JPS5939490A - レ−ザ加工装置 - Google Patents
レ−ザ加工装置Info
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- JPS5939490A JPS5939490A JP57148809A JP14880982A JPS5939490A JP S5939490 A JPS5939490 A JP S5939490A JP 57148809 A JP57148809 A JP 57148809A JP 14880982 A JP14880982 A JP 14880982A JP S5939490 A JPS5939490 A JP S5939490A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- lens
- laser
- optical axis
- quartz glass
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- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/073—Shaping the laser spot
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はレーザ光線により被加工物を加熱し、軟化、溶
融等を生じさせて所定の加工を行うレーザ加工装置に関
する。
融等を生じさせて所定の加工を行うレーザ加工装置に関
する。
レーザ光線は熱出力がきわめて高いので被加工物を熱加
工するのに好適するが、ビーム光ゆえに被照射面積が小
さい欠点がある。
工するのに好適するが、ビーム光ゆえに被照射面積が小
さい欠点がある。
たとえば近時においては高圧金隅蒸気放電灯の小形化が
進み、この種高圧金属蒸気放電灯のもつ高効率性を生か
して一般白熱電球と代替して使用できる照明光源が開発
されつつある。この種の小形金属蒸気放電灯（佳必然的
に発光管も小形化し、その形状も単なる円筒形なものば
かりでなく、球形または楕円球形の発光管が採用されつ
つある．、 小形発光管は、従来において石英ガラスチューブを酸素
一水累パーナに工り加熱軟化させ、このチューブ内に窒
素ガス等の不活性ガス全圧送することによりこのガス圧
にて球形もしくは楕円球形に膨出成形させる方法が採用
さ扛ていた３、しかしながら上記方法は加熱源として酸
素−水素バーナを使用しているため、石英ガラス材質中
に水素が混入され、この混入された水素が発光管として
の機能中に不純ガスとして発光管内に放出されるため、
ランプ電圧を上昇させるなど、ランプ特性に悪影響を及
ぼし、特に小形であるゆえに僅かな水素ガスであっても
その影響が大きい不具合があった。
進み、この種高圧金属蒸気放電灯のもつ高効率性を生か
して一般白熱電球と代替して使用できる照明光源が開発
されつつある。この種の小形金属蒸気放電灯（佳必然的
に発光管も小形化し、その形状も単なる円筒形なものば
かりでなく、球形または楕円球形の発光管が採用されつ
つある．、 小形発光管は、従来において石英ガラスチューブを酸素
一水累パーナに工り加熱軟化させ、このチューブ内に窒
素ガス等の不活性ガス全圧送することによりこのガス圧
にて球形もしくは楕円球形に膨出成形させる方法が採用
さ扛ていた３、しかしながら上記方法は加熱源として酸
素−水素バーナを使用しているため、石英ガラス材質中
に水素が混入され、この混入された水素が発光管として
の機能中に不純ガスとして発光管内に放出されるため、
ランプ電圧を上昇させるなど、ランプ特性に悪影響を及
ぼし、特に小形であるゆえに僅かな水素ガスであっても
その影響が大きい不具合があった。
このようなことから、加熱源としてＣＯ２レーザ光線全
使用することが考えらｎる。ＣＯ２レーザ光線は効率が
よく高出力が得ら扛ることに加えて、そのレーザ波長１
０．６μｍは石英ガラスに良く吸収さｒるなどの利点が
