JPS5937787B2 - Integrated circuit testing equipment - Google Patents

Integrated circuit testing equipment

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JPS5937787B2
JPS5937787B2 JP51024368A JP2436876A JPS5937787B2 JP S5937787 B2 JPS5937787 B2 JP S5937787B2 JP 51024368 A JP51024368 A JP 51024368A JP 2436876 A JP2436876 A JP 2436876A JP S5937787 B2 JPS5937787 B2 JP S5937787B2
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JP
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buffer memory
pattern
external storage
test
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JP51024368A
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建 橋詰
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 この発明は集積回路試験装置に関する。[Detailed description of the invention] This invention relates to integrated circuit testing equipment.

現行の集積回路試験装置は、第1図に示すように被験体
集積回路10の試験パターンを記憶する外部記憶系機器
11から書込まれている試験パターンが、被験体集積回
路の各ピン番号に1:1に対応した試験周波数で動作す
る高速バッファメモリ12に運送され、転送された試験
パターンは、ドライバー及びコンパレータから成る変換
系機器13にドライバー131の入力パターンとして、
又コンパレータ132の比較パターンとして、試験周波
数で動作すSバッファメモリから払い出される。
As shown in FIG. 1, the current integrated circuit testing equipment stores test patterns written from an external storage device 11 that stores the test patterns of the integrated circuit under test 10 on each pin number of the integrated circuit under test. The transferred test pattern is transferred to the high-speed buffer memory 12 that operates at a test frequency corresponding to 1:1, and is sent to the conversion system device 13 consisting of a driver and a comparator as an input pattern of the driver 131.
Also, as a comparison pattern for the comparator 132, it is outputted from the S buffer memory operating at the test frequency.

バッファメモリは容量が有限であるから、もしこの容量
で不足する場合には外部記憶系機器から何回かに分割し
て試験パターンを転送することになる。このような第1
図試験装置は、マイクロコンピュータ用LSI等の被験
体の、非常に長く且つランダムな試験パターンを記憶さ
せるため外部記憶系機器を大容量にし、更に外部記憶系
機器からバツフアメモリヘの転送回数増加に伴つて全試
験時間中に占める転送のための時間を増大して、経済性
及び試験装置処理能力の両面で改良を望まれている。
Since the buffer memory has a finite capacity, if this capacity is insufficient, the test pattern will be divided and transferred several times from an external storage device. The first one like this
The test equipment has a large capacity external storage device in order to store extremely long and random test patterns of test objects such as microcomputer LSIs, and further increases the number of transfers from the external storage device to the buffer memory. It is desired to increase the time taken up for transfer in the total test time to improve both economic efficiency and test equipment throughput.

この発明はこのような要望に対処してなされるもので即
ち被験体の試験パターンを記憶する外部記憶系機器と、
この外部記憶系機器のパターン又は一部情報を直接又は
変換された状態で被験体に入力パターンとして転送し且
つこの入力パターンに対応する基準パターンを比較回路
に送るバッファメモリと、外部記憶系機器の指示により
情報の修飾を指示する情報修飾指示系機器と、外部記憶
系機器から転送される情報を情報修飾指示系機器の指示
により演算系機器に転送する情報修飾制御メモリと、情
報修飾制御メモリから転送される情報によつて外部記憶
系機器の情報を演算し演算結果をバッファメモリに転送
する前記演算系機器を備えて被験体の試験に供されるこ
とを特徴とする集積回路試験装置にある。
The present invention has been made in response to such needs, namely, an external storage device for storing test patterns of subjects;
A buffer memory that transfers the pattern or part of the information of the external storage device directly or in a converted state to the subject as an input pattern and sends a reference pattern corresponding to this input pattern to the comparison circuit; An information modification instruction system device that instructs modification of information based on an instruction, an information modification control memory that transfers information transferred from an external storage device to a computing system device according to instructions from the information modification instruction system device, and an information modification control memory that instructs information modification control memory. An integrated circuit testing device characterized in that it is equipped with the arithmetic device that calculates information in an external storage device based on the transferred information and transfers the calculation result to a buffer memory, and is used for testing a test object. .

第2図にこの発明の集積回路試験装置実施例についてシ
ステムブロック図を示す。
FIG. 2 shows a system block diagram of an embodiment of the integrated circuit testing apparatus of the present invention.

