JPS5937004A - 静圧気体軸受装置 - Google Patents
静圧気体軸受装置Info
- Publication number
- JPS5937004A JPS5937004A JP14868982A JP14868982A JPS5937004A JP S5937004 A JPS5937004 A JP S5937004A JP 14868982 A JP14868982 A JP 14868982A JP 14868982 A JP14868982 A JP 14868982A JP S5937004 A JPS5937004 A JP S5937004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- nozzle
- nozzles
- wheel
- pressure gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/02—Driving main working members
- B23Q5/04—Driving main working members rotary shafts, e.g. working-spindles
- B23Q5/06—Driving main working members rotary shafts, e.g. working-spindles driven essentially by fluid pressure or pneumatic power
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Turning (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は硬脆材料、半導体、金属等をホイールを使用し
て所定の大きさに切断、又はダイシングする加工装置等
に使用する静圧気体軸受装置に関するものである、 従来例の構成とその問題点 第１図はホイールによる切断、ダイシングを原理的に示
すものであり、ホイールによる切断、ダイシング方法は
テーブル１の上に被加工物２を載置し、テーブル１に対
してホイール３の高さを一定に保ち、ホイール３もしく
はテーブル１を所定の送り速度で移動距離を駆動させる
事によってホイール３先端のダイヤモンド刃などで被加
工物２に直線的な切断溝又は切込溝を形成するものであ
る。近年、電子部品の高精度化、高密度化に共なって、
被加工物の■１］寸法精度、或いはピッチ精度等がザブ
ミクロン単位の高精度を要求される物が多くなってきて
いるのが現状であり、これに対処するにはホイールの割
り出し精度（つまりスピンドルの割り出し精度）を良く
する必要が生じてくる。この為、割り出し精度がザブミ
クロン単位で動作できる機構装置と共に回転精度が高く
、又余分な熱の発生が無いなどの理由から静圧気体軸受
装置が多く彩用されてきている。第２図に従来の静圧気
体軸受装置を示し以下に説明する。回転軸１１には穴１
２．１３が設けられた（この場合は２連のノズルである
が一連のノズルでもｎ１能）フランフ１４が一体となっ
て回転体を形成していて、該、回転軸はスピンドル本体
に組込まれている。
て所定の大きさに切断、又はダイシングする加工装置等
に使用する静圧気体軸受装置に関するものである、 従来例の構成とその問題点 第１図はホイールによる切断、ダイシングを原理的に示
すものであり、ホイールによる切断、ダイシング方法は
テーブル１の上に被加工物２を載置し、テーブル１に対
してホイール３の高さを一定に保ち、ホイール３もしく
はテーブル１を所定の送り速度で移動距離を駆動させる
事によってホイール３先端のダイヤモンド刃などで被加
工物２に直線的な切断溝又は切込溝を形成するものであ
る。近年、電子部品の高精度化、高密度化に共なって、
被加工物の■１］寸法精度、或いはピッチ精度等がザブ
ミクロン単位の高精度を要求される物が多くなってきて
いるのが現状であり、これに対処するにはホイールの割
り出し精度（つまりスピンドルの割り出し精度）を良く
する必要が生じてくる。この為、割り出し精度がザブミ
クロン単位で動作できる機構装置と共に回転精度が高く
、又余分な熱の発生が無いなどの理由から静圧気体軸受
装置が多く彩用されてきている。第２図に従来の静圧気
体軸受装置を示し以下に説明する。回転軸１１には穴１
２．１３が設けられた（この場合は２連のノズルである
が一連のノズルでもｎ１能）フランフ１４が一体となっ
て回転体を形成していて、該、回転軸はスピンドル本体
に組込まれている。
ここで、圧力気体の導入を説明すると先ずハウジング１
５の貫通穴１６へ圧力気体を導入口１７より導入させ、
スラスト受は板Ａ１８及びタービン受はリング１９を通
過してスラスト受は板Ｂ２０を通り、更にはジャーナル
ノ・ウジフグ２１内の貫通穴を通り一更に軸受ブツシュ
２２内のラジアル方向へ数ケ所設けられたラジアル軸受
部２３．２４及び２５．２６へ供給され気体軸受となる
。又、同−経路内で分岐された圧力気体はスラスト方向
の気体軸受となるように気体軸受部２７．２８に供給さ