ある。
使用することが考えらｎる。ＣＯ２レーザ光線は効率が
よく高出力が得ら扛ることに加えて、そのレーザ波長１
０．６μｍは石英ガラスに良く吸収さｒるなどの利点が
ある。
しかしながらレーザ光線はその最大の特徴であるビーム
光ゆえに、レーザ光線の強度分布ガスポット形であるこ
とから所定面積以上の照射面積、すなわち加熱面積が得
らｎない欠点があり、上記小形発光管の場合でも局部加
熱となってしまって全体が均一に加熱軟化さｎない問題
点がある。
光ゆえに、レーザ光線の強度分布ガスポット形であるこ
とから所定面積以上の照射面積、すなわち加熱面積が得
らｎない欠点があり、上記小形発光管の場合でも局部加
熱となってしまって全体が均一に加熱軟化さｎない問題
点がある。
レーザ光線による加熱面積を拡げる手段としてレーザ光
線を反射鏡によって反射させ、この反射鏡を揺動させる
ことにより反射角を変更させて所定加熱面上における照
射位順ヲ変え、加熱面積全槽Ｄａさせる方法が考えらｎ
るが、この方法は反射鏡の微小な調整誤差でも反射光は
誤差の倍の振ｎを生じ、特に反射、障と被加工物との距
離が大きい場合にはその誤差がきわめて拡大さ扛るので
、高精度な加熱範囲を設定することが困雛である。
線を反射鏡によって反射させ、この反射鏡を揺動させる
ことにより反射角を変更させて所定加熱面上における照
射位順ヲ変え、加熱面積全槽Ｄａさせる方法が考えらｎ
るが、この方法は反射鏡の微小な調整誤差でも反射光は
誤差の倍の振ｎを生じ、特に反射、障と被加工物との距
離が大きい場合にはその誤差がきわめて拡大さ扛るので
、高精度な加熱範囲を設定することが困雛である。
また単に加熱面ｆ４ｆ ’Ｆｒ：増すだけであｎば、レ
ーザ光線を凹レンズを通して拡１１にさぜることか考え
られるが、凹レンズを固定して使用するだけでは、照射
面積が拡がるけｆ’Ｌども、レーザ光線の光軸上に発生
する最大強度のイ〜″装置は変化しないので強度分布の
ばらつきｔよ解消ができない不具合がある。
ーザ光線を凹レンズを通して拡１１にさぜることか考え
られるが、凹レンズを固定して使用するだけでは、照射
面積が拡がるけｆ’Ｌども、レーザ光線の光軸上に発生
する最大強度のイ〜″装置は変化しないので強度分布の
ばらつきｔよ解消ができない不具合がある。
本発明はこのような事情にもとづきなさ１ｔたもので、
その目的とするところは、レーザ光線の強度を高く維持
して加熱面、潰を拡げることができ、所定の大きな面積
を均等にかつ高精度に加熱することができるレーザ加工
装置を提供しようとするものである。
その目的とするところは、レーザ光線の強度を高く維持
して加熱面、潰を拡げることができ、所定の大きな面積
を均等にかつ高精度に加熱することができるレーザ加工
装置を提供しようとするものである。
すなわち本発明はレーザ発生装置から出たレーザ光線全
透過レンズを透過させて被加工物に照射するとともに、
上記レンズをその入射光軸に対して傾斜揺動させること
により、レンズ透過後の透過レーザ光線を上記入射光軸
に対して偏心させるようにし、この偏心にもとづき照射
面積を増大させかつ均等に加熱させるようにしたもので
ある。
透過レンズを透過させて被加工物に照射するとともに、
上記レンズをその入射光軸に対して傾斜揺動させること
により、レンズ透過後の透過レーザ光線を上記入射光軸
に対して偏心させるようにし、この偏心にもとづき照射
面積を増大させかつ均等に加熱させるようにしたもので
ある。
以下本発明の一実施例を第１図ないし第３図にもとづき
説明する。
説明する。
本実施例においては小形金４蒸気放電灯の発光管を製造
するための石英ガラスチー−ブ加熱装置について説明す
る。
するための石英ガラスチー−ブ加熱装置について説明す
る。
図において１はＣＯ２レーザ光ｍ奮発するレーザ発生装
＋’（，２は本発明のレンズに該当する平面レンズ、３
はシリンドリカルレンズ、４は石英ガラスチューブを各
々示す。上記平面レンズ２、シリンドリカルレンズ３お
よび石英ガラスヂー−ブ４はレーザ発生装置１から照射