第2図では外部記憶系機器21とバッファメモリ22は
切換子24を介して接続している。これら機器で外部記
憶系機器は磁気ディスク、磁気ドラム又は電子計算機の
記憶部が用いられ、被験体の試験パターンを記憶する。
普通この外部記憶系機器はバッファメモリに比較して低
速で動作する。バツフアメモリは普通試験周波数で動作
する高速メモリで、被験体端子のチヤンネル毎に有限な
メモリー容量を持つている。そして外部記憶系機器のパ
ターン又は一部情報を直接又は変換された状態で被験体
20にその入力パターンとして転送し、且つこの入力パ
ターンに対応する基準パターンを比較回路に転送する。
切換子はバツフアメモリへの書込パターンを、外部記憶
系機器からのパターン又は演算系機器25で演算操作を
施されたパターンの何れか一方に選択させるため切換え
を行う。切換え指示は外部記憶系機器からの制御による
か又は書込制御系機器28が行う。情報修飾制御メモリ
26は、バツフアメモリの何れか番地内容に対しどのよ
うな演算操作を行つてバツフアメモリのどの番地に書き
込むかについて指示するシーケンス情報を貯えるメモリ
で、外部記憶系機器から転送される情報内容を情報修飾
指示系機器27の指示により演算系機器に送る。情報修
飾指示系機器は外部記憶系機器の指示により更に書込制
御系機器28、演算系機器、切換子に指示情報を転送す
る。演算系機器はパターン修飾制御メモリから転送され
る情報に従つて外部記憶系機器からの情報又はバツフア
メモリの何れか番地内容に演算操作を1:1操作を含め
施してバツフアメモリに切換子を介し又は介さず転送す
る。書込制御系機器はパターン修飾制御メモリの内容に
従つてバツフアメモリまたは演算系機器に含まれる図示
されていない一時記憶レジスタへ書込指令を転送する。
またこの書込制御系機器は演算系機器にバツフアメモリ
の出力パターンを入力する場合にバツフアメモリのアド
レスを決めることができるよう構成される。変換系機器
23はドライバー231でその入力パターンを被験体の
信号電圧レベルに変換して試験用パターンとし、コンパ
レータ232で被験体の応答出力電圧を論理レベルに変
換してバツフアメモリの出力即ち基準出力パターンと比
較し両者の一致、不一致を検出し、被験体の良、不良を
判定する。第2図例では切換子を配置して第1図例の用
法を不能にしているけれどもこれは必要でなければとり
除いてさし支えない。
In FIG. 2, external storage device 21 and buffer memory 22 are connected via a switch 24. In FIG. In these devices, a magnetic disk, a magnetic drum, or a storage section of a computer is used as an external storage device to store the test pattern of the subject.
Normally, this external storage device operates at a slower speed than a buffer memory. Buffer memory is a high-speed memory that normally operates at the test frequency, and has a finite memory capacity for each channel of the terminal under test. Then, the pattern or partial information of the external storage device is transferred directly or in a converted state to the subject 20 as the input pattern, and the reference pattern corresponding to this input pattern is transferred to the comparison circuit.
The switch switches the writing pattern to the buffer memory to either a pattern from an external storage system device or a pattern subjected to an arithmetic operation by the arithmetic system device 25. The switching instruction is given by control from the external storage device or by the write control device 28. The information modification control memory 26 is a memory that stores sequence information that instructs what kind of arithmetic operation is to be performed on the content of any address in the buffer memory and to which address in the buffer memory to write, and the information modification control memory 26 stores the information content transferred from the external storage device. is sent to the calculation system device according to the instruction from the information modification instruction system device 27. The information modification instruction system device further transfers instruction information to the write control system device 28, the calculation system device, and the switch according to the instruction from the external storage system device. According to the information transferred from the pattern modification control memory, the arithmetic system equipment performs arithmetic operations, including 1:1 operations, on the information from the external storage system equipment or the content of any address in the buffer memory, and transfers the information to the buffer memory via the switch or through the buffer memory. Transfer immediately. The write control system device transfers a write command to a buffer memory or a temporary storage register (not shown) included in the calculation system device according to the contents of the pattern modification control memory.
Further, this write control system device is configured to be able to determine the address of the buffer memory when inputting the output pattern of the buffer memory to the calculation system device. The conversion system device 23 uses a driver 231 to convert the input pattern to the signal voltage level of the test object as a test pattern, and a comparator 232 to convert the response output voltage of the test object to a logic level to output the buffer memory, that is, a reference output pattern. Compare the test results with the test results to detect matches or discrepancies between the two and determine whether the test subject is good or bad. In the example of FIG. 2, a switch is disposed to disable the use of the example of FIG. 1, but this can be removed if it is not necessary.

