JPS5940130A - 輝点密度測定器 - Google Patents
輝点密度測定器Info
- Publication number
- JPS5940130A JPS5940130A JP14999382A JP14999382A JPS5940130A JP S5940130 A JPS5940130 A JP S5940130A JP 14999382 A JP14999382 A JP 14999382A JP 14999382 A JP14999382 A JP 14999382A JP S5940130 A JPS5940130 A JP S5940130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bright spot
- optical
- photosensors
- moved
- arithmetic device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 31
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は輝点密度測定器に係り、例えばカラーブラウン
管の螢光面における電子ビームの密度によって変化する
輝点密度を正確に測定することが可能な輝点密度測定器
に関するものである。
管の螢光面における電子ビームの密度によって変化する
輝点密度を正確に測定することが可能な輝点密度測定器
に関するものである。
例えばカラーブラウン管の場合、電子ビームの螢光面上
の密度を螢光面の輝点密度で測定する時、従来は検査者
が輝点密度測定器の光学系の位置を設定し、電子ビーム
を定速で移動させながら、この電子ビームの射突によっ
て形成される螢光面の各輝点の光景を結像面におかれた
微小孔版に光分離れた位置に穿設された2ケの微小孔を
通過させ光センサで測定する方法が用いられていた。
の密度を螢光面の輝点密度で測定する時、従来は検査者
が輝点密度測定器の光学系の位置を設定し、電子ビーム
を定速で移動させながら、この電子ビームの射突によっ
て形成される螢光面の各輝点の光景を結像面におかれた
微小孔版に光分離れた位置に穿設された2ケの微小孔を
通過させ光センサで測定する方法が用いられていた。
しかしながら、この方法では作業者が光学系の調整を行
なわなければならないし、光センサを1ケのみしか使用
しないため次のような問題点かあつた。
なわなければならないし、光センサを1ケのみしか使用
しないため次のような問題点かあつた。
即ち、第1に作業に時間がかかること、第2に光学系の
焦点合せを作業者が接眼レンズを通して行なうため光セ
ンサの実像の焦点が必らずしも一致しないこと、第3に
2ケの微小穴はそれぞれカラーブラウン管の螢光体の実
像にあることが必要なのに対し、作業者が接眼レンズを
通し調整するのが困難なこと、第4に左右方向と上下方
向の測定では微小穴板を入れかえる必要がある。
焦点合せを作業者が接眼レンズを通して行なうため光セ
ンサの実像の焦点が必らずしも一致しないこと、第3に
2ケの微小穴はそれぞれカラーブラウン管の螢光体の実
像にあることが必要なのに対し、作業者が接眼レンズを
通し調整するのが困難なこと、第4に左右方向と上下方
向の測定では微小穴板を入れかえる必要がある。
本発明は前述した従来の諸問題点に鑑みなされたもので
あシ、螢光面上に指定される多点位(5〜30 )位置
での輝点密度を作業能率よく自動的に計測することが可
能な輝点密度測定器を提供することを目的としている。
あシ、螢光面上に指定される多点位(5〜30 )位置
での輝点密度を作業能率よく自動的に計測することが可
能な輝点密度測定器を提供することを目的としている。
即ち、本発明は螢光面上の輝点の実像を結ぶ光学系と、
その結像面におかれ、上下方向、左右方向に一対づつ微
小穴の密設された微小穴板と、微小穴に対応して設けら
れ、実像の微小穴を通過する光を導入する4本の尤ファ
イバと、この4本の光ファイバを上下方向または左右方
向に切換えて導く2ケの光フアイバ切換スイッチと、2
ケの光フアイバ切換スイッチのそれぞれの出力側に設け
られた2ケの光センサと、光学系と自動焦点系とを微小
穴板にそって移動可能な2軸移動系とから列る機械系と
、螢光面上の輝点を定速で移動させたり、全面を光らせ
たシすると共に単色切換を行う輝点コントロール装置ρ
と、光センサかもの出力を観測しながら機械系と輝点コ
ントロール装置に所望の指示を与える演算装置とを具備
することを特徴とする輝点密度測定器である。
その結像面におかれ、上下方向、左右方向に一対づつ微
小穴の密設された微小穴板と、微小穴に対応して設けら
れ、実像の微小穴を通過する光を導入する4本の尤ファ
イバと、この4本の光ファイバを上下方向または左右方
向に切換えて導く2ケの光フアイバ切換スイッチと、2
ケの光フアイバ切換スイッチのそれぞれの出力側に設け
られた2ケの光センサと、光学系と自動焦点系とを微小
穴板にそって移動可能な2軸移動系とから列る機械系と
、螢光面上の輝点を定速で移動させたり、全面を光らせ
たシすると共に単色切換を行う輝点コントロール装置ρ