さｒｔたレーリ゛光線１０の光軸０１０上に設けら扛て
いる。
＋’（，２は本発明のレンズに該当する平面レンズ、３
はシリンドリカルレンズ、４は石英ガラスチューブを各
々示す。上記平面レンズ２、シリンドリカルレンズ３お
よび石英ガラスヂー−ブ４はレーザ発生装置１から照射
さｒｔたレーリ゛光線１０の光軸０１０上に設けら扛て
いる。
」二記平面レンズ２は、たとえばＺｎ −Ｓｃ系ガラス
材料からなり、Ｃ０２レーザブ自線ゐ透過性に優几たも
のであり、入射面２ａお工び透過ｒｌ＋’ｉ ２ｂが互
にモ行な平面形、つまりは平板ガラス状に形成さｎてい
る。そしてこの平ｔ６ルンズ２は上記光軸０１０に対し
て垂直をなす回動ｉ１’ｌｌｌ ５ ′ｆｃ有し、この
回動軸５がたとえば可逆転形パルスモータ６に連結さｎ
ている。・やルスモータ６には予め設定さｆ’した）や
ルス信号、もしく ＆Ｊ： イコ莢ガラスチューブ４の
加熱Ｆｋ陣に応じでコン１？−−２等に工り自１助制ｊ
β１１さ１１る／Ｐルス信号が 、ｐルス発生装置７か
ら投入さ才１．るようになっている。。
材料からなり、Ｃ０２レーザブ自線ゐ透過性に優几たも
のであり、入射面２ａお工び透過ｒｌ＋’ｉ ２ｂが互
にモ行な平面形、つまりは平板ガラス状に形成さｎてい
る。そしてこの平ｔ６ルンズ２は上記光軸０１０に対し
て垂直をなす回動ｉ１’ｌｌｌ ５ ′ｆｃ有し、この
回動軸５がたとえば可逆転形パルスモータ６に連結さｎ
ている。・やルスモータ６には予め設定さｆ’した）や
ルス信号、もしく ＆Ｊ： イコ莢ガラスチューブ４の
加熱Ｆｋ陣に応じでコン１？−−２等に工り自１助制ｊ
β１１さ１１る／Ｐルス信号が 、ｐルス発生装置７か
ら投入さ才１．るようになっている。。
シリンドリカルレンズ゛３（・↓か′−ｊ１・］二こ形
をなしており、このレンズ３に入ったレーリリ１０“−
はレンズ３の周方向に集光させるとともに長手力向には
何ら集光お工び拡散させずに、その透過光が楕円もしく
は長円形に変更さ几るものである。
をなしており、このレンズ３に入ったレーリリ１０“−
はレンズ３の周方向に集光させるとともに長手力向には
何ら集光お工び拡散させずに、その透過光が楕円もしく
は長円形に変更さ几るものである。
なお石英ガラスチー−ブ４はそのバルブ軸を中心として
一定速度で回転させるようになっている。
一定速度で回転させるようになっている。
上述のごとき構成に係る上記実施例の作用について説明
する。
する。
レーザ発生装置１から照射さｒたレーザブＬ線１０は平
面レンズ２を透過し、シリンドリカルレンズ３を介して
石英ガラスチューブ４に照射さ牡る１、平面レンズ２が
入射レーザ光線１０に対して直角に対向さｎている場合
（非傾斜）は第２図の破線で示さ扛る状態であり、この
場合にレーザ光線は真直ぐに透過するとともに、このレ
ンズが子板状であるから透過したレーザ光ｆ叩が集光も
拡散もさｎない。上記平面レンズ２を真直ぐに透過した
透過レーザ光線１１はシリンドリカルレンズ３により断
面が楕円形もしくは長円形形のぎ−ム光に変換されて石
英ガラスチューブ４の表面に照射される。上記シリンド
リカルレンズ３に裏って楕円形もしくは長円形に変換さ
オ′シたレーザ光線の長袖方向は石英ガラスチューブ４
の管軸方向に合致している。上述のように平面レンズ２
が第２図の破め１で示さｊ’Ｌる非傾斜状態にある場合
はレーリ゛光線が真直ぐに進んで石英ガラスチューブ４
上に、第２図のパターンＡで示すごとき照射面ミ″つま
り加熱面Ａ’ｊ’ｔを現出する。
面レンズ２を透過し、シリンドリカルレンズ３を介して
石英ガラスチューブ４に照射さ牡る１、平面レンズ２が
入射レーザ光線１０に対して直角に対向さｎている場合
（非傾斜）は第２図の破線で示さ扛る状態であり、この
場合にレーザ光線は真直ぐに透過するとともに、このレ
ンズが子板状であるから透過したレーザ光ｆ叩が集光も
拡散もさｎない。上記平面レンズ２を真直ぐに透過した
透過レーザ光線１１はシリンドリカルレンズ３により断
