を
測定することができる。
以上述べたように、本発明により本質的に小型軽量であ
る非晶質磁性合金磁歪応用圧力センサの出力の一意性が
確保され、しかも非晶質磁性合金の初期内部応力を制御
することにより、初期出力６ 、 のばらつきも抑制することができる。
る非晶質磁性合金磁歪応用圧力センサの出力の一意性が
確保され、しかも非晶質磁性合金の初期内部応力を制御
することにより、初期出力６ 、 のばらつきも抑制することができる。
第１図は本発明の一実施例の圧力センサの断面図、第２
図はその要部拡大断面図である。 １・・・・・・非晶質磁性合金薄板、２・・・・・・軟
磁性体、３・・・・・・蓋部押え具、３１・・・・・圧
力伝達孔、４・・・・・・コイル、４１・・・・・・端
子取出口、４２・・・・・・コイル端子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
図はその要部拡大断面図である。 １・・・・・・非晶質磁性合金薄板、２・・・・・・軟
磁性体、３・・・・・・蓋部押え具、３１・・・・・圧
力伝達孔、４・・・・・・コイル、４１・・・・・・端
子取出口、４２・・・・・・コイル端子。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図
Claims (3)
- （１）少なくとも一部分が磁歪を有する非晶質磁性合金
で形成され、コイルにより励磁される磁気回路を有し、
前記非晶質磁性合金を圧力印加時に内部応力が減少する
よう歪ませたことを特徴とする圧力センサ。 - （２） 磁気回路を、外内壁、円形底部、ならびに端
面が前記外内壁のそれと同じ高さの円柱状部を前記円形
底部上に設けられた軟磁性体と、磁記軟磁性体上に配置
された非晶質磁性合金薄板で構成され、前記軟磁性体の
前記円柱状部に励磁用コイルが巻かれていることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の圧力センサ。 - （３） 軟磁性体および非晶質磁性合金薄板とで囲ま
れた空間を真空または一定気圧に保つことを特徴とする
特許請求の範囲第２項記載の圧力上ン九
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878082A JPS5918430A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12878082A JPS5918430A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5918430A true JPS5918430A (ja) | 1984-01-30 |
Family
ID=14993272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12878082A Pending JPS5918430A (ja) | 1982-07-22 | 1982-07-22 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5918430A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62211527A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-17 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 力センサ |
-
1982
- 1982-07-22 JP JP12878082A patent/JPS5918430A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62211527A (ja) * | 1986-03-13 | 1987-09-17 | Nippon Kuatsu Syst Kk | 力センサ |
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