書込制御系機器は情報修飾指示系機器に機能を含めて独
立の配置をやめてもさし支えない。既に述べたように外
部記憶系機器は試験パターン及び情報修飾制御メモリへ
転送する情報を記憶している。
The function of the write control system equipment may be included in the information modification/instruction system equipment, and the independent arrangement may be omitted. As already mentioned, the external storage device stores test patterns and information to be transferred to the information modification control memory.

又外部記憶系機器は情報修飾制御メモリへ2126の径
路を介して修飾情報を転送し、2127の径路で修飾開
始指令を情報修飾指示系機器に送り、情報修飾制御メモ
リは2726の径路で示される情報修飾指示系機器の指
令により、その番地が決定され、その番地に対応する修
飾情報を書込制御機器及び演算系機器に送る。情報修飾
制御メモリの内容が2625の径路で演算系機器に送ら
れ、ここで2125の径路で転送されたパタ一に対し情
報修飾制御メモリの内容に対応する演算操作が施され、
径路2524を介し切換子に転送され、径路2422を
介しバツフアメモリに修飾された試験パターンを転送す
ることができる。バツフアメモリのどの番地に対し書き
込みを行うかの指示は2830の径路でアドレス切換機
器30に送られ書き込み指令は2822の径路で書込制
御系機器から出される。アドレス切換機器は3022の
径路でバツフアメモリに書込みまたは読出しの番地を与
える。被験体20のテストを行つている場合、ドライバ
231及びコンパレータ232にバツフアメモリから与
えられるパターンのバツフアメモリにおける番地はテス
トアドレス発生機器29から径路2930によりアドレ
ス切換機器30を経由して径路3022を介してバツフ
アメモリに与えられる。テストアドレス発生機器はバツ
フアメモリのテストアドレスを発生する機器であつて、
その周波数及び開始、停止指令2129の径路で外部記
憶機器21から与えられる。アドレス切換機器はテスト
アドレス発生機器からの径路2930による指令または
書込制御系機器28からの径路2830による指令でテ
ストアドレス発生機器29からのテストアドレスを書込
制御機器28からの径路2829によるアドレスに切換
える。書込制御系機器への制御情報は2628の径路で
情報修飾メモリから与えられる。
Further, the external storage system device transfers modification information to the information modification control memory via a path 2126, sends a modification start command to the information modification instruction system device through a path 2127, and the information modification control memory is indicated by a path 2726. The address is determined by a command from the information modification instruction system device, and the modification information corresponding to that address is sent to the writing control device and the calculation system device. The contents of the information modification control memory are sent to the calculation system equipment through the path 2625, where a calculation operation corresponding to the contents of the information modification control memory is performed on the pattern transferred through the path 2125.
The modified test pattern can be transferred to the switch via path 2524 and to the buffer memory via path 2422. An instruction as to which address in the buffer memory is to be written is sent to the address switching device 30 through a path 2830, and a write command is issued from the write control system device through a path 2822. The address switching device provides a write or read address to the buffer memory on path 3022. When testing the subject 20, the address in the buffer memory of the pattern given to the driver 231 and comparator 232 from the buffer memory is sent from the test address generating device 29 via the path 2930 to the address switching device 30 and then to the buffer memory via the path 3022. given to. The test address generation device is a device that generates test addresses for buffer memory, and
The frequency and the route of the start and stop commands 2129 are given from the external storage device 21. The address switching device changes the test address from the test address generating device 29 to the address via the path 2829 from the write control device 28 in response to a command from the test address generating device through path 2930 or a command through path 2830 from the write control system device 28. Switch. Control information to the write control system device is given from the information modification memory through a path 2628.