面が楕円形もしくは長円形形のぎ−ム光に変換されて石
英ガラスチューブ４の表面に照射される。上記シリンド
リカルレンズ３に裏って楕円形もしくは長円形に変換さ
オ′シたレーザ光線の長袖方向は石英ガラスチューブ４
の管軸方向に合致している。上述のように平面レンズ２
が第２図の破め１で示さｊ’Ｌる非傾斜状態にある場合
はレーリ゛光線が真直ぐに進んで石英ガラスチューブ４
上に、第２図のパターンＡで示すごとき照射面ミ″つま
り加熱面Ａ’ｊ’ｔを現出する。
つぎに・ぐルス発生装置７からのパルス信号によりパル
スモータ６？作動させ、回動軸５を介して平面レンズ２
を第２図中実ｐＡに示す位置まで回動させた場合には、
平面レンズ２しよ入射レーデ光線１０の光軸、つま９人
射光情０１０に２′・寸して傾斜する１、このためレー
ザ光線は１１ｕ折さマｔ１その透過レーザ光線１２は、
前記半面レン！２の非傾斜時における透溝レーザ）Ｙ：
Ｃｉ！ １１に対して偏心する。この、ｃ９なイ１．
ｉ心信「昂し−リ′元Ｌ！１２はシリンドリカルレンズ
３を透１ｊ績してｒ５）／−ガラスチューブ４’ｆ：Ｎ
’ｚ図のｉ？ターンＢで示すｆ！ｆ’、 射面によって
加熱する。この照射面Ｂは先に述べた照射面Ａと同一面
積であるが石英がラスチーープ４の軸方向に沿って変位
させらｎている。
スモータ６？作動させ、回動軸５を介して平面レンズ２
を第２図中実ｐＡに示す位置まで回動させた場合には、
平面レンズ２しよ入射レーデ光線１０の光軸、つま９人
射光情０１０に２′・寸して傾斜する１、このためレー
ザ光線は１１ｕ折さマｔ１その透過レーザ光線１２は、
前記半面レン！２の非傾斜時における透溝レーザ）Ｙ：
Ｃｉ！ １１に対して偏心する。この、ｃ９なイ１．
ｉ心信「昂し−リ′元Ｌ！１２はシリンドリカルレンズ
３を透１ｊ績してｒ５）／−ガラスチューブ４’ｆ：Ｎ
’ｚ図のｉ？ターンＢで示すｆ！ｆ’、 射面によって
加熱する。この照射面Ｂは先に述べた照射面Ａと同一面
積であるが石英がラスチーープ４の軸方向に沿って変位
させらｎている。
マタ同じく゛ノクルスモータ６によって平面レンズ２を
第２図中２点鎖線で示す工うに傾斜させると、上記と同
様にして石英ガラスチ、、−−ブ４上に第２゛図の・ぐ
ターンＣで示す照射面を加熱することになる。
第２図中２点鎖線で示す工うに傾斜させると、上記と同
様にして石英ガラスチ、、−−ブ４上に第２゛図の・ぐ
ターンＣで示す照射面を加熱することになる。
このように、平面レンズ２を往復傾斜させ牡ば、石英ガ
ラスチューブ４における照射面積、つまり第３図にも示
されるように、加熱面積７５；軸方向に沿って拡大さｎ
、Ｌかも熱強度分布も同等にすることがで＾る３、この
ため石英ガラスチューブ４を管軸回りに等速度で回転さ
せｎば石英ガラスチューブ４を全面に亘って均等にカロ
熱し、これを軟化させることができる。
ラスチューブ４における照射面積、つまり第３図にも示
されるように、加熱面積７５；軸方向に沿って拡大さｎ
、Ｌかも熱強度分布も同等にすることがで＾る３、この
ため石英ガラスチューブ４を管軸回りに等速度で回転さ
せｎば石英ガラスチューブ４を全面に亘って均等にカロ
熱し、これを軟化させることができる。
この場合、レーデ発生装置１と平面レンズ２お工び石英
ガラスチューブ４は、レーザ光線１０の入射光軸０１０
上に一直線上に配置できるのでその配置が簡単である。
ガラスチューブ４は、レーザ光線１０の入射光軸０１０
上に一直線上に配置できるのでその配置が簡単である。
また上記透過レーザ光線１１カニ人射光軸０１０から偏
心する量ｔは次式にエリ求めることができる。
心する量ｔは次式にエリ求めることができる。
ここでｔは平面レンズの板厚、φは入射角、φ′は屈折
角、ｎは空気の屈折率、ｎ′は平面ガラスの屈折率であ
る。
角、ｎは空気の屈折率、ｎ′は平面ガラスの屈折率であ
る。
また入射角φと屈折角φ′は次式により求めることがで
きる。
きる。
したがって、平面レンズの１９さｔと、入射角φつまり
傾斜角を変更す扛ば（１）式により透過レーザ光線の偏