れスラスト軸受となる。これにより回転軸１１はラジア
ル方向及びスラスト方向の気体１１＋受によって軸承さ
れる事となる。尚、ラジアル方向とスラスト方向の圧力
気体導入経路はラジアル経路とスラスト経路の単独経路
によっても軸承できる。回転軸１１の駆動はタービンモ
ータ部により行なう。タービン導入口（図示せず）よシ
圧力気体を導入させ導入穴２９を通シ、更にはスラスト
受は板Ａ１８内を通過し、前記回転軸のフランジ部１４
の中心部）と導入されその中心部から放射状に設けられ
た穴１２．１３に導入されてフランジ端面のノズルより
圧力気体を噴出させてタービン駆動させるものである。
５の貫通穴１６へ圧力気体を導入口１７より導入させ、
スラスト受は板Ａ１８及びタービン受はリング１９を通
過してスラスト受は板Ｂ２０を通り、更にはジャーナル
ノ・ウジフグ２１内の貫通穴を通り一更に軸受ブツシュ
２２内のラジアル方向へ数ケ所設けられたラジアル軸受
部２３．２４及び２５．２６へ供給され気体軸受となる
。又、同−経路内で分岐された圧力気体はスラスト方向
の気体軸受となるように気体軸受部２７．２８に供給さ
れスラスト軸受となる。これにより回転軸１１はラジア
ル方向及びスラスト方向の気体１１＋受によって軸承さ
れる事となる。尚、ラジアル方向とスラスト方向の圧力
気体導入経路はラジアル経路とスラスト経路の単独経路
によっても軸承できる。回転軸１１の駆動はタービンモ
ータ部により行なう。タービン導入口（図示せず）よシ
圧力気体を導入させ導入穴２９を通シ、更にはスラスト
受は板Ａ１８内を通過し、前記回転軸のフランジ部１４
の中心部）と導入されその中心部から放射状に設けられ
た穴１２．１３に導入されてフランジ端面のノズルより
圧力気体を噴出させてタービン駆動させるものである。
ノズル３６は第３図に示すように穴１２．１３と直交し
て設けられている。３０は軸受ブツシュ２２を押さえて
いる押さえ板でありジャーナルハウジング２１に取り伺
けられている。回転軸１１にはホイール受はフランジ３
１が押さえナツト３５によって取り付けられ、このホイ
ール受はフランジ３１ヘポイール３２を挿入し更に押さ
えフランジ３３によってホイール３２を押さえ、３４の
固定す７）によって回転軸１１へ固定し、これら全てが
回転体となる。しかしながらこのような静圧気体軸受装
置のエアータービン用圧力気体の供給方法であると、ノ
・ウジング本体側から回転軸７ランジの中央穴へ圧力気
体を供給する必要がある為、供給圧゛によって回転軸は
軸方向へ押しやられる（即ちホイール側へ）事となって
回転軸に取り付けられたホイールの位置が変化する事と
なり、その為ホイールの位置が狂ってしまう事となって
高精度の加工が困難となる８又、ホイールと微小変位計
の当接によって高さの位置を位置決めし、尚かつ前後方
向の位置決めをした後にホイールを回転させるような場
合には前記のように回転の為に圧力気体を供給する事に
よってホイールの位置が移動する事となってしまい第４
図に示すような加工であれば回転停止後、被加工物測定
径再加工する場合にはピンチ誤差となって表われ所望す
る中寸法精度のワークが得られない事となって不良とな
る。又、狭１１］のワークを得ようとした場合にはワー
クが破損する事となったり、或いはホイールが破損する
事となって作業上も非常に危険である。又、第６図に示
す加工の場合にも所定１１寸法よりも切り込み過ぎとな
り、巾寸法精度誤差が厳しいワークは全部不良となって
歩留りの低下の原因となる。
て設けられている。３０は軸受ブツシュ２２を押さえて
いる押さえ板でありジャーナルハウジング２１に取り伺
けられている。回転軸１１にはホイール受はフランジ３
１が押さえナツト３５によって取り付けられ、このホイ
ール受はフランジ３１ヘポイール３２を挿入し更に押さ
えフランジ３３によってホイール３２を押さえ、３４の
固定す７）によって回転軸１１へ固定し、これら全てが
回転体となる。しかしながらこのような静圧気体軸受装
置のエアータービン用圧力気体の供給方法であると、ノ
・ウジング本体側から回転軸７ランジの中央穴へ圧力気
体を供給する必要がある為、供給圧゛によって回転軸は
軸方向へ押しやられる（即ちホイール側へ）事となって
回転軸に取り付けられたホイールの位置が変化する事と
なり、その為ホイールの位置が狂ってしまう事となって
高精度の加工が困難となる８又、ホイールと微小変位計
の当接によって高さの位置を位置決めし、尚かつ前後方
向の位置決めをした後にホイールを回転させるような場
合には前記のように回転の為に圧力気体を供給する事に
よってホイールの位置が移動する事となってしまい第４
図に示すような加工であれば回転停止後、被加工物測定
径再加工する場合にはピンチ誤差となって表われ所望す
る中寸法精度のワークが得られない事となって不良とな
る。又、狭１１］のワークを得ようとした場合にはワー
クが破損する事となったり、或いはホイールが破損する
事となって作業上も非常に危険である。又、第６図に示
す加工の場合にも所定１１寸法よりも切り込み過ぎとな
り、巾寸法精度誤差が厳しいワークは全部不良となって