書込制御系機器の書込指令は径路2825を介して演算
系機器に送られ、演算系機器に含まれている単数または
複数の一時記憶レジスタへの書き込みを指示する演算系
機器は2125の径路で送られる外部記憶系機器からの
パターン、または径路2225で示されるバツフアメモ
リのパターンまたは演算系機器に含まれている一時記憶
レジスタに対し径路2625で示される演算内容に従つ
て演算操作を行うことができる。被験体のテストを行つ
ているとき、または行つていないときのいずれの場合に
も径路2225を介して送られるパターンに対し演算操
作を行うことができる。テストを行つている場合は、ド
ライバによりバツフアメモリの出力を被験体に与え、被
験体の出力をコンパレータにより論理レベルに変換して
バツフアメモリの基準パターンと比較し被験体の良、不
良の判定を行う一方、径路2830により書込制御系機
器がバツフアメモリの番地を決定し、その番地の出力パ
ターンを径路2225を介して演算系機器に接続し、こ
こで演算操作を施して、径路2830により書込制御系
機器がバツフアメモリ22の書込番地を決定し、径路2
822の書込指令により修飾されたパターンを書き込む
ことができる。径路2225を介して演算系機器へ送ら
れるパターンのバツフアメモリに於ける番地と修飾され
たパターンを書き込む番地とは必ずしも同じである必要
はなく、書込制御系機器により決定することができる。
テストを行つていない場合は、ドライバ及びコンパレー
タが動作していない点を除いて上記の場合と同様にバツ
フアメモリの内容を修飾することができる。テストして
いる場合、情報修飾制御系機器はテストアドレス発生機
器からの径路2927による修飾開始指令によつて動作
開始することも可能である。これを要するにこの発明の
集積回路試験装置ではバツフアメモリに対し情報修飾指
示系機器、情報修飾制御メモリ、演算系機器を付加した
ため、バツフアメモリの情報内容の一部を試験周波数で
バツフアメモリ動作中に修飾して書き込むことを可能に
したから、バツフアメモリの内容の一部を一定の規則性
によつて変化させ乍らバツフアメモリを複数回走査して
被験体の入力試験パターンと、被験体の出力応答パター
ンに対する比較用基準パターンを転送させることが出米
る。
A write command from the write control system device is sent to the calculation system device via path 2825, and the calculation system device that instructs writing to one or more temporary storage registers included in the calculation system device is sent to the path 2125. The arithmetic operation can be performed on the pattern sent from the external storage device sent by the path 2225, the buffer memory pattern shown by the path 2225, or the temporary storage register included in the arithmetic device according to the calculation contents shown by the path 2625. can. Arithmetic operations can be performed on the patterns sent via path 2225 either while testing a subject or not. When testing, the output of the buffer memory is given to the test object by a driver, and the output of the test object is converted to a logic level by a comparator and compared with the reference pattern of the buffer memory to determine whether the test object is good or bad. , the write control system device determines the address of the buffer memory through the path 2830, connects the output pattern at that address to the calculation system device through the path 2225, performs the calculation operation here, and then sends the write control system through the path 2830. The device determines the write address of the buffer memory 22 and writes path 2.
A modified pattern can be written by a write command of 822. The address in the buffer memory of the pattern sent to the computing system equipment via path 2225 and the address at which the modified pattern is written do not necessarily need to be the same, and can be determined by the write control system equipment.
If no test is being performed, the contents of the buffer memory can be modified in the same manner as in the above case, except that the driver and comparator are not operating. When testing, the information modification control system device can also start operating in response to a modification start command via path 2927 from the test address generating device. In short, in the integrated circuit testing device of the present invention, information modification instruction system equipment, information modification control memory, and calculation system equipment are added to the buffer memory, so that part of the information content of the buffer memory is modified at the test frequency while the buffer memory is operating. Since it is possible to write data into the buffer memory, some of the contents of the buffer memory can be changed with a certain regularity, and the buffer memory can be scanned multiple times for comparison between the subject's input test pattern and the subject's output response pattern. It may be possible to transfer the reference pattern.