心喰ｔが求めら扛る。上記偏心晴ｔの設定ｌは、レーザ
発生装＠１によって出力さ扛るレーザ）ｆ、線の強度分
布状態お、しび被加工物側で要求する加熱条件等にエリ
選択する。才た、上記強度分布や加熱条件を変えるには
、（Ｖ−面レンズの傾斜角ばかりでなく、Ｉｌｎ斜の速
度や所定傾斜角度の状態のま１停止している保持時間等
を選択すｎばよい。
傾斜角を変更す扛ば（１）式により透過レーザ光線の偏
心喰ｔが求めら扛る。上記偏心晴ｔの設定ｌは、レーザ
発生装＠１によって出力さ扛るレーザ）ｆ、線の強度分
布状態お、しび被加工物側で要求する加熱条件等にエリ
選択する。才た、上記強度分布や加熱条件を変えるには
、（Ｖ−面レンズの傾斜角ばかりでなく、Ｉｌｎ斜の速
度や所定傾斜角度の状態のま１停止している保持時間等
を選択すｎばよい。
なお上記実施例において平面レンズ２全使用したことけ
以下に述べるような効果もある。つまり平面レンズ２は
レーザ光ａｔ屈折させて偏心させるだけであり、集光、
拡散させることがない。このため、レンズ２から出た透
過レーザ光線１１や１２は、平行なビーム光とがってお
シ、シたがって波加工物としての石英ガラスチューブ４
を第２図の矢印Ｘ方向へ移動させてそのどの位置であっ
ても照射面積が同一となる。
以下に述べるような効果もある。つまり平面レンズ２は
レーザ光ａｔ屈折させて偏心させるだけであり、集光、
拡散させることがない。このため、レンズ２から出た透
過レーザ光線１１や１２は、平行なビーム光とがってお
シ、シたがって波加工物としての石英ガラスチューブ４
を第２図の矢印Ｘ方向へ移動させてそのどの位置であっ
ても照射面積が同一となる。
このことから、平面レンズ２と石英ガラスチューブ４の
相対的距離に注意を払う必要がなく、平面レンズ２また
は石英ガラスチューブ４の配置が容易となる。
相対的距離に注意を払う必要がなく、平面レンズ２また
は石英ガラスチューブ４の配置が容易となる。
なお、上記実施例では石英ガラスチューブ４の加熱軟化
子役としてのレーザ発生装置Ｆｔについて説明したが本
発明は上記実施例には限らない。
子役としてのレーザ発生装置Ｆｔについて説明したが本
発明は上記実施例には限らない。
要するに、レーザ発生装置１から発せら訃たレーデ光線
の強度分布のみでは被加工物側で要求する加熱面ｄ（と
じて不足する。鳴合には本発明が好適する。しｆＣがっ
て、レンズ２は単に回動軸５を回ＣｌＩｂ中心として往
復傾斜させることには限らず、たとえば第２図の実線で
示された傾斜姿勢のま１で光軸０１０の回りに旋回運動
、つまり首］Σ（シ式に、１ｊ６動させる。Ｌうにして
も工い。
の強度分布のみでは被加工物側で要求する加熱面ｄ（と
じて不足する。鳴合には本発明が好適する。しｆＣがっ
て、レンズ２は単に回動軸５を回ＣｌＩｂ中心として往
復傾斜させることには限らず、たとえば第２図の実線で
示された傾斜姿勢のま１で光軸０１０の回りに旋回運動
、つまり首］Σ（シ式に、１ｊ６動させる。Ｌうにして
も工い。
また、子１１ηレンズ２に代って凸レンズや凹レンズ全
使用してもよい。つまりミル−ザ発生装置１から発せら
ｔｌ、たレーザ先約！の強塵分イ５に応じて集光させた
り拡散させることｔ１必°λＶに応じて、ｄ択すること
もできるものである。
使用してもよい。つまりミル−ザ発生装置１から発せら
ｔｌ、たレーザ先約！の強塵分イ５に応じて集光させた
り拡散させることｔ１必°λＶに応じて、ｄ択すること
もできるものである。
〔発明の効果〕
以上ｉｔ？’ 、１ＩＲＬ、た通り本発明によ４Ｌげ、
レーザ発生装置から発せらｎたレーザ光、？＋１を傾斜
揺動さオするレンズｋＪｆｊ、過させて被加工物へ照射
させるようにしたから、レーデ光：＋：：Ｉ！が上記レ
ンズの傾斜にもとづき屈折さ扛て１藺心し、波加工物の
照射面が移動するので加熱面積が拡大さＪ’Ｌる。しか
もこのもの（・よレンズを傾旧］’ｉ！５ ：ｉ’ｂさ
せるだけであるから、透過さ扛たレーザ光線の強度分布
が分散さ扛ず、強度を、へ６く維持することができるの