歩留りの低下の原因となる。
発明の目的
本発明は回転軸を駆動するタービンモータ部のノズルを
軸方向に傾斜させて構成することによって、ノズルへの
圧力気体の供給によって生じる回転軸への軸方向の力を
打消し、精度の高い軸受構造を提供することを目的とす
るものである、発明の構成 本発明は圧力気体をノズルを絞って軸受間隙に供給する
気体軸受部と、この気体軸受部により回転可能に支持さ
れ且つ高速駆動するタービンモータ部を有する回転軸か
らなり、前記タービンモータ部は圧力気体をノズルから
半径方向外側へ向っての噴出する構成としかつ、前記ノ
ズルはノズルへの気体供給「１を有する側とは反対側へ
軸方向に傾斜した形状に構成し、精度の高い位置決めの
可能な静圧気体軸受装置である。
軸方向に傾斜させて構成することによって、ノズルへの
圧力気体の供給によって生じる回転軸への軸方向の力を
打消し、精度の高い軸受構造を提供することを目的とす
るものである、発明の構成 本発明は圧力気体をノズルを絞って軸受間隙に供給する
気体軸受部と、この気体軸受部により回転可能に支持さ
れ且つ高速駆動するタービンモータ部を有する回転軸か
らなり、前記タービンモータ部は圧力気体をノズルから
半径方向外側へ向っての噴出する構成としかつ、前記ノ
ズルはノズルへの気体供給「１を有する側とは反対側へ
軸方向に傾斜した形状に構成し、精度の高い位置決めの
可能な静圧気体軸受装置である。
実施例の説明
回転軸４１にはタービン用穴が設けられたフラン７４２
が一体となって回転体を形成している。
が一体となって回転体を形成している。
前記回転軸４１はラジアル方向及びスラスト方向の気体
軸受によって軸承されていて、そのラジアル方向の圧力
気体導入は・・ウジング４３の貫通穴４４へ導入口４５
より導入させ、スラスト受け板Ａ４６及びタービン受は
リング４７を通過し更にスラスト受は板Ｂ４８を通過し
更にはンヤーナルハウ／ング４９通過後、軸受ブツシュ
６ｏ内のラジアル軸受部６１．５２及び５３．５４へ供
給され気体軸受となる。又、スラスト方向の圧力気体導
入はハウジング４３内のラジアル方向の気体導入とは別
経路の貫通穴５５を通りスラスト受は板Ａ４６、タービ
ン受はリング４７及びスラスト受は板８４８へと導入さ
れ回転軸４１のフランジ部４２を挟む構造で気体軸受と
なる。タービンへの圧力気体導入は導入穴５６を通り、
更にはスラスト受は板Ａ１８内を通過して、回転軸のフ
ラン７部４２の中心部へと導入される。その中心部から
放射状に設けられた穴に導入されてノズルより圧力気体
を噴出させてタービン駆動させる。５７は押さえ板であ
シジャーナルハウジング４９に取り付けられている。又
、回転軸にはフランジ部とは反対側にホイール受け７ラ
ンジ５８が押さえナツト６２によって取り付けられ、こ
のホイール受はフランジ５８ヘホイール５９を挿入し、
更に押さえフランジ６０によってホイール５９を押さえ
６１の固定ナンドによって回転軸４１へ固定する。
軸受によって軸承されていて、そのラジアル方向の圧力
気体導入は・・ウジング４３の貫通穴４４へ導入口４５
より導入させ、スラスト受け板Ａ４６及びタービン受は
リング４７を通過し更にスラスト受は板Ｂ４８を通過し
更にはンヤーナルハウ／ング４９通過後、軸受ブツシュ
６ｏ内のラジアル軸受部６１．５２及び５３．５４へ供
給され気体軸受となる。又、スラスト方向の圧力気体導
入はハウジング４３内のラジアル方向の気体導入とは別
経路の貫通穴５５を通りスラスト受は板Ａ４６、タービ
ン受はリング４７及びスラスト受は板８４８へと導入さ
れ回転軸４１のフランジ部４２を挟む構造で気体軸受と
なる。タービンへの圧力気体導入は導入穴５６を通り、
更にはスラスト受は板Ａ１８内を通過して、回転軸のフ
ラン７部４２の中心部へと導入される。その中心部から
放射状に設けられた穴に導入されてノズルより圧力気体
を噴出させてタービン駆動させる。５７は押さえ板であ
シジャーナルハウジング４９に取り付けられている。又
、回転軸にはフランジ部とは反対側にホイール受け７ラ
ンジ５８が押さえナツト６２によって取り付けられ、こ
のホイール受はフランジ５８ヘホイール５９を挿入し、
更に押さえフランジ６０によってホイール５９を押さえ
６１の固定ナンドによって回転軸４１へ固定する。
全てこれらが回転体となって加工用能となる。
本実施例のタービンのノズルは第７図に示すように穴と
直交せずに軸方向に向かってノズル吹き出し７１が傾斜
をもった構造としている為に、圧力気体供給圧がフラン
ジ部へ導入されてもノズルからの吹き出し圧が反力とな
ってイ衝が保たれ。
直交せずに軸方向に向かってノズル吹き出し７１が傾斜
をもった構造としている為に、圧力気体供給圧がフラン
ジ部へ導入されてもノズルからの吹き出し圧が反力とな
ってイ衝が保たれ。
回転軸の軸方向の変位を抑制することができる。
即ちホイールの位置が変化しない事となって第４図に示
す加工の場合に於いてもピッチ誤差にはならず、所望す
る１１］寸法精度の製品が得られる事となり、又、ワー
クの破損−或いはホイールの破損もなくなり作業も安全