と、光センサかもの出力を観測しながら機械系と輝点コ
ントロール装置に所望の指示を与える演算装置とを具備
することを特徴とする輝点密度測定器である。
次に本発明の輝点密度測定器の一実施例を図に従って説
明する。
明する。
先ず、第1図は本実施例の機械系を示す斜視図であり、
光学系(1)は光軸(A−A)方向に動く自動焦点系(
2)に載置され、さらにこの自動焦点系(2)を光軸(
A−A)に垂直な面上を自由に移動することが可能な2
軸移動系(3)上に設置されている。
光学系(1)は光軸(A−A)方向に動く自動焦点系(
2)に載置され、さらにこの自動焦点系(2)を光軸(
A−A)に垂直な面上を自由に移動することが可能な2
軸移動系(3)上に設置されている。
次の第2図は本実施例のシステムを示す図であシ、演算
装置αυは2ケの光センサ(121)(t2t )に入
力する光を左右または上下いずれかに切換可能な2ケの
光フアイバ切換スイッチ(131)(132)を動作さ
せる。即ち、図示しない螢光面の結像面におかれた微小
穴板−の上下軸左右軸上に充分^1#れた位置に穿設さ
れた2対の微小穴(ist )(xst)、(t5g)
(154)に対応して設けられた光ファイバ(161)
(16,)、(163)(164)を上下、左右に切換
え、この微小穴(15,)(xs、 )、(153)(
154)に対設する輝点の光量密度(輝点密度)を計測
することを意味している。また演算装置aυは機械系に
設けられた自動焦点系(2)を移動する自動焦点系移動
モータ(17)、2軸移動系移動モータ(18* X1
8t )を制御し、光学系(1)の位置を制御する。ま
た演算装置(1m)は輝点コントロール装置住1を制御
し、ブラウン管の電子銃の単色切換え、輝点または輝線
の上下または左右移動、螢光面全面を光らせる全面ラス
タなどの指示を与え、更に光センサ0′IJからの信号
を処理、Ml測し、その結果を記憶または表示するよう
になつ−〔いる。
装置αυは2ケの光センサ(121)(t2t )に入
力する光を左右または上下いずれかに切換可能な2ケの
光フアイバ切換スイッチ(131)(132)を動作さ
せる。即ち、図示しない螢光面の結像面におかれた微小
穴板−の上下軸左右軸上に充分^1#れた位置に穿設さ
れた2対の微小穴(ist )(xst)、(t5g)
(154)に対応して設けられた光ファイバ(161)
(16,)、(163)(164)を上下、左右に切換
え、この微小穴(15,)(xs、 )、(153)(
154)に対設する輝点の光量密度(輝点密度)を計測
することを意味している。また演算装置aυは機械系に
設けられた自動焦点系(2)を移動する自動焦点系移動
モータ(17)、2軸移動系移動モータ(18* X1
8t )を制御し、光学系(1)の位置を制御する。ま
た演算装置(1m)は輝点コントロール装置住1を制御
し、ブラウン管の電子銃の単色切換え、輝点または輝線
の上下または左右移動、螢光面全面を光らせる全面ラス
タなどの指示を与え、更に光センサ0′IJからの信号
を処理、Ml測し、その結果を記憶または表示するよう
になつ−〔いる。
、このような機械系、及びシステムを具備する本実施例
の輝度密度測定器を実際に動作させる手順は次のように
なる。
の輝度密度測定器を実際に動作させる手順は次のように
なる。
先ず演算装置aυ内にあらかじめ設定されている測定ポ
ジション座標へ光学系(1)を移動させる。次に演算装
置Iは測定しない電子銃を選択し、同時に全面ラスク信
号を輝点コントロール装置OIに与え螢光面を単色均一
にする。更に光フアイバー切換スイッチ(131)(1
3! )を上下方向、または左右方向にセットし、2個
の光センサ(121X122 )のうち、どちらか1方
の出力を演算装置(11)内にとり込む、そして、この
1方のセンサ例えld’(12+)の出力が最大となる
ように2軸移動系(3)を螢光体のピッチ程厩の範囲で
微小移動させると共に自動焦点系(2)を移動させる。
ジション座標へ光学系(1)を移動させる。次に演算装
置Iは測定しない電子銃を選択し、同時に全面ラスク信
号を輝点コントロール装置OIに与え螢光面を単色均一
にする。更に光フアイバー切換スイッチ(131)(1
3! )を上下方向、または左右方向にセットし、2個
の光センサ(121X122 )のうち、どちらか1方
の出力を演算装置(11)内にとり込む、そして、この
1方のセンサ例えld’(12+)の出力が最大となる
ように2軸移動系(3)を螢光体のピッチ程厩の範囲で
微小移動させると共に自動焦点系(2)を移動させる。
以上により光学系(1)の自動焦点合わせは完了する。
次に2ケの光センサ(121)(12t )の出力を演
算装置01)内にと多込みながら、どちらの光センサ(
121X12* )も設定されたレベル以上の光量を得
るように2軸移動系(3)を移動させる。このためには
1対の微小穴のピッチは螢光面の螢光体のピッチに対し
、−重比に設定されていることが必要である。この2軸
移動系(3)の移動量は螢光体ピッチ程度の微小なもの
であるだめ焦点が合わなくなる可能性はない。
算装置01)内にと多込みながら、どちらの光センサ(