で加熱効率も高くなる。
レーザ発生装置から発せらｎたレーザ光、？＋１を傾斜
揺動さオするレンズｋＪｆｊ、過させて被加工物へ照射
させるようにしたから、レーデ光：＋：：Ｉ！が上記レ
ンズの傾斜にもとづき屈折さ扛て１藺心し、波加工物の
照射面が移動するので加熱面積が拡大さＪ’Ｌる。しか
もこのもの（・よレンズを傾旧］’ｉ！５ ：ｉ’ｂさ
せるだけであるから、透過さ扛たレーザ光線の強度分布
が分散さ扛ず、強度を、へ６く維持することができるの
で加熱効率も高くなる。
図面は本発明の一実施例金示し、第１図は発光管製造の
ために石英ガラスチューブを加熱するための装置を概略
的に示す構成図、第２図はその作用を説明する図、第３
図は特性図である。 １・・・レーザ伯生装置、２・・・平面レンズ、４・・
・石英ガラスチー−ブ（被加工物）、５・・・回動軸、
６・・・ノぐルスモーク。
ために石英ガラスチューブを加熱するための装置を概略
的に示す構成図、第２図はその作用を説明する図、第３
図は特性図である。 １・・・レーザ伯生装置、２・・・平面レンズ、４・・
・石英ガラスチー−ブ（被加工物）、５・・・回動軸、
６・・・ノぐルスモーク。
Claims (2)
- （１）被加工物にレーザ光線を照射してこの被加工物を
加熱することによシ所定の加工を行うレーザ加工装置喀
において、レーザ発生装置から出たレーザ光線１．ヲと
のレーザ光線を透過するレンズ全通して上記被加工物に
照射し、このレンズを揺動機構により入射光軸に対して
傾動させて被加工物に向かう透過レーザ光線の光軸を偏
位させるようにしたことＩＱ徴とするレーデ加工装置。 - （２）上記レンズは入射面と透過面が互にほぼ一平行＋
ｒす平面、形のレンズであること全特徴とする特許請求
の範囲第（１）項記載のレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148809A JPS5939490A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57148809A JPS5939490A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5939490A true JPS5939490A (ja) | 1984-03-03 |
Family
ID=15461190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57148809A Pending JPS5939490A (ja) | 1982-08-27 | 1982-08-27 | レ−ザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5939490A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60221421A (ja) * | 1984-04-19 | 1985-11-06 | Teijin Ltd | ポリエステルの製造方法 |
| JPS62109924A (ja) * | 1985-11-08 | 1987-05-21 | Komatsu Ltd | レ−ザ焼入れ方法 |
| US6201211B1 (en) * | 1996-08-13 | 2001-03-13 | Rofin-Sinar Laser Gmbh | Apparatus for welding together two components |
| WO2008095738A2 (de) | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum laserschweissen |
Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
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