である。更には第６図に示す加工の場合に於いても所定
切り込みが行なえる事となり歩留りが必然的に上がる事
となる。
す加工の場合に於いてもピッチ誤差にはならず、所望す
る１１］寸法精度の製品が得られる事となり、又、ワー
クの破損−或いはホイールの破損もなくなり作業も安全
である。更には第６図に示す加工の場合に於いても所定
切り込みが行なえる事となり歩留りが必然的に上がる事
となる。
発明の効果
以上１本発明の構造であれば製品の寸法精度が確保でき
、しかも歩留りも上がシ安価で安全な静圧気体軸受装置
を提供できる。
、しかも歩留りも上がシ安価で安全な静圧気体軸受装置
を提供できる。
第１図はホイールによる切断、ダイシングの状態を示す
装置概略断面図、第２図は従来の静圧気体軸受装置の概
略断面図、第３図は従来の静圧気体軸受装置タービン部
を示す正面図、第４図は被加工物への加工例を示す説明
図、第５図は他の加工例を示す説明図、第６図は本発明
の一実施例に於ける静圧気体軸受装置の断面斜視図、第
７図は本発明の一実施例に於ける静圧気体軸受装置のタ
ービン部を示す正面図である。 １１．４１・・・・・・回転ｔｔＱｌ＋−１４、４２・
・・・・・フランジ、３６・・・・・・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠１
図 第２図 第 ３ 図 ４ 第４図 第５図 ＃Ｓ７図 ２
装置概略断面図、第２図は従来の静圧気体軸受装置の概
略断面図、第３図は従来の静圧気体軸受装置タービン部
を示す正面図、第４図は被加工物への加工例を示す説明
図、第５図は他の加工例を示す説明図、第６図は本発明
の一実施例に於ける静圧気体軸受装置の断面斜視図、第
７図は本発明の一実施例に於ける静圧気体軸受装置のタ
ービン部を示す正面図である。 １１．４１・・・・・・回転ｔｔＱｌ＋−１４、４２・
・・・・・フランジ、３６・・・・・・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名＠１
図 第２図 第 ３ 図 ４ 第４図 第５図 ＃Ｓ７図 ２
Claims (1)
- 圧力気体をノズルを絞って軸受間隙に供給する気体軸受
部と、この気体軸受部により回転可能に支持され且つ高
速駆動−するタービンモータ部を有する回転軸からなり
、前記タービンモータ部は圧力気体をノズルから半径方
向外側へ向っての噴出する構成としかつ、前記ノズルは
前記ノズルへの圧力気体供給口を有する側とは反対側へ
軸方向に傾斜した形状に構成した静圧気体軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14868982A JPS5937004A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 静圧気体軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14868982A JPS5937004A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 静圧気体軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5937004A true JPS5937004A (ja) | 1984-02-29 |
Family
ID=15458394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14868982A Pending JPS5937004A (ja) | 1982-08-26 | 1982-08-26 | 静圧気体軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5937004A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2100697A1 (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-16 | Fanuc Ltd | Spindle device with rotor jetting driving fluid |
-
1982
- 1982-08-26 JP JP14868982A patent/JPS5937004A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2100697A1 (en) * | 2008-03-13 | 2009-09-16 | Fanuc Ltd | Spindle device with rotor jetting driving fluid |
| US8038385B2 (en) | 2008-03-13 | 2011-10-18 | Fanuc Ltd | Spindle device with rotor jetting driving fluid |
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