従つて一定規則性をもつて試験パターンの一部を変化さ
せ乍ら複数回繰り返す場合には外部記憶系機器について
メモリ容量を減少でき又転送回数を減少できて処理能力
を向上させる。例えば第3図でバツフアメモリのある番
地から別のある番地までをループしながら単数または複
数の番地のパターンを一定の規則性に基づいて修飾する
とする。イ図のP,Q,R,S等がバツフアメモリI,
j,k,lなる番地のそれぞれあるピン番号から別のあ
るピン番号までのピンのパターンを数値として表わした
ものである。iからl番地までを何回かルーゾする一方
で、i番地のPは2ずつ増加させ、j番地のQは1ずつ
増加させ、k番地のRは2ずつ増加させ、l番地のSは
1ずつ増加させる場合、第1回目のループでi番地のパ
ターンをドライバへ入力として、またコンパレータへ基
準パターンとして送つた後演算系機器によりPなる値を
P+2なる値に修飾して書き込んでおく。同様にj番地
においてもQをQ+2なる値に修飾して書き込んでおく
。このようにして2回目にi番地のパターンをドライバ
、コンパレータへ送るときには口図のように修飾された
パターンを送ることができる。上例のループの繰り返し
回数が増加するとこの発明によればi−1番地のバツフ
アメモリがあればよいので、バツフアメモリ容量の減少
効果が大きいものになる。更にこの発明にあつては外部
記憶系機器から転送される情報とすでにバツフアメモリ
又は情報修飾制御メモリに蓄積されている情報との間で
一定の規則性をもつた演算操作を施して演算結果を再び
バツフアメモリに書き込むことが出来る。従つて外部記
憶系機器から転送される情報の一部を修飾して試験パタ
ーンとしたり、外部記憶系機器から同時に送られる各ビ
ツトをバツフアメモリの決められた単数又は複数のチヤ
ンネルに割り付ける等の操作を施すことが出来る。
Therefore, when a part of the test pattern is changed with a certain regularity and repeated multiple times, the memory capacity of the external storage device can be reduced, the number of transfers can be reduced, and the processing capacity can be improved. For example, in FIG. 3, it is assumed that a pattern at one or more addresses is modified based on a certain regularity while looping from one address to another address in the buffer memory. P, Q, R, S, etc. in the diagram A are buffer memory I,
The pattern of pins from one pin number to another at addresses j, k, and l is expressed as a numerical value. While rouzoting from address i to l several times, P at address i increases by 2, Q at address j increases by 1, R at address k increases by 2, and S at address l increases by 1. In the case of incrementing by increments, in the first loop, the pattern at address i is sent as an input to the driver and as a reference pattern to the comparator, and then the value P is modified and written as the value P+2 by the arithmetic device. Similarly, at address j, Q is modified and written to the value Q+2. In this way, when the pattern at address i is sent to the driver and comparator for the second time, it is possible to send a modified pattern like a diagram. When the number of repetitions of the loop in the above example increases, according to the present invention, only the buffer memory at address i-1 is required, so the effect of reducing the buffer memory capacity becomes greater. Furthermore, in the present invention, arithmetic operations with a certain regularity are performed between the information transferred from the external storage device and the information already stored in the buffer memory or information modification control memory, and the arithmetic results are reproduced. Can be written to buffer memory. Therefore, operations such as modifying part of the information transferred from the external storage device to create a test pattern, or assigning each bit simultaneously sent from the external storage device to a predetermined channel or channels of the buffer memory, etc. It can be done.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来の、第2図はこの発明の集積回路試験装置
プロツク図、第3図イ,口はバツフアメモリに書きこま
れたパターンの修飾態様を示す模式図である。 第2図で20・・・・・・被験体、21・・・・・・外
部記憶系機器、22・・・・・・バツフアメモリ、27
・・・・・・情報修飾指示系機器、25・・・・・・演
算系機器、 26・・・・・・情報修飾制御メモリ。
FIG. 1 is a diagram of a conventional integrated circuit testing apparatus, FIG. 2 is a block diagram of an integrated circuit testing apparatus according to the present invention, and FIG. In Figure 2, 20... Subject, 21... External storage device, 22... Buffer memory, 27
... Information modification instruction system equipment, 25 ... Arithmetic system equipment, 26 ... Information modification control memory.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 被験体の試験パターンを記憶する外部記憶系機器と
、この外部記憶系機器のパターン又は一部情報を直接又
は変換された状態で被験体に入力パターンとして転送し
且つこの入力パターンに対応する基準パターンを比較回
路に送るバッファメモリと、外部記憶系機器の指示によ
り情報の修飾を指示する情報修飾指示系機器と、外部記
憶系機器から転送される情報を情報修飾指示系機器の指
示により演算系機器に転送する情報修飾制御メモリと、
情報修飾制御メモリから転送される情報によつて外部記
憶系機器の情報を演算し演算結果をバッファメモリに転
送する前記演算系機器を備えて被験体の試験に供される
ことを特徴とする集積回路試験装置。
1. An external storage device that stores the test pattern of the test subject, and a standard that transfers the pattern or part of the information of this external storage device directly or in a converted state to the test subject as an input pattern, and that corresponds to this input pattern. A buffer memory that sends patterns to a comparison circuit, an information modification instruction device that instructs modification of information according to instructions from an external storage device, and a calculation system that sends information transferred from the external storage device to a calculation system according to instructions from the information modification instruction device. information modification control memory to be transferred to the device;
An integrated circuit that is equipped with a calculation system device that calculates information in an external storage device based on information transferred from the information modification control memory and transfers the calculation result to a buffer memory, and is used for testing a subject. Circuit testing equipment.
JP51024368A 1976-03-06 1976-03-06 Integrated circuit testing equipment Expired JPS5937787B2 (en)

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