121X12* )も設定されたレベル以上の光量を得
るように2軸移動系(3)を移動させる。このためには
1対の微小穴のピッチは螢光面の螢光体のピッチに対し
、−重比に設定されていることが必要である。この2軸
移動系(3)の移動量は螢光体ピッチ程度の微小なもの
であるだめ焦点が合わなくなる可能性はない。
次に画面を全面ラスタから上下i *、 &f左右移動
状態に変化させる。即ち、左右方向の輝点密度を計測す
る場合には左右方向に移動させるζ、とになる。また輝
点であると必ずしも計測のだめの1;々小穴上に実像が
結像されるとは限らないので線状の輝線を移動させる方
が効果があシ、左右方向の輝点密度を計測する場合は上
下方向の輝線であることが必要である。
状態に変化させる。即ち、左右方向の輝点密度を計測す
る場合には左右方向に移動させるζ、とになる。また輝
点であると必ずしも計測のだめの1;々小穴上に実像が
結像されるとは限らないので線状の輝線を移動させる方
が効果があシ、左右方向の輝点密度を計測する場合は上
下方向の輝線であることが必要である。
第3図は2ケの光センサ(12,)(12g )から取
り込まれた光量の時間的変化を示す図であり、光センサ
(12s)と光センサ(122)ではその測定する位置
があらかじめ設定された量だけ離れておシ、輝点または
輝線の定速の移動により時間(1)だけ時間差をもった
相似の出力(21s X212 )が得られる。この場
合光センサ(12s )(122)の相対位置は既知で
あるため、時間(1)は直ちに距離に置換えることが可
能である。
り込まれた光量の時間的変化を示す図であり、光センサ
(12s)と光センサ(122)ではその測定する位置
があらかじめ設定された量だけ離れておシ、輝点または
輝線の定速の移動により時間(1)だけ時間差をもった
相似の出力(21s X212 )が得られる。この場
合光センサ(12s )(122)の相対位置は既知で
あるため、時間(1)は直ちに距離に置換えることが可
能である。
以上で1回の測定を終了する。更に他の電子銃からの電
子ビームにより輝度密度・ゲ測定する時には電子銃を切
換えて行ない、上下方向、左右方向共に計測する必要が
ある時には光ファイバ切換スイッチ(131X132)
を切換えて行なう。これらの動作をすべての設定さJl
、た測定ポジションについて行なうことも可能であり、
また全自動の測定が可能である。
子ビームにより輝度密度・ゲ測定する時には電子銃を切
換えて行ない、上下方向、左右方向共に計測する必要が
ある時には光ファイバ切換スイッチ(131X132)
を切換えて行なう。これらの動作をすべての設定さJl
、た測定ポジションについて行なうことも可能であり、
また全自動の測定が可能である。
上述のように本発明の輝点密度測定器によれは、検査者
の負担を軽減し、作業時間を大巾に減少させると共に全
自動で輝点密度を測定することが可能である。
の負担を軽減し、作業時間を大巾に減少させると共に全
自動で輝点密度を測定することが可能である。
第1図乃至第3図は本発明の輝点密度測定器の一実施例
を示す図であり、第1図は機械系を示す斜視図、第2図
はシステム図、第3図は2ケの光センサからの出力の関
係を示すグラフである。 1・・・光学系 2・・・自動焦点糸3・・・
2軸移動系 11・・・演算装置 12、.12.・・・光センサ 131、13. 用光ファイバ切換スイッチ14・・・
微小火板 17・・・自動焦点系移動モータ 18、、18.・・・2軸移動系移動モータ19・・・
輝点コントロール装置 代理人 弁理士 井 上 −男
を示す図であり、第1図は機械系を示す斜視図、第2図
はシステム図、第3図は2ケの光センサからの出力の関
係を示すグラフである。 1・・・光学系 2・・・自動焦点糸3・・・
2軸移動系 11・・・演算装置 12、.12.・・・光センサ 131、13. 用光ファイバ切換スイッチ14・・・
微小火板 17・・・自動焦点系移動モータ 18、、18.・・・2軸移動系移動モータ19・・・
輝点コントロール装置 代理人 弁理士 井 上 −男
Claims (1)
- 螢光面上の輝点の実像を結ぶ光学系と、前記螢光面の結
像面におかれ、上下方向、左右方向に一対づつ微小穴の
穿設された微小穴板と、前記微小穴に対応して設けられ
、前記実像の前記微小穴を通過する光を導入する4本の
光ファイバと、前記4本の光ファイバを前記上下方向ま
たは左右方向に切換えて導く2ケの光フアイバ切換スイ
ッチと、前記2ケの光フアイバ切換スイッチのそれぞれ
の出力側に設けられた2ケの光センサと、前記光学系と
自動焦点系とを前記微小穴板にそって移動可能な2軸移
動系とからなる機械系と、前記螢光面上に輝点を定速で
移動させだシ、全面を光らせたりすると共に単色切換を
行う輝点コントロール装置と、前記光センサからの出力
を観測しながら前記機械系と前記輝点コントロール装置
に所望の指示を与える演算装置とを具備することを特徴
とする輝点密度測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14999382A JPS5940130A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 輝点密度測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14999382A JPS5940130A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 輝点密度測定器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5940130A true JPS5940130A (ja) | 1984-03-05 |
Family
ID=15487115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14999382A Pending JPS5940130A (ja) | 1982-08-31 | 1982-08-31 | 輝点密度測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5940130A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2592953A1 (fr) * | 1986-01-10 | 1987-07-17 | Westinghouse Electric Corp | Systeme et procede pour determiner les caracteristiques d'un faisceau optique. |
-
1982
- 1982-08-31 JP JP14999382A patent/JPS5940130A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2592953A1 (fr) * | 1986-01-10 | 1987-07-17 | Westinghouse Electric Corp | Systeme et procede pour determiner les caracteristiques d'un faisceau optique. |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9129773B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
KR20000022184A (ko) | 전자 디스플레이 장치용 테스트와 정렬 시스템 및 그 테스트기구 | |
JPH02146514A (ja) | 光学装置 | |
US6291817B1 (en) | Moire apparatus having projection optical system and observation optical system which have optical axes parallel to each other | |
JP2001059940A (ja) | 顕微鏡及び記録媒体 | |
JPH0122705B2 (ja) | ||
JPS5940130A (ja) | 輝点密度測定器 | |
JPH09197287A (ja) | 電動顕微鏡 | |
JPH1194756A (ja) | 基板検査装置 | |
JP2006153636A (ja) | 3次元計測方法および3次元計測方法をコンピュータに実行させるプログラム | |
JPH0256516A (ja) | 顕微鏡画像の視野内自動位置決め装置 | |
JPH04106853A (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
JP2913807B2 (ja) | 電子線照射型分析装置 | |
JP3078645B2 (ja) | 走査型rheed顕微鏡装置によるrheed像の観察方法 | |
JPH0393140A (ja) | 走査電子顕微鏡像と光学顕微鏡像の対応装置 | |
JP7157546B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、形状測定プログラム及びコンピュータで読み取り可能な記録媒体並びに記録した機器 | |
JPH0545132A (ja) | 計測用内視鏡装置 | |
JP2018013739A (ja) | 拡大観察装置 | |
JP2011009244A (ja) | 観察装置および観察方法、並びに検査装置および検査方法 | |
JPH0131210Y2 (ja) | ||
KR100246230B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널(pdp)의 격벽측정 시스템 및 그 격벽측정 방법 | |
JPS58137949A (ja) | 走査電子顕微鏡による立体像表示方法 | |
JPH0460298B2 (ja) | ||
EP0608082A1 (en) | Detector for diffracted electrons | |
JPH0651812U (ja) | 画像処理型測定機 |